JPH0439882B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔概 要〕 本発明は磁気デイスクの試験方法に係わり、特
にヘツドタツチ検知器を用いて、磁気デイスクの
表面の微小突起の有無を検査する方法の改良に関
し、微小突起の検出精度の高い磁気デイスクの試
験方法を提供することを目的として、ヘツドタツ
チ検知器をアームに搭載し、ヘツドスライダのサ
イドエツジが磁気デイスクの接線方向に対して所
望角傾斜するよう、ヘツドスライダを加圧ばね、
アームを介してキヤリツジに保持せしめ、磁気デ
イスクを回転することでヘツドスライダを浮上さ
せるともに、キヤリツジを駆動してヘツドスライ
ダを、磁気デイスク上を半径方向に移動させて、
磁気デイスクの表面を走査させるものとする。

〔産業上の利用分野〕

本発明は磁気デイスクの試験方法に係わり、特
にヘツドタツチ検知器を用いて磁気デイスクの表
面の微小突起の有無を検査する方法の改良に関す
る。

磁気デイスク装置は、例えば第３図に示すよう
に、モータ１により回転駆動するスピンドル２に
固着した複数の磁気デイスク３と、ヘツド駆動用
の回転アクチユエータ４（回転軸１０を軸として
回転する）に取付けたアーム５と、アーム５にス
ペーサ６を介して固着した加圧ばね７と、加圧ば
ね７の先端部にジンバルばね（図示省略）を介し
て取付けた磁気ヘツド８とで構成されている。

磁気ヘツド８は回転アクチユエータ４により回
転し、磁気デイスク３の表面上を半径方向に移動
し、所定トラツクに位置づけられて、リード・ラ
イトを行う。

磁気ヘツド８はコンタクト・スタート・ストツ
プ方式であつて、磁気デイスク３が回転すること
で、磁気デイスク３の表面上に浮上し、磁気デイ
スク３の回転停止により降下して、磁気デイスク
３の表面に当接する。

磁気デイスクは、円板形の基板上に磁性剤をコ
ーテングした後に、研磨、潤滑剤塗布、バニツシ
ユ仕上げ等の工程を経て製造されるものである
が、ミクロに見ると磁気デイスクの表面には無数
の微小な突起が存在する。

一方近年は、磁気デイスクの高記録密度化に伴
い、上記の磁気ヘツドの浮上量は0.2μｍ〜0.3μｍ
に設定されている。

したがつて、稼働中に磁気ヘツドが前述の磁気
デイスクの突起に衝突（ヘツドタツチという）す
るとヘツドクラツシユと言われている修理不能な
重大な障害となる。

このために、磁気デイスクの表面は、極めて平
滑であることが要求され、磁気デイスクを製造後
に、磁気デイスクの表面に0.2μｍ以上に高い微小
突起の存在の有無を試験している。

なお、上述のような磁気デイスクの試験を、浮
上保証試験或いはGHT（GLide Height Test）
と称している。

〔従来の技術〕

第４図は従来の磁気デイスクの試験方法を説明
する図である。

従来は、第４図イ，ロに示すように磁気デイス
ク３を水平面内で回転するモータ１５を備えた磁
気デイスク駆動部と、ベース１７上を直線運動す
るキヤリツジ１１に保持したアーム１２と、アー
ム１２の先端に取付けた加圧ばね１３と、磁気デ
イスク３の表面にスライダ面１９が接するように
加圧ばね１３の先端に取付けたヘツドスライダ１
４と、アーム１２の先端の上部に搭載したヘツド
タツチ検知器１６とで構成されている。

ヘツドスライダ１４は、磁気ヘツドを流用して
おり、詳細を第４図ハに図示したように、板厚が
薄い直方体状で、磁気デイスク３の表面に流体力
学的に浮上させるために、ヘツドスライダ１４の
下面即ちスライダ面（ヘツド浮上面）１９に空気
の流入が良いように、スライダ面１９の頭部を上
方に反つたテーパー面１８としている。

ヘツドタツチ検知器１６は、ピエゾ効果素子で
あつて、ヘツドスライダ１４が微小突起２０にヘ
ツドタツチした際に発する超音波（Acoustic
Emisson即ちAE信号）をヘツドスライダ１４、
加圧ばね１３を介して検知し、その超音波振動を
図示省略した表示部に振動波形として表示するも
のである。

上述のように構成されて装置より、磁気デイス
ク３を回転してヘツドスライダ１４を0.2μｍ浮上
させた後に、キヤリツジ１１を駆動しヘツドスラ
イダ１４を磁気デイスク３の半径方向に走査運動
を行わしめる。

磁気デイスク３の表面に、0.2μｍ以上に高いの
微小突起２０があると、その微小突起２０がヘツ
ドスライダ１４のスライダ面１９に衝突しヘツド
タツチする。よつて微小突起20の有無が検査され
る。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、従来のヘツドスライダは、磁気デイ
スクの接線方向を向いた（ヘツドスライダのサイ
ドエツジと接線方向が一致している）状態でキヤ
リツジに装着されている。

したがつて、ヘツドスライダのスライダ面が微
小突起の表面に添つて追従して浮上し通過するこ
ともあり、また追従して浮上することがなくても
テーパー面に衝突することになる。

微小突起に追従してヘツドスライダが浮上すれ
ば、その微小突起を検出できないことは勿論のこ
と、テーパー面で衝突した場合には、微小突起の
上部をヘツドスライダが滑走するように通過する
ために、その衝突エネルギーが小さい。

