JPH0446284A - 弁装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 イ、産業上の利用分野 本発明は弁装置に関する。

口、従来技術 液体又は気体（以下流体と言う）の流れを操作するため
に弁装置が使用されるが、弁の機能別に概ね、（１）流
れを止める、（２）流路を切りかえる、（３）流れを調
節する、（４）圧力を逃がす、の四つに大別され、それ
ぞれの機能に応じて各種の弁がある。

そして、これらの弁装置の全では、弁座から離れ又は接
当して流体を通す又は止めるための可動弁体と、この可
動弁体の作動手段とが弁棒等を介して機械的に結合され
ている。このため流体の外部への漏れ防止のために−シ
ール材が用いられている。然しシール材は、弁装置の摺
動に伴い、摩耗、衰損により徐々にその機能を失うので
定期的に取換え又は補充が不可欠である。また、可動弁
体も弁座と共に摩耗し、機能の低下を招き取換えを余儀
なくされるものである。以下、従来の弁装置の代表的な
数例を列挙する。

第１６図はボール弁の一例を示す断面図である。

貫通孔３３ａを有するボール状の可動弁体３３は、ハン
ドル３１を９０°横方向へ回転させると弁棒３２を介し
て同じ角度回転し、貫通孔３３ａは仮想線で示す状態と
なって流路を遮断する。図中、３４は弁本体、３５はガ
スケットである。

第１７図はニードル弁の１例を示す断面図である。本体
４４に筒状体４６．４７が固定され、筒状体４７に螺嵌
された弁棒４２は、ハンドル４１を回動させることによ
って上下動する。したがって弁棒４２の先端に連結され
た針状のステム４３が、本体４４のノズル部４４ａを閉
塞又は開口させる。図中、４５はガスケットである。

第１８図はダイヤフラム弁の１例を示す断面図である０
本体に筒状体５７が螺嵌され、筒状体５７に螺嵌された
弁棒５２は、ハンドル５１を回動させることによって上
下動する。したがって弁棒５２の先端に連結された可動
弁体５３が、本体５４の弁座部５４ａに接当又は離間し
て流路を閉塞又は開口させるものである。更にこの弁装
置は、本体５４と筒状体５７との接続をユニオン構造に
してあって、弁棒５２と可動弁体５３との間に金属製薄
板のダイヤフラム５６を設け、ダイヤフラム５６の周縁
部を本体５４０組立て時に本体５４とそのっぽ部５４ｂ
との間に挟み固定しているので、他の弁装置に比べて液
体又は気体の漏れ防止性能が優れ、流れを調節する機能
を備えている。図中、５４ｃは本体のねじ部、５９はガ
スケットである。

第１９図はベローズ弁の１例を示す断面図である。これ
も機構的には前記３例と同じく、弁棒６２は本体６４に
螺嵌する筒状体６５に螺嵌し、ハンドル６１を回動させ
ることによって弁棒６２が上下動する。したがって弁棒
６２の先端に連結された可動弁体６３が本体６４の弁座
部６４ａに接当又は離れて流路を閉塞又は開口するもの
であり、前記第１８図の例と似ている。ただ、この場合
、可動弁体６３はベローズ状の金属６６を介して弁棒６
２に取付けられているので、閉塞時にはベローズ６６に
よって可動弁体６３が弁座６４ａに圧設し、閉塞を確定
ならしめる。

弁装置には、上記のほか、開閉を遠隔操作で行う電動弁
やｔ磁弁がある。前者は、玉形弁、仕切弁等の弁棒をモ
ータの回転によって上下動させるものであり、後者は玉
形弁の弁体をソレノイド機構によって上下動させるもの
である。電磁弁は、第２０図に示すように、ガスケット
７８を介して本体゛１４に気密に固定された蓋７６に、
筒状鉄芯とソレノイドとからなる電磁石７１が固定され
ていて、蓋７６内に上下動可能に嵌装された弁棒７２に
は可動鉄芯７５が取つけられ、弁棒７２にはコイルばね
７７を介して可動弁体（弁押さえ）７３が取付けられて
いる。閉塞時にはコイルばね７７龜 付勢力によって可動弁体７３が本体７４の弁座部７４ａ
に接当している。開口時には電磁石７１のソレノイドに
通電して可動鉄芯７５が電磁石７１の固定鉄芯内に嵌入
して上昇し、これによって可動弁体７３がコイルばね７
４の付勢力に抗して上昇して流体流路が開口する。

以上−船釣な数例の弁装置を挙げたが、何れも摺動部の
摩耗により生じる粉体や、摺動部に施すグリス等の潤滑
剤が流体に混入することにより流体の品質が保てない。

また、これらの弁機能が直線的ではなく、流路に曲りを
有し、殊に弁体付近に流体の溜り部を有しているため、
当該部に前記粉体等の異物が溜る傾向があることや、ガ
スケットの劣化に伴いシール部や螺合部から若干の流体
が外部へ漏れることも避は得ない等の問題がある。

このようにして外部へ漏れる掻く僅かな流体も、環境に
悪影響を及ぼさない物質であれば問題はないが、有毒ガ
スや毒性の強い、或いは爆発性のある流体等機微たりと
も外部への漏れが許されない物質の場合、従来の弁装置
は安全性に問題かある。

ハ０発明の目的 本発明は、長期間使用し−でも、外部に流体が漏れるこ
とのない弁装置の提供を目的とするものである。

二１発明の構成 本発明は、 透磁性材料からなり、ｌ１ｒ８ｆｆ弁装置本体内に封入
された可動弁体と、 この可動弁体を運動させるための磁石体とを有し、前記
可動弁体と前記磁石体との磁気的相互関係により、前記
弁装置本体内に設けられた弁座部に対して前記可動弁体
が接当及び離間のいずれかを選択するように構成された
弁装置に係る。

ホ、実施例 以下、本発明の詳細な説明する。

第１図及び第２図は弁装置（止め弁）の流体流路に沿う
断面図で、第１図は流体の導通が停止している状態を、
第２図は流体が導通している状態を夫々示している。第
３図は第１図の■−■線断面図である。

弁装置本体（以下、単に本体と言う）２は直管形状を呈
し、その中央部に大径部２ａが設けられ、その上流側に
は小径部２ｂが、下流側には小径部２Ｃが夫々設けられ
ている。この例では、小径部２ｂ１２Ｃのサイズは、１
７４インチとしているが、そのほか、３／８インチ、１
７２インチ等各種の標準規格サイズとすることができる
。大径部２ａの上流側位置にはこれを囲むように電磁石
６が外設され、大径部２ａの下流側先端から下流側小径
部２Ｃに亘って本体２を囲むように電磁石７が外設され
ている。電磁石６．７のコイルは互いに逆方向に巻かれ
ていて、電磁石６．７の本体２に対向する側は逆極性に
なるようにしである。第１図では、電磁石６の本体２に
対向する側がＮ極に、！磁石７の本体２に対向する側が
Ｓ極になっている。

大径部２ａ内には丸棒状の永久磁石からなる可動弁体３
が封じ込まれていて、その上流側がＳ極に、下流側がＮ
極になっている。

以上の各部分によって弁装置１Ａが構成される。

第１図では、可動弁体３は、そのＳ極が電磁石６のＮ極
に引かれ、そのＮ極が電磁石７のＳ極に引かれて大径部
２ａの下流側に位置しており、本体２の内径が大径部２
ａから小径部２Ｃへと連続的に縮径する縮径部の内周傾
斜面２ｄに可動弁体３の下流側傾斜面３ａが強く当るよ
うに接当し、両頭斜面２ｄ、３ａの接当によって流体Ｆ
の導通が停止する。即ち、傾斜面２ｄは弁座として機能
する。

可動弁体３は、大径部２ａで２分割された本体２に挿入
し、本体２を熔接または螺接で一体にしメント鋳造法に
よって最初から一体成形することができる。

両頭斜面２ｄ、３ａは、円錐台形の局面にて面接触して
流体Ｆの導通停止を確実ならしめるため、同じ傾斜角度
としてあり、共に鏡面仕上げを施しである。なお、本体
２は、耐蝕性に優れかつ透磁性を示す材料からなるもの
とするのが良く、マルテンサイト系又は析出硬化型ステ
ンレス鋼製とするのが良い、可動弁体３には上記と同様
のステンレス鋼、その他の耐蝕性、耐摩耗性に優れる材
料の被覆を施すのが良い、なお、傾斜面３ａには柔軟性
と耐摩耗性とを示すポリイミド樹脂のコーティングを施
すのが一層好ましく、この場合は傾斜面３ａの鏡面仕上
げは省略することも可能である。

以上は、後述の第４図以鋒の例にあっても同様である。

第２図では、切換えスイッチＳＳによって電源の正負を
第１図とは逆に切換えていて、電磁石６の本体２に対向
する側がＳ極に、電磁石７の本体２に対向する側がＮ極
になっている。第２図では、可動弁体３は、そのＳ極が
電磁石６のＳ極に反発し、そのＮ極が電磁石７のＮ極に
反発して大径部２ａの上流側に移動し、本体大径部２ａ
から内方に突入するストッパ５に可動弁体３の環状突部
３ｂが接当して可動弁体３が停止する。二〇状聾で可動
弁体３は本体２の傾斜面（弁座部）２ｄから離れ、流体
Ｆが矢印のように導通する。環状突部３ｂは、切削加工
によって可動弁体３に一体に設けるが、丸棒状の可動弁
体の周面に溝を削設し、切り口を設けた形状記憶合金製
リングを原形復帰させて上記溝に嵌入させ、可動弁体に
固定させるようにもできる。

電磁石６．７間の配線及び電磁石６と切換えスイッチの
間を接続する配線８０大径部２ａ近くの部分は図示しな
い綿テープによって大径部２ａに固定させる。

可動弁体３が第１図の位置と第２図の位置との間で移動
する際に、これを案内するガイド４が本体大径部２ａか
ら内方へ向けて設けられている。

ストッパ５も同様のガイドとしての機能を併せ持ってい
る。ガイド４及びストッパ５は切削加工によって本体２
に一体に設けているが、これらは熔接又は螺接によって
本体２に固着させても良い。

熔接又は螺接による場合は、固着後に仕上げ加工を施す
。

以上のような構造とすることにより、弁装置１Ａは、切
換えスイッチＳＳによる遠隔操作によて流体Ｆの導通、
導通停止が瞬時に切換えられる。その上、可動弁体３は
、本体２の外部に露出する接続部分がなくて大径部２ａ
内に封入されているので、流体Ｆが本体２外に漏れるお
それがなく、流体の種類に関係なく安全が保証される。

また、本体を直管状にし、その中心軸線に沿って可動弁
体が運動するようにしているので、流体導通時には流体
流路が略直線状になって流体の澱みや乱流がな（、流体
がスムーズに流れる。

電磁石６．７は、本体２にモールド法によって固定され
る。但し、モールド材は図示省略しである。なお、必要
あれば電磁石６．７はモールド材の外側から磁気シール
ド材でカバーする。弁装置１Ａ全体を磁気ジ−ドル材で
カバーしても良い。

本例では、弁装置１Ａと管ＧＰとの接続は、管用テーパ
ねじ２ｅの螺嵌によっているが、フランジ、熔接によっ
ても良く、その他、例えば、先端のつばと袋ナツトとの
間の０リング及び袋ナツトに螺合する中間の雄ねじ付き
管を用いるメカニカルな接続によっても良い。

第４図は、コイルばねを併用したものの要部断面図で、
ノーマル閉、作動時開きの弁装置（止め弁）ＩＥＩを示
す、即ち、コーイルばね１１により可動弁体３は常時閉
じている。電磁石６．７に通電し反発する磁界（二点鎖
線で示すＮ、Ｓ）を与えることにより、可動弁体３は二
点鎖線矢印のように移動して流路を開放する。また、閉
状態で逆電流を通電して上記ＮＸＳとは逆極性にするこ
とにより更に強度の閉塞力を得ることもでき、波路は実
線、三点鎖線矢印の如く両方向可能である（後述の第５
図〜第９図の例にあっても同様）。その他は第１図〜第
３図の例におけると同様である。

第５図は第４図とは逆のノーマル開、作動時閉の弁装置
１Ｃの第４図と同様の要部断面図である。

即ち、コイルばね１１により可動弁体３は常時開いてい
る。したがって電磁石６．７に通電して可動弁体３を吸
引する磁界（二点鎖線で示すＮ、Ｓ）を与えることによ
り可動弁体３は二点鎖線矢印のように移動して流路を遮
断するもので流路は両方向可能である。

