JPH0448515A

JPH0448515A - 透明導電性フィルムの製造方法

Info

Publication number: JPH0448515A
Application number: JP2155831A
Authority: JP
Inventors: Soichi Matsuzaki; 松崎　壮一
Original assignee: Hitachi AIC Inc
Current assignee: Lincstech Circuit Co Ltd
Priority date: 1990-06-14
Filing date: 1990-06-14
Publication date: 1992-02-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明はＥＬ用の透明導電性フィルムの製造方法に関す
る。

（従来の技術）ＥＬデイスプレィは、自動車の表示や液晶バックライト
に用いている。

ＥＬデイスプレィのうち、分散型のものは、透明フィル
ムに透明導電膜、発光層、ｔ！４電耐圧層および背面＠
極層を積層し、全体を保護フィルムで覆った構造になっ
ている。そしてこれは、透明電極と背面電極とのｍｌに
Ａｃｔ圧を印加することによって発光動作する。

そして透明フィルムにはポリエステルやポリエーテルス
ルホン、ポリスチレン、ポリエーテルケトンなどを用い
ており、特にポリエステルは価格が安く良く利用される
。また、発光層はＺｎＳとＣｕとをシアノエチレン系な
どのバインダーに分散した物質を用いる０発光層に積層
した誘＠耐圧層はＢａＴｉＯ３系の粉末をシアノエチレ
ン系などのバインダーに分散した物質を用いる。

（発明が解決しようとする課題）しかし、透明フィルムに用いられるボリエステルは透湿
性や吸水率が大きく、また、発光層や誘電耐圧層に用い
られる各物質も、湿気を吸い易く、そして水分は発光層
の発光強度を低下させる原因の一つであり、そのために
、発光強度が容易に低下する欠点があった。

この欠点を改善するために、ポリエステルフィルムの表
面にエチレンビニルアルコール共重合体やエポキシアク
リレート樹脂、三弗化モノクロロエチレン、塩化ビニリ
デン等を溶剤に溶かし、グラビア、ロール、デイツプコ
ーティング等の湿式コーティングを行なう方法がある。

また、Ｓ　ｉ　０２やＴｉ０２−　ＡＪ　２０ｓ等の無
樋物を真空蒸着法等により付着する方法もある。しかし
、透明導電膜を蒸着等により形成する場合は、前者の湿
式コーティングは全く別の作業となり、自動化がし龍く
、製造コストが高くなる。また、後者の場合には、１．
０００１以上の膜厚でないと効果が出ないが、厚くなる
と硬くなり、亀裂が発生し易くなる。

本発明の目的は、以上の欠点を改良し、Ｆ、　Ｌ等に用
いた場合に、湿気による発光強度の低下を軽減できると
ともに、製造の自動化が可能でコストを低下しうる透明
導電性フィルムの製造方法を提供するものである。

（課題を解決するための手段）請求項１の発明は上記の目的を達成するために、ポリエ
ステル系のフィルムに透明導電膜を蒸着して形成した透
明導電性フィルムの製造方法において、フィルムまたは
透明導電膜の少なくとも一方の表面に、溌水性の高分子
を蒸着することを特徴とする透明導電性フィルムの製造
方法を提供するものである。

また、請求項２の発明は、請求項１の発明において、高
分子の代りに溌水性の有機ガスをプラズマ重合により付
着することを特徴とする透明導電性フィルムの製造方法
を提供するものである。

（作用）フィルムの表面や透明導電膜の表面に溌水性の高分子や
有機カスを付着することにより、この透明導電性フィル
ムをＥＬデイスプレィに用いた場合、高分子や有機物に
より、湿気が発光層まで浸透し、その発光強度を低下さ
せるのを防止できる。

また、高分子や有機ガスを蒸着やプラズマ重合により付
着しているため、透明導電膜を形成するのと同じ槽内に
おいて処理でき自動化か可能であり、製造コストも安く
なる。

（実施例）以下、本発明を実施例に基づいて説明する。

先ず、第１Ｍに示す通り、供給ローラ１から透明フィル
ム２を真空槽３内に供給する。真空槽３は真空ポンプ４
．５及び６によって所定の真空度に保持している。透明
フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートやポリ
エチレン２．６−ナフタレートなどのポリエステル系の
フィルムを用いる。

そして第１室７内において、蒸着ルツボ８を加熱して、
収容されている高分子９を蒸発して、透明フィルム２の
表面に高分子９を蒸着する。あるいは、ガス導入孔１０
から有機ガスを第１室７内に導入して有ｉ物を付着する
。高分子９は、溌水性のポリエチレンやポリフェニレン
サルファイド、ポリパラキシレン等を用いる。また、有
機カスは、溌水性のアセチレンやエチレン、メタン、エ
タン、ベンゼン、ヘキサクロロベンゼン、スチレン、テ
トラン０ロエチレン、シクロヘキサン、エチレンオキシ
ド、アクリル酸、プロピオン酸、酢酸ビニル、アクリル
酸メチル、有機シランのヘキサメチルジシラン、Ｃ６Ｈ
５５ｉ０３などの芳香族シラン化合物、ヘキサメチルジ
シロキサン、ジビニルテトラメチルジジロキサンなどの
シｒ７−１ｒサン等を用いる。

透明フィルム２の表面に高分子９や有機物からなる溌水
性の層を形成後、第２室１１内において、蒸着ルツボ】
２を加熱し、収容されている酸化インジウムや酸化スズ
等の全屈酸化物１３を蒸発し、これを溌水性の層の表面
に真空類＠して透明導電膜を形成する。この際、必要な
らばカス導入管１４から適当なガスを導入する。

透明導電膜を形成後、透明フィルム２を第３室１５に送
り、蒸着ルツボ１６を加熱し、収容されている高分子１
７を蒸発するか、ガス導入管１８から有機ガスを第３室
１５内に導入しプラズマ重合して、透明導！膜の表面に
高分子や有機物からなる碗水性の層を形成する。

透明導＠膜の表面に溌水性の層を形成後は、ＺｎＳとＣ
ｕとをシアノエチレン系などのバインダーで分散した物
質を真空蒸着またはイオンブレーテインクして、発光層
を形成する。

発光層を形成後、ＢａＴｉＯ３系の粉末をシアンエチレ
ン系等のバインダーで分散した物質を発光層の表面に蒸
着して誘電耐圧層を形成する。

誘電耐圧層を形成後、透湿性のないＡＪ箔をその表面に
張り付けて背面＠極とする。

背面＠極を形成後、全体を三ふつ化塩化エチレン樹脂か
らなる保護フィルムで被覆する。

次に、上記の実施例及び従来例について透湿性の試験を
行なった。各実施例及び従来例の製造条件は、次の通り
とする。

実施例１）第２図に示す通り、厚さ７５μｍのポリエチレンテレフ
タレートの透明フィルム１９に。

スパッタリング法により厚さ５００ＡのＩＴＯからなる
透明導電１Ｍ！２０を積層する０次に、メタンガスを含
む有機ガス雰囲気中でプラズマ処理し、透明導＠膜２０
の表面にアルキルインジウム（（ＣＨ３＞ｘＩ　ｎ　：
　ｘ＝１〜３）やアルキルインジウム酸化物（Ｃ（ＣＨ
３）ｘＩｎ）２０：ｘ＝１〜３）の変質層からなる抗水
竹屑２１を形成する。

実施例２）第３図に示す通り、実施例１において、抗水竹屑２２を
、Ｄｌ−バラキシリレンを熱分解し、蒸着してポリパラ
キシリレンにより形成した構造とする。

実施例３）第４図に示す通り、実施例１と同じ透明フィルム１９を
用い、この両面に、Ｃ＠　Ｈ５ＳｉＯ３をプラズマ重合
により厚さ１００Ａに付着して第１撓水性層２３とする
０次に、この第１椀水性層２３の一面に、ＩＴＯを厚さ
５ｏｏＸに真空蒸着して透明導を膜２４を積層する。そ
してポリフェニレンサルファイドをスパッターのターゲ
ットに張り付け、真空中でスパッタリングすることによ
り、ポリフェニレンサルファイドからなる第２溌水性層
２５を形成する。

従来例第５図に示す通り、実施例１において抗水竹屑２１を省
略したものとする。

試験染件は、各試料の大きさを２　ｃｍ　Ｘ　２■角と
し、これを各実施例等につき２５０ケを、温度１００℃
で３ｈｒ乾燥し、デシケー、ター中に入れて温度２０℃
で冷やした後、温度３０℃、湿度８０％ＲＨの雰囲気中
に３ｈｒ放置した後の水分量を測定した。水分量は、２
５０ケの総和とし、湿気中に放置する前後の重量の変化
によって求めた。

測定結果は、表の通りとなった。

表表から明らかな通り、実施例１〜実施例３によれば、従
来例に比べて　１／６０〜１／３０となり、透湿性が低
く、耐湿性が改良される。

（発明の効果）以上の通り、請求項１及び請求項２の発明の製造方法に
よれば、フィルムや透明導を膜の表面に抗水竹屑を設け
ているために透湿性が低く、湿気による発光層の発光強
度の低下を防止できる透明導電性フィルムが得られる。

また、抗水竹屑は透明導＠膜と同じ槽内で形成できるた
め、この工程を自動化でき、製造コストを安くできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明実施例の製造に用いる装置の断面図、第
２図は本発明により製造した透明導電性フィルムの実施
例の断面図、第３図及び第４図は本発明により製造した
透明導電性フィルムの他の実施例の断面図、第５図は従
来の透明導電性フィルムの断面図を示す。２．１９・・・透明フィルム、　３・・・真空槽、９．
１７・・・高分子、　２０．２４・・・透明導電膜、２
１．２２・・・・溌水性層、　２３・・・第１Ｎ水性層
、２５・・・第２１Ｒ水性層。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）　ポリエステル系のフィルムに透明導電膜を蒸着
により形成した透明導電性フィルムの製造方法において
、フィルムまたは透明導電膜の少なくとも一方の表面に
、溌水性の高分子を蒸着することを特徴とする透明導電
性フィルムの製造方法。
（２）　ポリエステル系のフィルムに透明導電膜を蒸着
により形成した透明導電性フィルムの製造方法において
、フィルムまたは透明導電膜の少なくとも一方の表面に
、溌水性の有機ガスをプラズマ重合により付着すること
を特徴とする透明導電性フィルムの製造方法。