JPH0456778A - 無電解めっき用増感剤の製造法 - Google Patents

無電解めっき用増感剤の製造法

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JPH0456778A
JPH0456778A JP16630390A JP16630390A JPH0456778A JP H0456778 A JPH0456778 A JP H0456778A JP 16630390 A JP16630390 A JP 16630390A JP 16630390 A JP16630390 A JP 16630390A JP H0456778 A JPH0456778 A JP H0456778A
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JP
Japan
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chloride
sensitizer
plating
palladium
soln
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Pending
Application number
JP16630390A
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English (en)
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Yuko Otsuka
優子 大塚
Satoshi Akazawa
赤沢 諭
Takeshi Shimazaki
嶋崎 威
Takao Takita
隆夫 滝田
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は無電解めっき、特に無電解銅めっき用増感剤の
製造方法に関するものである。
〔従来の技術〕
絶縁材料に無電解めっきを施す場合、めっきの析出をう
ながすためにあらかしめ増感剤処理を行う必要がある。
プリント回路板は無電解銅めっきによって回路を形成し
たり、スルーホールに無電解銅めっきを施して、基板の
表裏あるいは内外の回路間を導通させるが、この無電解
銅めっきの増感剤として、通常、塩化パラジウムと塩化
第1錫を主成分とする塩酸酸性溶液を用いている。
ところで、多層回路板を製作する場合、内層回路と絶縁
材との接着性を良くするために、内層回路としての銅表
面を酸化処理する工法が一般に用いられている。従って
、この多層回路基板にスルーホールを形成した後、無電
解銅めっきのために塩酸酸性の増感剤中に基板を浸漬す
ると、塩酸と前記酸化銅とが容易の反応して、内層回路
と絶縁材界面に変色が発生する。一般にハローイングと
呼ばれている現象である。
ハローイングの発生を防止する手法として、増感剤中の
塩酸をなるべく少なくして、その代替として、塩化ナト
リウムを加える方法がある。しかし、塩化ナトリウム水
溶液中ではパラジウムが沈降し易い。そこで改良が加え
られた結果パラジウムと1価の錫のモル比を1:30〜
l:60の範囲に限定することによって、パラジウムが
沈降しない増感剤が見出され、実用化されている(特公
昭58−56030)。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、発明者らは、Pd : Snが1:30
〜1:60であるような塩化パラジウム−塩化第1錫混
合系の塩酸・塩化ナトリウム水溶液の増感剤について、
無電解銅めっき作業における様々な問題について検討し
てきた結果、次のような現象が生じることを見出した。
即ち、増感剤処理−アクセレレータ処理(Pdの還元処
理)−無電解銅めっきの工程において、増感剤処理=ア
クセレレータ処理を2〜3回繰返した後に無電解銅めっ
きを行うとめっきにむ)が生したり、めっき面にざらつ
きが生しる現象である。増感剤処理のこのような繰返し
作業は、プリント回路基板のスルーホールに下地めっき
として無電解銅めっきを施す際、無電解銅めっき作業に
失敗した場合に行うことが多い。あるいはポリフロロエ
チレン系基板のようなめっきの密着力が悪い材料にめっ
きを施す場合にも、増感剤処理を繰返して行うことがあ
る。また、めっきのむらやざらつきの現象は、作業中、
アクセレレータの濃度が低下してきた場合にも発生する
プリント回路基板のスルーホールめっきは、通常、無電
解銅めっきで厚さ0.3〜0.5μmの下地めっきを施
した後、電気めっきで30μm程度の網膜厚にするので
あるが、近年、電気めっきを行わず、無電解銅めっきの
みで30〜40μmのめっきを施してしまう工法が多く
採用されつつある。アディティブ法とかセミアデイティ
ブ法と称される工法がそれである。これらの工法では、
めっきを施したくない部分にはめっきレジストを、7あ
7゜作□9.うヵ3、□記。高281カ。
1:30〜1;60である増感剤を用いると、めっきを
施したくない絶縁部分にPdが吸着したり、このPdを
核にして銅が析出したりする場合があることがわかった
。このような現象はプリント回路板の絶縁抵抗を低下さ
せる。
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、これらの問題点を解決するためになされたも
のであり、無電解銅めっき作業において、めっきのむら
やざらつきがなく、更にめっきレジスト部分にPdの吸
着や銅の析出が生しないような増感剤の製造方法を提供
しようとするものである。
塩化パラジウム−塩化第1錫混合系は酸性水溶液中で、
SnC#、がPdを囲んだ形の配位結合しており、この
結合が集合してコロイドを形成している。この配位結合
は、酸性雰囲気下で成立する結合であるから、塩酸水溶
液中では安定であるが、塩化ナトリウムが加えられ酸性
が弱まると不安定になり、5nCJ、が還元されてPd
を放出するから、Pdが析出しi玉なる。5nC1zが
多い程、大きなコロイド粒子を形成するが、弱酸性の不
安定な状態では大きなコロイド程こわれ易いから塩酸−
塩化ナトリウム水溶液中で、Pdを放出したい最適な塩