第６図は電磁石の代りに流出口側のみに環状の永久磁石
１２を設置した弁装置（止め弁）ＩＤの要部断面図であ
る。永久磁石１２はＳ極を可動弁体３のＮ極寄りに配置
し、空気圧又は油圧等の媒体によりスライド可能として
あり、自由に制御が可能である。即ち永久磁石１２を二
点鎖線矢印のようにスライドさせて、可動弁体３のＮ極
を可動弁体３の磁界に入れたり、フリーにしたりするこ
とによって可動弁体３を機能させることが可能である。

そして、波路も両方向可能であり前記ノーマル閉、ノー
マル開、及び自由弁としての機能も可能である。

第７図、第８図は前記第４図及び第５図における電磁石
６．７０代りに、第６図と同じく環状の永久磁石１２を
採用した弁装置（止め弁）ＩＥ、１Ｆの要部断面図であ
る。したがって、第７図は第４図と、第８図は第５図の
場合と機能的には同じであるので細部の説明は省略する
。

第９図は、逆止弁の機能を付加し、逆止弁として使用す
るほかに止め弁として使用して意図的に逆止弁の機能を
停止することもできるようにした弁装置１Ｇの要部断面
図である。本例においては電磁石７を本体２の流入口側
のみに設け、流出口側には圧力センサー２０を設置し、
前記電磁石７に対する配線の中間に変換器２２及びスイ
ッチ２３を配している。電磁石７へ通電していない状態
の時は、コイルばね１１の力によって可動弁体３は閉塞
しているが、流体Ｆが実線矢印の方向に圧力を伴って流
れ、その圧力がコイルばね１１の力に打ち勝つと可動弁
体３を押し開き同方向へ流体Ｆが流れる。そして、その
流れの圧力が低下し又は逆流（三点鎖線矢印）し始める
と、可動弁体３はコイルばね１１によって自動的に閉塞
して逆止弁として機能する。この原理は従来の逆止弁と
変りはない。然し、本例は電磁石７による付加機能をも
たせたことにより、スイッチ２３を閉じておき、例えば
流体が逆流し始めると圧力センサ２０がこれを感知し、
変換器２２を介して電磁石７を作動させ、電磁石７の吸
引力とコイルばね１１の力とによって可動弁体３を引寄
せて逆止弁の機能を高める働きをする。更に、上記とは
反対に、電磁石のＮ、Ｓ極を逆にして可動弁体３を図に
おいて右方に移動させ（二点鎖線矢印）、流体Ｆを実線
矢印方向又は三点鎖線矢印方向に流すようにもできる。

また、電磁石７に替えて環状永久磁石を使用することも
できる。

この例では、圧力センサ２０には、長野計器製作所社製
ＺＴ２１型圧カドランデューサを使用しているが、同社
製ＺＴ２１型又はその他の適宜の圧力センサを使用して
良い。後述の第１０図、第１２図の例についても同様で
ある。

第１０図は、本発明をリリーフ弁（安全弁）ＩＨ適用し
た例を示す要部断面図である。

本例においても同じく、矢印方向の流れる流体の流入口
側に電磁石７を流出口側に圧力センサー２０を設置し、
両者の間に変換器２２を配して配線している。従来のリ
リーフ弁は流体の圧力が異常に上昇したときに、予め設
定した逃げ口のばね力以上の流体の圧力でばねを押開き
流体を放出するものである。本例においても機械的な構
造原理は従来のそれと同じであるが、電磁石７の併用に
よりリリーフ弁としての機能を高めることができる。即
ち、圧力センサ２０が設定圧力以上の圧力を検知すると
、変換器２２を介して電磁石７に通電し、仮想線で示す
ようにＮ極同士の反発によって可動弁体が仮想線矢印の
ように移動して流体Ｆが仮想線矢印のように配管外部に
放出される。従来のリリーフ弁にあっては、流体の流れ
に対して、リリーフ弁へ引き込む滞溜部を大きくするこ
とが必要であったが、本例では弁座部２ｄを接続管の直
近に設けて滞溜部Ａを最少比にすることができる。

第１１図は、第９図、第１０図の電気的接続の概要を示
す概略回路図である。第９図、第１０図の圧力センサ２
０に内蔵され、封止樹脂ＳＰで封止された圧電素子ＰＥ
Ｄ、は、基準電圧を印加される比較増幅器３０Ａにアナ
ログ信号を送り、比較増幅器３０Ａの出力信号が変換器
２２に入力し、変換器２２のディジタル出力信号によっ
て電磁カフが作動するようにしている。第９図のスイッ
チ２３は、第１１図中に仮想線で示しである。

