JP3388458B2 - クリーンエレベータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術の分野】本発明は、多層階のクリー
ンルームに採用されるクリーンエレベータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、多層階のクリーンルームにおい
て、クリーンルーム間又は一般空間とクリーンルーム階
を上下につなぐエレベータが知られている。ただし、従
来のクリーンエレベータの清浄度は、０．５μｍ、クラ
ス１０，０００レベル（米国連邦規格：０．５μｍ以上
の粒子数が１ft³ 内に１０，０００個以内のレベル）が
一般的であり、良くても０．５μｍ、クラス１，０００
レベルである。その理由は、エレベータの天井には、法
規で定められた０．２ｍ² の脱出口を設ける必要がある
ため、天井全体を高清浄度のフィルタで覆うことが今ま
で実施されなかったこと、また、エレベータ内の清浄化
方法は、天井に近い壁面に設置したフィルタから清浄空
気を送風し、床に近い壁面から吸い込む乱流方式である
ため、０．５μｍ、クラス１，０００レベルが精一杯で
あったことである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来は、清浄度の高い
空間を上下に結ぶ必要性が比較的少なかったが、最近に
おける地価の高騰、同一敷地内の余剰スペースの欠如、
ワーク搬送経路の短縮化等の理由により、今後はクリー
ンルームを多層に積み重ねる構造が採用される傾向にあ
り、清浄度の高い空間を上下に結ぶクリーンエレベータ
の必要性が高まるものと考えられる。

【０００４】しかしながら、上記従来のクリーンエレベ
ータは、乱流方式であるため気流の偏りや不均一により
滞留域が生じる結果、この滞留域に発塵が溜まり高レベ
ルの清浄度を達成することができないという問題を有し
ている。また、エレベータの扉には、扉開閉の機構上、
エアタイト（気密）性能が付加できないため、エレベー
タの昇降時には外部から汚染された空気の流入が避けら
れず、エレベータ昇降時の高い清浄度を保証することが
困難であると共に、エレベータの昇降速度を抑えなけれ
ばならないという問題を有している。さらに、一般空間
とクリーンルーム階を結ぶ場合には、クリーンルーム側
に前室を設け、清浄度の高いクリーンルームとの直接的
な接続を避けるため、建築計画的に余分なエリアを必要
とする問題を有している。

【０００５】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
であって、エレベータ内に均一な気流分布を有するダウ
ンフローを形成することにより高レベルの清浄度を達成
することができ、また、エレベータの昇降時においても
高い清浄度を維持することができ、さらに、清浄度の高
いクリーンルームに直接接して設置することができるク
リーンエレベータを提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】そのために本発明のクリ
ーンエレベータは、エレベータシャフト１内を昇降する
カゴ６と、カゴ６の天井に配設され、多数の通気孔が形
成された天井部材７と、天井部材７の上部に形成された
給気チャンバー９と、給気チャンバー９の中央部に区画
形成された脱出口１０と、脱出口１０の周囲に配設され
たフィルタ１１と、カゴ６の床に配設され、多数の通気
孔が形成された床部材１２と、床部材１２の下部に形成
された還気チャンバー１５と、還気チャンバー１５に形
成された還気口１６と、該還気口と給気チャンバー９を
接続するダクト１９と、ダクト１９内に配設された送風
機１７と、送風機１７の吸入側に形成されたエレベータ
シャフト内空気取入口１８とを備え、前記天井部材７の
中央部における通気孔の開口率を周囲よりも大きくする
とともに前記床部材１２の通気孔の開口率を前記還気口
から遠くなるに従い大きくなるようにし、カゴ６内に均
一な気流分布を有するダウンフローを形成したことを特
徴とする。なお、上記構成に付加した番号は、本発明の
理解を容易にするために図面と対比させるためのもの
で、これにより本発明の構成が何ら限定されるものでは
ない。

【０００７】

【作用及び発明の効果】本発明においては、法規上必要
な脱出口を確保しつつ脱出口の周囲にフィルタを配設
し、エレベータ内に均一な気流分布を有するダウンフロ
ーを形成したので、気流の偏りや不均一により滞留域が
生じることがなく、高レベルの清浄度を達成することが
できる。また、清浄度の高いクリーンルームに直接接し
て設置することができる。さらに、エレベータの静止時
はエレベータシャフト内の空気をカゴ内に取り込んでい
るためカゴ内を正圧に維持することができ、エレベータ
の昇降時には、カゴ内の正圧維持に加え、扉とカゴの隙
間に設けた空気侵入防止部材の働きにより、外部からの
汚染空気の侵入が防止でき、従って、エレベータの昇降
時においても高い清浄度を維持することができる。

【０００８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１及び図２は、本発明のクリーンエレベータ
の１実施例を示し、図１（Ａ）は模式的縦断面図、図１
（Ｂ）は図１（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿って矢印方向に見た
模式的断面図、図２（Ａ）は扉開状態での水平断面図、
図２（Ｂ）は扉閉状態での水平断面図、図３は扉の縦断
面図である。

【０００９】図１は、エレベータシャフト１内を昇降す
るエレベータ２が、クリーンルーム３の階に停止し、ク
リーンルーム３側の停止階開閉扉４とエレベータ２側の
エレベータ扉５が開いた状態を示している。停止階開閉
扉４とエレベータ扉５との間にはクリアランスＣが形成
されている。

【００１０】エレベータ２はカゴ６を有し、カゴ６の天
井には、多数の通気孔が形成された天井部材７を配設
し、天井部材７に照明器具８を取り付けている。天井部
材７の上部には給気チャンバー９を形成し、この給気チ
ャンバー９の中央部には脱出口１０を区画形成し、脱出
口１０の周囲に４つのフィルタ１１を配設している。こ
れにより、脱出口１０及びフィルタ１１と天井部材７と
の間に２次的給気チャンバー９ａが形成されている。

【００１１】カゴ６の床には、多数の通気孔が形成され
た床部材１２を支持部材１３上に配設しており、床部材
１２の下部に還気チャンバー１５を形成している。還気
チャンバー１５の片側には還気口１６を形成し、この還
気口１６を送風機１７を備えるダクト１９により給気チ
ャンバー９の給気口２０に接続している。還気口１６に
はプレフィルタ（粗塵用フィルタ）を設けて比較的大き
な塵が送風機１７側に侵入しないようにしている。ま
た、送風機１７の吸入側にはエレベータシャフト内空気
取入口１８を設け、この取入口１８にプレフィルタ及び
取入空気の流量を調節するためのダンパー（図示せず）
を設けている。

【００１２】本発明においては、カゴ６内には天井全体
からクリーンエアが吹き出し、床全体からエアを吸い込
めるようにし、均一な気流分布を有するダウンフローと
し、気流の偏りや不均一により滞留域が生じることがな
く、高い清浄度を維持することができるようにしてい
る。そのために、２次的給気チャンバー９ａにおいて脱
出口１０の下部とフィルタ１１の下部では風速が異なる
ので、天井部材７の中央部における通気孔の開口率を周
囲よりも大きくすることにより、天井部材７からの均一
な吹出気流を形成可能にしている。また、還気口１６が
床下の片側にあることにより生じる気流の偏りをなくす
ために、床部材１２の通気孔の開口率を還気口１６から
遠くなるに従い大きくなるようにしている。

【００１３】次に、図２及び図３により本発明に係わる
扉構造について説明する。図２（Ａ）は、扉開状態での
水平断面図、図２（Ｂ）は扉閉状態での水平断面図、図
３は扉の縦断面図である。クリーンルーム３側の停止階
開閉扉４とカゴ６側のエレベータ扉５は、２枚戸中央開
き方式であり、停止階開閉扉４の中央側にはドアカバー
２１が設けられ、エレベータ扉５の中央側にはセイフテ
ィーシュー２２が設けられている。３７、３８は扉開口
部の上部及び左右を囲む三方枠からなる開口枠である。

【００１４】エレベータシャフト１の壁２３には、ガイ
ドレール２５を備えるガイドフレーム２６を固定し、一
方、停止階開閉扉４の上部には２つのガイドローラ２
７、２８を備える支持プレート２９を固定し、ガイドレ
ール２５の上下にガイドローラ２７、２８を挟むように
して、ガイドレール２５に沿ってガイドローラ２７、２
８が移動し、停止階開閉扉４の開閉を行うように構成し
ている。

【００１５】また、カゴ６には、ガイドレール３０を備
えるガイドフレーム３１を固定し、一方、エレベータ扉
５の上部には２つのガイドローラ３２、３３を備える支
持プレート３５を固定し、ガイドレール３０の上下にガ
イドローラ３２、３３を挟むようにして、ガイドレール
３０に沿ってガイドローラ３２、３３が移動し、エレベ
ータ扉５の開閉を行うように構成している。停止階開閉
扉４及びエレベータ扉５の下部は、それぞれ扉支持部材
４０、４１上に摺動自在に支持されている。

【００１６】ところで、エレベータ扉５が閉じたとき、
エレベータ扉５の下部は扉支持部材４１で封止される
が、エレベータ扉５の上部及び左右側部には隙間４２、
４３が有り、カゴ６が静止しているときは、カゴ６内は
エレベータシャフト１内の空気を取り入れるため正圧に
なっているため、前記隙間４２、４３から汚染空気が入
りにくいが、カゴ６の昇降時には、汚染空気が入り込む
おそれがある。

