JPH044771A - 超音波モータ - Google Patents
超音波モータInfo
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- JPH044771A JPH044771A JP2103768A JP10376890A JPH044771A JP H044771 A JPH044771 A JP H044771A JP 2103768 A JP2103768 A JP 2103768A JP 10376890 A JP10376890 A JP 10376890A JP H044771 A JPH044771 A JP H044771A
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、捩れ振動を駆動源として利用する超音波モー
タに関する。
タに関する。
[従来の技術]
従来の超音波モータとしては、捩れ振動と縦振動とを組
み合わせ、棒材を捩りながら伸長させると共に捩りをも
とに戻しながら収縮させることで、棒材の端部に接する
ロータを回転させる複合型の超音波モータが知られてい
る。
み合わせ、棒材を捩りながら伸長させると共に捩りをも
とに戻しながら収縮させることで、棒材の端部に接する
ロータを回転させる複合型の超音波モータが知られてい
る。
[発明が解決しようとする課題]
ところが、前記従来技術の超音波モータでは、捩れ振動
と縦振動とを発生する2種類の振動体を組み合わせる構
造であるため、その構造が複雑になるという問題点があ
る。
と縦振動とを発生する2種類の振動体を組み合わせる構
造であるため、その構造が複雑になるという問題点があ
る。
本発明は上述した従来技術の問題点に鑑みなされたもの
で、簡単な構造の新規な超音波モータを提供することを
目的とする。
で、簡単な構造の新規な超音波モータを提供することを
目的とする。
上述した課題を解決するために本発明が採用する構成は
、螺旋方向に伸縮する圧電性材料により円柱状に形成さ
れ、全体として捩れ振動を生じると共に両端部に形成さ
れた可動接触部を有する駆動棒と、該駆動棒の軸方向に
圧電性材料を挟んで設けられ、該圧電性材料に電圧を印
加する電極と、前記駆動棒両端の可動接触部に圧接され
、当該駆動棒の捩れ振動による各可動接触部のそれぞれ
逆方向への回動によって駆動棒の軸方向中央部を中心に
回転するロータとからなることを特徴とする。
、螺旋方向に伸縮する圧電性材料により円柱状に形成さ
れ、全体として捩れ振動を生じると共に両端部に形成さ
れた可動接触部を有する駆動棒と、該駆動棒の軸方向に
圧電性材料を挟んで設けられ、該圧電性材料に電圧を印
加する電極と、前記駆動棒両端の可動接触部に圧接され
、当該駆動棒の捩れ振動による各可動接触部のそれぞれ
逆方向への回動によって駆動棒の軸方向中央部を中心に
回転するロータとからなることを特徴とする。
前記構成により、電極を介して圧電性材料に電圧を印加
すると、駆動棒が捩れ、両端の各可動接触部が互いに逆
方向へ回動し、ロータを僅かに回転させる。そこで、圧
電性材料に高周波周期で電圧を印加して駆動棒を超音波
振動させ、ロータを連続的に回転させる。
すると、駆動棒が捩れ、両端の各可動接触部が互いに逆
方向へ回動し、ロータを僅かに回転させる。そこで、圧
電性材料に高周波周期で電圧を印加して駆動棒を超音波
振動させ、ロータを連続的に回転させる。
基づいて説明する。
本実施例の超音波モータは、棒材の捩れ振動を利用して
回転に変換しようとするもので、まず、その構成につい
て説明する。
回転に変換しようとするもので、まず、その構成につい
て説明する。
図中、1はケーシングで、該ケーシング1は有底の円形
皿状に形成され、その周壁IAの内周面に相対向して2
つの支持突起2A、2Bが突設されている。3は後述す
るロータ10を回転駆動すべく、1本の棒状体、又は軸
方向中間で2分割された2本の棒状体を接合してなる駆
動棒で、該駆動棒3は外周に設けた絶縁部3Cを介して
全体を軸方向に電気的に2分割された圧電性材料3A。
皿状に形成され、その周壁IAの内周面に相対向して2
つの支持突起2A、2Bが突設されている。3は後述す
