JPH0439945A - リード巾の計測方法 - Google Patents
リード巾の計測方法Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
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- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はリード巾の計測方法に関し、詳しくは、リード
の変形等に関係なく、リードのワイヤボンディング部の
巾を正確に計測するための方法に関する。
の変形等に関係なく、リードのワイヤボンディング部の
巾を正確に計測するための方法に関する。
（従来の技術）
ＩＣなどの電子部品は、半導体チップをリードフレーム
のアイランドに搭載し、次いでワイヤボンディング手段
により、半導体チップの電極部と、リードフレームのリ
ードをワイヤにより接続し、次いでモールドプレスして
、リードフレームを切断処理することにより製造される
。
のアイランドに搭載し、次いでワイヤボンディング手段
により、半導体チップの電極部と、リードフレームのリ
ードをワイヤにより接続し、次いでモールドプレスして
、リードフレームを切断処理することにより製造される
。
ところで近年、高集積化の要請から、リード巾は細小化
する傾向にあるが、リードのワイヤボンディング部の中
が過小であると、ワイヤを正しくボンディングできない
ことから、ワイヤボンディングに先立って、リードのワ
イヤボンディング部の巾を予め計測することが行われる
。
する傾向にあるが、リードのワイヤボンディング部の中
が過小であると、ワイヤを正しくボンディングできない
ことから、ワイヤボンディングに先立って、リードのワ
イヤボンディング部の巾を予め計測することが行われる
。
このワイヤボンディング部の位置は、一般に、リードの
先端部中央点から、リードの中央線に沿ってリードの基
端部側に所定距離オフセットした点に規定される。
先端部中央点から、リードの中央線に沿ってリードの基
端部側に所定距離オフセットした点に規定される。
第４図は従来のリード巾の計測手段を示すものであって
、十字形のカーソル線１０１．１０２の一方のカーソル
線１０１をリード１０３の先端部に合致させることによ
り、このカーソル線１０１と先端部の接点、すなわちリ
ードの先端部中央点Ａを検出し、次いでこの中央点Ａか
らリード１０３の中央線に沿って所定距離りだけリード
１０３の基端部側にオフセットした点Ｂにおけるワイヤ
ボンディング部１０４のリード中りを計測するようにな
っていた。
、十字形のカーソル線１０１．１０２の一方のカーソル
線１０１をリード１０３の先端部に合致させることによ
り、このカーソル線１０１と先端部の接点、すなわちリ
ードの先端部中央点Ａを検出し、次いでこの中央点Ａか
らリード１０３の中央線に沿って所定距離りだけリード
１０３の基端部側にオフセットした点Ｂにおけるワイヤ
ボンディング部１０４のリード中りを計測するようにな
っていた。
（発明が解決しようとする課題）
ところがり一ド１０３は、同図鎖線にて示すように、屈
曲するなどして変形している場合がある。この場合、リ
ード１０３の先端部の中央点Ａ１からリード１０３の中
央線に沿って所定距離Ｄオフセットした点Ｂ１の巾Ｌ１
が、求めるべき正しいボンディング部の巾であるが、上
記従来手段は、中央点Ａ１からかなりずれた接点Ａ２か
らのオフセット点Ｂ２における巾Ｌ２を計測するため、
誤差を生じる問題があった。
曲するなどして変形している場合がある。この場合、リ
ード１０３の先端部の中央点Ａ１からリード１０３の中
央線に沿って所定距離Ｄオフセットした点Ｂ１の巾Ｌ１
が、求めるべき正しいボンディング部の巾であるが、上
記従来手段は、中央点Ａ１からかなりずれた接点Ａ２か
らのオフセット点Ｂ２における巾Ｌ２を計測するため、
誤差を生じる問題があった。
また第５図に示すように、リードフレームのアイランド
１０５の対角線上のリード１０３“は、他のり一ド１０
３に対して４５°の角度を有するので、このリード１０
３°の巾を計測する場合には、リード１０３“ の長さ
方向が、上記一方のカーソル線１０２の長さ方向と合致
するように、リードフレームを４５″回転させねばなら
ず、作業能率が低下する問題があった。
１０５の対角線上のリード１０３“は、他のり一ド１０
３に対して４５°の角度を有するので、このリード１０
３°の巾を計測する場合には、リード１０３“ の長さ
方向が、上記一方のカーソル線１０２の長さ方向と合致
するように、リードフレームを４５″回転させねばなら
ず、作業能率が低下する問題があった。
そこで本発明は、リードの変形や角度に関係な（、ワイ
ヤボンディング部のリード中を正確に計測できる方法を
提供することを目的とする。
ヤボンディング部のリード中を正確に計測できる方法を
提供することを目的とする。
（課題を解決するための手段）
本発明は、
（１）カメラにより、リードの両側縁部の輪郭を検出す
る工程と、 （２）上記＋１）の工程で検出された両側縁部の２等分
線と、リードの先端部との交点を検出する工程と、 （３）上記交点から所定距離リードの基端部側にオフセ
ットした点におけるリード中を計測する工程、 とからリード中を計測するようにしている。
る工程と、 （２）上記＋１）の工程で検出された両側縁部の２等分
線と、リードの先端部との交点を検出する工程と、 （３）上記交点から所定距離リードの基端部側にオフセ
ットした点におけるリード中を計測する工程、 とからリード中を計測するようにしている。
（作用）
上記構成によれば、リードの両側縁部の輪郭を検出し、
これに基いてリード先端部の中央点を求め、この中央点
から所定距離オフセットした点のリード中を計測するよ
うにしているので、リードの変形や角度に関係なく、リ
ードのワイヤボンディング部の巾を正確に求めることが
できる。
これに基いてリード先端部の中央点を求め、この中央点
から所定距離オフセットした点のリード中を計測するよ
うにしているので、リードの変形や角度に関係なく、リ
ードのワイヤボンディング部の巾を正確に求めることが
できる。
（実施例）
次に、図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。
第１図は測定装置の斜視図であって、■はＣＣＤカメラ
、２は鏡筒であり、その下方にはＸＹ子テーブルが設け
られている。４はＸＹ子テーブル上にセントされたリー
ドフレームであって、ＸＹ方向に移動させながら、リー
ドフレーム４に打ち抜き形成されたリードの巾を計測す
る。５はカメラ１に接続されたコンピュータである。
、２は鏡筒であり、その下方にはＸＹ子テーブルが設け
られている。４はＸＹ子テーブル上にセントされたリー
ドフレームであって、ＸＹ方向に移動させながら、リー
ドフレーム４に打ち抜き形成されたリードの巾を計測す
る。５はカメラ１に接続されたコンピュータである。
第２図はリード中の計測工程を示すものである。同図（
ａ）に示すように、先ずリード６０両側縁部に沿って、
波線矢印に示すように輪郭追跡を行うことにより、両側
縁部の輪郭を検出する。この輪郭は、リード６とその背
景には明暗のコントラストがあることから、簡単に検出
できる。
ａ）に示すように、先ずリード６０両側縁部に沿って、
波線矢印に示すように輪郭追跡を行うことにより、両側
縁部の輪郭を検出する。この輪郭は、リード６とその背
景には明暗のコントラストがあることから、簡単に検出
できる。
次いで、同図（ｂ）に示すように、上記のようにして検
出された輪郭から、両側縁部の仮想線ｚ１．ｚ２を求め
、次いで両仮想線１）．１２の２等分線ｍを求め、更に
この２等分線ｍと、リード６の先端部との交点、すなわ
ちリード６の先端部の中央点Ａを求める。この場合、２
等分線ｍは、両仮想線ｆｌ、ｆ２の間隔ｄｉ、ｄ２、ｄ
３・・・ｄｎの平均値を算出することにより、正確に求
めることができる。
出された輪郭から、両側縁部の仮想線ｚ１．ｚ２を求め
、次いで両仮想線１）．１２の２等分線ｍを求め、更に
この２等分線ｍと、リード６の先端部との交点、すなわ
ちリード６の先端部の中央点Ａを求める。この場合、２
等分線ｍは、両仮想線ｆｌ、ｆ２の間隔ｄｉ、ｄ２、ｄ
３・・・ｄｎの平均値を算出することにより、正確に求
めることができる。
次いで、上記中央点Ａから、リード６の中央線に沿って
リード６の基端部側へ所定距離Ｄオフセットした点Ｂを
求め（同図（ｃ）） 、この点Ｂにおけるリード６の巾
を計測すれば、ワイヤボンディング部７のリード中りが
求められる。
リード６の基端部側へ所定距離Ｄオフセットした点Ｂを
求め（同図（ｃ）） 、この点Ｂにおけるリード６の巾
を計測すれば、ワイヤボンディング部７のリード中りが
求められる。
以上のように本方法は、両仮想線Ａｌ、Ａ２の２等分線
ｍとり−ド６の先端部との交点を求めて、リード６の先
端部の中央点Ａを特定するようにしているので、第２図
に示すようにリード６に変形がない場合だけでなく、第
３図に示すようにリード６が変形している場合でも、正
しい中央点Ａを求め、これからボンディング部７の巾り
を計測することができ、更にはり一ド６が角度を有する
場合でも、正しい中央点Ａを求めて、これに基いてボン
ディング部のリード中を求めることができる。
ｍとり−ド６の先端部との交点を求めて、リード６の先
端部の中央点Ａを特定するようにしているので、第２図
に示すようにリード６に変形がない場合だけでなく、第
３図に示すようにリード６が変形している場合でも、正
しい中央点Ａを求め、これからボンディング部７の巾り
を計測することができ、更にはり一ド６が角度を有する
場合でも、正しい中央点Ａを求めて、これに基いてボン
ディング部のリード中を求めることができる。
