KR100284771B1 - 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치는, 슬라이더의 운동을 측정하기 위해 자기 디스크면에 대해 수직하방으로 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사장치; 상기 슬라이더 상면의 플렉셔부에 설치되며, 상기 수직조사 레이저빔을 입사받아 상호 소정 각도를 갖는 3개의 수평방향의 레이저빔을 반사하는 삼면 반사체; 상기 자기 디스크에 근접 설치되며, 상기 삼면 반사체에 의해 반사된 레이저빔을 수광하여 결상위치를 측정하는 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서; 상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서와 전기적으로 접속되며, 각 센서를 구동시키는 한편 각 센서로부터의 신호를 수신하여 상위 단계로 전송하는 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서 드라이버; 및 상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서 드라이버와 전기적으로 접속되며, 각각의 드라이버를 통해 전송받은 상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서로부터의 신호를 처리하는 한편, 상기 각 드라이버에 상기 각 센서의 구동을 위한 명령을 제공하는 주제어부를 포함한다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 슬라이더의 디스크 트랙 추종시나 씨크시 슬라이더의 위치 및 각도 변화를 동시에 측정할 수 있는 장점이 있다.
Description
본 발명은 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치에 관한 것으로서, 더 상세히는 헤드가 자기 디스크의 일정 트랙에서 기록된 데이터를 독출하는 트랙 추종시와 다른 트랙을 찾아가는 씨크(seek)시 자기 디스크 상을 비행하는 헤드 슬라이더의 6자유도 운동을 직접 측정할 수 있는 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치에 관한 것이다.
하드 디스크 드라이브의 자기 헤드와 자기 디스크 간의 간격을 현재의 수준으로 유지하기까지에는 설계 및 제작 과정에서 많은 시행착오가 수반되었으며, 그와 같은 시행착오적인 방식에 의해 가능했다. 그러나, 자기 헤드와 자기 디스크 간의 간격을 현재보다 더 좁게, 즉 자기 헤드와 자기 디스크를 준접촉상태로 가져가기 위해서는 설계된 시스템의 동적 특성을 측정장치를 통해 면밀히 검증하고, 그 결과를 설계에 다시 반영하는 과정이 필수적으로 요구된다. 즉, 하드 디스크 드라이브 시스템의 헤드 슬라이더의 동특성 및 진동특성 분석, TOV(take-off- velocity) 분석, 접촉 출발 및 정지특성 분석, 디스크 표면 형상 및 런아웃(runout)에 의한 운동특성 분석, 계면조건에 따른 헤드 슬라이더의 제반 동특성 변화 등을 예측할 수 있는 기술이 필요할 뿐만이 아니라, 그것을 검증할 수 있는 관련 정밀측정기술이 개발되어야 한다. 따라서, 슬라이더 ABS(air bearing surface) 설계와, HGA(head gimbal assembly)의 성능 분석, 액츄에이터의 제어시의 슬라이더의 동력학(dynamics) 분석, 현재 시도되고 있는 접촉기록방식 슬라이더의 동력학 분석을 위해 트랙 추종 및 씨크 시 슬라이더 운동의 실제 측정이 필요하다. 이와 같은 검증을 가능하게 하는 측정기술은 초정밀 측정을 요구하고 있다. 이와 관련하여 현재 LDV(laser doppler vibrometer)를 이용한 트랙 추종 상태에서의 단축방향의 운동측정, 유리디스크와 광간섭계를 이용한 부상높이(flying height) 측정, AE (acoustic emission) 센서를 이용한 헤드 접촉상태의 감지, 압전센서를 이용한 슬라이더의 진동측정 등의 방법이 제시되고 있으나, 트랙 추종 모드에만 적용되거나 부분적인 측정만 수행하기 때문에 슬라이더와 디스크 시스템의 동적인 특성을 정밀하게 분석할 수 없다.