このために、発する超音波（AE信号）の出力
が小さくて、ヘツドタツチ検知器の検出感度が低
いという問題点があつた。

本発明はこのような点に鑑みて創作されたもの
で、微小突起の検出精度の高い磁気デイスクの試
験方法を提供することを目的としている。

〔課題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために本発明は、図１に
示したように、ヘツドスライダ１４のサイドエツ
ジ１４Ａが磁気デイスク３の接線方向に対して所
望角α（５度〜10度）だけ傾斜するよう、ヘツド
スライダを加圧ばねアームを介してキヤリツジに
保持せしめる。

そして、磁気デイスク３を回転することで、ヘ
ツドスライダ１４を浮上させるともに、ヘツドス
ライダ１４を磁気デイスク３上を半径方向に移動
させて、ヘツドスライダ１４と磁気デイスク３の
表面の微小突起２０との衝突を、ヘツドスライダ
１４またはアーム上に搭載したヘツドタツチ検知
器で検出することで、微小突起２０の有無を検査
するものとする。

〔作 用〕

上述のように本発明は、ヘツドスライダ１４の
サイドエツジ１４Ａが磁気デイスク３の接線方向
に対して所望角α（５度〜10度）だけ傾斜してい
る。

よつて、図１に図示してように、微小突起２０
がテーパー面１８を外れた位置にある場合は、ヘ
ツドスライダ１４は微小突起２０に追従して浮上
することがない。そして、微小突起２０はヘツド
スライダ１４のサイドエツジ１４Ａに衝突する。

また、微小突起２０がテーパー面に対応する位
置にある場合は、テーパー面１８が微小突起２０
上を通過する間はヘツドスライダ１４は、微小突
起２０に追従してより高く浮上するが、テーパー
面１８を通過するとヘツドスライダ１４が元の浮
上高さに復帰する。そして、微小突起２０は、ス
ライダ面１９の内側にあるサイドエツジ１４Ａに
衝突する。

即ち、いずれの場合でも、微小突起２０がヘツ
ドスライダ１４のサイドエツジ１４Ａに衝突する
ので、その衝突エネルギーが大きく、ヘツドタツ
チ検知器１６の検出感度が向上する。

よつて、微小突起の検出精度が高い。

〔実施例〕

以下図を参照しながら、本発明を具体的に説明
する。なお、全図を通じて同一符号は同一対象物
を示す。

第１図は本発明の原理を示す図、第２図は本発
明の実施例を説明する図で、イは、要所平面図、
ロはヘツドスライダの平面図である。

第２図ロに示すように、ヘツドスライダ１４は
全長Ｌが4.6mm、幅Ｄが３mm、テーパー面１８の
長さＣが１mm、ヘツドスライダ１４の下面の左右
両側の設けたスライダ面１９のそれぞれの幅Ｅ
が、0.3mmである。

本発明においては、ヘツドスライダ１４は、そ
ののサイドエツジ１４Ａが磁気デイスク３の接線
方向に対して所望角α（５度〜10度）だけ傾斜す
るように、加圧ばね１３の先端部に保持されてい
る。

そして、加圧ばね１３の根元はアーム１２の先
端に固着され、アーム１２は、ベース（図示省
略）上を直線運動するキヤリツジ（図示省略）保
持されている。

なお、この傾斜角は、yaw angleとも呼ばれて
いる。

一方、ヘツドタツチ検知器１６は、アーム１２
の先端の上部に搭載されている。

したがつて、作用の項で説明したように、微小
突起２０はヘツドスライダ１４のサイドエツジ１
４Ａに衝突するので、微小突起２０の検出精度が
高い。

なお、ヘツドタツチ検知器１６をヘツドスライ
ダ１４の頭部に搭載してもほぼ同様の効果を有す
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、ヘツドス
ライダの取付け角度を磁気デイスクの接線方向に
対して５度〜10度傾斜させたことにより、ヘツド
タツチ検知器の検出感度が向上し、微小突起の検
出精度が高いという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理を示す図、第２図は本発
明の実施例を説明する図で、イは要所平面図、ロ
はヘツドスライダの平面図、第３図は磁気デイス
ク装置を説明する図、第４図のイ，ロ，ハは従来
例を説明する図である。 図において、１，１５はモータ、３は磁気デイ
スク、４は回転アクチユエータ、５，１２はアー
ム、７，１３は加圧ばね、８は磁気ヘツド、１４
はヘツドスライダ、１４Ａはサイドエツジ、１６
はヘツドタツチ検知器、１７はベース、１８はテ
ーパー面、１９はスライダ面、２０は微小突起を
それぞれ示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ヘツドタツチ検知器１６をアーム１２又はヘ
   ツドスライダ１４に搭載し、該ヘツドスライダ１
   ４のサイドエツジ１４Ａが磁気デイスク３の接線
   方向に対して所望角α傾斜するよう、該ヘツドス
   ライダ１４を加圧ばね１３、アーム１２を介して
   キヤリツジ１１に保持せしめ、 該磁気デイスク３を回転することで該ヘツドス
   ライダ１４を浮上させるともに、該キヤリツジ１
   １を駆動して該ヘツドスライダ１４を、該磁気デ
   イスク３上を半径方向に走査移動させ、 該ヘツドスライダ１４と該磁気デイスク３の表
   面の微小突起２０との衝突を、該ヘツドタツチ検
   知器１６で検出することで、該微小突起２０の有
   無を検査することを特徴とする磁気デイスクの試
   験方法。