JPS62194082A - 流量制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は流ｒＡｔ制御装置に係り、特に弁体とともに変
位する可動部材より発生した摩耗粉が流体に混入するこ
とを防止りる構成どした流ｍａ、Ｉ＋御装置に関する。

従来の技術 従来、ガス等の流体を工粘度に１２Ｍ制御する流量制御
装置として、例えば熱式賀量流吊計で流量をＭ１測し、
その計測信号にＪ：リアクブーユエータが作動して弁体
を変位さＵる構成の＃７＆円がある。このような装置の
アクチュエータには例えば流ｂ１を高速応答で制御する
ため、電磁ソレノイドが用いられていた。この種、流ｅ
Ｍｆｉｌ＋御装置ではソレノイドを動磁して環状のコイ
ル内周側の固定部材に嵌入した可動部材を直線変位８ｕ
る構成とされている。また可動部材は弁体を有するとと
もに流体に接触しでおり、弁体を変位させて弁開度を、
可変するときコイルに設けられた固定部Ｈの内部をＨ１
！動じていた。

発明が解決しようとする問題点 しかるに、上記構成の従来の流ｆｆｌ　ａｉＩ＋御装置
では、可動部材が固定部材を摺動ＪるとぎＩ’！！擦に
より摩↓〔粉が生じており、可！ｌ！ｌＪ部材が流体に
接触しているため、上記摩耗粉が流体中に混入してしま
うといった欠点があった。また、従来の装置では摩耗粉
が流体とともに流路内を通っ−（運ばれてしまうため、
流体中に摩耗粉等の異物が含まれていることを嫌う用途
には上記装置が使用−Ｃきないという欠点があった。ま
た、上記欠点を除去するため、装置ｉ（外部の流路中に
異物の通過を阻止するフィルタを設置）ることが考えら
れるが、装置が大型化してしまうといった欠点があった
。

そこで、本発明は上記欠点を除去した流化制御装δを提
供することを目的とづ′る。

問題点を解決Ｊるための手段及び作用 本発明は上記流ｒＡυ１ｕ１１装置において、弁体を右
する可動ＦＢ材と流路との間に可動部材の変位に応じて
可動部材と固定部材との摩擦により生ずる摩耗粉が流路
内に侵入することを阻止するフィルタｉｌｌ材を設けＣ
装置を大型化させずに摩耗粉が流体とともに下流側に運
ばれてしまうことを防止するようにしたものである。

実施例 第１図に本発明になる流岱制ａ装置の一実施例を示す。

第１図中、弁本体１の上部にはソレノイド２が取付けら
れている。弁本体１は弁座３を有する弁座室４と、弁座
室４に連通ずる流入路５゜流出路６とを有り−る。ソレ
ノイド２は環状のコイル７と、コイル７の周囲に設【ノ
た磁性体８．９と、コイル７の内部に設けた円１ｎ形状
の固定部材（非磁性体）１０とを有してなる。また、ソ
レノイド２は磁性体９が弁本体１の段部１ａに嵌入して
取（＝Ｊ　ＧＪられており、固定部材１０により流体か
ら隔離されている。

１１は可動部Ｕ（磁性体）で、大径な活動部１ｉａと、
袷動部１１ａのＦ端に設けられ弁座３に対向する小径な
ニードル部（弁体）１１ｂとを有する。なお、摺動ＰＩ
ｓ１１ａは固定部材１０の内部に嵌入しており、その内
壁１０ａを摺接している。可動部材１１と固定部材１０
とは全周で嵌合するのではなく第１図中に示す空間４ｃ
と１全４８との通気が可能なごとくスロットを設けるか
又は可動部Ｉ４１１の外径を少し小さく作るようにして
おく。これにより可動部材１１はスムーズに動くことが
できる。また、可動部材１１はソレノイド２が励磁され
るとコイル７へ通電された電流値に応じて矢印Ｘ＋　、
Ｘ２方向に変位し、ニードルｒ′Ｊ５１１ｂが弁座３に
近接または弁座３より離間する方向に変位する。摺動部
１１ａは可動部材１１が変位するとともに固定部４４１
０の内壁１０ａを摺動する。

１２は板バネで、可動部材１１を支持しており、その周
縁部１２ａを環状の固定部材１３により弁本体１の取付
部１ｂに固定されている。第２図に示す如く、板バネ１
２は環状の周縁部１２ａと、周縁部１２ａより内周側に
彎曲１６３個のバネ部１２ｂと、各バネ部１２ｂに支持
され中央孔１２Ｇを有する環状の中央部１２ｄとよりな
る。微バネ１２の中央孔１２Ｃには可ｉＦ！ＪＪ部材１
１のニードル部１１ｂが嵌入しており、可動部材１１は
板バネ１２の中央部１２ｄに当接して各バネ部１２ｂに
より弾性的に支持されている。なお、各バネ部１２ｂ問
には空間１２ｅが形成さ゛れている。

１４は本発明の要部であるフィルタで、可動部材１１の
変位とともに生ずる摩耗粉が流路に侵入することを防止
するように板バネ１２の−り面に設けられている。また
、フィルタ１４はその中央孔１４ａにニードル部１１ｂ
を挿通されるとともに可動部４４１１の環状溝に係合す
る止め輪１５により係止されている。また、フィルタ１
４の外周周縁部１４ｂは固定部材１３の内周に隙間なく
当接している。したがって、フィルタ１４により弁座室
４は摺ｖＪ部１１ａ側の上室４ａとニードル部１１ｂ側
の下室４ｂとに画成されている。なお、フィルタ１４と
しては例えばステンレス製の金網、あるいは通気性を右
する多孔α材、あるいｔよｍ維積層Ｉ等が用いられる。

