JPH0449356Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、IC乾板製造工場の内装室と外装室
とように、暗室のクリーンルーム（内装室）と明
室（外装室）との間に装置されるエアシヤワー設
備に関する。

IC乾板製造工場の内装室は暗室に形成され、
この暗室の出入口通路には通常はエアシヤワー装
置が設置されるが、従来のエアシヤワー装置では
このエアシヤワー装置を通じて光が暗室に漏れる
という問題があつた。これは、エアシヤワー装置
には台車や作業員が出入する関係上、その床面を
フラツトにすることが必要とされるので、段落の
あるドア当りを設けることができないことがその
主たる原因であつた。したがつて、回転ドアの場
合にはフラツトな床面との間に隙間ができ、この
隙間からの漏光は避けられなかつた。本考案はこ
のような漏光の問題を解決したエアシヤワー設備
を提供しようとするものである。

すなわち、本考案のエアシヤワー設備は、建物
内の明室から暗室クリーンルームに通ずる通路に
おいて、暗室側に通ずる一方の出入口と明室側に
通ずる他方の出入口を間隔を開けて設け、この両
出入口で挾まれる通路空間をエアシヤワー装置に
構成し、両出入口に床面段差を付けることなく引
戸を取付けると共に両引戸が同時に開かないよう
にインターロツクし、暗室側に通ずる出入口の引
戸と、この引戸が閉じているときの固定部材との
間の隙間に遮光部材を取付けてなり、該遮光部材
のうち床部のものは床部に形成した少なくとも二
つの溝に嵌まる遮光プレートからなることを特徴
とする。

図面の実施例に従つて具体的に説明すると、第
１図は、暗室と明室との間の通路に設置した本考
案に従うエアシヤワー装置を設置した状態を平面
的に示したもので、第２図は第１図の−線矢
視図である。本考案のエアシヤワー装置は暗室に
通ずる一方の出入口に引戸１が取付けてある。ま
た、図示の例では明室に通ずる他方の出入口にも
引戸２が取付けてある。引戸１と引戸２との間の
閉鎖空間がエアシヤワーを浴びる空間であり、従
来同様に、壁面に取付けられた多数のノズル３か
ら清浄空気が噴流として吹き出される。吹き出さ
れた空気は床面等に設けられた吸込口（図示しな
い）より本体内部に吸い込まれ、HEPAフイル
タによつて浄化されたあと、ノズル３に循環され
る。

引戸１と引戸２とは同時には開かないようにイ
ンターロツクされている。したがつて、出入のさ
いに、一方の戸が開いた状態でも明室の光が暗室
に直接的には入らない。引戸１の上下左右にはエ
アシヤワー本体の固定部材との間に隙間が不可避
的に形成されるが、本考案ではこの隙間に遮光部
材を取付ける。

例えば第１図および第２図のＡ部に代表される
引戸１の縦縁と本体との隙間には、第３図に拡大
して示したように、引戸１の縦縁に沿つて、隙間
幅より若干小さい幅をもつ断面鉤型のバー５を取
付け、本体側にも該バー５と同様の断面鉤型のバ
ー６を取り付ける。引戸１が閉まつた状態では、
バー５とバー６しがカツプリングし、この隙間か
らの漏光を防止する。

第１図のＢ部で示す引戸１の当り部には、第４
図に拡大して示すように、閉めたときにその当り
部の隙間が隠れるような断面コ字型の遮光金具７
を取付ける。８は閉成時の衝撃をやわらげるため
のゴムである。

第２図のＣ部で代表される引戸１の上縁と本体
との隙間には、第５図に示したように、やはり前
記の縦縁と同様な断面鉤型のバー５と断面鉤型の
バー６とからなるカツプリングにより遮光する。
第５図において９はレールであり、このレールに
引戸１が車１０を介して吊るされる。

そして、第２図のＤ部で代表される引戸１の下
縁と床部との隙間は、第６図に示すように、中央
に突起片１１を持つ溝金具１２を床にうめこみ、
この溝金具１２の突起片１１を跨ぐような断面コ
字型の金具１３をその下端にもつ遮光プレート１
４を引戸１の下端に取り付ける。また第７図に示
すように、二つの溝を持つ溝金具１５を床にうめ
こみ、各溝にはまる二枚の遮光プレート１６およ
び１７を引戸１の下端に取付けてもよい。

いずれにしても、引戸１の床部は段差のないフ
ラツトな面としたうえで、少なくも二つの溝を形
成し、各溝に嵌まる遮光プレートを配置すること
によつて、フラツトな床面であつても床面を通じ
ての漏光が完全に防止される。

このようにして、本考案によると、引戸１の縦
縁、上縁、下縁並びに当り部に遮光部材が取付け
られ、これらの隙間からの漏光が防止されるが、
この暗室に通ずる出入口側の引戸１と同様に、明
室に通ずる引戸２の側にも同様の遮光部材を取付
けることによつて一層確実な遮光ができる。本考
案によると台車が自由にできるようなフラツトな
床面のまま遮光が完全に行えるので、通行に支障
を与えないという利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に従うエアシヤワー設備の実施
例を示す略平断面図、第２図は第１図の−線
矢視図、第３図は第１図および第２図のＡ部拡大
図、第４図は第１図のＢ部拡大図、第５図は第２
図のＣ部拡大図、第６図は第２図のＤ部拡大図、
第７図は第２図のＤ部の他の態様を示す拡大図で
ある。 １……暗室に通ずる出入口側の引戸、２……明
室に通ずる出入口側の引戸、３……空気噴射ノズ
ル、５，６……断面鉤型のバーのカツプリング、
７……引戸の当り部に取付けられる断面コ字型の
遮光金具、１２，１５……溝金具、１４，１６，
１７……遮光プレート。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 建物内の明室から暗室クリーンルームに通ずる
   通路において、暗室側に通ずる一方の出入口と明
   室側に通ずる他方の出入口を間隔を開けて設け、
   この両出入口で挾まれる通路空間をエアシヤワー
   装置に構成し、両出入口に床面段差を付けること
   なく引戸を取付けると共に両引戸が同時に開かな
   いようにインターロツクし、暗室側に通ずる出入
   口の引戸と、この引戸が閉じているときの固定部
   材との間の隙間に遮光部材を取付けてなり、該遮
   光部材のうち床部のものは床部に形成した少なく
   とも二つの溝に嵌まる遮光プレートからなること
   を特徴とする遮光型エアシヤワー設備。