JP2913778B2 - 真空炉 - Google Patents
真空炉Info
- Publication number
- JP2913778B2 JP2913778B2 JP16045790A JP16045790A JP2913778B2 JP 2913778 B2 JP2913778 B2 JP 2913778B2 JP 16045790 A JP16045790 A JP 16045790A JP 16045790 A JP16045790 A JP 16045790A JP 2913778 B2 JP2913778 B2 JP 2913778B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat
- heater
- vacuum furnace
- heat insulating
- insulating wall
- Prior art date
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は種々の被処理材に焼入や焼戻或いは焼結、
焼成などの熱処理を施す為に用いられる真空炉に関す
る。
焼成などの熱処理を施す為に用いられる真空炉に関す
る。
［従来の技術］ この種の炉においては、例えば真空容器内において被
処理材の存置空間の上面側と下面側に夫々ヒータが配設
され、それらのヒータからの熱によって被処理材が加熱
される。
処理材の存置空間の上面側と下面側に夫々ヒータが配設
され、それらのヒータからの熱によって被処理材が加熱
される。
［発明が解決しようとする課題］ このような従来の真空炉では被処理材は上面と下面と
から加熱されるのみである為、側面側の加熱が充分でな
く、上面側や下面側との温度差が大きくなる問題点があ
った。そこで上記側面側にもヒータを設け、その側面側
のヒータによっても被処理材を加熱する技術が案出され
た。このような技術によれば、被処理材はどの面の側も
均等に受熱できて好ましい。しかし各々の面において
は、面の中央部はそれと対向するヒータのみから熱を受
けるのに対し、面の隅部は、それと対向するヒータから
の熱のみならず、隣の面の側のヒータからの熱も受け
る。この為、各面においてはその中央部よりも隅部の方
が高温化してしまう問題点がある。
から加熱されるのみである為、側面側の加熱が充分でな
く、上面側や下面側との温度差が大きくなる問題点があ
った。そこで上記側面側にもヒータを設け、その側面側
のヒータによっても被処理材を加熱する技術が案出され
た。このような技術によれば、被処理材はどの面の側も
均等に受熱できて好ましい。しかし各々の面において
は、面の中央部はそれと対向するヒータのみから熱を受
けるのに対し、面の隅部は、それと対向するヒータから
の熱のみならず、隣の面の側のヒータからの熱も受け
る。この為、各面においてはその中央部よりも隅部の方
が高温化してしまう問題点がある。
本発明は上記従来技術の問題点（技術的課題）を解決
する為になされたもので、被処理材をその上面側、下面
側、側面側の各々から加熱することによってどの面も均
等に受熱させることができ、しかもそのようにしたもの
であっても、各面においてはその中央部も隅部も均等に
受熱させることができて、被処理材全体の温度分布を均
一化させられるようにした真空炉を提供することを目的
とする。
する為になされたもので、被処理材をその上面側、下面
側、側面側の各々から加熱することによってどの面も均
等に受熱させることができ、しかもそのようにしたもの
であっても、各面においてはその中央部も隅部も均等に
受熱させることができて、被処理材全体の温度分布を均
一化させられるようにした真空炉を提供することを目的
とする。
［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成する為に、本願発明の真空炉は、内部
に被処理材の存置空間を有する真空容器内においては、
上記存置空間の周囲を囲う断熱壁が設けられ、上記断熱
壁の内部においては、上記存置空間の上面側、下面側及
び側面側に夫々上記存置空間に存置される被処理材を加
熱する為のヒータが備えられている真空炉において、上
記各ヒータが備えられた面とは反対側の面にあって、各
断熱壁における夫々の中央部に、断熱壁の外へ向けての
放熱を抑制する為の抑制手段を付設したものである。
に被処理材の存置空間を有する真空容器内においては、
上記存置空間の周囲を囲う断熱壁が設けられ、上記断熱
壁の内部においては、上記存置空間の上面側、下面側及
