JPH0440620A - 磁気記録ディスク及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はコンピュータの外部記憶装置である磁気ディス
ク装置の記憶体などとして用いることのできる磁気記録
ディスクに関するものである。

（従来の技術） コンピュータの記憶媒体などとして磁気記録ディスクが
用いられている。この磁気記録ディスクはアルミニウム
合金、ガラス板あるいはプラスチック板などの硬質材料
からなる円板状の基板上に厚さ１μｍ以下の磁気記録層
を形成することにより構成されている。従来、このよう
な磁気記録ディスクの磁気記録層は、酸化鉄などの磁性
粉末をバインダと混合して基板上にスピンコーティング
法などの方法で塗布することにより得られていたが、こ
の方法により得られた磁気記録層を有する磁気記録ディ
スクには飽和磁化の大きさに限界があり、このことによ
り記録密度にも限界があったため、より大きい飽和磁化
を有する金属薄膜を磁気記録層として用いた磁気記録デ
ィスクが開発されてきている。このような磁気記録ディ
スクの磁気記録層はコバルトあるいはコバルト系合金な
どからなる薄膜を蒸着法、スパッタリング法などの薄膜
形成技術によって形成したり、コバルト−リン、コバル
ト一二ソケルーリンなどの合金薄膜を無電解メツキなど
の湿式法により形成することにより得られている。

ところで最近、高密度記録および短波長の信号記録を行
なうために、高保磁力の磁気記録ディスクか要求されて
いる。そこで、高保磁力の磁気記録ディスクとして磁気
記録層の厚みを薄くした磁気記録ディスクなどが提案さ
れている。しかしながら、このような磁気記録ディスク
は保磁力が高くなるものの、その一方で飽和磁束密度や
角形比が低下してしまい、その結果、高出力で高分解能
が得られないという欠点があった。

（発明が解決しようとする課題） 本発明の目的は、高密度記録および短波長の信号記録が
可能で、かつ高出力の信号が得られる磁気記録ディスク
を提供することにある。

（課題を解決するための手段） 本発明者らは上記課題を解決するために鋭意検討を行な
った結果、磁性金属膜およびマルテンサイト変態を伴な
う金属膜を積層してなる磁気記録層を有する磁気記録デ
ィスクは保磁力が高く、飽和磁束密度や角形比が低下し
ないものであることを見出し、本発明を完成するに至っ
た。すなわち本発明は、非磁性下地層を被覆した基板上
に磁気記録層を有してなる磁気記録ディスクにおいて、
磁気記録層が磁性金属膜およびマルテンサイト変態を伴
なう金属膜を積層してなることを特徴とする磁気記録デ
ィスクである。

以下、本発明の磁気記録ディスクの一例を図面に基づい
て説明する。第１図は本発明の磁気記録ディスクの一例
の部分断面図である。本発明の磁気記録ディスクは第１
図に示すように、基板１に非磁性下地層２を被覆し、こ
の上に磁性金属膜３およびマルテンサイト変態を伴なう
金属膜４を積層してなる磁気記録層を有する。この基板
１としては円板状の、ニッケルーリンメツキ膜、陽極酸
化アルマイト膜などを被覆したアルミニウム合金、窒化
ケイ素焼結体、酸化アルミ焼結体などのセラミックスや
ステンレス、チタン合金などの金属、ガラスあるいはプ
ラスチックなどが用いられ、下地層２は金属クロムなど
からなる非磁性金属膜により５００〜３０００人程度の
厚さで構成される。

また、上記下地層２上に形成する磁気記録層は磁性金属
膜３およびマルテンサイト変態を伴なう金属膜４を積層
した構造からなるが、この積層は少なくとも基板１側か
ら磁性金属膜３／マルテンサイト変態を伴なう金属膜４
／磁性金属膜３の三層以上の積層構造を有し、最上層が
磁性金属膜３であれば特に限定はされない。第１図にお
いて例示される磁気記録ディスクは、磁性金属膜３が三
層、マルテンサイト変態を伴なう金属膜４が二層の積層
からなる磁気記録層を有している。上記磁気記録層にお
ける磁性金属膜３は例えばコバルト、コバルトニッケル
合金からなる磁性金属あるいはこれら磁性金属にクロム
、白金、タングステンなどの遷移金属元素の一種以上を
添加した磁性材料により構成することができ、マルテン
サイト変態を伴なう金属膜４は例えば亜鉛−アルミニウ
ム−銅合金などの材料から構成することができる。また
、これら金属膜の厚みは特に限定されないが、得られる
磁気記録ディスクの磁気特性を考慮して、磁性金属膜３
は５０〜５００人、マルテンサイト変態を伴なう金属膜
４は５〜５０人とすることが好ましく、磁気記録層全体
の厚みは４００〜８００人とすることが好ましい。本発
明の磁気記録ディスクは以上のように磁気記録層が磁性
金属膜３およびマルテンサイト変態を伴なう金属膜４を
積層してなることにより、保磁力が向上し、飽和磁束密
度や角かた比の低下がないものとなる。更に、本発明の
磁気記録ディスクには例えば第１図に示すように、磁気
記録層を磁気記録ディスクのドライブ装置のヘッドから
保護するための炭素などの無機材料からなる保護層５、
上記ヘッドとの潤滑性を付与するための潤滑層６などを
適宜形成してもよい。