るロータ10を回転駆動すべく、1本の棒状体、又は軸
方向中間で2分割された2本の棒状体を接合してなる駆
動棒で、該駆動棒3は外周に設けた絶縁部3Cを介して
全体を軸方向に電気的に2分割された圧電性材料3A。
3Bを含んで中実円柱状に形成されると共に、該各圧電
性材料3A、3Bは互いに直交する向きの螺旋方向に分
極するように配設され、電圧を印加することでそれぞれ
の螺旋方向に分極してこの螺旋方向に伸縮し、全体とし
て捩れ振動を生じるように設定されている。さらに、各
圧電性材料3A、3Bは、軸方向−側の圧電性材料3A
が電圧印加で螺旋方向に伸長し、他側の圧電性材料3B
が電圧印加で螺旋方向に収縮するように設定され、後述
の可動接触部8A、8Bを含め、全体として矢印A、A
方向に捩れるようになっている。なお、この電圧印加に
より、−側の圧電性材料3Aは軸方向へ僅かに伸長し、
他側の圧電性材料3Bは軸方向へ僅かに収縮するが、全
体としては、伸長と収縮で相殺されて軸方向への伸縮変
化は生じない。
性材料3A、3Bは互いに直交する向きの螺旋方向に分
極するように配設され、電圧を印加することでそれぞれ
の螺旋方向に分極してこの螺旋方向に伸縮し、全体とし
て捩れ振動を生じるように設定されている。さらに、各
圧電性材料3A、3Bは、軸方向−側の圧電性材料3A
が電圧印加で螺旋方向に伸長し、他側の圧電性材料3B
が電圧印加で螺旋方向に収縮するように設定され、後述
の可動接触部8A、8Bを含め、全体として矢印A、A
方向に捩れるようになっている。なお、この電圧印加に
より、−側の圧電性材料3Aは軸方向へ僅かに伸長し、
他側の圧電性材料3Bは軸方向へ僅かに収縮するが、全
体としては、伸長と収縮で相殺されて軸方向への伸縮変
化は生じない。
4A、4Bは圧電性材料3Aを軸方向両側がら挟むよう
にその外周に配設された電極、5A。
にその外周に配設された電極、5A。
5Bは同じく圧電性材料3Bを軸方向両側から挾むよう
にその外周に配設された電極で、該各電極4A、4B、
5A、5Bには接続配線6A。
にその外周に配設された電極で、該各電極4A、4B、
5A、5Bには接続配線6A。
6B、7A、7Bを介して電圧が印加されるようになっ
ている。なお、例えば、電極4A、5Aがプラスとなる
電圧の印加により各圧電性材料3A、3Bが両方ともに
螺旋方向に伸長する材料である場合には、各電極4A、
4B、5A、5Bのうち、一方の電極4A、5Bにプラ
スの電圧が印加され、他方の電極4B、5Aにマイナス
の電圧が印加される。また、電極4A、5Aがプラスと
なる電圧の印加により各圧電性材料3A、、、3Bの螺
旋方向への伸縮が逆になる場合には、各電極4A、5A
にプラスの電圧が印加され、4B。
ている。なお、例えば、電極4A、5Aがプラスとなる
電圧の印加により各圧電性材料3A、3Bが両方ともに
螺旋方向に伸長する材料である場合には、各電極4A、
4B、5A、5Bのうち、一方の電極4A、5Bにプラ
スの電圧が印加され、他方の電極4B、5Aにマイナス
の電圧が印加される。また、電極4A、5Aがプラスと
なる電圧の印加により各圧電性材料3A、、、3Bの螺
旋方向への伸縮が逆になる場合には、各電極4A、5A
にプラスの電圧が印加され、4B。
5Bにマイナスの電圧が印加される。
一方、駆動棒3の両端部には、ロータ1oと直接接触し
て該ロータ1oを回転駆動する可動接触部8A、8Bが
それぞれ拡径して設けられ、該各可動接触部8A、8B
には前記支持突起2A。
て該ロータ1oを回転駆動する可動接触部8A、8Bが
それぞれ拡径して設けられ、該各可動接触部8A、8B
には前記支持突起2A。
2Bに嵌合し、回転可能に支持される支持穴9A、9B
が穿設されている。
が穿設されている。
10はケーシング1の周壁IA内に挿嵌され、駆動棒3
によって回転駆動されるロータで、該ロータ10は、円
盤状に形成された平板部10Aと、該平板部10A中央
に立設された出力軸10Bとから構成されている。11
はケーシング1の周壁IA上端部に設けられた皿ばねで
、該皿ばね11は、基端側(外周側)が周壁IA上端部
に固定され、先端側がロータ10の平板部10Aを押圧
し、該平板部10Aを駆動棒3の各可動接触部8A、8
Bに圧接するようになっている。なお、ロータ10の平
板部10Aと皿ばね11との接触面は、各可動接触部8
A、8Bのそれぞれ逆方向への回動により該各可動接触
部8A、8Bに圧接された平板部10Aが回動できる程
度の摩擦抵抗、即ち、各可動接触部8A、8Bと平板部
10Aとの間の摩擦抵抗よりも平板部10Aと皿ばね1
1との間の摩擦抵抗の方が小さ(なるように、表面処理
が施されている。
によって回転駆動されるロータで、該ロータ10は、円
盤状に形成された平板部10Aと、該平板部10A中央
に立設された出力軸10Bとから構成されている。11
はケーシング1の周壁IA上端部に設けられた皿ばねで
、該皿ばね11は、基端側(外周側)が周壁IA上端部
に固定され、先端側がロータ10の平板部10Aを押圧
し、該平板部10Aを駆動棒3の各可動接触部8A、8
Bに圧接するようになっている。なお、ロータ10の平
板部10Aと皿ばね11との接触面は、各可動接触部8
A、8Bのそれぞれ逆方向への回動により該各可動接触
部8A、8Bに圧接された平板部10Aが回動できる程
度の摩擦抵抗、即ち、各可動接触部8A、8Bと平板部
10Aとの間の摩擦抵抗よりも平板部10Aと皿ばね1
1との間の摩擦抵抗の方が小さ(なるように、表面処理
が施されている。
本実施例の超音波モータは、以上のように構成されるが
、次にその作用について説明する。
、次にその作用について説明する。
まず、駆動棒3は、接続配線6A、’6B。
7A、7Bを介して各電極4A、4B、5A。
5Bにそれぞれ所定の電圧が印加されることで、−側の
圧電性材料3AbS螺旋方向に伸長し、他側の圧電性材
料3Bが螺旋方向に収縮して、全体として矢印A方向に
捩れを生じる。そして、電圧の印加を停止すると、自己
の反力でもとの状態に戻る。
圧電性材料3AbS螺旋方向に伸長し、他側の圧電性材
料3Bが螺旋方向に収縮して、全体として矢印A方向に
捩れを生じる。そして、電圧の印加を停止すると、自己
の反力でもとの状態に戻る。
ここで、各電極4A、4B、5A、5Bに印加される電
圧は、第5図(イ)に示す鋸歯状波形を有している。即
ち、印加電圧は徐々に高められ、所定時間が経つと、電
圧の印加が停止され、所定時間が経つと再び印加される
。そして、徐々に高められる印加電圧により、駆動棒3
は徐々に捩れ、各可動接触部8A、8Bは互いに逆方向
に、第5図(ロ)に示す角速度ω1の変化を辿りながら
徐々に回動する。そして、ロータ10の平板部10Aは
各可動接触部8A、8Bの回動によって僅かに回転され
る。なお、この状態で、各可動接触部8A、8Bとロー
タ10の平板部10Aとは、静摩擦領域で互いに接触し
、各可動接触部8A、8Bが空転することはない。
圧は、第5図(イ)に示す鋸歯状波形を有している。即
ち、印加電圧は徐々に高められ、所定時間が経つと、電
圧の印加が停止され、所定時間が経つと再び印加される
。そして、徐々に高められる印加電圧により、駆動棒3
は徐々に捩れ、各可動接触部8A、8Bは互いに逆方向
に、第5図(ロ)に示す角速度ω1の変化を辿りながら
徐々に回動する。そして、ロータ10の平板部10Aは
各可動接触部8A、8Bの回動によって僅かに回転され
る。なお、この状態で、各可動接触部8A、8Bとロー
タ10の平板部10Aとは、静摩擦領域で互いに接触し
、各可動接触部8A、8Bが空転することはない。
次いで、各電極4A、4B、5A; 5Bへの電圧の印
加を停止すると、駆動棒3は自己の反力によって、第5
図(ロ)に示す角速度ω2の変化を辿りながら前記電圧
印加時と逆の方向(捩れが戻る方向)へ急激に回動する
。そして、この状態では、各可動接触部8A、8Bとロ
ータ10の平板部10Aとの間は動摩擦領域での接触と
なり、摩擦抵抗が大幅に小さくなって各可動接触部8A
。
加を停止すると、駆動棒3は自己の反力によって、第5
図(ロ)に示す角速度ω2の変化を辿りながら前記電圧
印加時と逆の方向(捩れが戻る方向)へ急激に回動する
。そして、この状態では、各可動接触部8A、8Bとロ
ータ10の平板部10Aとの間は動摩擦領域での接触と
なり、摩擦抵抗が大幅に小さくなって各可動接触部8A
。
8Bは空転し、皿ばね11によって押えられたロータ1
0は回転せずに、現状の状態に維持されることになる。
0は回転せずに、現状の状態に維持されることになる。
かくして、各圧電性材料3A、3Bへの電圧の印加と停
止とを高周波周期で繰り返すことにより、前述した作用
を繰り返してロータ10が回転する。
止とを高周波周期で繰り返すことにより、前述した作用
を繰り返してロータ10が回転する。
また、各圧電性材料3A、3Bへ印加する電圧を逆にす
ると、ロータ10は逆回転することができる。
ると、ロータ10は逆回転することができる。
以上のように、捩れ振動を発生する駆動棒3によってロ
ータ10を回転駆動する構成としたから、簡単な構造の
新規な超音波モータを提供することができる。
ータ10を回転駆動する構成としたから、簡単な構造の
新規な超音波モータを提供することができる。
さらに、電圧の印加制御がなされる部分が駆動棒3だけ
で、制御が容易であるため、コスト低減を図ることがで
きる。
で、制御が容易であるため、コスト低減を図ることがで
きる。
なお、本実施例では、駆動棒3を螺旋方向の異なる圧電
性材料3A、3Bを用いて互いに直交する向きの螺旋方
向に配設したが、第6図に示すように、駆動棒20の圧
電性材料21をすべて単一の螺旋方向に分極するように
配設し、その両端に電極22A、22Bを設けると共に
、可動接触部23A、23Bを設ける構成としてもよい
。
性材料3A、3Bを用いて互いに直交する向きの螺旋方
向に配設したが、第6図に示すように、駆動棒20の圧
電性材料21をすべて単一の螺旋方向に分極するように
配設し、その両端に電極22A、22Bを設けると共に
、可動接触部23A、23Bを設ける構成としてもよい
。
また、駆動棒3の圧電性材料3A、3Bに印加する電圧
は、第5図(イ)に示すように、駆動棒3を捩るときだ
け徐々に上げながら印加するような設定としたが、第7
図(イ)に示すように、駆動棒3が捩れた状態からもと
に戻やときに、逆の矩形状電圧を印加してもよい。これ
により、第7図(ロ)に示すように、逆の電圧を印加し
ない場合の角速度ω2よりも早い角速度ω3で回動させ
ることができ、より効率的にロータ10を回転させるこ
とができる。
は、第5図(イ)に示すように、駆動棒3を捩るときだ
け徐々に上げながら印加するような設定としたが、第7
図(イ)に示すように、駆動棒3が捩れた状態からもと
に戻やときに、逆の矩形状電圧を印加してもよい。これ
により、第7図(ロ)に示すように、逆の電圧を印加し
ない場合の角速度ω2よりも早い角速度ω3で回動させ
ることができ、より効率的にロータ10を回転させるこ
とができる。
また、本実施例では、ロータ10は正、逆回転する構成
としたが、一方向へのみ回転する構成であれば、第8図
に示すような一方面クラッチ30を設ければよい。即ち
、一方向クラッチ30は、ケーシング31の周壁31A
内に回転可能にロータ32を装着し、該ロータ32の外
周に2箇所の切欠き33.34を設け、該各切欠き33
.34にはそれぞれロータ32の反時計方向への回転を
規制するボール35及び該ボール35を付勢するスプリ
ング36とを設ける構成とし得る。
としたが、一方向へのみ回転する構成であれば、第8図
に示すような一方面クラッチ30を設ければよい。即ち
、一方向クラッチ30は、ケーシング31の周壁31A
内に回転可能にロータ32を装着し、該ロータ32の外
周に2箇所の切欠き33.34を設け、該各切欠き33
.34にはそれぞれロータ32の反時計方向への回転を
規制するボール35及び該ボール35を付勢するスプリ
ング36とを設ける構成とし得る。
一方、駆動棒3に捩れを生じさせる部材として圧電性材
料3A、3Bを用いたが、磁力の変化により歪む磁歪性
材料を用いてもよい。
料3A、3Bを用いたが、磁力の変化により歪む磁歪性
材料を用いてもよい。
また、駆動棒3は、ケーシング1の周壁IAに設けた支
持突起2A、2Bによって駆動棒3両端から回転可能に
支持する構成としたが、駆動軸3の中央部を固定支持し
、各圧電性材料3A、3Bによって同定支持部の両側に
均等割合の捩れを生じるように構成してもよい。
持突起2A、2Bによって駆動棒3両端から回転可能に
支持する構成としたが、駆動軸3の中央部を固定支持し
、各圧電性材料3A、3Bによって同定支持部の両側に
均等割合の捩れを生じるように構成してもよい。
さらに、駆動棒41の捩れ振動を利用して、第9図に示
すように、時計の振り子の変わりに用いてもよい。即ち
、駆動棒41の一端を基板側に固定し、他端を揺動爪機
構42に固定し、該揺動爪機構42を揺動させることに
より、一方の回転方向へ付勢された回転歯車機構43を
一定速度で回転するように規制する規制手段として用い
てもよい。
すように、時計の振り子の変わりに用いてもよい。即ち
、駆動棒41の一端を基板側に固定し、他端を揺動爪機
構42に固定し、該揺動爪機構42を揺動させることに
より、一方の回転方向へ付勢された回転歯車機構43を
一定速度で回転するように規制する規制手段として用い
てもよい。
また、本実施例では、駆動棒3の両端に、ロータ10と
接触して回転駆動する可動接触部8A。
接触して回転駆動する可動接触部8A。
8Bを拡径して形成したが、第10図及び第11図に示
すように、駆動棒50両端の可動接触部50A、50B
を駆動棒50中間位置と同径に形成し、ロータ51の平
板部51A周縁部に可動接触部50A、50Bと摺接す
る環状の摺接段部51Bを形成してもよい。これにより
、前記実施例同様の作用、効果を奏することができる。
すように、駆動棒50両端の可動接触部50A、50B
を駆動棒50中間位置と同径に形成し、ロータ51の平
板部51A周縁部に可動接触部50A、50Bと摺接す
る環状の摺接段部51Bを形成してもよい。これにより
、前記実施例同様の作用、効果を奏することができる。
[発明の効果]
以上詳述した通り、本発明によれば、捩れ振動を生じる
と共に両端部に可動接触部を有する駆動棒と、該駆動棒
の圧電性材料に電圧を印加する電極と、前記駆動棒両端
の可動接触部に圧接され、各可動接触部のそれぞれ逆方
向への回動によって回転するロータとから構成したから
、駆動棒の捩れ振動だけによってロータを回転すること
ができ、従来技術のように2種類の振動体を使う必要が
なく、簡単な構造の超音波モータとすることができる。
と共に両端部に可動接触部を有する駆動棒と、該駆動棒
の圧電性材料に電圧を印加する電極と、前記駆動棒両端
の可動接触部に圧接され、各可動接触部のそれぞれ逆方
向への回動によって回転するロータとから構成したから
、駆動棒の捩れ振動だけによってロータを回転すること
ができ、従来技術のように2種類の振動体を使う必要が
なく、簡単な構造の超音波モータとすることができる。
第1図ないし第11図は本発明の実施例に係り、第1図
は超音波モータを示す縦断面図、第2図は第1図中のn
−n矢視方向断面図、第3図は第1図に示す超音波モー
タの平面図、第4図は駆動棒を示す斜視図、第5図(イ
)は駆動棒の圧電性材料に印加する電圧波形を示す特性
線図、第5図(ロ)は第5図(イ)の印加電圧による駆
動棒の各可動接触部で生じる角速度の変化状態を示す特
性線図、第6図は駆動棒の圧電性材料の配設方向の変形
例を示す斜視図、第7図(イ)は駆動棒の圧電性材料に
印加する電圧波形の変形例を示す特性線図、第7図(ロ
)は第7図(イ)の印加電圧による駆動棒の各可動接触
部で生じる角速度の変化状態を示す特性線図、第8図は
一方面クラッチを示す横断面図、第9図は本発明を時計
歯車機構に応用した場合を示す概略図、第10図は本発
明の超音波モータの変形例を示す縦断面図、第11図は
第10図のM−刀矢視方向断面図である。 3・・・駆動棒、4A、4B、5A、5B・・・電極、
10・・・ロータ。 特許出願人 日本電子機器株式会社 代理人 弁理士 広 瀬 和 彦 第 図 第10図 一] 第11図
は超音波モータを示す縦断面図、第2図は第1図中のn
−n矢視方向断面図、第3図は第1図に示す超音波モー
タの平面図、第4図は駆動棒を示す斜視図、第5図(イ
)は駆動棒の圧電性材料に印加する電圧波形を示す特性
線図、第5図(ロ)は第5図(イ)の印加電圧による駆
動棒の各可動接触部で生じる角速度の変化状態を示す特
性線図、第6図は駆動棒の圧電性材料の配設方向の変形
例を示す斜視図、第7図(イ)は駆動棒の圧電性材料に
印加する電圧波形の変形例を示す特性線図、第7図(ロ
