JPH0452213A - 真空炉 - Google Patents
真空炉Info
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- JPH0452213A JPH0452213A JP16045790A JP16045790A JPH0452213A JP H0452213 A JPH0452213 A JP H0452213A JP 16045790 A JP16045790 A JP 16045790A JP 16045790 A JP16045790 A JP 16045790A JP H0452213 A JPH0452213 A JP H0452213A
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- Japan
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- heat
- heat insulating
- insulating wall
- treated
- heater
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- Granted
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 37
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 230000000452 restraining effect Effects 0.000 abstract 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 3
- 206010037660 Pyrexia Diseases 0.000 description 1
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Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
この発明は種々の被処理材に焼入や焼戻或いは焼結、焼
成などの熱処理を施す為に用いられる真空炉に関する。
成などの熱処理を施す為に用いられる真空炉に関する。
[従来の技術]
この種の炉においては、例えば真空容器内において被処
理材の存置空間の上面側と下面側に夫々ヒータが配設さ
れ、それらのヒータからの熱によって被処理材が加熱さ
れる。
理材の存置空間の上面側と下面側に夫々ヒータが配設さ
れ、それらのヒータからの熱によって被処理材が加熱さ
れる。
[発明が解決しようとするvs題]
このような従来の真空炉では被処理材は上面と下面とか
ら加熱されるのみである為、側面側の加熱が充分でなく
、上面側や下面側との温度差が大きくなる問題点があっ
た。そこで上記側面側にもヒータを設け、その側面側の
ヒータによっても被処理材を加熱する技術が案出された
。このような技術によれば、被処理材はどの面の側も均
等に受熱できて好ましい。しかし各々の面においては、
面の中央部はそれと対向するヒータのみから熱を受ける
のに対し、面の隅部は、それと対向するヒータからの熱
のみならず、隣の面の側のヒータからの熱も受ける。こ
の為、各面においてはその中央部よりも隅部の方が高温
化してしまう問題点がある。
ら加熱されるのみである為、側面側の加熱が充分でなく
、上面側や下面側との温度差が大きくなる問題点があっ
た。そこで上記側面側にもヒータを設け、その側面側の
ヒータによっても被処理材を加熱する技術が案出された
。このような技術によれば、被処理材はどの面の側も均
等に受熱できて好ましい。しかし各々の面においては、
面の中央部はそれと対向するヒータのみから熱を受ける
のに対し、面の隅部は、それと対向するヒータからの熱
のみならず、隣の面の側のヒータからの熱も受ける。こ
の為、各面においてはその中央部よりも隅部の方が高温
化してしまう問題点がある。
本発明は上記従来技術の問題点(技術的課題)を解決す
る為になされたもので、被処理材をその上面側、下面側
、側面側の各々から加熱することによってどの面も均等
に受熱させることができ、しかもそのようにしたもので
あっても、各面においてはその中央部も隅部も均等に受
熱させることができて、被処理材全体の温度分布を均一
化させられるようにした真空炉を提供することを目的と
する。
る為になされたもので、被処理材をその上面側、下面側
、側面側の各々から加熱することによってどの面も均等
に受熱させることができ、しかもそのようにしたもので
あっても、各面においてはその中央部も隅部も均等に受
熱させることができて、被処理材全体の温度分布を均一
化させられるようにした真空炉を提供することを目的と
する。
18題を解決する為の手段〕
上記目的を達成する為に、本願発明の真空炉は、内部に
被処理材の存置空間を有する真空容器内においては、上
記存置空間の周囲を囲う断熱壁が設けられ、上記断熱壁
の内部においては、上記存置空間の上面側、下面側及び
側面側に夫々上記存置空間に存置される被処理材を加熱
する為のヒータが備えられている真空炉において、上記
各ヒータが備えられた面の側の各断熱壁における夫々の
中央部に、断熱壁の外へ向けての放熱を抑制する為の抑
制手段を付設したものである。
被処理材の存置空間を有する真空容器内においては、上