び側面側に夫々上記存置空間に存置される被処理材を加
熱する為のヒータが備えられている真空炉において、上
記各ヒータが備えられた面とは反対側の面にあって、各
断熱壁における夫々の中央部に、断熱壁の外へ向けての
放熱を抑制する為の抑制手段を付設したものである。
［作用］ 被処理材には上面側、下面側及び側面側の各ヒータか
ら熱が与えられる。各面においては、その中央部では、
ヒータから発せられる熱のうち断熱壁から外への放熱を
抑制手段が抑制する。従って被処理材に向かう熱量が相
対的に増大する。一方、隅部においては、そこと対向す
るヒータとその面の隣の面のヒータからの両方の熱が被
処理材に向かう。この為各面はその中央部も隅部も均等
に受熱する。
ら熱が与えられる。各面においては、その中央部では、
ヒータから発せられる熱のうち断熱壁から外への放熱を
抑制手段が抑制する。従って被処理材に向かう熱量が相
対的に増大する。一方、隅部においては、そこと対向す
るヒータとその面の隣の面のヒータからの両方の熱が被
処理材に向かう。この為各面はその中央部も隅部も均等
に受熱する。
［実施例］ 以下本願の実施例を示す図面について説明する。第１
図に示される真空炉１において、２は真空容器、３は断
熱壁で、その内側において被処理材の存置空間４が定め
てある。5a〜5dは上記存置空間の周囲に配設されたヒー
タで、夫々上記存置空間４の上面側、下面側、及び左、
右の各側面側に設けられたものを示し、各々は断熱壁３
に取付けてある。尚図示はしないが断熱壁３は存置空間
４の前面側及び後面側（紙面と垂直な方向の側）にも設
けられており、ヒータはそれらの断熱壁に沿って存置空
間４の前面側及び後面側にも設けられる場合もある。６
は断熱材で、断熱壁３の外へ向けての放熱を抑制する為
の抑制手段の一例として示すものであり、図示の如く上
記各ヒータ5a〜5dが備えられた面の側の各断熱壁３にお
ける夫々の中央部に付設して、各々の場所での断熱壁３
の厚みが大きくなるようにしてある。この断熱材６の厚
みや面積、或いは図示の如く大小面積の異なるものの積
み重ね枚数は、後述のように被処理材を加熱する場合に
その被処理材の全体が均一な温度分布となるように、実
験的に定めるのが良い。
図に示される真空炉１において、２は真空容器、３は断
熱壁で、その内側において被処理材の存置空間４が定め
てある。5a〜5dは上記存置空間の周囲に配設されたヒー
タで、夫々上記存置空間４の上面側、下面側、及び左、
右の各側面側に設けられたものを示し、各々は断熱壁３
に取付けてある。尚図示はしないが断熱壁３は存置空間
４の前面側及び後面側（紙面と垂直な方向の側）にも設
けられており、ヒータはそれらの断熱壁に沿って存置空
間４の前面側及び後面側にも設けられる場合もある。６
は断熱材で、断熱壁３の外へ向けての放熱を抑制する為
の抑制手段の一例として示すものであり、図示の如く上
記各ヒータ5a〜5dが備えられた面の側の各断熱壁３にお
ける夫々の中央部に付設して、各々の場所での断熱壁３
の厚みが大きくなるようにしてある。この断熱材６の厚
みや面積、或いは図示の如く大小面積の異なるものの積
み重ね枚数は、後述のように被処理材を加熱する場合に
その被処理材の全体が均一な温度分布となるように、実
験的に定めるのが良い。
次に上記真空炉による被処理材の加熱の場合、ヒータ
5a〜5dが発熱されると、存置空間４に存置された被処理
材８の各面8a〜8dは、各々の側のヒータ5a〜5dによって
加熱されどの面も均等に受熱する。
5a〜5dが発熱されると、存置空間４に存置された被処理
材８の各面8a〜8dは、各々の側のヒータ5a〜5dによって
加熱されどの面も均等に受熱する。
この場合における各々の面8a〜8dの加熱は次の通りで
ある。どの面も同様である為、一例として面8aについて
説明する。先ず、中央部8a′においては、その面と対向
するヒータ5aから発せられる熱のうち断熱壁３から外へ
の放熱9aを抑制手段６が抑制する。この為、ヒータ5aか
ら上記中央部8a′に向かう熱9bが相対的に増大する。一
方、隅部8a″においては、そこと対向するヒータ5aから
受ける熱9cは上記中央部8a′に向かう熱9bが相対的に増
大している分だけその中央部8a′に比べて少ない。しか
しその面の隣の面のヒータ5cからの熱9dも受ける。この
為、中央部8a′及び隅部8a″は何れも均等に受熱する。
ある。どの面も同様である為、一例として面8aについて
説明する。先ず、中央部8a′においては、その面と対向
するヒータ5aから発せられる熱のうち断熱壁３から外へ