第１２図は、本発明を圧力調整弁１１に適用した例を示
す要部断面図である。

本例においては、第１図と同様の電磁石６．７の配置に
加え、流体の流入口側に圧力センサ２１を流出口側に圧
力センサ２０を設置して、双方の配線の間に演算器２６
を電源２４から電磁石６．７への配線の間に電圧調節器
２５を配して演算器２６とも結んでいる。これによって
流入口側の流体Ｆ、の圧力と流出口側の流体Ｆ２の圧力
とを検知し、電磁石６．７への電流を調節して可動弁体
３の位置を制御することにより、流出口側の流体Ｆ２の
圧力を一定にするように制御している。

第１３図は第１２図の電気的接続の概要を示す概略回路
図である。第１２図の圧力センサ２０の圧電素子ＰＥＤ
、及び圧力センサ２１の圧電素子ＰＥＣｈの出力は、夫
々比較増幅器３０Ａ、３０Ｂに入力しく以上、第１１図
におけると同様）、比較増幅器３０Ａ、３０Ｂの出力が
演算器２６に入力し、これによって前述のような制御が
なされる。

従来の圧力調整には、ばねと金属薄板とを使用した機械
的構造の圧力調整弁を使用する機構、又はマスフローコ
ントローラ若しくは従来の圧力調整弁に圧力センサと演
算器を組合せた機構が採用されていた。これらは、いず
れも、可動弁体に接続する部品が弁外部に露出していて
長期間の使用中に漏れが起るという問題、流体流路が複
雑に屈曲して流体の澱みや乱流が避けられぬという問題
があった。この例にあっては、これらの問題が解消され
る。

第１５図はＣＶＤ　（化学的気相成長）装置の配管に本
発明に基づく弁装置を使用した例を示す概略図である。

ＣＶＤ装置２７は、石英製の反応管２７Ａ、その後端部
２７Ａｂと摺合せによって気密に接続する接続部２７日
すを有する石英製のキャップ２７日、及び被処理物を高
周波加熱するためのコイル２８からなっている。反応管
２７Ａのガス導入部２７Ａａには、モノシラン（ＳｉＨ
２）ガス、酸素（０□）及びキャリアガスとしての窒素
（Ｎ２）が並列に導入される。各ガスは、第１２図の圧
力調整弁１１、流量計ＦＭ及び第４図の弁装置１Ｂを順
次経由して圧力を調整されながらガス導入部２７Ａａに
導入される。反応管２７Ａ内には被処理物としてのウェ
ハＷを載置してこれを加熱するためのサセプタ２９がウ
ェハと共に装入され、コイル２８への通電によってサセ
プタ２９が高周波加熱されこれによってウェハＷが昇温
する。そしてモノシランと酸素とが反応してシリカ（Ｓ
ｉＯ□）の被膜がウェハＷの表面に堆積、形成される。

ＣＶＤ処理に供されたガスＧは、キャップ２７日の排気
管２７Ｂａを経由して図示しないタンクに収容される。

モノシランは、有毒でかつ爆発性が極めて強いガスであ
るので、各装置外に漏れることは絶対に許されない。こ
の例では、各導入ガスは、前述した第１２図の圧力調整
弁１１及び第４図の弁装置１日を使用しているので、長
期間使用しても外部に漏れることがなく、安全かつ確実
にＣＶＤ処理が遂行される。弁装置１Ｂに替えて、第１
図〜第３図の弁装置１Ａ、第５図〜第９図の弁装置１Ｃ
１１Ｅ、１Ｆ、１Ｇを使用して良いことは言う迄もなく
、安全のために第１０図のリリーフ弁１Ｈを併用するこ
ともできる。但し、リリーフ弁１Ｈを併設する場合は、
少なくともモノシランの排気ガスは大気中に放出するこ
となく、タンクに収容させる必要がある。

以上、本発明の詳細な説明したが、上記各側における電
磁石又は永久磁石の配置や形状等は、本発明の技術的思
想に基づいて、他の各種の態様が可能である。例えば、
電磁石又は永久磁石による本体への配置や形状も第１４
Ａ図、第１４８図、第１４Ｃ図、第１４Ｄ図のようにす
ることもでき、これ以外のものも採り得る。又弁の機能
を前記以外のものと組合せて多機能の弁装置とすること
も可能である。これらの図中、２９Ａ、２９Ｂ、２９Ｃ
１２９Ｄは電磁石又は永久磁石であり、これらの図では
これら磁石、本体及び可動弁体のみを図示している。

