JPH0449536Y2 - - Google Patents

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JPH0449536Y2
JPH0449536Y2 JP18151186U JP18151186U JPH0449536Y2 JP H0449536 Y2 JPH0449536 Y2 JP H0449536Y2 JP 18151186 U JP18151186 U JP 18151186U JP 18151186 U JP18151186 U JP 18151186U JP H0449536 Y2 JPH0449536 Y2 JP H0449536Y2
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capacitance
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operational amplifier
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 <産業上の利用分野> 本考案は、差圧あるいは圧力などによる変位を
静電容量を介して電気信号に変換する変位変換装
置に係り、特にその精度を向上させた変位変換装
置に関する。
<従来の技術> 第8図に本考案の改良のベースとなる特願昭60
−49656号「容量式変換回路」に開示されている
従来の変位変換装置を示し、これについて説明す
る。
G1は一方の入力端に変位を検出するセンサと
しての可変容量CXの一端が接続され他方の入力
端に一定電圧Vsが印加された演算増幅器であり、
その出力端は可変容量CXの他端に接続されてい
る。
G2はヒステリシス特性をもつ比較器であり、
その入力端に演算増幅器G1の出力が与えられて
いる。この比較器G1は、例えば第9図で示すよ
うなインバータG21、G22を2段カスケード接続
し入力抵抗Rsと帰還抵抗Rfの2本の抵抗を接続
したシユミツト・トリガ回路が用いられている。
比較器G2の出力端と演算増幅器G1の反転入力
端(−)との間には定値電流制限回路CCが接続
され一定電流iが流されている。
次に、このように構成された変位変換装置の動
作について第10図に示す波形図を参照して説明
する。
第10図イは演算増幅器G1の出力端B1におけ
る電圧波形、第10図ロは比較器G2の出力端C1
における電圧波形である。なお、演算増幅器G1
の反転入力端(−)であるA1点における電圧は
一定である。
比較器G2の出力端C1のレベルがハイレベルに
あるときは一定電流iが可変容量Cxに流れ込む。
これによりA1点のレベルが上がろうとするが演
算増幅器G1の出力端B1のレベルが下がり可変容
量Cxの他端のレベルを下げA1点が一定電圧Vsに
なるように制御される。
一方、比較器G2として第9図に示すシユミツ
ト・トリガ回路を用いた場合、この回路のH側の
スレツシユホールド電圧VuとL側のスレツシユ
ホールド電圧Vlは次のように概算される。
Vu=(Rs+Rf)・Vth/Rf ……(1) Vl={(Rs+Rf)/Rf}×{Vth−(RsE)/(Rs
+Rf)} ……(2) B1点のレベルが比較器G2のL側のスレツシユ
ホールド電圧Vlに達すると比較器G2の出力がハ
イレベルからローレベルに反転する。これによ
り、一定電流iが可変容量Cxより流れ出てA1
の電流が下がろうとするが、演算増幅器G1の出
力端B1のレベルがあがり可変容量Cxの他端の電
位を上げA1点を一定電圧Vsに保つ。
出力端B1のレベルが上がり比較器G2のH側の
スレツシユホールド電圧Vuに達すると、比較器
G2の出力がローレベルからハイレベルに反転し、
最初の状態に戻る。以後この様な状態が繰り返し
て行われ、 T1={CX・(Vu−Vl)}/i ……(3) なる周期での発振が行われる。
<考案が解決しようとする問題点> しかしながら、この様な変位変換装置では変位
を検出するセンサを小形化する場合に、可変容量
Cxを構成する電極相互の距離は変化させずに電
極自身の面積を小さくする。この様な構成にする
と変位のスパンは変えずに効果的に小形化するこ
とができるが、可変容量Cxの値が小さくなる。
その結果、発振周波数が高くなり変換回路の遅れ
が無視出来なくなる。
そこで、発振周波数を低くするために一定電流
iを小さくしてもよいが、回路基板の絶縁などの
影響を受けるという問題がある。
<問題点を解決するための手段> この考案は、以上の問題点を解決するために、
検出すべき変位に応じて容量が変化する可変容量
と、この可変容量の一端に一端が接続された固定
容量と、一方の入力端に固定容量の他端が接続さ