【００１７】そこで、本実施例においてはエレベータ扉
の左右側部及び上部に空気侵入防止部材を設けている。
すなわち、エレベータ扉５の左右側部には、図２（Ｂ）
に示すように、板ゴムからなる隙間塞ぎ部材４４を取り
付け、エレベータ扉５が閉じたときに隙間塞ぎ部材４４
を開口枠３７に当接させ、隙間４３を塞ぐようにしてい
る。また、エレベータ扉５の上部には、図３に示すよう
に、カゴ６とガイドフレーム３１との間の隙間４２に邪
魔板４５を設けると共に、ガイドフレーム３１とカゴ６
の間に板ゴムからなる隙間塞ぎ部材４６を取り付けてい
る。

【００１８】上記構成からなる本発明の作用について説
明する。送風機１７を運転すると、フィルタ１１により
浄化されたクリーンエアは、天井部材７全面から均一に
吹き出し、床部材１２全面からエアを吸い込み、カゴ６
内に均一な気流分布を有するダウンフローが形成され
る。このとき、シャフト内空気取入口１８からシャフト
内空気を取り入れるため、カゴ６内は常に正圧となり、
外部からの汚染空気の侵入を防止している。カゴ６の昇
降時には、カゴ６内の正圧と、エレベータ扉５の側部に
設けた隙間塞ぎ部材４４の働きと、エレベータ扉５の上
部に設けた邪魔板４５及び隙間塞ぎ部材４６の働きによ
り、外部からの汚染空気の侵入を防止し、高い清浄度を
維持することができる。また、停止階開閉扉４およびエ
レベータ扉５が開いた場合には、カゴ６及びクリーンル
ーム３がエレベータシャフト１に対し常に正圧になって
おり、カゴ６及びクリーンルーム３側から停止階開閉扉
４とエレベータ扉５間のクリアランスＣを経て空気がエ
レベータシャフト１内へ吸い込まれるため、高い清浄度
を維持することができる。

【００１９】実測によれば、エレベータの昇降時でもカ
ゴ６内の扉近傍において、０．１μｍ、クラス１レベル
以下という高いクリーン性能が維持され、半導体用のハ
イレベルのクリーンルームと同等の清浄度レベルが達成
された。

【００２０】以上、本発明の１実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく種々
の変形が可能である。例えば、上記実施例においては、
２枚戸中央開き方式の例を示しているが、片開き方式に
も適用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のクリーンエレベータの１実施例を示
し、図１（Ａ）は模式的縦断面図、図１（Ｂ）は図１
（Ａ）のＢ−Ｂ線に沿って矢印方向に見た模式的断面図
である。

【図２】本発明に係わる扉構造を示し、図２（Ａ）は、
扉開状態での水平断面図、図２（Ｂ）は扉閉状態での水
平断面図である。

【図３】図２の扉の縦断面図である。

【符号の説明】

１…エレベータシャフト、２…エレベータ、３…クリー
ンルーム ４…停止階開閉扉、５…エレベータ扉、６…カゴ、７…
天井部材 ９、９ａ…給気チャンバー、１０…脱出口、１１…フィ
ルタ、１２…床部材 １５…還気チャンバー、１７…送風機 １８…エレベータシャフト内空気取入口、１９…ダク
ト、４２、４３…隙間 ４４、４６…隙間塞ぎ部材、４５…邪魔板

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】エレベータシャフト内を昇降するカゴと、
   該カゴの天井に配設され、多数の通気孔が形成された天
   井部材と、該天井部材の上部に形成された給気チャンバ
   ーと、該給気チャンバーの中央部に区画形成された脱出
   口と、該脱出口の周囲に配設されたフィルタと、前記カ
   ゴの床に配設され、多数の通気孔が形成された床部材
   と、該床部材の下部に形成された還気チャンバーと、該
   還気チャンバーに形成された還気口と、該還気口と前記
   給気チャンバーを接続するダクトと、該ダクト内に配設
   された送風機と、該送風機の吸入側に形成されたエレベ
   ータシャフト内空気取入口とを備え、前記天井部材の中
   央部における通気孔の開口率を周囲よりも大きくすると
   ともに前記床部材の通気孔の開口率を前記還気口から遠
   くなるに従い大きくなるようにし、前記カゴ内に均一な
   気流分布を有するダウンフローを形成したことを特徴と
   するクリーンエレベータ。
2. 【請求項２】前記カゴに配設されたエレベータ扉と、該
   エレベータ扉とカゴの間に形成される隙間に空気侵入防
   止部材を設けたことを特徴とする請求項１記載のクリー
   ンエレベータ。