以上、本発明の詳細な説明したが、本発明の技術的思想
に基いてこれらの実施例に種々の変形を加えることがで
きる。例えば、可動弁体が本体の弁座部と接当する接当
面の形状は、円錐台形面のほか、球帯その他の適宜の形
状の面であって良く、球面と円閏との線接触としても良
い。そのほか、可動弁体を案内するガイドは、可動弁体
側に設けることもできる。本体、可動弁体の形状も他の
適宜の形状とすることもできる。

へ１発明の効果 本発明は、弁装置本体に封入され、透磁性材料からなる
可動弁体が、磁石体との磁気的相互関係によって弁装置
本体内の弁座部に対して接当又は離間するようにしてい
るので、可動弁体には弁装置外部に露出する附属部品を
必要とせず、従って、このような附属部品と弁装置本体
との間から流体が弁装置外部に漏れることがない。その
結果、毒性や爆発性のある流体の配管に長期間使用して
漏れが起らず長期間に亘って安全が保証される。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第１５図は本発明の実施例を示すものであって
、 第１図は止め弁の流体流路閉塞時の断面図、第２図は同
流体流路開口時の断面図、 第３図は第１図のｍ−ｍ線断面図、 第４図は他の例による止め弁の流体流路閉塞時の断面図
、 第５図は同流体流路開口時の断面図、 第６図は更に他の例による止め弁の流体流路閉塞時の断
面図、 第７図は更に他の例による止め弁の流体流路閉塞時の断
面図、 第８図は同流体流路開口時の断面図、 第９図は逆止弁と止め弁との機能を併せ持つ弁装置の断
面図、 第１０図はリリーフ弁の断面図、 第１１図は第９図、第１０図の電気的接続を示す概略回
路図、 第１２図は圧力調整弁の断面図、 第１３図は第１２図の電気的接続を示す概略回路図、 第１４Ａ図、第１４日図、第１４Ｃ図及び第１４Ｄ図は
、夫々の他の例による可動弁体と磁石体との位置関係を
示す概略断面図、 第１５図はＣＶＤ装置のガス導通路に各種弁装置を配し
た例の概略図 である。 第１６図、第１７図、第１８図、第１９図及び第２０図
は、夫々従来の弁装置の断面図である。 なお図面に示された符号において ＩＡ　　１Ｂ、１Ｃ１１Ｄ、１Ｅ、１Ｆ、・・・・・・
・・・止め弁 Ｇ・・・・・・・・・止め弁蓋用の逆止弁Ｈ・・・・・
・・・・リリーフ弁 １・・・・・・・・・圧力調整弁 ・・・・・・・・・弁装置本体 ａ・・・・・・・・・大径部 ２ｂ、２ｃ・・・・・・・・・小径部 ２ｄ・・・・・・・・・弁座部 ３・・・・・・・・・可動弁体 ３ａ・・・・・・・・・可動弁体の弁座部への接当面３
ｂ・・・・・・・・・環状突部 ４・・・・・・・・・ガイド ５・・・・・・・・・ストッパ ６．７・・・・・・・・・電磁石 ８・・・・・・・・・導線 １１・・・・・・・・・コイルばね １２．２９Ａ、２９日、２９Ｃ１２９Ｄ、・・・・・・
・・・永久磁石 ２０．２１・・・・・・・・・圧力センサ２２・・・・
・・・・・変換器 ２３、ＳＳ・・・・・・・・・スイッチ２７・・・・・
・・・・反応管 Ｆ、Ｆ３、Ｆｚ・・・・・・・・・流体Ｗ・・・・・・
・・・被処理物（ウエノＸ）である。 第７図 第８図 第１７図 第１８図 第１９図 第１６図 ３ａ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、弁装置本体と、 透磁性材料からなり、前記弁装置本体内に封入された可
   動弁体と、 この可動弁体を運動させるための磁石体と を有し、前記可動弁体と前記磁石体との磁気的相互関係
   により、前記弁装置本体内に設けられた弁座部に対して
   前記可動弁体が接当及び離間のいずれかを選択するよう
   に構成された弁装置。