JPH04505546A - 写真平版マイクロ製造法を用いて製造した放射場静電マイクロモーター及び前記マイクロモーターの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 写真平版マイクロ製造法を用いて製造した放射場静電マイクロモーター及び前記 マイクロモーターの製造方法茨−歪−分一団 本発明は、写真平版微小製造技術を用いて製造した放射場マイクロモーターに関 する。

この種のモーターは、その部品のいくつかがミクロン（１・１Ｏ−６）単位で測 定される非常に小さい寸法であることから、マイクロモーターと称される。

このマイクロモーターを製造するために用いられる技術は、集積電子回路を製造 するために用いられる技術と類似している。この技術は、化学蒸着を用いて各種 層を形成させ、次いで前記層を化学的エツチングまたはプラズマエツチングと共 に適当な形状のマスクを用いて成形することを含んで成る。

これらのマイクロモーターは、これらの寸法のため、電気信号により制御された 電力変換器が非常に小型化されるべき様々な用途において使用することが可能で ある。これら多くの用途には、時計学、ロボット工学、電子音及び画像再生装置 、航空学及び航空宇宙学、並びにバイオメディカル工学が含まれる。

１−」１」Ｌ−丘 この種のモーターは、１９８９年２月２０〜２２日に米国ツルトレークシティー で行われた「マイクロ電気機械システム」団体のＩ　ＥＥＥ会ｌ！議事録出版物 に記述されている。このモーターは、一方に、マイクロモーターの回転軸の回り に角度をなして分かれ出たいくつかの電極を備えた固定子を、そして他方に、４ 本の腕を含んで成り、その対向電極を形成する腕の一端が対向する固定子の各を 掻を通過するために適合させられた導電回転子を含んで成る。

ポリシリコンで作製した固定子電極は、誘電層でコーティングされた基板のウェ ファ−上に形成され、そしてこれらは制御回路に電気接続されている。

ポリシリコンでまた作製した回転子は案内部分を有し、そこから４本の腕が伸長 している。対向電極の一つは３腕の先端で形成されている。案内部分、腕、及び 対向電極は、回転子の回転軸に垂直でありそして固定子電極の正中面と一致した 同じ正中面中に固定される。このようにこの平面は回転子が回転する静電場平面 を形成し、そしてこの目的のために、回転子は、中央リング上の案内部分により 半径方向の若干の遊びをかみ合わされて、このリングと基板の絶縁層の一つとの 間に配置させた平面部材からの電気供給を受けるように適合させたポリシリコン 製軸受が形成されている。

この種のマイクロモーターが出くわす主な問題は、モーター偶力の性能または供 給された有用な偶力が不十分であるということである。

さらに、このマイクロモーターは、これが機構を駆動すること、すなわちこの偶 力を伝達することを可能にする手段を有さない。

溌ｇと１−蓮 それゆえ本発明の目的は、モーター偶力を外部機構へ伝達すること及びこの偶力 を十分なレベルに増大させることの両方を可能にする手段を有する、写真平版マ イクロ製造方法によって製造された静電マイクロモーターを提供することにより 、これらの欠点を克服することである。

光」ＬΩ」Ｌ粒 それゆえ、本発明は、 マイクロモーターの回転軸の回りに角度をなして分かれ出た複数の電極の少なく とも一部を有する固定子であって、前記電極が基板上に支持された制御回路に電 気的に接続されている固定子、 好ましくは少なくとも一部分は導電性材料から成る回転子であって、実質的に静 電場面を選定した一平面において、各固定子電極を横切って通過するように適合 させた少なくとも一つの対向電極を有し、これによって前記対向電極及びその対 応する電極間の遊びが空隙を形成する回転子、電力供給を受けるように適合され 且つ前記基板に統合されている軸受を形成するリングであって、前記回転子が、 回転できるようにそして任意的に前記対向電極が統合されている案内部分によっ てこのリングの回りを並進するように案内され、前記回転子が静電場面より上に 配置された少なくとも一つの橋架は要素を含有し、前記要素が、静電場面の内側 または外側に及び前記固定子電極群の内側または外側に配置された一つ以上の補 足部材と協同するように適合した一つ以上の機械的または電気的機能部材を支持 する回転子の高架腕を構成するリング、 を含んで成る型の放射場静電マイクロモーターに関する。

このように、固定子電極に対して高い位置に配置されたこの橋架は要素の配置が 、固定子上に付与された他の電極群とかみ合うように協同し且つ櫛状に配置され たいくつかの対向電極を、回転子の同じ腕上に配置することを可能にすることが 理解される。このように空隙の数が増加し、同様に実質的に対応するように有用 な偶力が増大する。さらに、この橋架は要素は、小歯車または大歯車から成る偶 力伝達要素を回転子に提供することを可能にする。この橋架は要素の配置が、上 述の特性を組み合わせることを可能にし、このことが、起こっている二つの問題 （偶力の増大及び伝達）を同時に解決すること、そしてこの解決を、写真平版製 造法における限られた段階数によるために、マイクロモーター厚を増加させるこ となく且つより低コストで可能にすることに着目される。

本発明の目的はまた、 ａ）好ましくは、マイクロモーターの回転子の案内部分を案内し且つ接触するよ うに適合させた中央リングに給電するように適合させた第１１電層を、基板全面 にわたり実質的に提供すること、 ｂ）前記導電層上に少なくとも一つの第１電気絶縁層を提供すること、 Ｃ）前記絶縁層上に、マイクロモーターの制御回路によって固定子電極に給電す るように適合させたストリップ導体を形成すること、 ｄ）好ましくは、前記層上の少なくとも一部に、保護機能並びに摩擦低減及び電 気絶縁機能を有する層を堆積すること、ｅ）第１犠牲層の挿入物と共に、マイク ロモーターの回転軸のまわりに角度をなして分かれ出ている少なくとも一つの電 極群、並びに同時に前記回転子の前記案内部分及び前記回転子の少な（とも一つ の対向電極を形成すること、ｆ）これらの電極及びこれらの対向電極上、並びに 第２犠牲層の挿入物を有する前記案内部分上に、前記中央リング、並びに小歯車 または大歯車のような少なくとも一つの機械的または電気的機能部材と連合する ように適合させた回転子の高架腕を構成している少なくとも一つの橋架は要素を 形成すること、 ｇ）そして次いで化学的エツチングによって前記犠牲層を除去すること、 を含んで成る、静電モーター用の写真平版製造法を提供することでもある。

