JP2917309B2 - リードフレームのリード先端部の最小間隔測定方法 - Google Patents
リードフレームのリード先端部の最小間隔測定方法Info
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はリードフレームのリード先端部の最小間隔測
定方法に関し、詳しくは相隣るリードの先端部の最小間
隔を、光学的手段により正確に検出するための方法に関
する。
定方法に関し、詳しくは相隣るリードの先端部の最小間
隔を、光学的手段により正確に検出するための方法に関
する。
（従来の技術） リードフレームは、金属板を打ち抜くなどして形成さ
れるものであるが、近年は、高集積化、コンパクト化の
要請から、リードとリードの間隔は益々小さくなってき
ている。
れるものであるが、近年は、高集積化、コンパクト化の
要請から、リードとリードの間隔は益々小さくなってき
ている。
打ち抜き形成された相隣るリードとリードの先端部の
間隔が過小になると、短絡の虞れがあることから、リー
ドとリードの最小間隔の測定が行われ、設定値よりも小
さい場合は、そのリードフレームは不良品として選別さ
れる。
間隔が過小になると、短絡の虞れがあることから、リー
ドとリードの最小間隔の測定が行われ、設定値よりも小
さい場合は、そのリードフレームは不良品として選別さ
れる。
第４図は従来のリード間隔の測定手段を示すものであ
って、カメラにより相隣るリードL,Lの先端部La,Laのエ
ッジを複数点a1〜an,b1〜bn検出し、その結果からリー
ド先端部La,Laの形状を特定する仮想直線N1〜N3、N4〜N
6を設定し、次いで相隣る仮想直線N3,N6の最小間隔Dmin
を求めることにより、リード先端部La,Laの最小間隔と
していた。
って、カメラにより相隣るリードL,Lの先端部La,Laのエ
ッジを複数点a1〜an,b1〜bn検出し、その結果からリー
ド先端部La,Laの形状を特定する仮想直線N1〜N3、N4〜N
6を設定し、次いで相隣る仮想直線N3,N6の最小間隔Dmin
を求めることにより、リード先端部La,Laの最小間隔と
していた。
（発明が解決しようとする課題） ところでリードＬの先端部Laは、上記のように金属板
を打ち抜く際に、プレスされて扁平な略楕円形になって
いる。このプレスは、リード先端部Laをフラットな面に
して、後工程でワイヤを接着しやすくするために行われ
るものである。
を打ち抜く際に、プレスされて扁平な略楕円形になって
いる。このプレスは、リード先端部Laをフラットな面に
して、後工程でワイヤを接着しやすくするために行われ
るものである。
この為、上記仮想線N1〜N3,N4〜N6は、リード先端部L
aの実際の輪郭からずれており、したがって仮想線N3,N6
の最小間隔として求められた上記最小間隔Dminは、実際
の最小間隔Ｄ′minと若干相違している。
aの実際の輪郭からずれており、したがって仮想線N3,N6
の最小間隔として求められた上記最小間隔Dminは、実際
の最小間隔Ｄ′minと若干相違している。
そこで本発明は、相隣るリードとリードの先端部の最
小間隔を正確に測定することができる方法を提供するこ
とを目的とする。
小間隔を正確に測定することができる方法を提供するこ
とを目的とする。
（課題を解決するための手段） このために本発明は、 （１）カメラによりリード先端部の輪郭を検出する工程
と、 （２）検出された輪郭をリードの長さ方向に分割する分
割線を求める工程と、 （３）次に相隣るリードの上記分割線を分割する分割線
を求める工程と、 （４）次に上記（３）の工程で求められた分割線から、
この分割線の両側方のリード先端部の輪郭までの距離を
ピッチをおいて求める工程と、 （５）次に各々のピッチにおける両側方の距離の和の最
小値を求める工程と、 からリードフレームのリード先端部の最小間隔を測定す
るようにしている。
と、 （２）検出された輪郭をリードの長さ方向に分割する分
割線を求める工程と、 （３）次に相隣るリードの上記分割線を分割する分割線
を求める工程と、 （４）次に上記（３）の工程で求められた分割線から、
この分割線の両側方のリード先端部の輪郭までの距離を
ピッチをおいて求める工程と、 （５）次に各々のピッチにおける両側方の距離の和の最
小値を求める工程と、 からリードフレームのリード先端部の最小間隔を測定す
るようにしている。
（作用） 上記方法によれば、リード先端部の輪郭に沿う最小間
隔を正確に求めることができる。
隔を正確に求めることができる。
（実施例） 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。
る。
第１図は測定装置の斜視図であって、１はCCDカメ
ラ、２は鏡筒であり、その下方にはXYテーブル３が設け
られている。４はXYテーブル３上にセットされたリード
フレームであって、XY方向に移動させながら、リードと
リードの最小間隔を測定する。５はカメラ１に接続され
たコンピュータである。リードフレーム４は、金属板を
打ち抜いて形成されるものであり、第２図に示すよう
に、リードＬの先端部Laは、打ち抜きと同時にプレスさ
れて、扁平な略楕円形になっている。次に第２図を参照
しながら、相隣るリード先端部La,Laの最小間隔を求め
る方法を説明する。
ラ、２は鏡筒であり、その下方にはXYテーブル３が設け
られている。４はXYテーブル３上にセットされたリード
フレームであって、XY方向に移動させながら、リードと
リードの最小間隔を測定する。５はカメラ１に接続され
たコンピュータである。リードフレーム４は、金属板を
打ち抜いて形成されるものであり、第２図に示すよう
に、リードＬの先端部Laは、打ち抜きと同時にプレスさ
れて、扁平な略楕円形になっている。次に第２図を参照
しながら、相隣るリード先端部La,Laの最小間隔を求め
る方法を説明する。
まず、リードフレーム４をXY方向に移動させながら、
カメラ１により、リード先端部Laの輪郭を求める（破線
矢印（イ）参照）。この輪郭は、リードＬとその背景の
輝度のコントラストの相違から、周知画像処理手段によ
り簡単に求めることができる。
カメラ１により、リード先端部Laの輪郭を求める（破線
矢印（イ）参照）。この輪郭は、リードＬとその背景の