なお本手段は、金属板を打ち抜いて形成されるリードフ
レームに限らず、ＴＡＢ法により合成樹脂フィルムにて
作られたリードフレームのリード中の計測方法にも通用
できるものである。
レームに限らず、ＴＡＢ法により合成樹脂フィルムにて
作られたリードフレームのリード中の計測方法にも通用
できるものである。
（発明の効果）
以上説明したように本発明は、
（１）カメラにより、リードの両側縁部の輪郭を検出す
る工程と、 （２）上記（１）の工程で検出された両側縁部の２等分
線と、リードの先端部との交点を検出する工程と、 （３）上記交点から所定距離リードの基端部側にオフセ
ットした点におけるリード中を計測する工程、 とからワイヤボンディング部のリード中を求めるように
しているので、リードの変形や角度に関係なく、ワイヤ
ボンディング部におけるリード中を正確に計測すること
ができる。
る工程と、 （２）上記（１）の工程で検出された両側縁部の２等分
線と、リードの先端部との交点を検出する工程と、 （３）上記交点から所定距離リードの基端部側にオフセ
ットした点におけるリード中を計測する工程、 とからワイヤボンディング部のリード中を求めるように
しているので、リードの変形や角度に関係なく、ワイヤ
ボンディング部におけるリード中を正確に計測すること
ができる。
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は測定
装置の斜視図、第２図及び第３図は計測中の平面図、第
４図及び第５図は従来手段の計測中の正面図である。 １・・・カメラ ６・・・リード ７・・・ワイヤボンディング部
装置の斜視図、第２図及び第３図は計測中の平面図、第
４図及び第５図は従来手段の計測中の正面図である。 １・・・カメラ ６・・・リード ７・・・ワイヤボンディング部
Claims (3)
- （１）カメラにより、リードの両側縁部の輪郭を検出す
る工程と、 - （２）上記（１）の工程で検出された両側縁部の２等分
線と、リードの先端部との交点を検出する工程と、 - （３）上記交点から所定距離リードの基端部側にオフセ
ットした点におけるリード巾を計測する工程、 とから成ることを特徴とするリード巾の計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2148272A JP2767980B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | リード巾の計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2148272A JP2767980B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | リード巾の計測方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0439945A true JPH0439945A (ja) | 1992-02-10 |
| JP2767980B2 JP2767980B2 (ja) | 1998-06-25 |
Family
ID=15449059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2148272A Expired - Fee Related JP2767980B2 (ja) | 1990-06-05 | 1990-06-05 | リード巾の計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2767980B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110533770A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-12-03 | 厦门大学 | 一种面向隐式表达医学模型的3d打印切片方法 |
-
1990
- 1990-06-05 JP JP2148272A patent/JP2767980B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110533770A (zh) * | 2019-08-20 | 2019-12-03 | 厦门大学 | 一种面向隐式表达医学模型的3d打印切片方法 |
| CN110533770B (zh) * | 2019-08-20 | 2021-06-01 | 厦门大学 | 一种面向隐式表达医学模型的3d打印切片方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2767980B2 (ja) | 1998-06-25 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |