JPH0451642U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0451642U JPH0451642U JP9483390U JP9483390U JPH0451642U JP H0451642 U JPH0451642 U JP H0451642U JP 9483390 U JP9483390 U JP 9483390U JP 9483390 U JP9483390 U JP 9483390U JP H0451642 U JPH0451642 U JP H0451642U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- diaphragm portion
- silicon substrate
- bridge circuit
- diaphragm part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第1図は本考案による半導体圧力センサのセン
サユニツト部の構成を示す説明図、第2図はかか
るセンサを用いて構成した本考案による圧力検出
装置の構成を示す説明図、第3図は出力電圧特性
を示す説明図である。 1……基台、2……シリコン基板、3……ダイ
アフラム部分、4……非ダイアフラム部分、6…
…基準電圧出力回路、7……第1電圧差検出回路
、8……第2電圧差検出回路、9……演算回路、
10……表示駆動回路、11……制御回路、12
……表示装置。
サユニツト部の構成を示す説明図、第2図はかか
るセンサを用いて構成した本考案による圧力検出
装置の構成を示す説明図、第3図は出力電圧特性
を示す説明図である。 1……基台、2……シリコン基板、3……ダイ
アフラム部分、4……非ダイアフラム部分、6…
…基準電圧出力回路、7……第1電圧差検出回路
、8……第2電圧差検出回路、9……演算回路、
10……表示駆動回路、11……制御回路、12
……表示装置。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ダイアフラム部及び非ダイアフラム部から
なるシリコン基板と、このシリコン基板の前記ダ
イアフラム部の前記ダイアフラム部及び非ダイア
フラム部に夫々形成された抵抗素子とからなる半
導体圧力センサ。 (2) ダイアフラム部及び非ダイアフラム部から
なるシリコン基板と、このシリコン基板の前記ダ
イアフラム部の前記ダイアフラム部及び非ダイア
フラム部夫々に形成された4個の拡散抵抗からな
るブリツジ回路と、前記ダイアフラム部及び非ダ
イアフラム部夫々に形成された前記ブリツジ回路
の出力電圧信号を演算して電圧値データを得る圧
力検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9483390U JPH0451642U (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9483390U JPH0451642U (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0451642U true JPH0451642U (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=31833088
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9483390U Pending JPH0451642U (ja) | 1990-09-10 | 1990-09-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0451642U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0264430A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Hitachi Ltd | 半導体圧力変換装置 |
-
1990
- 1990-09-10 JP JP9483390U patent/JPH0451642U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0264430A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Hitachi Ltd | 半導体圧力変換装置 |
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