JPS5896230U - エンジンの圧力センサ− - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は電気回路構成
を図形化して示す圧力センサーの平面図、第２図は圧力
センサーの断面側面図、第３図は圧力センサーを備えた
検出装置のブロック図である。 １・・・・・・圧力センサー、２・・・・・・半導体基
板、３・・・・・・シリコンダイヤフラム、４・・・・
・・拡散抵抗、５・・・・・・圧力検出用ブリッジ、６
・・・・・・第１増幅回路、７・・・・・・圧力信号出
力端子、８・・・・・・温度検出部、９・・・・・・拡
散抵抗、１０・・・・・・金属薄膜抵抗、１１・・・・
・・温度検出用ブリッジ、１２・・・・・・第２増幅回
路、１３・・・・・・温度信号出力端子、１４・・・・
・・基準電圧入力端子、１５・・・・・・接地端子。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一つの半導体基板上に拡散抵抗を有するシリコンダイヤ
   フラムを形成し、該シリコンダイヤフラムに圧力を印加
   し、その歪を拡散抵抗の抵抗値の変化で検出することに
   より圧力に対応した信号を出力するようにしたエンジン
   の圧力センサーにおいて、１記半導体基板上のシリコン
   ダイヤフラムの位置しない所に拡散抵抗により構成され
   る温度検出部を設けたことを特徴とするエンジンの圧力
   センサー。