回ｎηｌ盟 本発明の他の特徴及び利点は、単なる例として付与した添付の図面を参照する以 下の詳細な記述から明らかになる。

図１は、給電端子を備えた本発明のマイクロモーターの第１実施態様の平面図； 図２は、図１の線ＩＩ−ＩＩに沿った部分断面図；図３は、本発明のマイクロモ ーターの第２実施態様の部分平面図； 図４は、第３実施態様に従う本発明のマイクロモーターの平面図； 図５は、図４の線Ｖ−Ｖに沿った部分断面図；図６及び７は、それぞれ本発明の 第４及び第５実施態様の部分断面図； 図８は、本発明のマイクロモーターの第６実施態様の平面図； 図９は、図８の線ＩＸ−ＩＸに沿った部分断面図；図１０．１１、及び１２は、 それぞれ本発明の第７、第８、及び第９実施態様の部分断面図； 図１３は、図１４の線ＸＩＩＩ−ＸＩＩＩに沿った本発明の第１０実施態様の部 分断面図； 図１４は、図１３の実施態様の部分分解平面図；図１４ａは、橋架は要素及び図 １４の小歯車の拡大図；図１５は、本発明のマイクロモーターの第１１実施態様 の平面図； 図１５ａは、図１５のＸＶＡ−ＸＶＡに沿った部分断面図；及び 図１６〜４６は、本発明のマイクロモーターの製造工程における段階の部分断面 図である。

１泗！」リド【ピ呪 最初に図１及び図２を参照して、本発明の静電マイクロモーターの第１の実施態 様を記述する。この放射場静電マイクロモーターは、実質的に方形の平面基板２ によって支持された各種電極を備えた固定子１を有する。

以降与える電極Ｇｎの「群」という語句は、実質的に同じ円周上に配置されたい くつかの電極４を意味し、そして電極Ｅｎの「集成体」という定義は、異なる円 周上に配置された近隣のいくつかの電極を意味する。

電極Ｇｌ、Ｇ２、及びＧ３の各群は、環状扇型の電極４をいくつか有し、これら は、回転子の回転軸Ａがら実質的に同じ距離のところに同軸様式で互いに隣合わ せて具備される。

このように電極Ｇ１．Ｇ２、及びＧ３の各群は、各電極４が同じ群内の近隣物と 電気的に独立した単一の要素を構成するように適当に分割された、不連続リング 状である。

より詳細に図１を参照すると、三つの電極群Ｇｌ、Ｇ２、及びＧ３が同軸様式で 配置されており、これらの共通の軸がマイクロモーターの回転軸Ａと一致してい ることに着目される。またこの電極が、異なる群に属するが、互いに対して段階 的にそして固定子の同じ幾何学的扇型内に一致して配置された近隣電極により形 成されるいくつかの電極集成体Ｅ１〜Ｅ６を有することにも着目される。

より詳細には、図１に示したマイクロモーターは、三つの電極群Ｇｌ、Ｇ２、及 びＧ３を含んで成る一方、六つの電極集成体Ｅ１〜Ｅ６をそれぞれ含んで成る。

同じ集成体Ｅｎ内のすべての電極４は共通の給電ストリップ６によって電気的に 内部接続されている。ストリップ６は給電端子８に接続され、端子８は電子制御 回路（図示なし）に接続されるように適合されている。

給電ストリップ６は二つの区別できる部分６ａ及び６ｂを含んで成る。対応する 給電端子８が搭載されている部分６ａは実質的に方形であり、一方電極４及び部 分６ａの接続を構成する部分６ｂはセグメント状を示し、そして部分６ａよりも はるかに小さい幅を有する。

電極集成体Ｅ１〜Ｅ６の下に直接配置される部分６ｂの幅が、各電極４の弧の長 さよりもはるかに小さいことに着目される。

基板２に対して垂直上方に伸長した環状扇型の支持体１０によって、電極４がそ の給電ストリップ６のセグメント６ｂに接続されている。この支持体１０の幅及 び弧長は、これが支持する電極４においてより小さく、対応する給電ストリップ ６のセグメント６と同様に集成体支持体１〇−電極４は、実質的に回転子の同じ 半径上に中心を持つ。このように、ある電極集成体Ｅｎの支持体１０は同じ幾何 学的扇型上に配置されている。

図１及び図２に示したモーターはまた、実質的に環状ウェファ−を有するハブ（ ｈｕｂ）を形成する案内部分２２から成る回転子２０をも含んで成る。環状ウェ ファ−からは、同平面的に、そして回転軸Ａの外部に向かって、４本の腕２４が 互いに９０″の角度をなして分かれ出ている。３腕２４は、その自由先端２４ａ 近傍に特定の数の対向電極２６を有しており、この対向電極２６は電極４と同一 の形状、すなわち環状扇型を有する。

これらの対向電極２６はまた、先に定義したような「群」及び「集成体」内にも 配列される。各群ｇ１からｇ４は、同じ円周上に配置されているが互いに角度を なして分かれ出ているいくつかの対向電極２６を含んで成る。一方、集成体ｅ１ 〜ｅ４は、同じ幾何学的扇型の内側に与えられた対向電極２６、すなわち実質的 に同じ半径上に中心を持ち、そしてこのように互いに向き合って配置され、実質 的に一致する各種部の対向電極２６をそれぞれ含んで成る。

このようにこの実施態様においては、この回転子が対向電極２６の四つの集成体 ｅ１〜ｅ４及び四つの群ｇ１〜ｇ４を含んで成ることに着目される。

固定子１に対して回転できるように形成された回転子２０は、軸受を形成するリ ングまたはボタン３０によって回転するように案内される。リングまたはボタン ３０の自由端はつば３２を有する。つば３２は、案内部分２２の軸変位を限定す ることによって回転子２０を含有する。案内部分２２は、このリングの円筒外周 上に若干の遊び土工を有して取り付けられる。リング３０は基板２に統合されて おり、そしてその上に統合的に固定されている。リング３０は導電材で作られて いるので、電子制御回路（図示なし）に接続されるために外部から接近しやすい 給電端子３８に接続している接地面３６によって、電流を供給することができる 。

回転子２０の案内部分２２は、固定子１に向かい合わせて配置された面２２ｂに 、固定子１の面Ｆ１の一つに接触するように適合させた突起型要素２３を有する 。

より詳細に図２を参照すると、固定子１が、導体または絶縁体のどちらかである １層と称される各種層の積み重ねから成っていることに着目される。これらの層 は、マイクロモーターの他の構成要素と同様に、表面微小機械加工と称される写 真平版微小製造法により作られ、そして以降においてこの方法のさらなる詳細に ついて説明する。このように、この固定子１は（その寸法が非常に小さいので） ウェファ−として定義することができ、その厚さは一連の層により積み上げられ る。その寸法は約ｌＸｌ０−３メートル（１ｍｍ）幅及び０．　４ＸＩＯ−”メ ートル（０，４ｍｍ）厚である。固定子１の電極４は、マイクロモーターの回転 軸Ａに平行にウェファ−Ｐから突出した支持体１０によってすべて支持されてい るので、これらの電極４はすべて、静電場面ＰＣＢと称される同じ平面内におい て、面Ｆ１から距離りのところに位置する。

さらにこの実施態様においては、回転子２０の対向電極２６は腕２４に接続され ている。腕２４は、対応する腕２４からウェファ−Ｐの面Ｆ１に向けて伸長する 接続ブラケット２８によって、対向電極２６をそれぞれ支持する。

このように、対向電極２６は、これらがとりわけマイクロモーターの電子制御回 路による電極４の励磁中に静電場面ＰＣＥ内に位置することができるように、回 転子２０に付与される。図１及び２を特に参照すると、同じ集成体Ｅｎの二つの 近接する電極間にとどまる半径方向の空間３７が、その中に回転子２０の対向電 極２６を収容できるようなものであることに着目される。さらに、電極４及び対 向電極２６の環状セグメント形状、並びに各種電極群０１〜Ｇ３及び対向電極群 ｇ１〜ｇ４の同軸配置のため、回転子２０の対向電極２６が回転子の電極４の両 側でかみ合い、そして一つ以上の群Ｇ１〜Ｇ３の各電極４に向かい合って回転運 動することができて、回転子２０の回転駆動を可能にする。このように、この構 造が微細なかみ合った櫛状を有する構造になっていることに着目される。

各対向電極２６及び電極４の間に合致して残る遊びＪが、空隙ＥＦを形成する。

このように、マイクロモーターの寸法を増大させることなく空隙数を増加させた 構造が創り出された。

六つの空隙ＥＦＩ〜ＥＦ６が３腕２４に付与され、このことはマイクロモーター に４（腕）×６、すなわち２４の空隙を与える（最初の六つのみに参照番号を付 ける）。

従来のモーターと比較したこの空隙数の増加が、伝達可能なモーター偶力を実質 的に同じ比率で増大させることを可能にすることが決定された。

本発明のこの非常に有利な特徴は、なかんずく回転子２０及びとりわけ腕２４の 特殊構造の結果として達成される。

この腕２４は、静電場面ＰＣＢ上部に配置したいくつかの橋架は要素から成る。

この実施態様においては、３腕２４は、その長さ全体にわたり四つの橋架は要素 ４０ａ、４０ｂ。

４０ｃ、及び４０ｄから本質的に成り、各要素は、実質的に回転子２００半径の 一つに対応する同じ幾何学的軸上の他要素の延長線上に配置されている。第１要 素４０ａは、第１電極群Ｇ１により形成された円環の内側に位置した第１対向電 極群ｇ１の対向電極２６に、案内部分２２を接続する。これらの第１要素４０ａ は、固定子を形成するウェファ−Ｐの反対側で案内部分２２の面２２ａに固定さ れた接続ブラケット２８によって、案内部分２２の外周部に接続される。これら の第１橋架は要素４０ａの他端は、その下に第１対向電極群ｇ１の対向電極２６ を支持し、次いで第２橋架は要素４０ｂまで回転子の半径方向に伸長する。要素 ４０ｂの先端において、別の接続ブラケット２８が垂直方向に伸長し、これが第 ２群ｇ２の対向電極２６の一つに統合的に固定される。次いで、他の二つの橋架 は要素４０ｃ及び４０ｄが各腕２４上において互いに連なり、第３及び第４対向 電極群ｇ３及びｇ４の対向電極２６をそれぞれ支持する。この実施態様において は、４本の腕２４は、静電場面ＰＣＢの完全に外側に、そしてこれに実質的に平 行な高位置の平面ＰＳ内の一部分に配置される。高位置平面ＰＳは、リング３０ のつば３２が配置されている平面と実質的に一致する。

このように、３腕２４は二つの型の橋架は要素４０から成る。第１型４０ａは、 高位置平面ＰＳ内に位置する横棒４２から成り、そしてその二つの先端に、それ ぞれ二つの接続ブラケット２８が伸長する。要素４０．ｂ〜４０ｄにより表され る第２型橋架は要素は、第１型と同じ材料の棒から成り、そして接続ブラケット ２８を一つだけ有する。このように、これら二つの型の橋架は要素の接続ブラケ ット２８は、すべてその対応する棒４２と同じ材料である。一方、接続ブラケッ ト２８は、以降説明する写真平版製造法を通して下部要素（案内部分２２または 対向電極２６）に固定される。

橋架は要素４０ａ〜４０ｄ、案内部分２２、対向電極２６、支持体１０を有する 電極４、電気供給ス）　ＩＪツブ６、給電端子８，３８、及び軸受を形成するリ ング３０は、ポリシリコンのような多結晶様材料で作られていることが好ましい 。これらの要素は、別の導体材料またはタングステン、クロム、アルミニウム、 若しくは異なる合金のような金属材料で作られることが可能であろう。基板２は 半導体シリコンであることが好ましいが、石英、ダイヤモンド、またはヒ化ガリ ウムのような別の結晶性半導体材料で作られることも可能である。

実質的に基板２の全表面上に配置されている接地面３６は、電気的にドープした 基板の一片のシリコンから成る。この接地面３６の上部には、実質的に全基板２ 上に二酸化珪素（ＳｉＯ□）の層が配置されており、一方では回転子２０及び基 板２の間に、他方では電極４及び基板２の間に、電気絶縁層を形成している。こ の層５０の上には、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）の第１層５２が配置され、その上に 電気供給ストリップ６が形成される。これらのストリップ及び第１層５２の上に 窒化珪素の第２層５４が堆積され、なかんずく化学的エツチング中に二酸化珪素 の層５０を保護すること、しかしまた回転子２０及び基板２の間の絶縁破壊を防 止することをも可能にする。給電端子８及び３８は、アルミニウムの１層５６に よって被覆されている。

ここで本発明のマイクロモーターの第２実施態様を示す図３を参照すると、回転 子６０が単一の腕２４を一本だけ有し、腕２４の自由端付近に四つの対向電極２ ６が「集成体」において配置されていることに着目される。このように、この回 転子６０は、唯一の対向電極２６集成体ｅｌｌを有する。このマイクロモーター はまた、電極４のいくつかの群及びいくつかの集成体、すなわち第１実施態様に おけるのと同様に部分的に示された三つの群Ｇｌ、Ｇ２，０３及び六つの集成体 Ｅ１〜Ｅ６を含んで成る。一方、図１及び２の第１実施態様においては、接地面 ３６及び給電端子３８を介するリング３０への電気供給は任意であるが、これは この第２実施態様においてマイクロモーターを駆動する場合には必要である。

ここで図４及び５を参照すると、これらは本発明の静電マイクロモーターの第３ 実施態様を示す。

このマイクロモーターの回転子７０は４本の腕７４を有するが、図３に示したよ うに一本の腕から成ることも可能である。

この第３実施態様に従うマイクロモーターは、単一の対向電極群ｇ３１並びに二 つだけの電極群Ｇ３１及び０３２をそれぞれ含んで成る。それはまた、六つの電 極集成体Ｅ３１〜Ｅ３６をも含んで成る。回転子７０は、３腕７４が単一の対向 電極２６のみしか有さないので、特徴的な対向電極集成体を有さない。この実施 態様において、各電極集成体Ｅ３１〜Ｅ３６はそれぞれ二つの電極４を有する。

腕７４は単一の橋架は要素４０ａのみでそれぞれ形成されており、その一端は接 続ブラケット２８により案内部分２２に接続され、一方第１電極群Ｇ３１の外側 に位置した反対側の他端は、第１電極群Ｇ３１及び第２電極群Ｇ３２の間に、さ らなる接続ブラケット２８によって対向電極２６を支持している。各橋架は要素 ４０ａの棒４２は、第１電極群Ｇ３１と部分的に重なる。

このように、この実施態様においては、第１及び第２電極群Ｇ３１及びＧ３２の 配置が同軸方法でなされており、そしてその間で、３腕７４の先端に配置された 対向電極２６が回転するので、３腕７４が（空隙ＥＦ３１に加えて）第２空隙Ｅ Ｆ３２を獲得し、マイクロモーターの伝達可能な機械的偶力を増大させることを 可能にする。

このように、この実施態様においては、３腕に関し、ｎ＋１個の電極群と協同す るｎ個の対向電極と連結したｎ個の橋架は要素（この場合ｎ＝１）に対して、２ Ｘｎ個の空隙が得られる。Ｋ本の腕を有すると、２ＸｎＸＫ個の空隙が得られる 。

図６に示された第４実施態様においては、腕８４は二つの橋架は要素、それぞれ ４０ａ及び４０ｂを含んで成り、そして第２橋架は要素４０ｂは、それがあたか も先述の実施態様の橋架は要素４０ａに結合されているように、第１橋架は要素 ４０ａの延長線上に配置されている。この第４実施態様では、３腕８４は二つの 対向電極２６を含んで成り、その結果、このマイクロモーターは二つの対向電極 群ｇ４１及びｇ４２と連合した二つの電極群Ｇ４１及びＧ４２を含んで成り、３ 腕８４に対して三つの空隙ＥＦ４１〜ＥＦ４３を構成する。

このように、この実施Ｂ様では、３腕は、各々他の延長線上に配置され、ｎ個の 対向電極群と協同するｎ個の対向電極に連結された、ｎ個（この場合ｎ＝２）の 橋架は要素を含んで成り、腕１本につき２ｎ−１個の空隙を形成する。Ｋ本の腕 を有する完成品モーターでは、Ｋｘ　（２ｎ−１）個の空隙が得られる。

図７の実施態様は、二つだけの対向電極群ｇ５１及びｇ５２と協同する三つの電 極群０５１〜Ｇ５３を提供する。３腕９４に対して４個、すなわち図６の実施態 様と比較して１個多い空隙が形成される。このように、１本の腕９４につきｎ個 の橋架は要素に対して、この第５実施態様のマイクロモーターはｎ＋１個の電極 群Ｇ５１〜Ｇ５３を含んで成り、これが組になって環状の静電場領域を形成し、 そしてこの領域内において二つの群ｇ５１及びｇ５２の一つの対向電極２６が移 動する。このように、この実施態様は３腕９４に対して、ｎ＋１個の電極群と協 同するｎ個の対向電極に連結されたｎ個の橋架は要素を有して、２Ｘｎ個の空隙 を形成する。Ｋ木の腕９４では、ＫＸ２Ｘｎ個の空隙が得られる。

これらすべての実施態様において、３腕に対して１個以上の橋架は要素４０ａ、 ４０ｂが付与され、各橋架は要素は１個の対向電極２６と連結されている。１個 の対向電極は、ある場合には二つの電極群と静電的に協同して電極群の間を移動 し、そして別の場合には回転子の回転軸Ａに関して電極群の外側に配置されて、 単一の電極群（Ｇ４３）と協同する。

この回転子が、静電場面ＰＣＢの周囲に配置された少なくとも一つの橋架は要素 を含んで成り、少なくとも一つの電極群を越えて伸長することにより、少なくと も一つの電極群と重複するように適合した回転子の高架腕を形成することが理解 できる。

図４〜７の実施態様において、電極群を支える各橋架は要素は、それが支える対 向電極を横切って、この群によって形成された円環の外側に通過する。このよう に、各橋架は要素は、一つ以上の補足部材、すなわち静電場面ＰＣＥ内に位置し た一つ以上の電極、と協同するように適合させた電気機能部材、すなわち対向電 極を支持する高架腕を構成することができる。

ここで図８及び９を参照すると、これらは本発明のマイクロモーターの第６実施 態様を示す。この実施態様において、３腕１０４は、案内部分２２と同じ材料で できている案内部分２２の延長部１０５から成り、そして延長部１０５は案内部 分２２と同じ平面内に配置されている。この延長部１０５の先端には、この延長 部１０５と同じ材料でまたできており、そしてまた同じ平面内に形成されている 対向電極２６が配置されている。

この腕１０４は単一の橋架は要素４０ａを含んで成り、要素の第１端は接続ブラ ケット２８によって第１群ｇ６１の対向電極２６に固定され、そして要素の第２ 端は、第２対向電極と称される補足対向電極に固定されている。この第２対向電 極は第２対向電極群ｇ６２に属しており、そして橋架は要素４０ａの棒４２とこ の第２対向電極との間の接続は接続ブラケット２８によって行われる。これら二 つの対向電極群ｇ６１及びｇ６２は単一の電極群Ｇ６１の両側に配置され、１本 の腕１０４につき二つの空隙ＥＦ６１及びＥＦ６２を形成する。この実施態様に おいては、ｎ個の電極群０６１と協同するｎ＋１個の対向電極２６をそれぞれ含 んで成る３腕１０４に対してｎ個の橋架は要素が付与されて、２Ｘｎ個の空隙を 形成する。より詳細には、Ｋ本の腕１０４を有する完成品モーターに関しては、 ｎ個の橋架は要素につき、ＫＸ２Ｘｎ個の空隙が存在する。

図１０に示した本発明のマイクロモーターの第７実施態様では、先の実施態様と 同様に、回転子１１０の１本の腕１１４につき一つだけの橋架は要素４０ａが付 与される。この要素４０ａは、その各先端に配置された二つの対向電極２６を含 んで成る。このように、このマイクロモーターは二つの対向電極群ｇ７１及びｇ ７２を含んで成るが、これらはここでは二つの電極群Ｇ７１及びＧ７２と連合す る。この実施態様は１本の腕につき三つの空隙ＥＦ７１〜ＥＦ７３を有する。

回転子の３腕に対して、ｎ＋１個の電極群と協同するｎ＋１個の対向電極をそれ ぞれ含んで成るｎ個の橋架は要素が配置されて、２Ｘｎ＋１個の空隙を形成する 。マイクロモーターに対しては、ＫＸ　（２Ｘｎ＋１）個の空隙が得られる。

図１１の実施態様では、３腕１２４に対して一つの第２ｔａ架は要素４０ｂが付 与され、この要素４０ｂはその先端に第３対向電極２６を含んで成る。このよう に、先の実施態様と比較すると、第３対向電極群ｇ８３が配置されている。この 実施態様では、３腕１２４に対して、三つの対向電極２６と連結した二つの橋架 は要素４０ａ及び４０ｂが付与され、マイクロモーター全体に三つの対向電極群 ｇ８１〜ｇ８３を形成する。３腕１２４に対して、これらの三つの対向電極２６ は二つの電極群Ｇ８１及びＧ８２と協同し、このように四つの空隙を形成する。

より詳細には、３腕１２４に対して、ｎ個の電極群と協同するｎ＋１個の対向電 極に連結したｎ個の橋架は要素が付与されて、１本の腕につき２Ｘｎ個の空隙、 マイクロモーターに関してＫＸ２Ｘｎ個の空隙を構成する。

この実施態様においては、第２橋架は要素４０ｂの自由端に配置された末端の対 向電極群ｇ８３が、第２電極群Ｇ８２の外側に配置されていることに着目される 。

この概念は、第２群ｇ６２の補足対向電極が単一の電極群Ｇ６１の外側に配置さ れている、図８及び９の実施態様の概念に類似する。

ここで本発明のマイクロモーターの第９実施態様を示す図１２を参照する。この 実施態様では、３腕１３４は、ここでは三つの電極群Ｇ９１．Ｇ９２、及びＧ９ ３とそれぞれ協同する三つの対向電極２６に結合した二つの橋架は要素４０ａ及 び４０ｂを含んで成る。このように、３腕１３４に対して、ｎ＋１個の電極群と 協同するｎ＋１個の対向電極をそれぞれ含んで成るｎ個の橋架は要素が付与され て、２Ｘｎ＋１個の空隙を形成する。Ｋ本の腕を有するマイクロモーターに関し ては、ＫＸ　（２Ｘｎ＋１）個の空隙が得られる。

ここで本発明のマイクロモーターの第１０実施態様を示す図１３．１４、及び１ ４ａを参照する。回転子１４０は、駆動すべき機構（図示なし）の大歯車１５２ とかみ合うように適合させた小歯車１５１を含んで成る。小歯車１５１は、約９ ０°で互いに角度をなして分かれ出た四つの橋架は要素４０ｅにより、回転子１ ５０の案内部分２２に統合されている。

この実施態様では、図１３及び１４ａに詳細に示されるように、橋架は要素４０ ｅは、軸Ａを横切って延長する非常に短い長さの棒４２ａの一部分から成り、そ して案内部分２２の上面に固定された一つの接続ブラケット２８に統合されてい る。接続ブラケット２８と同様に、小歯車１５１及びそれが統合している棒４２ ａの一部分は同じ材料でできており、そして以降に説明するように、同じ製造段 階中に形成することができる。

このように、静電場面ＰＣＥ上に上昇させた橋架は要素４０ｅは、駆動機構の大 歯車１５２から成る補足部材と協同するように適合された機械的機能要素を形成 する小歯車１５１を支持する。この補足部材は、三つの電極群Ｇ１０１〜Ｇ１０ ３及び四つの対向電極群ｇ１０１〜ｇ１０４の内側の、静電場面ＰＣＢの外側に 位置する。

別の例においては、図示しないが、接続ブラケ・ノド２８が小歯車１５１の下の その右側に直接配置されて、棒部分４２ａが省略される。

図１５及び１５ａは本発明のマイクロモーターの第１１実施態様を示す。３腕１ ５４は、その自由端において、対向電極２６の上部に補足橋架は要素４０ｆを含 んで成る。この要素４０ｆは、その先端において、駆動すべき機構の小歯車１６ ２とかみ合うように適合させた大歯車１６１を含んで成る。

橋架は要素４０ｆは、第１及び第２対向電極群ｇ１１１およびｇ１１２の二つの 対向電極２６を支持する橋架は要素４０ａよりも約３倍の長さを有する（このモ ーターの配置は、図８及び９の実施態様のモーターと似ている）。このように、 電極群Ｇ１１１並びに対向電極群ｇ１１１及びｇ、１１２の外側に配置させた大 歯車１６１は、電極４から横方向に隔離され、そして電極４を静電的に妨害しな い。図１５ａによってより明確にわかるように、この大歯車１６１は、これが橋 架は要素４０ｆの棒４２ｂによって支持され、要素４０ｆが橋架は要素４０ａの 棒４２の延長部に配置されているので、静電場面の外側に配置される。大歯車１ ６１と同様に橋架は要素４０ａ及び４０ｆが同じ材料でできており、そして同じ 製造工程の間で製造されることを強調する。

記述したすべての実施態様において、一方では回転子の対向電極２６が、そして 他方では固定子要素４が、中心に対して実質的に等しい角度を示す幾何学的扇型 内に付与されることに着目される。さらに、対向電極２６の各群は四つの対向電 極を含んで成り、そしてそのそれぞれの中心軸Ｘｃｅは、互いに約９０°の角度 Ｘ１をなして分かれ出ている。一方各電極群は六つの電極を含んで成り、そして その軸Ｘｅは約６０＠の角度Ｘ２をなしてそれぞれ分かれ出ている。このように 、正反対に向いた二本の腕の対向電極２６が電極４の集成体Ｅｎと実質的に一致 するときには、他の二本の腕の対向電極２６は固定子１の他の二つの電極集成体 ４と部分的に同時に重複するということができる。このように、正反対に向いた 二本の腕の対向１ｉｉ２６が、正反対に向いた二つの電極集成体４によって静電 的に引き付けられたときには、他の腕の対向電極が、これらを引き付けることが できる電極集成体４にすでに引き込まれている。このように、このモーターを駆 動するには、正反対に向いた二つの電極集成体（または二つの電極）に結合した 二つの給電端子に同時に給電し、次いで先の集成体に近接した二つの電極集成体 （または二つの電極）に結合した給電端子に給電することが理解される。マイク ロモーターが連続回転または段階回転で、一方向的または二方向的に駆動するこ とを可能にする回転領域がこのように作り出される。回転子は、適用された場に 対して反対方向に回転するので、可変容量及び反同位相型の放射場静電モーター がこのように構成される。