の放熱9aを抑制手段６が抑制する。この為、ヒータ5aか
ら上記中央部8a′に向かう熱9bが相対的に増大する。一
方、隅部8a″においては、そこと対向するヒータ5aから
受ける熱9cは上記中央部8a′に向かう熱9bが相対的に増
大している分だけその中央部8a′に比べて少ない。しか
しその面の隣の面のヒータ5cからの熱9dも受ける。この
為、中央部8a′及び隅部8a″は何れも均等に受熱する。
以上のような結果、被処理材８はその全体が均一な温
度分布の状態で加熱される。
度分布の状態で加熱される。
次に第２図は本願の異なる実施例を示すもので、放熱
の抑制手段として通電によって発熱する補助ヒータ10を
用いた例を示すものである。このようなヒータ10を用い
る場合は、そのヒータ10への通電の制御によってその発
熱量を調整することにより、ヒータ5ae〜5deから発せら
れ断熱壁3eを通って外へ放出される熱量を制御すること
ができる。即ち被処理材における各面の中央部に向かう
熱量を制御することができる。このことは、例えば被処
理材の形状、材質、大きさ、積み方などが変更された場
合に、それに対する対処を容易に行いうる効果がある。
の抑制手段として通電によって発熱する補助ヒータ10を
用いた例を示すものである。このようなヒータ10を用い
る場合は、そのヒータ10への通電の制御によってその発
熱量を調整することにより、ヒータ5ae〜5deから発せら
れ断熱壁3eを通って外へ放出される熱量を制御すること
ができる。即ち被処理材における各面の中央部に向かう
熱量を制御することができる。このことは、例えば被処
理材の形状、材質、大きさ、積み方などが変更された場
合に、それに対する対処を容易に行いうる効果がある。
なお、機能上前図のものと同一又は均等構成と考えら
れる部分には、前図と同一の符号にアルファベットのｅ
を付して重複する説明を省略した。
れる部分には、前図と同一の符号にアルファベットのｅ
を付して重複する説明を省略した。
次に上記の如き抑制手段を用いない場合と用いた場合
とにおいて夫々炉内の温度分布を実測したところ、次の
第１表の如き改善が見られた。
とにおいて夫々炉内の温度分布を実測したところ、次の
第１表の如き改善が見られた。
［発明の効果］ 以上のように本発明にあっては、被処理材８を加熱す
る場合、その被処理材８を上面側、下面側及び側面側の
各ヒータ5a〜5dによって加熱できるから、被処理材８の
どの面も均等に受熱させられる効果があるは勿論のこ
と、 上記加熱の場合、被処理材８の各面においては、その
中央部8a′では、ヒータ5aから発せられる熱のうち断熱
壁３から外への放熱を抑制手段６によって抑制するから
被処理材８に向かう熱量が相対的に増大して被処理材８
の中央部8a′は充分な熱量を受けることができ、一方、
隅部8a″においては、そこと対向するヒータ5aからの受
熱量は上記中央部8a′に比べて少ないが、その面の隣の
面のヒータ5cからの熱も受ける為、被処理材８の隅部8
a″は充分な熱量を受けることができる。即ち各面はそ
の中央部も隅部も均等に受熱させられる特長がある。
る場合、その被処理材８を上面側、下面側及び側面側の
各ヒータ5a〜5dによって加熱できるから、被処理材８の
どの面も均等に受熱させられる効果があるは勿論のこ
と、 上記加熱の場合、被処理材８の各面においては、その
中央部8a′では、ヒータ5aから発せられる熱のうち断熱
壁３から外への放熱を抑制手段６によって抑制するから
被処理材８に向かう熱量が相対的に増大して被処理材８
の中央部8a′は充分な熱量を受けることができ、一方、
隅部8a″においては、そこと対向するヒータ5aからの受
熱量は上記中央部8a′に比べて少ないが、その面の隣の
面のヒータ5cからの熱も受ける為、被処理材８の隅部8
a″は充分な熱量を受けることができる。即ち各面はそ
の中央部も隅部も均等に受熱させられる特長がある。
これらの特長により、本願発明の真空炉にあっては被
処理材８をその全体が均一な温度分布の状態で加熱でき
る有用性がある。
処理材８をその全体が均一な温度分布の状態で加熱でき
る有用性がある。
図面は本願の実施例を示すもので、第１図は真空炉の縦
断面図、第２図は異なる実施例を示す縦断面図。 ２……真空容器、３……断熱壁、４……存置空間、5a〜
5d……ヒータ、６……断熱材、８……被処理材、10……
補助ヒータ。
断面図、第２図は異なる実施例を示す縦断面図。 ２……真空容器、３……断熱壁、４……存置空間、5a〜
5d……ヒータ、６……断熱材、８……被処理材、10……