記存置空間の周囲を囲う断熱壁が設けられ、上記断熱壁
の内部においては、上記存置空間の上面側、下面側及び
側面側に夫々上記存置空間に存置される被処理材を加熱
する為のヒータが備えられている真空炉において、上記
各ヒータが備えられた面の側の各断熱壁における夫々の
中央部に、断熱壁の外へ向けての放熱を抑制する為の抑
制手段を付設したものである。
[作用]
被処理材には上面側、下面側及び側面側の各ヒータから
熱が与えられる。各面においては、その中央部では、ヒ
ータから発せられる熱のうち断熱壁から外への放熱を抑
制手段が抑制する。従って被処理材に向かう熱量が相対
的に増大する。一方、隅部においては、そこと対向する
ヒータとその面の隣の面のヒータからの両方の熱が被処
理材に向かう。この為各面はその中央部も隅部も均等に
受熱する。
熱が与えられる。各面においては、その中央部では、ヒ
ータから発せられる熱のうち断熱壁から外への放熱を抑
制手段が抑制する。従って被処理材に向かう熱量が相対
的に増大する。一方、隅部においては、そこと対向する
ヒータとその面の隣の面のヒータからの両方の熱が被処
理材に向かう。この為各面はその中央部も隅部も均等に
受熱する。
[実施例]
以下本願の実施例を示す図面について説明する。
第1図に示される真空炉1において、2は真空容器、3
は断熱壁で、その内側において被処理材の存置空間4が
定めである。5a〜5dは上記存置空間の周囲に配設さ
れたヒータで、夫々上記存置空間4の上面側、下面側、
及び左、右の各側面側に設けられたものを示し、各々は
断熱壁3に取付けである。尚図示はしないが断熱壁3は
存置空間4の前面側及び後面側(紙面と垂直な方向の側
)にも設けられており、ヒータはそれらの断熱壁に沿っ
て存置空間4の前面側及び後面側にも設けられる場合も
ある。6は断熱材で、断熱壁3の外へ向けての放熱を抑
制する為の抑制手段の一例として示すものであり、図示
の如く上記各ヒータ5a〜5dが備えられた面の側の各
断熱壁3における夫々の中央部に付設して、各々の場所
での断熱壁3の厚みが大きくなるようにしである。この
断熱材6の厚みや面積、或いは図示の如く大小面積の異
なるものの積み重ね枚数は、後述のように被処理材を加
熱する場合にその被処理材の全体が均一な温度分布とな
るように、実験的に定めるのが良い。
は断熱壁で、その内側において被処理材の存置空間4が
定めである。5a〜5dは上記存置空間の周囲に配設さ
れたヒータで、夫々上記存置空間4の上面側、下面側、
及び左、右の各側面側に設けられたものを示し、各々は
断熱壁3に取付けである。尚図示はしないが断熱壁3は
存置空間4の前面側及び後面側(紙面と垂直な方向の側
)にも設けられており、ヒータはそれらの断熱壁に沿っ
て存置空間4の前面側及び後面側にも設けられる場合も
ある。6は断熱材で、断熱壁3の外へ向けての放熱を抑
制する為の抑制手段の一例として示すものであり、図示
の如く上記各ヒータ5a〜5dが備えられた面の側の各
断熱壁3における夫々の中央部に付設して、各々の場所
での断熱壁3の厚みが大きくなるようにしである。この
断熱材6の厚みや面積、或いは図示の如く大小面積の異
なるものの積み重ね枚数は、後述のように被処理材を加
熱する場合にその被処理材の全体が均一な温度分布とな
るように、実験的に定めるのが良い。
次に上記真空炉による被処理材の加熱の場合、ヒータ5
a〜5dが発熱されると、存置空間4に存tサレタ被処
理材8の各面8a〜8dは、各々の側のヒータ5a〜5
dによって加熱されどの面も均等に受熱する。
a〜5dが発熱されると、存置空間4に存tサレタ被処
理材8の各面8a〜8dは、各々の側のヒータ5a〜5
dによって加熱されどの面も均等に受熱する。
この場合における各々の面8a〜8dの加熱は次の通り
である。どの面も同様である為、−例として面8aにつ
いて説明する。先ず中央BF3a″ においては、その
面と対向するヒータ5aから発せられる熱のうち断熱壁
3から外への放熱9aを抑制手段6が抑制する。この為
、ヒータ5aから上記中央部8a’ に向かう熱9b
が相対的に増大する。一方、隅部8a″においては、そ
こと対向するヒータ5aから受ける熱9cは上記中央f
B8a″ に向かう熱9bが相対的に増大している分だ
けその中央部8a’ に比べて少ない。
である。どの面も同様である為、−例として面8aにつ
いて説明する。先ず中央BF3a″ においては、その
面と対向するヒータ5aから発せられる熱のうち断熱壁
3から外への放熱9aを抑制手段6が抑制する。この為
、ヒータ5aから上記中央部8a’ に向かう熱9b
が相対的に増大する。一方、隅部8a″においては、そ
こと対向するヒータ5aから受ける熱9cは上記中央f
B8a″ に向かう熱9bが相対的に増大している分だ
けその中央部8a’ に比べて少ない。
しかしその面の隣の面のヒータ5cからの熱9dも受け
る。この為、中央部3a1 及び隅部8a” は何れも
均等に受熱する。
る。この為、中央部3a1 及び隅部8a” は何れも
均等に受熱する。
以上のような結果、被処理材8はその全体が均一な温度
分布の状態で加熱される。
分布の状態で加熱される。
次に第2図は本願の異なる実施例を示すもので、放熱の
抑制手段として通電によって発熱する補助ヒータ10を
用いた例を示すものである。このようなヒータ10を用
いる場合は、そのヒータ10へノ通電の制御によってそ
の発熱量を調整することによリ、ヒータ5ae 〜5d
e から発せられ断熱壁3eを通って外へ放出される熱
量を制御することができる・即ち被処理材にわける各面
の中央部に向かう熱量を制御することができる。このこ
とは、例え番!被処理材の形状、材質、大きさ、積み方
などが変更された場合に、それに対する対処を容易に行
いうる効果がある。
抑制手段として通電によって発熱する補助ヒータ10を
用いた例を示すものである。このようなヒータ10を用
いる場合は、そのヒータ10へノ通電の制御によってそ
の発熱量を調整することによリ、ヒータ5ae 〜5d
e から発せられ断熱壁3eを通って外へ放出される熱
量を制御することができる・即ち被処理材にわける各面
の中央部に向かう熱量を制御することができる。このこ
とは、例え番!被処理材の形状、材質、大きさ、積み方
などが変更された場合に、それに対する対処を容易に行
いうる効果がある。
なお、機能上前図のものと同−又は均等構成と考えられ
る部分には、前回と同一の符号にアルファベントのeを
付して重複する説明を省略した。
る部分には、前回と同一の符号にアルファベントのeを
付して重複する説明を省略した。
次に上記の如き抑制手段を用いない場合と用いた場合と
において夫々炉内の温度分布を実測したところ、次の第
1表の如き改善が見られた。
において夫々炉内の温度分布を実測したところ、次の第
1表の如き改善が見られた。
第1表
[発明の効果]
以上のように本発明にあっては、被処理材8を加熱する
場合、その被処理材8を上面側、下面側及び側面側の各
ヒータ5a〜5dによって加熱できるから、被処理材8
のどの面も均等に受熱させられる効果があるは勿論のこ
と、 上記加熱の場合、被処理材8の各面においては、その中
央部8a“ では、ヒータ5aから発せられる熱のうち
断熱壁3から外への放熱を抑制手段6によって抑制する
から被処理材8に向かう熱量が相′i、を的に増大して
被処理材8の中央部8a’ は充分な熱量を受けるこ
とができ、一方、隅f[t8a″においては、そこと対
向するヒータ5aからの受熱量は上記中央部88′
に比べて少ないが、その面の隣の面のヒータ5cからの
熱も受ける為、被処理材8の隅部8a” は充分な熱量
を受けることができる。即ち各面はその中央部も隅部も
均等に受熱させられる特長がある。
場合、その被処理材8を上面側、下面側及び側面側の各
ヒータ5a〜5dによって加熱できるから、被処理材8
のどの面も均等に受熱させられる効果があるは勿論のこ
と、 上記加熱の場合、被処理材8の各面においては、その中
央部8a“ では、ヒータ5aから発せられる熱のうち
断熱壁3から外への放熱を抑制手段6によって抑制する
から被処理材8に向かう熱量が相′i、を的に増大して
被処理材8の中央部8a’ は充分な熱量を受けるこ
とができ、一方、隅f[t8a″においては、そこと対
向するヒータ5aからの受熱量は上記中央部88′
に比べて少ないが、その面の隣の面のヒータ5cからの
熱も受ける為、被処理材8の隅部8a” は充分な熱量
を受けることができる。即ち各面はその中央部も隅部も
均等に受熱させられる特長がある。
これらの特長により、本願発明の真空炉にあっては被処
理材8をその全体が均一な温度分布の状態で加熱できる
有用性がある。
理材8をその全体が均一な温度分布の状態で加熱できる
有用性がある。
図面は本願の実施例を示すもので、第1図は真空炉の縦
断面図、第2図は異なる実施例を示す縦断面図。 2・・・真空容器、3・・・断熱壁、4存置空間、5a
〜5d・・・ヒータ、6・・・断熱材、8・・・被処理
材、10・・・補助ヒータ。 第1図 第2図 ’se
断面図、第2図は異なる実施例を示す縦断面図。 2・・・真空容器、3・・・断熱壁、4存置空間、5a
〜5d・・・ヒータ、6・・・断熱材、8・・・被処理
材、10・・・補助ヒータ。 第1図 第2図 ’se
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、内部に被処理材の存置空間を有する真空容器内にお
いては、上記存置空間の周囲を囲う断熱壁が設けられ、
上記断熱壁の内部においては、上記存置空間の上面側、
下面側及び側面側に夫々上記存置空間に存置される被処
理材を加熱する為のヒータが備えられている真空炉にお
いて、上記各ヒータが備えられた面の側の各断熱壁にお
ける夫々の中央部に、断熱壁の外へ向けての放熱を抑制
する為の抑制手段を付設したことを特徴とする真空炉。 2、抑制手段が断熱材である請求項1記載の真空炉。 3、抑制手段が通電によって発熱する補助ヒータである
請求項1記載の真空炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16045790A JP2913778B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | 真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16045790A JP2913778B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | 真空炉 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0452213A true JPH0452213A (ja) | 1992-02-20 |