化第1錫濃度があり、従来の検討範囲では、その濃度範
囲がPd : Snの比で1:30〜1:60であった
(特公昭58−56030)。
しかしながら、発明者らが更に検討を進めた結果、Pd
 : Snが1:30〜1:60というのは、増感剤中
でPdが異常析出しない安定なコロイドを形成させるた
めの条件であり、被めっき物へ吸着されるPdの分散の
具合、吸着されたPdを核にして析出されるめっき銅の
粒子の大きさなどまで考慮すると、最適なPd:Snの
比はもっと小さな範囲にあることを見出すことができた
即ち、塩化パラジウムと塩化第1錫とをPdとSnとの
モル比が1:20〜1:30になるようにして酸性水溶
液中で混合して加熱し、然る後、塩化ナトリウム水溶液
を前記塩化パラジウムと塩0.01モル/lとなるよう
に添加することを特徴とする%電解めっき用の増感剤で
ある。以下に、実施例によって詳細を述べる。
〔実施例〕
界面活性剤         0.5g35%塩酸  
      451mn塩化パラジウム       
6.6g塩化第1錫        333g 純水           396mfを110±2℃
で3時間加熱した後、徐冷した。
この溶液を30m5採り、塩化ナトリウム200g/l
及び35%塩酸50 m l / j!の混合水溶液中
に加え、無電解めっき液の増感剤とした〔比較例〕 界面活性剤         0.83g35%塩酸 
       333mA塩化パラジウム      
  5g 塩化第1錫        350g 純水           438mj!を110±2
℃で1−’(時間加熱した後、徐冷した。この溶液を3
0m1採り、塩化ナトリウム200 g/l及び35%
塩#50mJzlの混合水溶液中に加え、無電解めっき
液の増感剤とした。
実施例及び比較例の増感剤中に、ガラスクロスエポキシ
系の銅張り積層板を浸漬し、密着促進剤処理した後、日
立化成工業製無電解銅めっき液CUST−201浴でめ
っきした。このものを更に、下記の組成のビロリン鍍銅
めっき浴で電気めっきを施した。
ビロリン鍍銅         85g/j!ピロリン
酸カリウム   275.5g/ffiアンモニア  
       2 m l / 1光沢剤      
     3 m 1 / 1(但し、pH8,5〜9
.0、温度55℃)電気めっき後、めっき表面のざらつ
き及び銅張り積層板の銅箔との密着力について評価した
結果を表1に示す。
表1においては、今回目的としたザラツキと密着力の他
に参考とし、ガラスエポキシ積層板に対汐′ する無電解銅めっきの析出性も記しており、日立化成工
業製無電解銅めっき液CUST−201で5分めっきし
た場合のエポキシ基材上のめっき析出量も記している。
このめっき析出性は界面活性剤を含む水溶液で処理する
ことにより向上させることができ、この処理液をコンデ
ィショナーと称している。
コンディショナーの成分としては、非イオン界面活性剤
、あるいは陽イオン界面活性剤もしくは両者を混合した
ものを主成分として含み、非イオン界面活性剤としては
ポリオキシエチレンノニルフェノールエーテル、ポリオ
キシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシプロピレン
エーテルなどが用いられ、陽イオン界面活性剤としては
、アルキルトリメチルアンモニウムブロマイド、ドデシ
ルジメチルベンジルアンモニウムクロライド、ラウリル
ジメチルアンモニウムクロライドなどが用いられている
本実施例としては、非イオン界面活性剤であるポリオキ
シエチレンノニルフェノールエーテルを2%含む水溶液
また陰イオン界面活性剤として、ラウリルアルコール硫
酸エステルを2%含む水溶液を用い、いずれも処理温度
30℃、処理時間4分で処理を行った。
〔発明の効果〕
本発明による増感剤で処理したものは処理回数を増やし
ても、めっき表面にザラツキは発生せず、また銅張積層
板の銅箔との密着性もアクセレレータの濃度が低い条件
でもはがれが生しない。
尚、エポキシ基材上の銅析出量は、非イオン界面活性剤
を含むコンディショナーで処理した場合に、初めてめっ
きの析出が良く、コンディショナー処理なしの場合や陰
イオン界面活性剤処理の場合は、満足に析出しない。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.塩化パラジウムと塩化第1錫とを、パラジウムと第
    1錫とのモル比が1:20〜1:30になるようにして
    酸性水溶液中で混合して加熱し、然る後、塩化ナトリウ
    ム水溶液を前記塩化パラジウムと塩化第1錫の混合溶液
    に、パラジウム濃度が0.0005〜0.01モル/l
    になるように添加することを特徴とする無電解めっき用
    増感剤の製造方法。
  2. 2.加熱を80〜120℃で行うことを特徴とする特許
    請求項の範囲第1項記載の無電解めっき用増感剤の製造
    方法。
  3. 3.塩化ナトリウム水溶液は5重量パーセント以上の濃
    度であることを特徴とする特許請求項の範囲第1項記載
    の無電解めっき用増感剤の製造方法。
JP16630390A 1990-06-25 1990-06-25 無電解めっき用増感剤の製造法 Pending JPH0456778A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3339472A3 (en) * 2016-12-22 2018-07-18 Rohm and Haas Electronic Materials LLC Electroless plating method

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP3339472A3 (en) * 2016-12-22 2018-07-18 Rohm and Haas Electronic Materials LLC Electroless plating method

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