図１を参照し、そして電極集成体Ｅ２及びＥ５が給電されたと仮定すると、対向 電極の集成体ｅ２及びＯ４が上述の集成体Ｅ２及びＥ５と一致するので、回転子 は時計の針の方向（矢印Ｒ）に移動することに着目される。同時に、対向電極集 成体ｅ１及びＯ３が電極集成体Ｅ１及びＥ４と重複する。

このように、モーターを一段階進めるためには、電極集成体Ｅ１及びＥ４に同時 に給電する必要がある（矢印Ｓ）。このように、集成体Ｅ２（及びＥ５）の給電 を集成体Ｅｌ（及びＥ４）に送ること、そしてこのことが時計の針の方向（矢印 Ｒの方向）に対して反対の方向であることに着目される。

ここで図１６〜４６を参照して、図１及び２を参照して記述した第１実施態様の ような静電マイクロモーターを製造する写真平版微小製造方法を以降記述する。

これらの図が非常に略図的であり、そしてこれらが先述の図の寸法と正確には対 応しないことに注意すべきである。これらの図において、マイクロモーターの各 種部品は同じ寸法比率を有さない。

これらの図１６〜４６は、製造工程における３０段階にそれぞれ対応する。第１ 段階では、二酸化珪素（ＳｉＯ□）の層２００を、好ましくはシリコン（Ｓｉ） の基板２上に熱酸化によって堆積させる。

第２段階では、適当なマスクＭ１、及びＢＨＦとして知られているフン化水素緩 酸のような酸による化学的エツチングを用いて二酸化珪素層２００を成形して、 基板２に下降する大きな開口部を露出させ、そしてその基板上面への接近を許容 する。

第３段階では、化学蒸着法を用いてＳｉｎｇの二つの層２０２及び２０４をウェ ファ−Ｐの全面に堆積させる。層２０２は、以降「ドーピング」として示される （ｎ）型ドーピング不純物を含んで成る。

次いで第４段階では、層２００の下に位置した周辺の縁を除く基板２の大部分を ドープするように、ウェファ−Ｐをアニールしてドーピング酸化物層２０２を拡 散させる。

次いで第５段階では、基板２のドープした領域及び周辺の二酸化珪素Ｎ２００だ けを残すように、ＳｉＯ□のＮ２Ｏ２及び２０４をエツチングする。基板２のド ープした領域が平面部材３６を形成し、一方周辺層２００が固定子１の絶縁層５ ０の一部を形成する。この同じ段階において、化学蒸着法によってＳ　ｉ　Ｏ２ の新たな層２０６をドープした領域３６及び周辺層５０の上に堆積させる。この 層２０６がウェファ−Ｐの外側に対する拡散障壁を形成する。

このように、これら五つの製造段階の間に、図２に見ることができるように、中 央リング３０に給電するように適合させた第１導電１’ｉ３６が、実質的に基板 の全面上にとりわけ配置される。

この層３６が、回転子及びその対向電極に給電することを可能にする。

ここで図２１及び２２を参照すると、これらは本発明に従う方法のさらなる段階 を示す。

第６段階の間では、接地面３６及び続いて堆積して成形される電極４の間の電気 的絶縁を許容するように適合させた５ＩＯ２の層２０８が、熱酸化によってウェ ファ−Ｐの全面上に付与される。

第７段階では、窒化珪素（Ｓ　ｉｓ　Ｎ４）の層２１０を低圧化学蒸着法によっ て堆積させる。本方法における第２の重要段階を成すこれら二段階６及び７にお いて、図２に示された層５０に対応する第１を気ｗＡ縁１２０８が配置される。

層２１０は層５２（図２）を形成する。

第８段階では、低圧化学蒸着法によって、ウェファ−Ｐの全面上、すなわち先に 堆積させたＳｉ、Ｎａ層２１０の上に、ポリシリコンの第１層２１２を堆積させ る。この工程をより容易に理解できるようにするため、このポリシリコン層２１ ２をｒＰｏｌｙｓｉ　ＩＪと称する。

第９段階では、このポリシリコン層上に化学蒸着法によってドーピング酸化物層 ２１４を堆積させ、次いでウェファ−Ｐをアニールしてドーピング剤をＰｏ１ｙ Ｓｉ　１層に拡散させることにより、ポリシリコン層を電気的にドープする。

第１０段階では、−ｆｆｆｌのマスクＭ２及びＢＨＦ酸を使用して、第９段階で 堆積させたドーピング酸化物層２１４を成形する。

第１１段階では、前記組のマスクＭ２を使用してプラズマ写真平版によってポリ ２９３フ１層２１２を成形し、第７段階で堆積させた窒化珪素層２１０を表面化 させる。

次いで、第１２段階では、ＢＨＦ酸を使用して層２１４の残存するドーピング酸 化物をエツチングし、成形されたポリ２９３フ１層２１２を完全に露出させる。

この段階（第８〜１２段階）において、固定子の電極４に給電するように適合さ せたストリップ導体６（図１参照）が、前記組のマスクＭ２によってポリシリコ ン中に形成される。

第１３段階では、低圧化学蒸着法によって、ウェファ−Ｐ全面上に窒化珪素Ｓｉ 、Ｎｉの第２層を堆積させる。この第２窒化珪素層は続く化学的エツチングの間 下層を保護し、そしてモーターが駆動している間の摩擦係数（回転子２２は回転 子１上の突出要素２３に支えられる、図２参照）を低減するのに役立つ。このよ うに、この層２１６はまた、摩擦に対する保護を提供することによってマイクロ モーターの機械特性を向上させることもできる。このＮ２１６は図２の層５４に 対応する。

ダイヤモンドのような他の材料がこの機能を満たし、そしてＳ　ｌ　３　Ｎ４の 代わりに堆積させることができることに着目すべきである。

第１４段階では、英略字ｒｐｓｃ、とじて一般に知られているホスホシリケート ガラス層２１８を、ウェファ−Ｐ上に堆積させる。

第１５段階では、ウェファ−Ｐをアニールして、層２１８の外側表面を平滑にす る。この層２１８をｒＰＳＧ　ＴＪ層と称する。

第１６段階では、マスクＭ３を用いてＰＳＧ　Ｉ層中に開口部を作製し、そして 以下に説明するように、回転子２２の突出要素２３を形成する。このＰＳＧ　Ｉ Ｊｉの改変は、緩衝化したフン化水素酸を使用する化学的エツチングによって行 われる。

第１７段階では、化学蒸着法によってドープした酸化物層２１９を堆積させて、 化学的エツチングの間に露出した第２窒化珪素層２１６をコーティングすること を可能にする。