JP2913778B2 JP2913778B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=15715354
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16045790A Expired - Lifetime JP2913778B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | 真空炉 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2913778B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0897802A2 (en) | 1993-10-14 | 1999-02-24 | Citizen Watch Co. Ltd. | Ink-jet head and methods of manufacturing and driving the same |
US5945773A (en) * | 1994-06-23 | 1999-08-31 | Citizen Watch Co., Ltd. | Piezoelectric actuator for ink-jet printer and method of manufacturing the same |
EP0950525A2 (en) | 1998-04-17 | 1999-10-20 | Nec Corporation | Ink jet recording head |
US5983471A (en) * | 1993-10-14 | 1999-11-16 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method of manufacturing an ink-jet head |
US6050679A (en) * | 1992-08-27 | 2000-04-18 | Hitachi Koki Imaging Solutions, Inc. | Ink jet printer transducer array with stacked or single flat plate element |
US6145966A (en) * | 1996-05-09 | 2000-11-14 | Minolta Co., Ltd. | Ink jet recording head |
-
1990
- 1990-06-19 JP JP16045790A patent/JP2913778B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6050679A (en) * | 1992-08-27 | 2000-04-18 | Hitachi Koki Imaging Solutions, Inc. | Ink jet printer transducer array with stacked or single flat plate element |
EP0897802A2 (en) | 1993-10-14 | 1999-02-24 | Citizen Watch Co. Ltd. | Ink-jet head and methods of manufacturing and driving the same |
EP0897803A2 (en) | 1993-10-14 | 1999-02-24 | Citizen Watch Co. Ltd. | Ink-jet head and methods of manufacturing and driving the same |
US5983471A (en) * | 1993-10-14 | 1999-11-16 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method of manufacturing an ink-jet head |
US5945773A (en) * | 1994-06-23 | 1999-08-31 | Citizen Watch Co., Ltd. | Piezoelectric actuator for ink-jet printer and method of manufacturing the same |
US6145966A (en) * | 1996-05-09 | 2000-11-14 | Minolta Co., Ltd. | Ink jet recording head |
EP0950525A2 (en) | 1998-04-17 | 1999-10-20 | Nec Corporation | Ink jet recording head |
US6305792B1 (en) | 1998-04-17 | 2001-10-23 | Nec Corporation | Ink jet recording head |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2913778B2 (ja) | 1999-06-28 |
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