れ他方の入力端に一定電圧が印加され出力端が固
定容量の一端に接続された演算増幅手段と、可変
容量の他端を演算増幅手段の入力端のいずれかに
選択的に切替える切換手段と、ヒステリシス特性
を持ち入力端に演算増幅手段の出力が印加された
比較手段と、この比較手段の出力端と可変容量の
他端との間に接続された電流制限手段と、比較手
段の出力に関連したパルス信号を用いて所定の演
算を実行して変位に対応した出力を出す共に切換
手段を制御する制御信号を出力するマイクロコン
ピユータとを具備するようにしたものである。
<実施例> 以下、本考案の実施例について図面に基づき説
明する。第1図は本考案における容量/時間変換
部の第1の実施例を示す回路図である。なお、従
来の技術と同一の機能を有する部分には同一の符
号を付し適宜にその説明を省略する。
演算増幅器G1の反転入力端(−)であるA2
とその出力端B2との間には固定容量CFが接続さ
れている。更に、スイツチSW1は制御信号CSが
インバータG3を介して得た信号によりその開閉
が制御される。
次に、以上のように構成された実施例の動作に
ついて第2図に示す波形図を参照して説明する。
第2図イはスイツチを制御する制御信号CSの
波形、第2図ロは演算増幅器の出力端B2におけ
る波形、第3図ハは比較器の出力端C2の波形を
それぞれ示す。
まず、制御信号CSがハイレベルHの場合には、
スイツチSW1は演算増幅器G1の反転入力端(−)
側に接続され固定容量CFと可変容量CXとが並列
に接続される。この場合には第8図における回路
と同一となり第10図に示す波形と同一の波形
(第2図)となる。したがつて、(3)式において可
変容量CXの代りに(CX+CF)とおいたものと同
一の次式を得る。
T1={(CX+CF)(Vu−Vl)}/i ……(4) 次に、制御信号CSがローレベルLの場合には、
スイツチSW1は演算増幅器G1の非反転入力端
(+)側に接続され固定容量CFのみが演算増幅器
G1の反転入力端(−)側に接続される。
したがつて、この場合の周期T2は次式のよう
になる。
T2=CF(Vu−Vl)/i ……(5) ここで、発振回路の遅れが無視できず、tdなる
遅れを持つ場合には、(4),(5)式は次のようにな
る。
T1′={(CX+CF)(Vu−Vl)/i}+td ……(6) T2′={CF(Vu−Vl)/i}+td ……(7) この(6),(7)式を用いるとCXは、 CX=i(T1′−T2′)/(Vu−Vl) ……(8) となり、遅れtdを除去することができる。
この場合、比較器G2の出力端B2が電源電圧E
で決まるハイレベルとローレベルの2通りの値し
か取らないので、定値電流制限回路CCを定抵抗
Rに置き換えても同様に動作する。
第3図は本考案における容量/時間変換部の第
2の実施例を示す回路図である。この例は差動容
量を用いた場合の実施例を示す。
可変容量CLが第1図の可変容量CXに対応し、
可変容量CHが新たに追加されている。可変容量
CHの一端は演算増幅器G1の出力端B2に接続され、
その他端はスイツチSW2を介して演算増幅器G1
の反転入力端(−)あるいは非反転入力端(+)
のいずれかに接続される。
CTはnビツトのカウンタであり、比較器G2
出力端C3のパルスの数をnビツト計数して出力
端D3に出力する。LTはラツチであり、そのデー
タ端子Dには制御信号CSが、クロツク端子CLに
はカウンタCTの出力パルスがそれぞれ印加され
ている。
ナンドゲートG4の入力端の一方にはカウンタ
CTの出力パルスがインバータG5を介して印加さ
れ、その他方にはラツチLTの出力が印加されて
おり、ナンドゲートG4の出力でスイツチSW1
制御する。
ナンドゲートG6の入力端の一方にはカウンタ
CTの出力が印加され、その他方にはラツチLTの
出力が印加されており、ナンドゲートG6の出力
でスイツチSW2を制御する。
次に、以上の如く構成された第3図に示す実施
例の動作について第4図に示す波形図を用いて説
明する。
第4図イに示す制御信号CSがラツチLTに印加
され、ラツチLTの出力がハイレベルでカウンタ
CTの出力もハイレベルのとき(第4図ロ)は、
スイツチSW1により固定容量CLは演算増幅器G1
の非反転入力端(+)側に接続され、さらにスイ
ツチSW2により固定容量CHは演算増幅器G1の反
転入力端(−)側に接続される。
したがつて、可変容量CLに基づく発振周波数
で発振し、演算増幅器G1の出力端には第4図ホ
に示すような波形を、比較器G2の出力には第4
図ニに示すような波形を得る。このときのカウン
タCTでnビツト計数したときの発振周期THは第
1図の場合と同様にして TH=n(CF+CH)(Vu−Vl)/i+Td ……(9) となる。
次に、ラツチLTの出力がハイレベルでカウン