第１８段階では、以降の段階かられかるように、固定子電極４用の支持体１０を 提供するために、追加の開口部をＰＳＧＩ層２１層中１８中する。この場合は、 写真平版プラズマ法が用いられる。このようにこの第１８段階では、ストリップ 導体６のある部分の右側の層２１８のある領域が除去され、しかしストリップ導 体６のこれらの部分上の窒化珪素層２１６の部分もまたエツチングされることに 着目される。

第１９段階では、ポリシリコンＩＩと称されるポリシリコンの第２層２２０を、 低圧化学蒸着法を用いてウェファ−上に堆積させる。

第２０段階では、−組のマスクＭ５を用いるプラズマ写真平版法によってポリシ リコンＩＩの第２層を成形して、案内部分２２、固定子の電極４、回転子の電極 ２６、及びおそらく固定子の電極４に給電するように適合させた給電端子８をも 規定する。この段階では図９〜１５の延長部１０５をも同時に作製することがで きる。

第２１段階では、構造要素（２２，４，２６、及び８）の下部に位置していない 部分のＰＳＧ　１層２１８が、−組のマスクＭ５によって及びプラズマをも使用 して成形される。

ここでは、これらの構造要素の下部に存在する部分のＰＳＧＩ層２１８が、次い で化学的エンチングによって除去されることになる犠牲層を構成することに着目 すべきである。このように第１４〜２１段階では、少なくとも一層の固定子電極 ４、並びに同時に回転子の案内部分２２、少なくとも一つの回転子電極２６、及 び好ましくは給電端子８、並びに任意的に延長部１０５が、マイクロモーターの 回転軸の回りに角度をなして分かれ出るように（図１）組み立てられた第１犠牲 層の挿入物とともに形成されたことに着目される。このようにこれらの段階１４ 〜２１は、本発明の工程において本質的な補助段階を構成する。

第２２段階（図３７）では、前段階にて形成された機能素子上に、ホスホシリケ ートガラス（ＰＳＧＩＩ）の第２層２２２を化学蒸着法によって堆積する。

第２３段階では、ＰＳＣ，ＩＩの第２層の一部、並びに窒化珪素の二層２１６， ２１０及び二酸化珪素層５０のある領域を、プラズマ写真平版成形によってエツ チングする。このようにこの段階は、中央リング３０の認識、並びに接地面３６ の給電端子３日の認識を作製する。この成形は一組のマスクＭ６を用いて行われ る。

第２４段階では、マスク７と共にプラズマ写真平版法を再度用いてＰＳＧ　ＩＩ の第２層２２２のある部分を作製し、それを案内部分２２に且つ接続ブラケット ２８の対向電極２６に固定すること、並びにあるいはストリップ６の給電を許容 する給電端子３９（図３１）の形成を許容する。

第２５段階では、ポリシリコンＩＩＩと称されるポリシリコンの第３層２２４を 、低圧化学蒸着法を用いてウェファ−全面に堆積する。

次いで第２６段階では、マスクＭ８と共にプラズマ写真平版法を用いて、必要な 機能部分だけを残すようにポリシリコンＩＩＩの第３層２２４を成形する。この ように、ホスホシリケートガラス（ＰＳＧＩＩ）の第２層２２２の一部が露出す る。

第２７段階では、ウェファ−ＰをアニールしてポリシリコンＩＩ及びＩＩＩのそ れぞれ第２及び第３層のドーピングを許容してこれらを導電性にする前に、ドー ピング酸化物５ｉｎ２の層２２６を、蒸着法を用いてウェファ−Ｐの全面に堆積 させる。

第２８段階では、犠牲層の最も接近しやすい部分（すなわち、表面に露出した部 分）を酸でエツチングして、給電端子上へのアルミニウムの堆積に備える。

このように、これらの段階２２〜２８において、回転子電極４、給電端子８、中 央案内リング３０、しかしまた上述のように機械的または電気的機能部材と連結 して回転子の高架腕を構成する各種橋架は要素４０が、第２犠牲層の挿入物と共 に且つ案内部分２２の上に形成される。

この工程において、一つの対向電極２６が機能素子として唯−示されているが、 図１４及び１５のそれぞれ小歯車１５１または大歯車１６１をも示すことはもち ろん可能であった。

第２９段階では、アルミニウムＮ２２８をウェファ−Ｐ上に蒸発によって堆積さ せる。

第３０段階では、給電端子８及び３８上に一層のフィルムを残し、そして電子制 御回路（図示なし）への接続を許容するために、マスクＭ９を使用してアルミニ ウム層２２８を改良する。

第３１段階では、ホスホシリケートガラスＰＳＧ　Ｉ及びＰＳＧ　ＩＩの二層に よってそれぞれ形成された残る犠牲層を、フン化水素緩酸（ＢＨＦ）を用いて比 較的長い時間エツチングする。

下部の犠牲層の化学的エンチングを促進するため、回転子の案内部分２２は、妨 害のない軸方向の開口部２５を適当に分布して含んで成り、エツチング酸のより よいイリゲーションを許容する。

さらに、単一の回転子電極４のみが示されているが、図１の群Ｇ１〜Ｇ３のよう にいくつかの同軸電極群を同時に製造することが可能であることは明白である。

給電端子８の代わりに、その上のアルミニウム層を除去することによって電極群 ４を形成させることは可能である。

同様に、同時に且つ同じ層を用いて、電極群Ｇｎの両側に配置させた図１の群ｇ １〜ｇ４のようないくつかの対向電極群を製造することが可能である。橋架は要 素４０ａ〜４０ｄもまた同時に製造される。それらは、電極及び対向電極とは別 のポリシリコン層（特に、ポリシリコン層ＩＩＩ　）で製造される。各橋架は要 素は互いの延長部に配置されており、その接続ブラケット２６は、下部層によっ て形成された対応する対向電極上または案内部分２２に固定される。

このように、中央リング３０と同時に都合よく製造されうる橋架は要素の配置に より、回転子及び小歯車または大歯車間の賢明な機械連結によって偶力を伝達さ せる問題、並びにかみ合い構造の構成による空隙数の増加によって伝達可能なモ ーター偶力を増大させる問題の両方を解決することが可能となった。

Ｆ：ＥＦ、Ｇ３２６３ブ７０ ｅ９　ブ０４ ！−一」Ｌ−一１ 本発明は、写真平版微小製造法によって製造された放射場静電マイクロモーター に関する。

本モーターは、前記マイクロモーターの回転軸の回りに互いに角度をなして分か れ出ているいくつかの電極群を備えた固定子、前記固定子電極と協同するように 適合させた対向電極を有してそれらの間に空隙を形成する少なくとも一つの腕を 有する導電回転子、並びに前記回転子を回転運動あるいは並進運動で駆動するよ うに適合させた案内リングを有し、本マイクロモーターは、マイクロモーターの 静電場面（ＰＣＥ）より上の少なくとも一部分に配置されている少なくとも一つ の橋架は要素を含んで成る回転子を有し、前記要素は、前記静電場面の内側また は外側及び前記固定子電極群の内側または外側に配置されている一つ以上の補足 部材と協同するように適合させた一つ以上の機械的または電気的機能部材を有す る回転子の高架腕を構成する。