上述した本発明の磁気記録ディスクの非磁性下地層２及
び磁気記録層は例えば蒸着法あるいはスパッタリング法
などの方法により形成することができる。このうち磁気
記録層は、基板１を磁気記録層を構成するマルテンサイ
ト変態を伴なう金属膜のマルテンサイト変態点以上の温
度まで加熱しながら形成する必要がある。この変態点以
上は用いる材料によっても異なるが、例えば亜鉛−アル
ミニウム−銅合金材料においては２００℃以上の温度で
ある。以上の方法によれば、磁気記録ディスクの製造過
程において、マルテンサイト変態を伴なう金属膜４はマ
ルテンサイト変態して形成される。本発明の磁気記録デ
ィスクにおける保磁力の向上は、このマルテンサイト変
態に伴ない生じるマルテンサイト変態を伴なう金属膜４
の体積増加により磁気記録層に内部応力が誘起されるこ
とに起因するものと考えられる。

（実施例） 以下、実施例により本発明の詳細な説明するが、本発明
はこれらに限定されるものではない。

実施例１ 第１図に示す磁気記録ディスクを製造した。基板１とし
て平均表面粗さを約１００人に研磨したニッケルーリン
メツキ膜を波器したアルミニウム合金を用い、この基板
１を２００℃に加熱しながら、基板１上に厚さ２０００
人の金属クロム膜からなる非磁性下地層２をＤＣスパッ
タリング法により形成した。次に非磁性下地層２上に、
基板１の加熱を続けながら、ＤＣスパッタリング法によ
り磁気記録層を形成した。磁気記録層の形成ははじめに
ニッケルを２０原子％含むコバルト−ニッケル合金から
なる磁性金属膜３を厚さ１５０人成膜し、この磁性金属
膜３上に亜鉛（１３，５重量％）−アルミニウム（８，
０重量％）−銅（残部）合金からなるマルテンサイト変
態を伴なう金属膜４を厚さ２０人成膜し、更にこの膜上
に上記と同様に磁性金属膜３を厚さ２００人、マルテン
サイト変態を伴なう金属膜４を厚さ２０人、磁性金属膜
３を厚さ２００人積層して行なった。磁気記録膜の形成
後、基板１の加熱を終了し、室温まで冷却した後、厚さ
２００人の炭素からなる保護層５をＤＣスパッタリング
法により形成し、該保護層５上に潤滑層６として液体潤
滑剤を塗布して磁気記録ディスクを製造した。

磁気記録ディスクの製造後、得られた磁気記録ディスク
の保磁力、飽和磁束密度および角形比をｎ］定した。そ
の結果を表１に示す。

層構造とした以外は実施例１と同様の方法で磁気記録デ
ィスクを製造し、磁気特性を測定した。その結果を表１
に示す。

比較例 磁気記録層を厚さ４５０人の磁性金属膜から構成した以
外は実施例１と同様の方法で磁気記録ディスクを製造し
、磁気特性を測定した。その結果を表１に示す。

表１ 実施例２ 磁気記録層を基板１側から厚さ１５０人の磁性金属膜３
／厚さ２０人のマルテンサイト変態を伴なう金属膜４／
厚さ２００人の磁性金属膜３の積（発明の効果） 以上述べたとおり、本発明の磁気記録ディスクは保磁力
の高いものであり、このことに伴う飽和磁束密度および
角形比の低下が生じないものとなる。従って、本発明の
磁気記録ディスクは高密度記録や短波長記録が可能とな
り、また高出力を得ることができるものとなる。

第 図

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の磁気記録ディスクの一実施態様の部分
断面図である。 図中、 １・・・基板　　　　　　　２・・・非磁性下地層３・
・・磁性金属膜 ４・・・マルテンサイト変態を伴なう金属膜５・・・保
護層　　　　　　６・・・潤滑層を各々示す。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性下地層を被覆した基板上に磁気記録層を有
   してなる磁気記録ディスクにおいて、磁気記録層が磁性
   金属膜およびマルテンサイト変態を伴なう金属膜を積層
   してなることを特徴とする磁気記録ディスク。
2. （２）マルテンサイト変態を伴なう金属膜が亜鉛−アル
   ミニウム−銅合金からなることを特徴とする請求項第１
   項に記載の磁気記録ディスク。
3. （３）非磁性下地層を被覆した基板上に、マルテンサイ
   ト変態を伴なう非磁性金属膜および磁性金属膜を、上記
   基板を上記マルテンサイト変態を伴なう非磁性金属膜の
   マルテンサイト変態点以上の温度まで加熱しながら成膜
   し、磁気記録層を形成することを特徴とする、非磁性下
   地層を被覆した基板上に磁性金属膜およびマルテンサイ
   ト変態を伴なう金属膜を積層してなる磁気記録層を有し
   てなる磁気記録ディスクの製造方法。