도 1은 종래의 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 부상높이, 롤(roll) 및 피치(pitch) 측정 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 슬라이더의 부상높이, 롤 및 피치 측정 시스템은 그 단부에 렌즈(101a)(101b)가 각각 마련되어 있는 광섬유(102) 및 빔 스플리터(beam splitter)(103)를 통해 디스크(104) 및 슬라이더(105)에 레이저빔을 조사하고, 그 반사광을 수신하여 슬라이더(105)의 진동을 측정하는 LDV(106)와, 그 LDV (106)의 출력신호를 입력받아 다이나믹 신호를 분석하는 다이나믹 신호 분석기(107)와, 다이나믹 신호 분석기(107)의 출력신호를 입력받아 기준신호와 비교/분석하여 슬라이더(105)의 부상높이, 롤 및 피치를 측정하는 한편, 스핀들 모터(110)의 제어를 위한 소정의 제어명령을 모터 콘트롤러(109)에 제공하는 컴퓨터 시스템(108)으로 구성되어 있다.
종래에는 이와 같은 측정 시스템을 이용하여 슬라이더의 부상높이, 롤 및 피치를 측정하였다. 또한, 디스크 표면상의 미소한 결함에 의한 동특성과, 압전소자를 이용하여 서스펜션 베이스에 진동을 가함으로써 발생한 슬라이더의 동특성을 측정하였다. 그러나, 종래의 이와 같은 측정 시스템은 슬라이더의 디스크 트랙 추종 모드에만 적용이 가능한 단점이 있다.
도 2는 종래의 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 부상높이 측정 시스템의 개략적인 구성도이다.
도 2를 참조하면, 종래의 슬라이더의 부상높이 측정 시스템은 광원(201)으로부터의 레이저빔을 간섭하는 간섭 필터(202f)를 구비하는 광학계(202)와, 광학계(202)를 통해 유리디스크(203) 및 슬라이더(204)의 표면에 조사된 레이저빔의 반사광을 감지하는 포토센서(205)와, 포토센서(205)로부터의 출력신호 및 후술되는 가속도계(207)로부터의 출력신호를 입력받아 분석하는 FFT(fast Fourier transform) 분석기(207)와, FFT 분석기(208)로부터의 출력신호를 입력받아 기준신호와 비교하여 슬라이더의 부상높이를 산정하는 컴퓨터(209)와, 상기 슬라이더(204)에 진동을 주는 쉐이커(shaker)(206)와, 그 쉐이커(206)의 가속도를 측정하는 가속도계(207)와, 쉐이커 구동신호를 발생하는 신호 발생기(210) 및 신호 발생기(210)로부터 발생된 신호를 증폭하여 쉐이커(206)에 출력하는 증폭기(211)로 구성되어 있다.
이와 같은 구성을 갖는 종래의 슬라이더의 부상높이 측정 시스템은 유리디스크(203)에 레이저빔을 투과시켜 그 배면에 위치한 슬라이더(204)의 표면 및 유리디스크(203) 표면에서 반사된 빛의 간섭을 이용하여 슬라이더(204)의 부상높이를 측정하였다. 그러나, 이 측정 시스템도 슬라이더의 디스크 트랙 추종 모드에만 적용되는 단점이 있다.
이 외에도 종래에는 광위상간섭계를 이용하여 슬라이더 이륙시의 동특성을 측정하는 한편, 그때 음향 방출 센서를 이용하여 슬라이더와 디스크 간의 충돌을 간접적으로 관측하였다. 그러나, 이 방법도 슬라이더의 디스크 트랙 추종 모드에만 적용될 수 있다. 또한, 다색광 강도 간섭계를 이용하여 디스크의 반경 위치를 서서히 옮겨가며 슬라이더의 부상높이를 측정하는 방식이 제안되었다. 이 방법은 슬라이더의 디스크 트랙 추종시에만 제한되는 것은 아니지만, 슬라이더의 반경방향 운동이 거의 정적인 상태에서 수행되므로, 실제 씨크 모드에서의 동특성을 측정한 것으로 볼 수 없다. 따라서, 이와 같은 한계를 극복할 수 있는 측정 시스템의 개발이 요구된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 감안하여 창출된 것으로서, 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 디스크 트랙 추종 모드 및 씨크 모드 시 헤드 슬라이더의 운동을 측정할 수 있는 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1은 종래의 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 부상높이, 롤 및 피치 측정 시스템의 개략적인 구성도.