タCTの出力がローレベルのとき(第4図ロ)は、
スイツチSW1により固定容量CLは演算増幅器G1
の反転入力端(−)側に接続され、さらにスイツ
チSW2により固定容量CHは演算増幅器G1の非反
転入力端(+)側に接続される。
したがつて、可変容量CHに基づく発振周波数
で発振し、比較器G2の出力には第4図ニに示す
ような波形を得る。このときのカウンタCTでn
ビツト計数したときの発振周期TLは第1図の場
合と同様にして TL=n(CF+CL)(Vu−Vl)/i+Td……(10) となる。
更に、制御信号CSが第4図イに示すようにロ
ーレベルに反転し、この後カウンタCTの出力が
立上がるとこれに同期してラツチLTの出力がロ
ーレベルに反転(第4図ロ)する。この状態で
は、可変容量CH、CLとも演算増幅器G1の非反転
入力端(+)側に接続され、固定容量CFが演算
増幅器G1の反転入力端(−)側に接続される。
したがつて、固定容量CFに基づく周波数で発振
する。その周期TFは次のようになる。
TF=nCF(Vu−Vl)/i+Td ……(11) そこで、(9)〜(11)を用いて可変容量CHとCL
は次のように求められる。
CH=i(TH−TF)/{n(Vu−Vl)}……(12) CL=i(TL−TF)/{n(Vu−Vl)}……(13) ここで、(8)式、或いは12、13式の演算および制
御信号CSの送出について第5図、第6図を用い
て説明する。
第5図において、容量/時間変換部CTVは第
1図あるいは第3図に示す容量/時間変換部に相
当するが、ここでは第3図に示す差動容量を用い
る場合について説明する。
10は時間/容量変換部CTVからのパルス信
号が入力されて信号処理をして出力するマイクロ
コンピユータ部である。11は時間信号をデジタ
ル値に変換するタイマカウンタである。12は
RAM(ランダムアクセスメモリ)、13はROM
(リードオンリーメモリ)でありこれらのアドレ
ス指定はCPU(プロセツサ)14からバス15、
ラツチデコーダ16を介してなされる。
タイマカウンタ11からの出力データはデータ
バス17を介してRAM12に格納される。
ROM13にはし所定の演算プログラムおよび初
期データが格納されており、CPU14の制御の
もとにROM13に格納された演算手順に従つて
演算され、その結果はRAM12に格納される。
18はコントロールバスであり、CPU14によ
りタイマカウンタ11、RAM12、ROM13
の動作を制御すると共に容量/時間変換部CTV
へ制御信号CSを出力する。
最終の演算結果はタイマカウンタ19によりデ
ユテイ信号に変換され、このデユテイ信号はデユ
テイ/アナログ変換部20でアナログ信号に変換
されて出力端21に出力される。
次に、第5図に示すマイクロコンピユータ部で
の信号処理について第6図に示すフローチヤート
図をもちいて説明する。
まずステツプで初期データとして周期TF
ROM13からRAM12に設定される。次に可
変容量CHとCLを結合する部分の移動電極MDのバ
ネ定数K、固定容量CF、一定電流i、カウンタ
CTのビツト数n、電源電圧E、差圧ΔPがゼロの
ときの各可変容量CH、CLの値CoなどがROM13
からRAM12に設定される(ステツプ)。
ステツプでは、容量/時間変換部CVTから
その出力パルス信号の周期TH、TLが読み込まれ
る。次に、ROM13に内蔵された演算プログラ
ムにより12、13式の演算が実行され可変容量CH
CLが算出される(ステツプ)。
ステツプでの演算は次のようになされる。可
変容量CH、CLは各々次式で示される。
CH=Co/(1+KΔP) ……(14) CL=Co/(1−KΔP) ……(15) これらの式から、差圧ΔPは ΔP=(CL−CH)/{K(CL+CH)} …(16) と表せる。
したがつて、ステツプで得たCH、CLを用い
てROM13に内蔵された16式に示す演算プログ
ラムにより、差圧ΔPが演算され、更にバネ定数
Kを乗じることにより変位を求めることができ
る。
演算結果は、タイマカウンタ19、デユテイ/
アナログ変換器20を介して出力端21に出力さ
れる。
周期TFは短時間では変化しないので周期TH
TLの読込みに1/5〜1/10サイクルで周期TFを読込
んでよいので、ステツプでこの補正周期の判断
を行い、補正周期に達しないときはステツプに
戻り、補正周期に達するとステツプに移行し制
御信号CSを操作して周期TFを読み込み、以後こ
の周期を用いて(12)、(13)式の各演算が実行さ
れる。
第7図は本考案における容量/時間変換部の第
3の実施例を示すブロツク図である。
この場合は、可変容量CHとCLとを分離して比
較器G2に入力するようにしたものである。
従つて、これに対応して演算増幅器G1に対応
する一対の増幅器G7、G8、定値電流制限回路CC
に対応する一対の定値電流制限回路CC1、CC2
一定電圧Vsに対応する一対の一定電圧Vs1、Vs2
スイツチSW1に対応するスイツチSW3、スイツチ
SW2に対応するスイツチSW4、可変容量CH側と
CL側を切替えるために比較器G2の入出力端にそ
れぞれ挿入された新たなスイツチSW5、SW6およ
び固定容量CFに対応する一対の固定容量CF1、CF2
が設けられている。
スイツチSW3とSW4はラツチLTの出力で、ス
イツチSW5とSW6とはカウンタCTの出力でそれ
ぞれで制御される。
なお、この場合にはCF1=CF2、VS1=VS2に選定
する。
この場合の動作は第3図に示す回路とほぼ同じ
動作をする。
<考案の効果> 以上、実施例と共に具体的に説明したように本
考案によれば、従来の回路に固定容量を付加する
ことにより発振回路での遅れを除去することがで
きるので、センサを小形化しても精度よく変位を
測定することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案における容量/時間変換部の第
1の実施例を示す回路図、第2図は第1図におけ
る各部の波形を示す波形図、第3図は本考案にお
ける容量/時間変換部の第2の実施例を示す回路
図、第4図は第3図における各部の波形を示す波
形図、第5図は本考案におけるマイクロコンピユ
ータ部の構成を示すブロツク図、第6図は第5図
に示すマイクロコンピユータ部での信号処理につ
いて説明するフローチヤート図、第7図は本考案
における容量/時間変換部の第3の実施例を示す
回路図、第8図は従来の変位変換機の構成を示す
回路図、第9図は第8図における比較器の具体的
な構成を示す回路図、第10図は第8図における
各部の波形を示す波形図である。 G1,G7,G8……演算増幅器、G2……比較器、
G3,G5……インバータ、G4,G6……ナンドゲー
ト、CC……定値電流制限回路、CX,CH,CL……
可変容量、CF……固定容量、10……マイクロ
コンピユータ部、11……タイマカウンタ、12
……ランダムアクセスメモリ、13……リードオ
ンリーメモリ、14……プロセツサ、19……タ
イマカウンタ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 検出すべき変位に応じて容量が変化する可変容
    量と、この可変容量の一端に一端が接続された固
    定容量と、一方の入力端に前記固定容量の他端が
    接続され他方の入力端に一定電圧が印加され出力
    端が前記固定容量の一端に接続された演算増幅手
    段と、前記可変容量の他端を前記演算増幅手段の
    入力端のいずれかに選択的に切替える切換手段
    と、ヒステリシス特性を持ち入力端に前記演算増
    幅手段の出力が印加された比較手段と、この比較
    手段の出力端と前記可変容量の他端との間に接続
    された電流制限手段と、前記比較手段の出力に関
    連したパルス信号を用いて所定の演算を実行して
    前記変位に対応した出力を出す共に前記切換手段
    を制御する制御信号を出力するマイクロコンピユ
    ータとを具備することを特徴とする変位変換装
    置。
JP18151186U 1986-11-26 1986-11-26 Expired JPH0449536Y2 (ja)

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JP18151186U JPH0449536Y2 (ja) 1986-11-26 1986-11-26

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JP18151186U JPH0449536Y2 (ja) 1986-11-26 1986-11-26

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Publication Number Publication Date
JPS6387512U JPS6387512U (ja) 1988-06-07
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ID=31126447

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JP18151186U Expired JPH0449536Y2 (ja) 1986-11-26 1986-11-26

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