流量を制６１１するに際して、コイル７への通電ととも
に可動部′Ｊ／Ａ１１がニードル部１１ｂを弁座３に近
接または弁座３より離間してその弁開度が可変する。可
動部材゛１１の上記変位に伴って活動部１１ａが固定部
材１０の内壁１０ＱをＨｖｒ　Ｌ、）占動部１１ａと内
壁１０ａとの摩擦により摩耗粉が発生する。この摩耗粉
はｌｊ■動部材１１より落下り゛るが、フィルタ１４に
付着し流路内への侵入が阻止される。したがって、１９
北粉が流入［１５より弁塵室４内に流入した流体中に混
入づ°るＪ３それが無く、摩耗粉が流体とともに弁座３
より流出［１６へ運ばれでしまうことが（イ「実に防止
される。

また、フィルタ１４がニードル部１１ｂと摺動部１１ａ
との間に設置〕であるため、装置を大型化せずに澗み、
装置の小型化に対応できる。さらに、装置の点検時、ソ
レノイド２ごとフィルタ１４を取り出してフィルタ交換
を行なえるので、交換作業が容易であり、メインテナン
スの面でも好都合である。

なお、フィルタ１４は可動部′＠１１の変位に応じて板
バネ１２とともに弾性変形し、可動部材１１及び板バネ
１２の動作を妨げることがない。

また可動部材１１の変位によって固定部材１０の内部空
間容積が変化１−ると、流体が板バネ１２の空間１２ｅ
及びフィルタ１４を通過して上！４ａと王室４ｂとの間
を移動し、可動部材１１の動作が円滑に行なわれる。し
たがって、ソレノイド２の励磁による高速流量制御が確
保される。

なお、上記説明では、止め輪１５でフィルタ１４を係止
したが、これに限らず例えば可ｖＪ部材１１の摺動部１
１ａとニードル部１１ｂとを別体とし夫々にメネジ部と
オネジ部を設け、両部材間に板バネ１２とフィルタ１４
を介在させた後、両部材の螺合ににり固定するようにし
てら良い。また、第３図及び第４図に示す如く、フィル
タ１４をフィルタ押え１６により板バネ１２に固定り゛
るようにしても良い。フィルタ押え１６は根バネ１２の
周縁部１２ａに固着される鍔部１６ａと、フィルタ１４
の周縁に当接する環状の当接部１６ｂと、当接部１６ｂ
より内周側に延出する腕部１１３ｃと、可動部材１１が
貫通１゛る中央孔１６ｄをｈする中央部１６ｅとよりな
る。なお、フィルタ１４はフィルタ押え１６によりその
周縁部及びその上面の一部及び中央部をガタックことな
く押えられている。したがって、フィルタ１４は可動部
材１１が変位するとき板バネ１４と一体的に変位りる。

また、流体は腕部１６Ｃ間の空間を介してフィルタ１４
を通過する。したがって、フィルタ押え１６は流体の通
過を妨げない。

なお、上記説明ではフィルタ１４を板バネ１２の上面に
設けたが、これに限らず、例えば板バネ１２の下面に設
けても良く、またバネ性を為する材質のフィルタ兼バネ
材を用いてｂ良い。ざらに、バネ部材を可動部材１１の
上部に設け、フィルタ１４を可動部材１１の下部に設番
ノでも良い。

発明の効果 上述の如く、本発明になる流量制御ｌｖ装置は、可動部
材と流路との間にフィルタ部材を設各プてなるため、可
動部材が固定部材を摺動したとき生ずる摩耗粉が流路中
に侵入りることを確実に防止でき、しから装置の外部に
フィルタ部材を紐【ノずに済み、フィルタ部材を弁座室
の小空間内に取り付けて装置の小型化にも対応できる。

さらに、装置を点検する際アクチュエータととｂにフィ
ルタ部材を取り出して簡単にフィルタ交換を行なうこと
ができ、作業性が良く、メインテナンスの面でし右利で
ある等の特長を有する。

４、　図面のｌ！？１ｌｔＩな説明 第１図は本発明になる流Ｌ［ｉ制御装置の一実施例を説
明するための縦断面図、第２図は板バネの上面にフィル
タ部材を設けた平面図、第３図は本発明の装置の変形例
の縦断面図、第４図は第３図に示づフィルタ押えの平面
図である。

２・・・ソレノイド、３・・・弁座、７・・・コイル、
１０・・・固定部材、１１・・・可動部材、１１ａ・・
・摺動部、１１ｂ・・・ニードル部、１２・・・板バネ
、１４・・・フィルタ、１５・・・止め輪。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　弁体を有する可動部材と、前記可動部材に接する固定
   部材と、前記弁体が流路中の弁座に近接または離間する
   方向に前記可動部材を変位させて流量を制御するアクチ
   ュエータとを有してなる流量制御装置において、前記可
   動部材と流路との間に、該可動部材の変位に応じて可動
   部材と固定部材との摩擦により生ずる摩耗粉が流路内に
   侵入することを阻止するフィルタ部材を設けてなること
   を特徴とする流量制御装置。