도 2는 종래의 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 부상높이 측정 시스템의 개략적인 구성도.
도 3은 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치의 개략적인 시스템 구성도.
도 4는 도 3의 슬라이더의 운동 측정장치의 3개의 PSD에 각각 입사되는 레이저빔의 조사위치가 슬라이더의 변위나 회전에 따라 임의의 위치로 변화되는 것을 설명하는 개요도.
도 5 내지 도 7은 도 3의 슬라이더의 운동 측정장치의 3개의 PSD에 입사된 레이저빔의 초점위치(S1,S2,S3)가 측정되었을 때, 기준좌표계에 대한 슬라이더의 위치(P) 및 자세(R)를 구하는 알고리즘을 설명하는 개요도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
101a,101b...렌즈 102...광섬유
103...빔 스플리터 104...자기 디스크
105...슬라이더 106...LDV(laser doppler vibrometer)
107...다이나믹 신호 분석기 108,209...컴퓨터
109...모터 콘트롤러 110...스핀들 모터
201...(레이저)광원 202...광간섭계
202f...간섭필터 203...유리디스크
204...슬라이더 205...포토센서
206...쉐이커(shaker) 207...가속도계
208...FFT 분석기 210...신호 발생기
301...레이저빔 조사장치 302...삼면 반사체
303a,303b,303c...제1,제2,제3 평면위치 측정센서
304a,304b,304c...제1,제2,제3 평면위치 측정센서 드라이버
305...주제어부 305c...A/D 컨버터
305p...I/O 포트 306...서보 콘트롤러
307...VCM 드라이버 308...액츄에이터
309...자기 디스크 310...서스펜션
311...플렉셔부 312...슬라이더
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치는, 데이터의 기록 및 재생을 위한 자기 디스크와, 그 자기 디스크면 상을 비행하며 데이터의 읽기 및 쓰기를 수행하는 헤드 슬라이더를 구비하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동을 측정하기 위한 장치에 있어서, 상기 슬라이더의 운동을 측정하기 위해 상기 자기 디스크면에 대해 수직하방으로 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사장치; 상기 슬라이더 상면의 플렉셔부에 설치되며, 상기 수직조사 레이저빔을 입사받아 상호 소정 각도를 갖는 3개의 수평방향의 레이저빔을 반사하는 삼면 반사체; 상기 자기 디스크에 근접 설치되며, 상기 삼면 반사체에 의해 반사된 레이저빔을 수광하여 결상위치를 측정하는 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서; 상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서와 전기적으로 접속되며, 각 센서를 구동시키는 한편 각 센서로부터의 신호를 수신하여 상위 단계로 전송하는 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서 드라이버; 및 상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서 드라이버와 전기적으로 접속되며, 각각의 드라이버를 통해 전송받은 상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서로부터의 신호를 처리하는 한편, 상기 각 드라이버에 상기 각 센서의 구동을 위한 명령을 제공하는 주제어부를 포함하는 점에 그 특징이 있다.
여기서, 상기 삼면 반사체는 수직입사된 레이저빔을 상호 120°각도의 3개의 수평방향으로 반사하도록 구성되는 것이 바람직하다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치의 개략적인 시스템 구성도이다.
도 3을 참조하면, 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치는, 하드 디스크 드라이브의 자기 디스크(309) 면상을 소정의 부상높이로 비행하면서 자기 디스크(309)에 저장되어 있는 데이터를 독출하거나 자기 디스크(309)에 데이터를 기록하는 헤드 슬라이더(312)의 운동을 측정하기 위해 자기 디스크(309) 면에 대해 수직하방으로 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사장치(301)와, 상기 슬라이더(312) 상면의 플렉셔부(311)에 설치되며, 상기 수직조사 레이저빔을 입사받아 상호 120°각도를 갖는 3개의 수평방향의 레이저빔을 반사하는 삼면 반사체(302)와, 상기 자기 디스크(309)에 근접 설치되며, 상기 삼면 반사체(302)에 의해 반사된 레이저빔을 수광하여 결상위치를 측정하는 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서(position sensitive detector:PSD)(303a)(303b)(303c)와, 그 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서(303a)(303b)(303c)와 전기적으로 접속되며, 각 센서를 구동시키는 한편 각 센서로부터의 신호를 수신하여 상위 단계로 전송하는 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서 드라이버(304a)(304b)(304c) 및 그 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서 드라이버(304a)(304b)(304c)와 전기적으로 접속되며, 각각의 드라이버(304a)(304b)(304c)를 통해 전송받은 상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서(303a)(303b)(303c)로부터의 신호를 처리하는 한편, 상기 각 드라이버(304a)(304b) (304c)에 상기 각 센서(303a)(303b)(303c)의 구동을 위한 명령을 제공하는 주제어부(305)를 구비한다. 도 3에서 참조번호 305c는 상기 드라이버(304a)(304b)(304c)를 통해 입력받은 상기 측정센서(303a)(303b)(303c)로부터의 아날로그 신호를 디지털 신호로 변환하는 A/D 컨버터, 305p는 입/출력(I/O) 포트, 306은 액츄에이터(308)의 동작을 제어하기 위한 서보 콘트롤러, 307은 액츄에이터(308)의 구동력을 제공하는 보이스 코일 모터(voice coil motor:VCM)의 드라이버, 그리고 310은 슬라이더(312)를 지지 및 고정하는 서스펜션을 각각 나타낸다.
그러면, 이상과 같은 구성을 갖는 본 발명의 슬라이더의 운동 측정장치에 의해 슬라이더의 운동이 측정되는 과정에 대해 설명해 보기로 한다.
도 3을 참조하면, 슬라이더(312)의 변위나 회전이 없는 초기 기준위치에서 레이저빔 조사장치(301)에 의해 레이저빔이 삼면 반사체(302)에 조사되면, 삼면 반사체(302)의 각 면의 레이저빔 반사부위에 의해 수직 상방에서 입사된 빔은 상호 120°간격의 각각 다른 3개의 수평방향으로 반사되어 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서(303a)(303b)(303c)로 입사된다. 여기서, 이 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서(303a)(303b)(303c)는 z축(수직축)으로부터 각각 일정 거리 떨어져, 각각의 2차원 수광부인 전면이 원점(z축)을 향하도록 상호 120°간격으로 설치되어 있다. 따라서, 슬라이더(312)의 초기 기준위치에서 삼면 반사체(302)로부터의 3개의 반사광은 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서(303a)(303b)(303c)의 각 수광부인 전면의 중심에 정확히 입사된다. 이와 같은 상태에서 슬라이더(312)의 변위나 회전이 발생하면, 그 위치변화(translation:x,y,z)와 각변화(rotation:roll,pitch,yaw)에 따라 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서(303a)(303b)(303c)의 수광부에 입사되는 레이저빔의 조사위치는 도 4에 도시된 바와 같이, 임의의 위치로 변화된다. 여기서, 이와 같은 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서(303a)(303b)(303c)에 입사되는 레이저빔으로부터 슬라이더(312)의 위치 및 자세를 해석하는 알고리즘은 도 5에 도시된 바와 같이 삼면 반사체(302)로부터 반사되어 3개의 PSD(303a)(303b)(303c)에 입사된 레이저빔의 초점위치인 S1(x1,y1,z1), S2(x2,y2,z2), S3(x3,y3,z3)가 측정되었을 때, 기준좌표계(Xw,Yw,Zw)에 대한 슬라이더(312)의 위치 P(x,y,z) 및 자세 R(α,β,γ)을 구하는 것이다. 이에 대해 좀 더 상세히 설명해 보기로 한다.
도 5를 참조하면, 본 발명의 슬라이더 운동 측정장치의 기구학적 구속조건으로부터 미지의 위치인 기준좌표계(Xw,Yw,Zw)에 대한 삼면 반사체(302)의 중심위치 P는 PSD(303a)(303b)(303c) 면상에 입사된 레이저빔의 초점위치인 S1(x1,y1,z1), S2(x2,y2,z2), S3(x3,y3,z3)를 포함하는 유일한 평면인 첨단부 평면상에 존재함을 알 수 있다. 도 6은 카테시안(영문 철자가 어떻게 되는지?) 공간상에 임의의 위치와 자세를 가지고 있는 P와 S1(x1,y1,z1), S2(x2,y2,z2), S3(x3,y3,z3)를 포함하는 유일한 평면을 그 면에 수직인 방향, 즉 삼면 반사체(302)의 중심에 설치된, 도 7에 도시된 바와 같은 국소좌표계(Xs,Ys,Zs)의 Zs방향을 따라 Xs-Ys평면상에 투영한 그림이다. 도 6에서 삼면 반사체의 중심위치 P와 PSD 면상에 입사된 레이저빔의 각 초점위치인 S1, S2, S3사이에는 다음과 같은 수식관계가 존재한다.
여기서, 기준좌표계(Xw,Yw,Zw)에 대한 삼면 반사체(302)의 중심위치 P는 PSD(303a)(303b)(303c) 면상에 입사된 레이저빔의 초점위치인 S1(x1,y1,z1), S2(x2,y2,z2), S3(x3,y3,z3)로부터 구해진다. 즉, 3개의 점 S1,P,S2와 S3,P,S1을 지나는 원의 중심을 각각 M, N으로 놓으면, 이 원들은 기하학적 성질에 따라와를 한 변으로 하는 정삼각형의 외접원과 항상 일치한다. 이때, M과 N의 위치는 국소좌표계 평면상에서 각각와의 중심점으로부터 수직한 원의 중심방향으로의 거리에 위치한다. 이를 수식관계로 표현하면 다음과 같다.
따라서, 상기 수학식 2로부터 구한 M과 N을 중심으로 하고, S1을 지나는 2개의 원의 교차점이 삼면 반사체(302)의 중심위치 P, 즉 국소좌표계의 원점이 된다. 이때, 각 원의 반경은 각각이므로, 삼면 반사체(302)의 중심위치 P는 S1으로부터 입사한까지의 수직 교차점을 같은 방향으로 2배 연장한 위치가 된다. 이를 수식으로 표현하면 다음과 같다.
한편, 기준좌표계에 대한 삼면 반사체(302)의 자세 R(α,β,γ)는 기준좌표계에 대한 국소좌표계의 각 좌표축의 여현방향의 행렬, 즉 상기 수학식 3에서 구한 국소좌표계의 원점위치인 P에서 레이저빔의 초점위치인 S1, S2, S3까지의 여현방향 행렬로 유일하게 정의된다. 이를 수식으로 표현하면 다음과 같다.
여기서, 회전변환행렬 R을 오일러 각(Euler angle)의 롤(roll), 피치(pitch) , 요(yaw)로 정의하면, 기준좌표계에 대한 슬라이더와 일체를 이루고 있는 삼면 반사체(302)의 자세인 롤(roll), 피치(pitch), 요(yaw), 즉 γ,β,α는 폴(Paul, P.)의 'Robot Manipulators'(Mathematics, Programming and Control, MIT Press)에 소개된 롤(roll), 피치(pitch), 요(yaw) 변환해를 구하는 방식에 의해 다음과 같이 구해진다.
이와 같이 해서, 슬라이더(312)의 위치(P) 및 자세(R)가 구해짐을 보였다. 결론적으로, 기준원점으로부터 위치측정센서(303a)(303b)(303c)까지의 배치거리와, 위치측정센서(303a)(303b)(303c) 상의 레이저빔의 조사위치, 슬라이더(312)에 대한 삼면 반사체(302)의 부착위치를 기구학적으로 해석하고, 위치측정센서(303a)(303b) (303c)로부터의 출력을 바탕으로 측정되는 6개의 입력 레이저빔 초점 위치정보로부터 슬라이더(312)의 디스크 트랙 추종시나 씨크시 슬라이더(312)의 절대좌표계에 대한 6축(병진 3축, 회전 3축)의 위치 및 각도 변화를 동시에 측정할 수 있게 된다.
이상의 설명에서와 같이 본 발명에 따른 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치는 슬라이더의 디스크 트랙 추종시나 씨크시 슬라이더의 절대좌표계에 대한 6축(병진 3축, 회전 3축)의 위치 및 각도 변화를 동시에 측정할 수 있으므로, 공기베어링, HGA(head gimbal assembly)의 관성, 액츄에이터 아암의 동특성, 제어 및 외란 등의 복합적인 요인에 따른 헤드 슬라이더의 동작변화를 직접 측정할 수 있고, 그에 따라 액츄에이터 위치제어계 특성의 각 구성요소가 미치는 영향을 정확히 파악할 수 있다. 그리고, 그와 같은 데이터를 하드 디스크 드라이브의 설계 및 서보 제어 시스템에 반영함으로써 하드 디스크 드라이브의 성능 및 신뢰도를 한층 향상시킬 수 있다.
Claims (2)
- 데이터의 기록 및 재생을 위한 자기 디스크와, 그 자기 디스크면 상을 비행하며 데이터의 읽기 및 쓰기를 수행하는 헤드 슬라이더를 구비하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동을 측정하기 위한 장치에 있어서,상기 슬라이더의 운동을 측정하기 위해 상기 자기 디스크면에 대해 수직하방으로 레이저빔을 조사하는 레이저빔 조사장치;상기 슬라이더 상면의 플렉셔부에 설치되며, 상기 수직조사 레이저빔을 입사받아 상호 소정 각도를 갖는 3개의 수평방향의 레이저빔을 반사하는 삼면 반사체;상기 자기 디스크에 근접 설치되며, 상기 삼면 반사체에 의해 반사된 레이저빔을 수광하여 결상위치를 측정하는 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서;상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서와 전기적으로 접속되며, 각 센서를 구동시키는 한편 각 센서로부터의 신호를 수신하여 상위 단계로 전송하는 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서 드라이버; 및상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서 드라이버와 전기적으로 접속되며, 각각의 드라이버를 통해 전송받은 상기 제1, 제2 및 제3 평면위치 측정센서로부터의 신호를 처리하는 한편, 상기 각 드라이버에 상기 각 센서의 구동을 위한 명령을 제공하는 주제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치.
- 제1항에 있어서,상기 삼면 반사체는 수직입사된 레이저빔을 상호 120°각도의 3개의 수평방향으로 반사하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR1019990000977A KR100284771B1 (ko) | 1999-01-15 | 1999-01-15 | 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019990000977A KR100284771B1 (ko) | 1999-01-15 | 1999-01-15 | 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20000050849A KR20000050849A (ko) | 2000-08-05 |
| KR100284771B1 true KR100284771B1 (ko) | 2001-03-15 |
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ID=19571378
Family Applications (1)
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| KR1019990000977A KR100284771B1 (ko) | 1999-01-15 | 1999-01-15 | 하드 디스크 드라이브의 헤드 슬라이더의 운동 측정장치 |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR100284771B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
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|---|---|---|---|---|
| KR100421428B1 (ko) * | 2001-04-24 | 2004-03-09 | 한국과학기술원 | 반사체를 이용한 미소 6자유도 운동 측정 장치 |
-
1999
- 1999-01-15 KR KR1019990000977A patent/KR100284771B1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Publication date |
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| KR20000050849A (ko) | 2000-08-05 |
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