JP2595540B2

JP2595540B2 - 磁気ディスク装置

Info

Publication number: JP2595540B2
Application number: JP62140952A
Authority: JP
Inventors: 洋太郎畑村
Original assignee: 洋太郎畑村
Priority date: 1987-06-05
Filing date: 1987-06-05
Publication date: 1997-04-02
Anticipated expiration: 2012-04-02
Also published as: JPS63304481A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は磁気ディスクに対して情報を磁気ヘッドによ
り記録再生する磁気ディスク装置に関する。

［従来の技術］磁気ディスク装置では、磁気ディスクを回転駆動さ
せ、磁気ヘッドをこの磁気ディスクの半径方向に進退さ
せて情報の記録再生を行なっている。良く知られている
ように、この磁気ヘッドは、大記憶容量、高速データ転
送速度を実現するために、ほとんどすべての機種におい
てヘッドのギャップとディスクの媒体間の距離の安定性
に優れるフローティング（浮動型又はフライイングと称
されることも多い。）磁気ヘッドが用いられている。こ
れは磁気ヘッドとディスクが高速で相対的に移動する時
に、空気の粘性によって発生する動圧を利用して、トラ
ンスデューサである磁気ヘッドとディスクの間に微小な
すき間（浮上量、浮上高さ、浮上すきまなどと呼ばれ
る）を保たせる気体潤滑軸受である。動圧を発生させる
部分（浮上面と呼ぶ）がトランスデューサの一部に形成
されているヘッドをモノリシックヘッドと呼び、ウィン
チェスタ型ヘッドはその代表である。これ以外のタイプ
として、スライダーと通称される浮上面を有するセラミ
ック等の構造体にトランスデューサをガラスで固着した
コンポジットヘッドや、半導体製造テクノロジと同様の
プロセスによってつくられた薄膜素子を、浮上面を有す
るセラミック構造体に付着させた薄膜ヘッドがある。こ
れらのヘッドは、いずれもディスクが静止中は、ばね力
によってディスク表面に押しつけられていて、ディスク
が回転をはじめると動圧が発生し、ばね力とつりあって
浮上する、いわゆるCSSのローディング方式をとる。こ
のほかに、ディスクが交換可能な方式のディスクパック
式ディスク装置があり、その場合はランプロードヘッド
（Ramp Load Head）と呼ばれるヘッドが使用される。

上記の磁気ヘッドは、通常の場合ジンバルと称される
支持部材を介してロードアームの先端に取り付けられ、
このロードアームはヘッドアームの先端に取り付けられ
る。ヘッドアームには、磁気ヘッドがシーク方向即ちデ
ィスクの半径方向に進退できるように駆動装置が連結さ
れる。この駆動装置はヘッド位置決め機構（ポジショ
ナ,Positioner、またはアクチュエータ,Actuator）と通
称されているものである。この駆動装置はヘッドアーム
を搭載するキャリッジと、これを駆動するモータで構成
され、キャリッジの機構はリニア型とロータリ型に大別
される。位置決め制御方式には、ステッピングモータ駆
動を主に用いる開ループ制御と、ボイスコイルモータ
（Voice Coil Motor,VCM）駆動を主に用いる閉ループ制
御方式とがある。閉ループ制御の場合、位置信号をどの
ようにして得るかでいくつかの方式があるが、今日最も
一般的なのは専用のサーボディスクを用いるサーボ面サ
ーボ方式である。

ところで、フライイング磁気ヘッドは次のように作動
する。即ち、フライイングヘッドは、媒体が停止してい
る時にはロードアームのスプリング力で媒体上に約10gf
の力で押し付けられている。記録媒体の回転が始まる
と、フライイングヘッドの浮上面（これはM_n−Z_nフェラ
イト,Ni−Z_nフェライト,Al₂O₃−TiCやZrO₂あるいはCaTi
O₃で作られている鏡面）でディスク上を滑走しながら離
陸し、ディスクの回転がある周速（例えば4m/sec）にな
れば、フライイングヘッドはディスクの回転と共に動く
空気の流れによって、ディスクから0.15〜0.5μｍの中
さに浮く。この際、外部から加わる振動や、ディスクの
回転の凹凸によって時々フライイングヘッドはディスク
表面と接触することがある。また、ヘッドの離陸と同様
着陸つまりディスクの回転を停止するときも、フライイ
ングヘッドは次第にディスクに近づき、ディスク上をひ
きずられるように動き、あるいはディスク上をはずみな
がら停止する。

［発明が解決しようとする問題点］このように、磁気ディスク装置の稼動により、磁気ヘ
ッドにはディスクとの衝突や摺動によるかなり大きな衝
撃が加わる、そして、この衝撃が過大であるときにはヘ
ッドやディスクに損傷が生ずるおそれがある。しかしな
がら、従来の磁気ディスク装置においては磁気ヘッドに
加えられる外力等を検出するための手段は全く設けられ
ておらず、ディスクやヘッドの損傷を的確に予知し予防
することはできなかった。ただし研究においてヘッドに
かかる力を測定しようと試みる例はあったが、いずれも
低剛性部分がロードアームより柔なため、そのセンサー
を系に組み込んだために系が乱され低周波数の概略値し
か測定できなかった。

また、ロードアームよりも剛性の低い力センサーを組
み込んだ場合には柔なセンサーが付加的な振動を起こす
ので装置上のヘッド位置決めが困難になるため、その種
の力検出のセンサーを組み込んだ装置例は全くない。

［問題点を解決するための手段］第１の発明の磁気ディスク装置は、先端に磁気ヘッド
が取り付けられたロードアーム；先端にこのロードアー
ムが取り付けられたヘッドアーム；該ヘッドアームに近
接配置されており、それに装着されたディスクに対し前
記磁気ヘッドにより信号の記録再生が行なわれるディス
ク駆動装置；該ディスクの半径方向にヘッドアームを駆
動するヘッドアーム駆動装置；及び、前記ヘッドアーム
に設けられた該ヘッドアームの変形検出手段を有する磁
気ディスク装置であって、該変形検出手段は、ヘッドア
ームに設けられた、周囲部分よりも低剛性の部分と、こ
の低剛性の部分に取り付けられた歪検出器とを備えてな
り、該低剛性部分は、板面の方向がヘッドアームの長手
方向と平行方向に配置された複数の薄板よりなる平行平
板構造を有していることを特徴とするものである。

第２の発明の磁気ディスク装置は、先端に磁気ヘッド
が取り付けられたロードアーム；先端にこのロードアー
ムが取り付けられたヘッドアーム；該ヘッドアームに近
接配置されており、それに装着されたディスクに対し前
記磁気ヘッドにより信号の記録再生が行なわれるディス
ク駆動装置；該ディスクの半径方向にヘッドアームを駆
動するヘッドアーム駆動装置；及び、前記ヘッドアーム
に設けられた該ヘッドアームの変形検出手段を有する磁
気ディスク装置であって、該変形検出手段は、ヘッドア
ームに設けられた、周囲部分よりも低剛性の部分と、こ
の低剛性の部分に取り付けられた歪検出器とを備えてな
り、該低剛性部分は、それぞれ板面がヘッドアームの長
手方向且つ放射方向に延在した複数枚の薄板よりなる放
射平板構造を有していることを特徴とするものである。

第３の発明の磁気ディスク装置は、先端に磁気ヘッド
が取り付けられたロードアーム；先端にこのロードアー
ムが取り付けられたヘッドアーム；該ヘッドアームに近
接配置されており、それに装着されたディスクに対し前
記磁気ヘッドにより信号の記録再生が行なわれるディス
ク駆動装置；該ディスクの半径方向にヘッドアームを駆
動するヘッドアーム駆動装置；及び、前記ヘッドアーム
に設けられた該ヘッドアームの変形検出手段を有する磁
気ディスク装置であって、該変形検出手段は、ヘッドア
ームに設けられた、周囲部分よりも低剛性の部分と、こ
の低剛性の部分に取り付けられた歪検出器とを備えてな
り、該低剛性部分は、板面の方向がヘッドアームの長手
方向と平行方向に配置された複数個の薄板よりなる平板
平行構造と、それぞれ板面がヘッドアームの長手方向且
つ放射方向に延在した複数枚の薄板よりなる放射平板構
造とを有していることを特徴とするものである。

本発明の磁気ディスク装置は、磁気ヘッドが取り付け
られたロードアームを支承するヘッドアームに、該ヘッ
ドアームの変形検出手段を設けたものである。この変形
検出手段は、該ヘッドアームに貫通孔又は凹部を穿設す
ることにより、平行平板構造又は放射平板構造よりなる
変形し易い低強度部を設け、その変形量を測定するよう
構成されている。

平行平板構造は、平行な薄板をある間隔をもって複数
個配置し、主に薄板の表面に直交する力でその薄板を弾
性変形させるものである。放射平板構造は、放射状に薄
板を配置し放射状の中心を軸とするねじりでその薄板を
弾性変形させるものである。

これらの構造は、一体物のヘッドアームに除去加工を
施して形成するのが好ましく、このようにすることによ
り、剛性が大きく、力センサーとして必要な線形性や非
履歴性等を具備させることができる。その部分にかかる
力は、その薄板上で最も歪の大きい剛のヘッドアーム本
体接線上にストレインゲージを貼って、歪に変換して測
定すればよい。

前記平板構造は、多方向の軸力またはモーメントを互
いに干渉を排除してまたは一定の再現性をもつ干渉量を
測定してその比率を予め知ることにより非干渉化の値を
逆算して各々個々に求めることが容易である。

この検出値の座標系は次のように考えると良い。

方向は磁気ヘッドの浮上面の長手方向（回転するディ
スクによってひきずられた気流が流入、流出する方向、
ただしヘッドアームの駆動方式によってこの方向が必ず
しもディスクの周囲方向と一致せず10度近く交差する場
合もある。）、面内で該長手方向と直交する方向、及び
浮上面と直交する方向の計３方向の互いに直交する方向
をとるとわかり易い。もっとも必ずしもこの方向に力検
出部（平行平板構造）の主変形方向をとらないで、検出
値を座標変換の計算で座標系をあわせても良い。

原点は、ロードアームのつけ根上部のヘッドアームと
の接面上の中心点をとるとわかり易いが、前記３方向を
軸とするモーメントの値がわかり易い点に座標変換して
も良い。つまり、モーメントは着力点と原点との距離と
その方向の力との積であるから原点の位置でその大きさ
は当然異なる。

［作用］かかる本発明によれば、磁気ヘッドを介するなどして
ヘッドアームに負荷される外力をヘッドアームの変形と
して検出することができる。

平行平板構造の低強度部では、平板と垂直方向にヘッ
ドアームが選択的に変形し、この方向の力の成分を精度
よく検出できる。

放射平板構造の低強度部では、ヘッドアームがその長
手中心線回りにねじれる変形が選択的に生じるので、こ
のねじりトルクを精度よく検出できる。

［実施例］以下、図面を参照して実施例について説明する。

第１図は実施例に係る磁気ディスク装置の内部構成を
示す斜視図、第２図は同要部の拡大図、第３図はヘッド
アームの斜視図である。

符号１は装置の外殻を構成するハウジングであり、デ
ィスク駆動用モータ、該モータに連動するように設けら
れたスピンドル（いずれも図示略）を内蔵し、該スピン
ドルはケーシング１の上面に突出しディスク２を回転駆
動可能としている。

このディスク２の情報の記録再生を行なうためのヘッ
ドコアをスライダ16に固着してなる磁気ヘッド（微小に
つき図示省略）はジンバル３を介してロードアーム４の
先端に取り付けられており、該ロードアーム４の基端側
はヘッドアーム５にボルト締などにより固着されてい
る。ヘッドアーム５はキャリッジ６に支持されており、
該キャリッジ６はガイドシャフト７に沿ってシーク方向
に前後進可能とされている。符号８は該キャリッジ６を
前後進駆動するための装置を構成するモータである。な
お、本実施例では、ヘッドアーム５にカバー９が被せら
れており該ヘッドアーム５の近傍を通り抜ける気流によ
って該ヘッドアーム５に変形が生じて後述するヘッドア
ーム変位測定の外乱因子となることを防止している。
（第２図は、このカバー９を取り除いて内部構造を示し
てある。）而して、第２、３図に示す如く、ヘッドアーム５には
長手方向に貫通する貫通孔10が設けられると共に、該ヘ
ッドアーム５の側面部には凹部11及び該長手方向と直交
する方向に延びる貫通孔12、13が設けられており、３箇
所の低剛性部W₁、W₂、W₃が形成されている。そして、各
低剛性部W₁〜W₃には変形（歪）検出器としてストレイン
ゲージ14が貼着されている（第３図参照）。符号15は、
このストレインゲージ14の検出信号を信号処理回路に送
るためのリード線束を示す（第１図参照）。

低剛性部W₁ではヘッドアーム５の三角柱形状の凹部11
が４側面からそれぞれ穿設されることにより放射平板構
造が形成されている。なお、本図の例ではヘッドアーム
の長手方向の中心軸に丸穴を設け、４枚の放射平板は切
り離されている。

低剛性部分W₂では、水平な上下の外平面と水平方向に
貫通する貫通孔12により、また低剛性部W₃では鉛直な左
右の外平面と鉛直方向に貫通する貫通孔13により、それ
ぞれ平行平板構造が形成されている。

そして、凹部11同志の間の薄壁の両面と、貫通孔12、
13がくり抜かれている側壁面とには、それぞれ第３図に
示す如くストレインゲージ14が設けられている。

各ストレインゲージ14は、Ｘ方向（ヘッドアーム５の
長手方向と直交する水平方向）の力F_X,Y方向（ヘッドア
ーム５の長手方向の水平方向）の力F_Y（この例ではＹ方
向の力F_Yは検出していない）,Z軸方向（X,Y軸と直交す
る力）の力F_Z,並びにＸ軸回りのモーメントM_X,Y軸回り
のモーメントM_Y,Z軸回りのモーメントM_Zを測定するため
のものである。

各ストレインゲージ14がいずれの力又はモーメントを
測定するものであるかを示すために、第３図中の符号14
には、F_X、F_Y、F_Z、M_X、M_Y、M_Zのいずれかを続けて付し
てある。

なお、前記凹部11間の薄板に貼着されたストレインゲ
ージ14は、いずれも、Ｙ軸回りのモーメントM_Yを測定す
るためのものである。いずれも各軸力に対し４枚のスト
レインゲージを貼着し延びの２枚と縮みの２枚の計４ゲ
ージのブリッジを組んでいる。

第４図に、上記の力やモーメントによるヘッドアーム
５の変形を模式的に示す。（ａ）、（ｂ）は平行平板構
造の主変形モードで力を、（ｃ）、（ｅ）はその２次変
形モードでモーメントを、（ｄ）を放射平板構造の主変
形モードでモーメントを検出する。第４図に示す変形
は、実際の変形よりも著しく大きく示されていることは
十分に留意されるべきである。

第５図は上記の如く構成された装置において、ディス
クを回転させない時ロードアームの先端を小さなハンマ
ーで叩いて強制的に振動を生じさせた場合のF_X、F_Z及び
M_Yのストレインゲージの出力の振動数分布測定結果を示
すグラフである。図示の如く、F_X方向では2700Hz、F_Z方
向では80Hz、M_Y方向では80Hzの共振周波数（ディスク・
ヘッドは剛体とするとジンバル・ロードアーム・ヘッド
アームの系の共振周波数を示す）であることが認められ
た。

なお、装置の寸法を第３図中に記入する（単位mm）。
また、ヘッドアーム５の材質はアルミニウム合金であ
る。

第６図は、上記の装置においてロードアームをヘッド
アームから取り外し、この状態においてヘッドアームの
先端を小さなバーで叩いて振動を生じさせた場合のF_X、
F_Z及びM_Yの振動数分布の測定結果である。

図示の如く、F_X、F_Y及びM_Y方向でそれぞれ3100Hz、32
00Hz、3200Hzの共振周波数（ヘッドアームつまり力検出
部のみの共振周波数を示す）であることが認められる。

次に上記磁気ディスク装置におけるディスクを回転さ
せた際の歪測定例を示す。

直径130mmのディスク２に、半径方向に延びる１条の
細線状の樹脂塗膜（厚さ0.6μｍ）を施した。そして、
該ディスク２を2000rpmにて回転させ、ディスク中心か
ら45mmの半径位のところに磁気ヘッドを位置させた。な
お、ヘッドアーム５は基本荷重（basic load）F_X1gf、F
_Z1gf、M_Y1gf・mmに対しストレインゲージ14の初期出力
はそれぞれF_X方向に3.7μst、Fz方向に5.3μst、M_Y方向
に1.8μstの出力を生じる。（μstは１×10^-6の変形を
示す単位であり無次元）。

上記の通りのディスクの回転により、磁気ヘッドは１
秒間に2000/60＝33.3回の割合で樹脂塗膜に衝突するか
又は樹脂塗膜近傍を通過することによる衝撃を受ける。
この衝撃はヘッドアーム５の歪として表され、各ストレ
インゲージ14により検出される。F_X、F_Z及びM_Yの測定結
果を第７図に示す。

第７図より、周期的にF_X及びF_Z方向に衝撃が加わるこ
とが認められ、この衝撃は約3/100秒に１回の割合であ
り、樹脂膜との衝突ないしはその近傍通過によるもので
あることが明らかである。衝撃波のピーク値間の減衰波
形はロードアームのF_X方向の振動状態を示す。周波数は
1850H_Zであり、これは第５図に示すヘッドアームのFxの
共振周波数3100Hzよりも低い値であり、ヘッドアームの
剛性の干渉を受け難い事を示している。

種々の試験の結果、上記の装置では、F_X、F_Z、M_X、
M_Y、M_Z方向の歪出力（無次元）Ef_X、Ef_Z、Em_X、Em_Y、Em
_Zと各力F_X、F_Z（単位Ｎ）及びモーメントM_X、M_Y、M
_Z（単位Ｎ・ｍ）との間には次の関係があることが認め
られた。

右辺においてａ＝347.8 ｂ＝−1.58 ｃ＝106 ｄ＝−243 ｅ＝541 ｆ＝−0.42 ｇ＝536.1 ｈ＝584 ｉ＝−456 ｊ＝81.1 ｋ＝−12.67 ｌ＝−130.4 ｍ＝7790 ｎ＝−766 ｏ＝193 ｐ＝471.6 ｑ＝−3.84 ｒ＝54.5 ｓ＝188000 ｔ＝2026 ｕ＝125.9 ｖ＝−12.46 ｗ＝−17.4 ｘ＝−354 ｙ＝9640 この結果において、左上と右下を結ぶ対角線上の数値
が他の場所より高い数値を示している事は、他の方向の
力の影響を受けにくい事を示している。

なおモーメントの単位をたまたまＮ・ｍとしたため対
角線上の値でなくとも大きくなっているが、今回の検出
されるモーメントで力と同オーダーで使い易い単位はＮ
・mmであるためそれを考慮にいれると上記の事を示して
いることがわかる。

第８図は樹脂塗膜を設けなかったこと以外は第７図の
測定を行なった場合と同一の条件下でディスクの起動、
定速回転及び停止を行なった場合のF_X、F_Z、M_X、M_Y、M_Z
の測定結果を示すものである。なお、第８図の（ａ）図
は起動から停止までのディスクの半径45mm位置の周速変
化を示す。同（ｂ）〜（ｆ）図より、本発明装置によれ
ばヘッドアームの各方向に作用する力ないしモーメント
を正確に測定できることが明らかである。

第８図によると、F_X、M_X、M_Y、M_Zは周速の小さい摺動
時だけ値が大きく生じるというよく似た波形を示してい
る。これは、浮上面が摺動する摩擦力がFxにあらわれこ
の力が主な力としてそれぞれのモーメントに影響をおよ
ぼすことを示す。F_Zは単位からわかるようにF_Xの1/10の
オーダーである。なおFzはディスク静止中を０点とした
ため、静止時はバネ力＝ディスクからの反力、浮上時は
バネ力＝浮上力となり、バネ力はFzの値にあらわれてこ
ない。

モーメントはF_X方向の摩擦のみによって生じると仮定
するとロッドアームとヘッドアームの接点（第３図中の
原点）と着力点との距離が逆算できる。離陸時の値から
計算すると着力点の座標（Ｙ、Ｚ）は、（−27.8、−1.
2）（単位mm）となり、着力点を浮上面の流出端とした
場合の（−28、−2.5）と極めて近い値になり、センサ
ーの精度がよいことがわかる。

また、ディスクの停止後、Fxは逆方向に力が発生し、
これによりMy、Mzにも逆方向のモーメントが発生してい
るが、これはディスク駆動装置のモータが停止後、極性
安定位置へ戻りが生じヘッドには逆方向の静摩擦が生じ
たためである。

なお、図示の装置では凹部11と貫通孔12、13が設けら
れているが、前述の通り磁気ディスクのヘッドに作用す
る力としてはF_Xが支配的なので、主要な力のみを検出し
ようとする場合には貫通孔13だけを設けるようにしても
良い。

以上述べた事項から、上記装置によれば磁気ヘッドに
加えられる各方向の力ないしモーメントを検出できるこ
とが明らかである。

［効果］以上の通り、本発明装置によれば、磁気ヘッドを支承
するヘッドアームに加えられる力ないしモーメントが精
度よく検出される。

また、本発明装置によれば、ヘッドアームに加えられ
る力ないしモーメントを解析することにより、より適切
な磁気ディスク装置の設計が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る磁気ディスク装置の構成
を示す斜視図、第２図は同要部拡大図、第３図はヘッド
アームの斜視図、第４図はヘッドアームの変形説明図、
第５図、第６図、第７図及び第８図は測定結果を示すグ
ラフである。１……ケーシング、２……ディスク、４……ロードアーム、５……ヘッドアーム、 11……凹部、12、13……貫通孔。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】先端に磁気ヘッドが取り付けられたロード
アーム；先端にこのロードアームが取り付けられたヘッ
ドアーム；該ヘッドアームに近接配置されており、それ
に装着されたディスクに対し前記磁気ヘッドにより信号
の記録再生が行なわれるディスク駆動装置；該ディスク
の半径方向にヘッドアームを駆動するヘッドアーム駆動
装置；及び、前記ヘッドアームに設けられた該ヘッドア
ームの変形検出手段を有する磁気ディスク装置であっ
て、該変形検出手段は、ヘッドアームに設けられた、周囲部
分よりも低剛性の部分と、この低剛性の部分に取り付け
られた歪検出器とを備えてなり、該低剛性部分は、板面の方向がヘッドアームの長手方向
と平行方向に配置された複数個の薄板よりなる平行平板
構造を有していることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項２】前記平行平板構造が２個設けられており、
一方の該構造の平板は他方の該構造の平板と垂直方向に
配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
に記載の磁気ディスク装置。
【請求項３】先端に磁気ヘッドが取り付けられたロード
アーム；先端にこのロードアームが取り付けられたヘッ
ドアーム；該ヘッドアームに近接配置されており、それ
に装着されたディスクに対し前記磁気ヘッドにより信号
の記録再生が行なわれるディスク駆動装置；該ディスク
の半径方向にヘッドアームを駆動するヘッドアーム駆動
装置；及び、前記ヘッドアームに設けられた該ヘッドア
ームの変形検出手段を有する磁気ディスク装置であっ
て、該変形検出手段は、ヘッドアームに設けられた、周囲部
分よりも低剛性の部分と、この低剛性の部分に取り付け
られた歪検出器とを備えてなり、該低剛性部分は、それぞれ板面がヘッドアームの長手方
向且つ放射方向に延在した複数枚の薄板よりなる放射平
板構造を有していることを特徴とする磁気ディスク装
置。
【請求項４】前記薄板は、その板面が、ヘッドアームの
長手方向に延びる中心線を周回する方向において、90゜
の間隙をあけるようにして合計４枚配設されていること
を特徴とする特許請求の範囲第３項記載の磁気ディスク
装置。
【請求項５】先端に磁気ヘッドが取り付けられたロード
アーム；先端にこのロードアームが取り付けられたヘッ
ドアーム；該ヘッドアームに近接配置されており、それ
に装着されたディスクに対し前記磁気ヘッドにより信号
の記録再生が行なわれるディスク駆動装置；該ディスク
の半径方向にヘッドアームを駆動するヘッドアーム駆動
装置；及び、前記ヘッドアームに設けられた該ヘッドア
ームの変形検出手段を有する磁気ディスク装置であっ
て、該変形検出手段は、ヘッドアームに設けられた、周囲部
分よりも低剛性の部分と、この低剛性の部分に取り付け
られた歪検出器とを備えてなり、該低剛性部分は、板面の方向がヘッドアームの長手方向と平行方向に配置
された複数個の薄板よりなる平行平板構造と、それぞれ板面がヘッドアームの長手方向且つ放射方向に
延在した複数枚の薄板よりなる放射平板構造とを有して
いることを特徴とする磁気ディスク装置。
【請求項６】前記平行平板構造が２個設けられており、
一方の該構造の平板は他方の該構造の平板と垂直方向に
配置されており、前記放射平板構造の薄板は、その板面が、ヘッドアーム
の長手方向に延びる中心線を周回する方向において、90
゜の間隔をあけるようにして合計４枚配設されているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第５項記載の磁気ディス
ク装置。