輝度のコントラストの相違から、周知画像処理手段によ
り簡単に求めることができる。
次いで、リードＬを長さ方向に等分に２分割する分割
線N1を求める。次に相隣るリードＬとリードＬと分割線
N1,N1を等分に２分割する分割線N2を求める。次いで矢
印（ロ），（ハ）で示すように、この分割線N2から、両
側方のリード先端部Laの輪郭までの距離Da1,Da2・・・D
an,Db1,Db2・・・Dbnを、ピッチｔをおいて求める（第
３図も参照）。次いで、各距離の和Da1＋Db1、Da1＋Db2
・・・Dan＋Dbnを算出し、そのうちの最小値（例えばDa
4＋Db4）を求めることにより、相隣るリード先端部La,L
aの最小間隔を検出する。上記演算は、コンピュータ５
により行われる。以上のように上記方法は、相隣るリー
ド先端部La,Laの輪郭に沿って、間隔の最小値を求める
ようにしているので、きわめて正確に実際の最小間隔を
求めることができる。
線N1を求める。次に相隣るリードＬとリードＬと分割線
N1,N1を等分に２分割する分割線N2を求める。次いで矢
印（ロ），（ハ）で示すように、この分割線N2から、両
側方のリード先端部Laの輪郭までの距離Da1,Da2・・・D
an,Db1,Db2・・・Dbnを、ピッチｔをおいて求める（第
３図も参照）。次いで、各距離の和Da1＋Db1、Da1＋Db2
・・・Dan＋Dbnを算出し、そのうちの最小値（例えばDa
4＋Db4）を求めることにより、相隣るリード先端部La,L
aの最小間隔を検出する。上記演算は、コンピュータ５
により行われる。以上のように上記方法は、相隣るリー
ド先端部La,Laの輪郭に沿って、間隔の最小値を求める
ようにしているので、きわめて正確に実際の最小間隔を
求めることができる。
（発明の効果） 以上説明したように本発明は、 （１）カメラによりリード先端部の輪郭を検出する工程
と、 （２）検出された輪郭をリードの長さ方向に分割する分
割線を求める工程と、 （３）次に相隣るリードの上記分割線を分割する分割線
を求める工程と、 （４）次に上記（３）の工程で求められた分割線から、
この分割線の両側方のリード先端部の輪郭までの距離を
ピッチをおいて求める工程と、 （５）次に各々のピッチにおける両側方の距離の和の最
小値を求める工程と、 からリード先端部の最小間隔を求めるようにしているの
で、略楕円形にプレスされたリード先端部の最小間隔を
正確に求めることができる。
と、 （２）検出された輪郭をリードの長さ方向に分割する分
割線を求める工程と、 （３）次に相隣るリードの上記分割線を分割する分割線
を求める工程と、 （４）次に上記（３）の工程で求められた分割線から、
この分割線の両側方のリード先端部の輪郭までの距離を
ピッチをおいて求める工程と、 （５）次に各々のピッチにおける両側方の距離の和の最
小値を求める工程と、 からリード先端部の最小間隔を求めるようにしているの
で、略楕円形にプレスされたリード先端部の最小間隔を
正確に求めることができる。
図は本発明の実施例を示すものであって、第１図は測定
装置の斜視図、第２図及び第３図はリード先端部の平面
図、第４図は従来手段のリード先端部の平面図である。 １……カメラ ４……リードフレーム Ｌ……リード La……リード先端部 N1……分割線 N2……分割線
装置の斜視図、第２図及び第３図はリード先端部の平面
図、第４図は従来手段のリード先端部の平面図である。 １……カメラ ４……リードフレーム Ｌ……リード La……リード先端部 N1……分割線 N2……分割線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66 H01L 23/50
Claims (1)
- 【請求項１】（１）カメラによりリード先端部の輪郭を
検出する工程と、 （２）検出された輪郭をリードの長さ方向に分割する分
割線を求める工程と、 （３）次に相隣るリードの上記分割線を分割する分割線
を求める工程と、 （４）次に上記（３）の工程で求められた分割線から、
この分割線の両側方のリード先端部の輪郭までの距離を
ピッチをおいて求める工程と、 （５）次に各々のピッチにおける両側方の距離の和の最
小値を求める工程と、 から成ることを特徴とするリードフレームのリード先端
部の最小間隔測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23093989A JP2917309B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | リードフレームのリード先端部の最小間隔測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23093989A JP2917309B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | リードフレームのリード先端部の最小間隔測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0393249A JPH0393249A (ja) | 1991-04-18 |
| JP2917309B2 true JP2917309B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=16915673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23093989A Expired - Fee Related JP2917309B2 (ja) | 1989-09-06 | 1989-09-06 | リードフレームのリード先端部の最小間隔測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2917309B2 (ja) |
-
1989
- 1989-09-06 JP JP23093989A patent/JP2917309B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0393249A (ja) | 1991-04-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |