JPH0447507Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はエツチング液や洗浄液等として使用さ
れる硝酸、塩酸、超純水あるいはホスフイン等の
ガスを輸送するための高純度流体用の管の流体漏
れ検知装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、半導体製造分野等では粉塵等を嫌う純
度の高い液体、または劇薬に含まれるような液体
等、個々の液体が使用されている。これら液体あ
るいはガスは輸送管にて輸送されるが、流体の漏
洩があると危険なのでその安全対策には充分な注
意が払われている。

第４図は従来の安全対策の一例を示している。
符号２１は内部を高純度の液体あるいはガスが流
れるふつ素樹脂製チユーブを示し、このチユーブ
２１は継手２２で接続されている。

ふつ素樹脂製チユーブ２１は全長に亘つて透明
な塩化ビニル管２３で囲われ、チユーブ２１の接
続部である継手２２の部分は透明な塩化ビニル箱
２５で囲われている。この塩化ビニル箱２５には
液漏れ検知用のセンサ２６が取付けられ、液体あ
るいはガスの漏洩があつた場合にはそれを検知で
きるようになつている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら、この種の安全対策にあつては、
ふつ素樹脂製チユーブ２１の全長が数100ｍにも
及ぶものがあるため、塩化ビニル管２３の施工、
あるいは液漏れセンサ２６の配線施工などが極め
て面倒になるという問題がある。

また、塩化ビニル管２３は必然的に大径になる
ので、施工面積あるいは重量が増大するという問
題がある。

さらに、液体あるいはガスの圧力はふつ素樹脂
製チユーブ２１だけで受けることになるので、こ
のチユーブ２１の耐圧を大きくしなければならな
いという問題がある。

そこで、本考案の目的は、上述した従来の技術
が有する問題点を解消し、小型で、耐圧性に優
れ、しかも管の施工を極めて簡単にできるように
した高純度流体用の管の流体漏れ検知装置を提供
することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本考案は、ふつ素
樹脂製チユーブの外側にそのふつ素樹脂チユーブ
に沿つて樹脂被覆電線を配設し、、そのふつ素樹
脂製チユーブと前記樹脂被覆電線とを共に合成樹
脂製チユーブで被覆した少なくとも２個の流体輸
送用の管と、前記２個の流体輸送用の管の一対の
ふつ素樹脂製チユーブを接続する継手部と、前記
継手部と前記一対のふつ素樹脂製チユーブの端部
周辺を取り囲み、その内部に流体漏れ検知手段と
をもつ継手ボツクスとを有することを特徴とする
ものである。

〔作用〕

ふつ素樹脂製チユーブと合成樹脂製チユーブ間
に併設されている樹脂被覆電線の端部を継ぎ手ボ
ツクス内の流体漏れ検知手段に接続しておくだけ
で、ふつ素樹脂製チユーブの継手部からの流体の
漏れが容易に検知される。しかも、ふつ素樹脂製
チユーブ自体に電線が一体化されているので、特
別な電気的配線工事を行なう必要がない。

〔実施例〕

以下、本考案による流体漏れ検知装置の一実施
例を第１図乃至第３図を参照して説明する。

第１図において符号１は内部を高純度の液体あ
るいはガスが流れるふつ素樹脂製チユーブを示し
ている。このふつ素樹脂製チユーブ１の外側には
合成樹脂製チユーブ２が被覆されている。また、
合成樹脂製チユーブ２と上記ふつ素樹脂製チユー
ブ１との間には、第２図からも明らかなように、
ふつ素樹脂を被覆した複数本の樹脂被覆電線３，
３…３がふつ素樹脂製チユーブ１に沿つて配線さ
れている。

ふつ素樹脂製チユーブ１の素材としては、ポリ
テトラフルオロエチレン（PTFE）、テトラフル
オロエチレンとパーフルオロアルキルビニルとの
共重合体（PFA）、テトラフルオロエチレンとヘ
キサフルオロプロピレンとの共重合体（ETFE）、
ポリビニリデンフロライド（PVdF）、ポリクロ
ロトリフルオロエチレン（PCTFE）、ポリビニ
ルフルオライト（PVF）、テトラフルオロエチレ
ンとヘキサフルオロプロピレンとパーフルオロビ
ニルエーテルとの共重合体（EPE）などが好適
である。

ふつ素樹脂製チユーブ１の成形上で助剤、可塑
剤などを混入している場合には、チユーブ１にこ
れらが残留しないように留意すること、また成形
上においては特にチユーブ１の寸法精度に留意す
ることが必要である。上記素材のうち耐薬品性や
耐熱性に優れるものは、PFA、FEPであり、こ
れら素材を使用することが好ましい。

合成樹脂製チユーブ２の素材としては、ポリエ
チレン、ポリプロピレン、ポリアクリルニトリ
ル、ポリビニルクロライドなどが好適である。な
お、万一火災などが発生した際でも、ハロゲンガ
スなど有害なガスが発生しないような素材、例え
ば、上記ポリエチレンなどを使用することが好ま
しい。

合成樹脂製チユーブ２はふつ素樹脂製チユーブ
１の内部を流れる液体やガスの識別ができるよう
着色しても良い。着色はチユーブ２の素材に顔料
を混入するか、塗料を塗布するかして行う。

合成樹脂製チユーブ２は導電性を有するものに
することができる。これにより、上記ふつ素樹脂
製チユーブ１で発生する静電気が帯電しないよう
にし、火災などの危険性を防止することができ
る。導電性を有するものにするには、チユーブ２
の素材にカーボン、金属粉などを混入するか、導
電性塗料を塗布するかして行う。

樹脂被覆電線３としては、線状または帯状の電
線上にふつ素樹脂あるいはポリエチレンなどを被
覆して成形する。これは光フアイバーであつても
よい。この樹脂被覆電線３は液漏れセンサ用、バ
ルブの開閉用、各種計器類の作動用あるいは加熱
用などの電気的接続線として使用される。

上述の如き管を製造するには、ふつ素樹脂製チ
ユーブ１と合成樹脂製チユーブ２との間に樹脂被
覆電線３を介在して押出成形法などにより成形し
ても良く、ふつ素樹脂製チユーブ１に電線３を添
えて、その上から合成樹脂製のテープを巻付けて
成形しても、あるいはその上に熱収縮性の良い合
成樹脂製チユーブ２を被覆し、加熱処理して成形
しても良い。

第３図は上述したように成形された管を流体輸
送用の管とし、その少なくとも２本の管を継手５
を介して接続した状態を示している。

すなわち、上記合成樹脂製チユーブ２が被覆さ
れ流体を輸送するための２本のふつ素樹脂製チユ
ーブ１の端部が、それぞれポリエチレン製などの
液漏れ防止用の継手ボツクス６の側壁を貫通して
互いに同心状にかつ対向するようにその継手ボツ
クス６内に挿入され、互いに対向するふつ素樹脂
製チユーブ１の端部が継手５によつて接続されて
いる。

一方、上記ふつ素樹脂製チユーブ１に延設され
ている樹脂被覆電線３はその延長部がそれぞれ上
記継手ボツクス６の側壁から外部に導出され、継
手ボツクス６の底部にその先端が継手ボツクス６
内に突入するように装着された液体検知センサ７
に接続されている。

ところで、液体輸送用管はふつ素樹脂製チユー
ブ１を合成樹脂製チユーブ２により被覆して管が
形成されているので、管自体からの液漏れが起こ
ることはなく、液漏れが起きるとすれば、上記継
手５の部位からだけである。

そこで、上記継手５部から液漏れが発生し、継
手ボツクス６内に液が流出すると、液体検知セン
サ７が作動し、液漏れが検知される。

また電線３を帯状の電線などで形成して一部の
被膜をはがしておけば、電線自体がセンサの役目
を果たすから、センサ７を設ける手間を省くこと
ができる。

さらに本実施例によれば、管は二重に成形され
ているので、管としての耐圧は従来のものに比べ
て大きなものになり、その上、小型にできるの
で、継手５の部位以外は数本あるいは数十本を束
ねることも可能になり、配管設置面積を従来のも
のに比べて大幅に減少することができる。

〔考案の効果〕

以上の説明から明らかなように、本考案によれ
ば、ふつ素樹脂製チユーブと合成樹脂製チユーブ
間に樹脂被覆電線を併設されているので、この樹
脂被覆電線の端部を継手ボツクス内の液漏れセン
サ等に接続しておくだけで、ふつ素樹脂製チユー
ブからの流体の漏れを確実に検出することがで
き、センサへの接続用の電線を特に配線する必要
がなく、電気的配線工事を簡単に行なうことがで
き、しかも液漏れを容易に集中管理することがで
きる等の効果をする。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案における高純度流体用の管の一
実施例を示す斜視図、第２図は同横断面図、第３
図は本考案の流体漏れ検知装置の一部縦断面図、
第４図は従来の流体漏れ検知装置を示す一部縦断
面図である。 １……ふつ素樹脂製チユーブ、２……合成樹脂
製チユーブ、３……樹脂被覆電線、５……継手、
６……継手ボツクス、７……液漏れセンサ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １(a) ふつ素樹脂製チユーブと、その外部の樹脂
   被覆電線と、前記ふつ素樹脂製チユーブと前
   記樹脂被覆電線とを共に被覆する合成樹脂製
   チユーブを有する少なくとも２個の流体輸送
   用の管と、 (b) 前記２個の流体輸送用の管の一対のふつ素
   樹脂製チユーブを接続する継手部と、 (c) 前記継手部と前記一対のふつ素樹脂製チユ
   ーブの端部周辺を取り囲み、その内部に流体
   漏れ検知手段とをもつ継手ボツクス とを有する流体漏れ検知装置。 ２ 前記流体漏れ検知手段は、前記一対の樹脂被
   覆電線の延長部分を対向配置し、その先端部の
   絶縁被膜を剥離したものであることを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載の流体漏
   れ検知装置。 ３ 前記流体漏れ検知手段は、延長部分を対向配
   置した前記一対の樹脂被覆電線と接続したもの
   であることを特徴とする実用新案登録請求の範
   囲第１項記載の流体漏れ検知装置。 ４ 前記流体漏れ検知手段は、前記継ぎ手ボツク
   スの底部に配置した液漏れセンサであることを
   特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項また
   は第３項記載の流体漏れ検知装置。