補助ヒータ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C21D 1/773 B22F 3/10 F27B 5/04,9/04,14/04 F27D 7/06
Claims (3)
- 【請求項１】内部に被処理材の存置空間を有する真空容
器内においては、上記存置空間の周囲を囲う断熱壁が設
けられ、上記断熱壁の内部においては、上記存置空間の
上面側、下面側及び側面側に夫々上記存置空間に存置さ
れる被処理材を加熱する為のヒータが備えられている真
空炉において、上記各ヒータが備えられた面とは反対側
の面にあって、各断熱壁における夫々の中央部に、断熱
壁の外へ向けての放熱を抑制する為の抑制手段を付設し
たことを特徴とする真空炉。 - 【請求項２】抑制手段が断熱材である請求項１記載の真
空炉。 - 【請求項３】抑制手段が通電によって発熱する補助ヒー
タである請求項１記載の真空炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16045790A JP2913778B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | 真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16045790A JP2913778B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | 真空炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0452213A JPH0452213A (ja) | 1992-02-20 |
| JP2913778B2 true JP2913778B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=15715354
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16045790A Expired - Lifetime JP2913778B2 (ja) | 1990-06-19 | 1990-06-19 | 真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2913778B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6050679A (en) * | 1992-08-27 | 2000-04-18 | Hitachi Koki Imaging Solutions, Inc. | Ink jet printer transducer array with stacked or single flat plate element |
| EP0897803B1 (en) | 1993-10-14 | 2001-07-25 | Citizen Watch Co. Ltd. | Ink-jet head and methods of manufacturing and driving the same |
| US5983471A (en) * | 1993-10-14 | 1999-11-16 | Citizen Watch Co., Ltd. | Method of manufacturing an ink-jet head |
| WO1996000151A1 (en) * | 1994-06-23 | 1996-01-04 | Citizen Watch Co., Ltd. | Piezoelectric actuator for ink jet head and method of manufacturing same |
| JPH09300608A (ja) * | 1996-05-09 | 1997-11-25 | Minolta Co Ltd | インクジェット記録ヘッド |
| JP2940544B1 (ja) | 1998-04-17 | 1999-08-25 | 日本電気株式会社 | インクジェット記録ヘッド |
-
1990
- 1990-06-19 JP JP16045790A patent/JP2913778B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0452213A (ja) | 1992-02-20 |
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