)は第7図(イ)の印加電圧による駆動棒の各可動接触
部で生じる角速度の変化状態を示す特性線図、第8図は
一方面クラッチを示す横断面図、第9図は本発明を時計
歯車機構に応用した場合を示す概略図、第10図は本発
明の超音波モータの変形例を示す縦断面図、第11図は
第10図のM−刀矢視方向断面図である。 3・・・駆動棒、4A、4B、5A、5B・・・電極、
10・・・ロータ。 特許出願人 日本電子機器株式会社 代理人 弁理士 広 瀬 和 彦 第 図 第10図 一] 第11図
Claims (1)
- 螺旋方向に伸縮する圧電性材料により円柱状に形成さ
れ、全体として捩れ振動を生じると共に両端部に形成さ
れた可動接触部を有する駆動棒と、該駆動棒の軸方向に
圧電性材料を挟んで設けられ、該圧電性材料に電圧を印
加する電極と、前記駆動棒両端の可動接触部に圧接され
、当該駆動棒の捩れ振動による各可動接触部のそれぞれ
逆方向への回動によって駆動棒の軸方向中央部を中心に
回転するロータとから構成してなる超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2103768A JPH044771A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2103768A JPH044771A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 超音波モータ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH044771A true JPH044771A (ja) | 1992-01-09 |
Family
ID=14362650
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2103768A Pending JPH044771A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 超音波モータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH044771A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5321333A (en) * | 1993-04-06 | 1994-06-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Torsional shear wave transducer |
FR2837034A1 (fr) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Eads Deutschland Gmbh | Element de torsion piezoceramique et actionneur de torsion realise a partir de celui-ci |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP2103768A patent/JPH044771A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5321333A (en) * | 1993-04-06 | 1994-06-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Torsional shear wave transducer |
FR2837034A1 (fr) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Eads Deutschland Gmbh | Element de torsion piezoceramique et actionneur de torsion realise a partir de celui-ci |
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