JPS60183456U - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

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Publication number
JPS60183456U
JPS60183456U JP7138484U JP7138484U JPS60183456U JP S60183456 U JPS60183456 U JP S60183456U JP 7138484 U JP7138484 U JP 7138484U JP 7138484 U JP7138484 U JP 7138484U JP S60183456 U JPS60183456 U JP S60183456U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode
pressure sensor
pressure
piezoresistance
electrodes
Prior art date
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Pending
Application number
JP7138484U
Other languages
English (en)
Inventor
三枝　徳治
雅弘 小川
Original Assignee
横河電機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 横河電機株式会社 filed Critical 横河電機株式会社
Priority to JP7138484U priority Critical patent/JPS60183456U/ja
Publication of JPS60183456U publication Critical patent/JPS60183456U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の圧力センサの一例を示す構成説明図、第
２図は本考案圧カセンサの一実施例の要部の構成説明図
、第３図および第４図は本考案圧カセンサの回路例、第
５図は本考案圧カセンサの他の実施例の要部の構成説明
図である。 １・・・単結晶半導体基板、１１・・・受圧ダイヤフラ
ム、２・・・基台、３・・・不純物拡散層、４・・・絶
縁膜、５１、５２．５３・・・電極、６・・・定電流源
、７，８・・・バッファ、９・・・演算器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 単結晶半導体基板からなる受圧ダイヤフラムにピエゾ抵
    抗素子を形成する不純物拡散層を設け、ピエゾ抵抗の変
    化から前記受圧ダイヤフラムに作用する被測定圧を検出
    する圧力センサにおいて、前記不純物拡散層の一端側に
    第１の電極を設け、・　　他端側に第２の電極と第３の
    電極を一線状に設けて、前記第１、第２の電極間に電流
    を流し、前記第１、第２の電極のいずれか一方に生ずる
    電圧と前記第３の電極に生ずる電圧とに基づいてピエゾ
    抵抗の変化に対応した電圧を得るようにしたことを特徴
    とする圧力センサ。
JP7138484U 1984-05-16 1984-05-16 圧力センサ Pending JPS60183456U (ja)

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JP7138484U JPS60183456U (ja) 1984-05-16 1984-05-16 圧力センサ

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JP7138484U JPS60183456U (ja) 1984-05-16 1984-05-16 圧力センサ

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JPS60183456U true JPS60183456U (ja) 1985-12-05

Family

ID=30608832

Family Applications (1)

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JP7138484U Pending JPS60183456U (ja) 1984-05-16 1984-05-16 圧力センサ

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