本マイクロモーターは、連続回転または二方向性回転において、非常に小型化さ れた機構の段階的駆動を行うのに適している。

国際調査報告 国際調査報告

Claims (18)

【特許請求の範囲】
1. １．写真平版微小製造法によって製造された放射場静電マイクロモーターであっ て、 前記マイクロモーターの回転軸の回りに角度をなして分かれ出た複数の電極の少 なくとも一群を有する固定子であって、前記電極が基板上に支持された制御回路 に電気的に接続されている固定子、 好ましくは少なくとも一部分は導電性材料から成る回転子であって、実質的に静 電場面を選定した一平面において、各固定子電極を横切って通過するように適合 させた少なくとも一つの対向電極を有し、これによって前記対向電極及びその対 応する電極間の遊びが空隙を形成する回転子、電力供給を受けるように適合され そして前記基板に統合されている軸受を形成するリングであって、前記回転子が 、前記対向電極が統合されている案内部分によってこのリングの回りを回転でき るようにそして任意的に並進するように案内され、前記回転子が静電場面より上 の少なくとも一部に配置された少なくとも一つの橋架け要素を含有し、前記要素 が、停電場面の内側または外側に及び前記固定子電極群の内側または外側に配置 された一つ以上の補足部材と協同するように適合した一つ以上の機械的または電 気的機能部材を支持する回転子の高架腕を構成するリング、 を含んで成る型のマイクロモーター。
2. ２．前記部材が、第１群を形成する前記電極と、前記第１群に同軸的に配置され た第２電極群との間に配置された前記回転子の対向電極から成り、前記対向電極 と前記第２電極群との間の遊びが第２空隙を形成している、請求の範囲１記載の マイクロモーター。
3. ３．前記回転子の各腕がｎ個の橋架け要素を有し、そのあるものが他の延長部に 配置され、前記ｎ個の橋架け要素が、同軸様式で配置された少なくともｎ個の電 極群とかみ合うように協同するｎ個の対向電極をそれぞれ有して、少なくとも２ ×ｎ−１個の空隙を形成する、請求の範囲１記載のマイクロモーター。
4. ４．ｎ＋１個の電極群を有し、それらが組をなして静電場領域を形成し、前記領 域内において前記対向電極の一つが移動して、２×ｎ個の空隙を形成する、請求 の範囲３記載のマイクロモーター。
5. ５．前記部材が、第２対向電極を選定した補助対向電極から成り、前記第２対向 電極が固定子電極群の外側に配置され、前記第２対向電極と前記電極群との間の 遊びが補助空隙を形成する、請求の範囲１記載のマイクロモーター。
6. ６．前記回転子の各腕がｎ個の橋架け要素を有し、そのあるものが他の延長部に 配置され、前記ｎ個の橘架け要素が、少なくともｎ個の電極群と協同するｎ＋１ 個の対向電極をそれぞれ有して、少なくとも２×ｎ個の空隙を形成する、請求の 範囲５記載のマイクロモーター。
7. ７．ｎ＋１個の電極群を有して、ｎ＋１個の対向電極と共に２×ｎ＋１個の空隙 を形成する、請求の範囲６記載のマイクロモーター。
8. ８．前記橋架け要素が、駆動機構の大歯車または小歯車とかみ合うように適合さ せたそれぞれ小歯車または大歯車から成る、請求の範囲１記載のマイクロモータ ー。
9. ９．前記橋架け要素が、前記回転子の対向電極から成る電気的機能部材以外に小 歯車または大歯車を有する、請求の範囲８記載のマイクロモーター。
10. １０．前記ｎ番目の橋架け要素または末端橋架け要素が前記大歯車を含んで成る 、請求の範囲８記載のマイクロモーター。
11. １１．前記小歯車または前記大歯車が、好ましくは前記回転子上に正反対に配置 された少なくとも二つの橋架け要素によって前記回転子に統合されている、請求 の範囲１記載のマイクロモーター。
12. １２．前記小歯車または前記大歯車が、互いに約９０°をなして分かれ出ている ４本の腕によって前記回転子に統合されている、請求の範囲１１記載のマイクロ モーター。
13. １３．請求の範囲１記載のもののような静電モーター用の写真平版製造法であっ て、 ａ）好ましくは、マイクロモーターの回転子の案内部分を案内且つ接触すること ができる中央リングに給電するように適合させた第１導電層を、基板全面にわた り実質的に提供すること、 ｂ）前記導電層上に少なくとも一つの第１電気絶縁層を提供すること、 ｃ）前記第１絶縁層上に、マイクロモーターの制御回路によって固定子電極に給 電するように適合させたストリップ導体を形成すること、 ｄ）前記層上の少なくとも一部に、保護機能並びに摩擦低減及び電気絶縁機能を 有する一層を好ましくは堆積すること、ｅ）第１犠牲層の挿入物と共に、マイク ロモーターの回転軸のまわりに角度をなして分かれ出ている少なくとも一つの電 極群、並びに同時に前記回転子の前記案内部分及び前記回転子の少なくとも一つ の対向電極を形成すること、ｆ）前記電極及び前記対向電極上、並びに第２犠牲 層の挿入物を有する前記案内部分上に、前記中央リング、並びに小歯車または大 歯車のような少なくとも一つの機械的または電気的機能部材と連合するように適 合させた回転子の高架腕を構成している少なくとも一つの橋架け要素を形成する こと、ｇ）そして次いで化学的エッチングによって前記犠牲層を除去すること、 を含んで成る、静電モーターの写真平版製造法。
14. １４．前記ｆ）段階が、給電端子及び電極を同時に形成する、請求の範囲１３記 載の方法。
15. １５．前記ｅ）段階において、前記回転子の前記案内部分と前記対向電極との間 に機械的連結を提供するように適合させた少なくとも一つの腕様延長部が形成さ れる、請求の範囲１３記載の方法。
16. １６．前記ｅ）段階において、いくつかの同軸的に配置された電極群（Ｇｎ）が 同時に形成される、請求の範囲１３記載の方法。
17. １７．前記ｅ）段階において、前記対向電極群のどちらかの側に配置されたいく つかの対向電極が製造される、請求の範囲１５記載の方法。
18. １８．前記ｆ）段階において、あるものが他の延長部に実質的に並べられそして 対応する下部の対向電極と連合する、いくつかの橋架け要素が同時に製造される 、請求の範囲１６記載の方法。