JPH0438607A - 積層型磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）等の磁気記
録再生装置に装備される磁気ヘッドに関するものである
。

（従来の技術） 高周波、広帯域の信号を処理すべき高品位ＶＴＲにおい
ては、第８図に示す如き積層型の磁気ヘッドを装備して
、渦電流損失を低減することが検討されている。

該磁気ヘッドを構成する一対のヘッド半体（１）（１１
）は夫々、第１の非磁性基板（２１）上に、薄膜形成技
術によって金属磁性薄膜（３）と非磁性薄膜（３１）と
を交互に積層して磁気コア部（３ｏ）を設け、更に該磁
気コア部（３０）上にガラス接合層（６）を介して第２
の非磁性基板（２）を固定したものである。

前記両ヘッド半体（１）（１１）はギャップスペーサ（
４１）を介して互いにガラス接合され、両磁気コア部（
３０）　（３０）によって挟まれたギャップスペーサ（
４１）の中央領域によって磁気ギャップ部（４）が形成
されている。

しかし、上記磁気ヘッドの場合、記録媒体の狭トラツク
化に応じて磁気ギャップ部（４）のトラック幅、即ち磁
気コア部（３０）の幅を狭く形成した場合、磁気コア部
（３０）によって形成される磁路の磁気抵抗が増大して
、磁気漏洩を招来し、十分な磁化性能が得られない問題
があった。

そこで、第９図に示す様に、各ヘッド半体（１）（１１
）を構成する磁気コア部（３０）の非磁性基板（２）と
は反対側に、ガラス接合層（６）を介して、センダスト
等の強磁性体部（７）を固定し、各強磁性体部（７）の
ギャップスペーサ（４１）側の端部にはガラス部（７１
）を設けた積層型磁気ヘッドが提案されている（特開昭
６３−９４４１８号（Ｇ１１Ｂ５／１２７１　＞。

該磁気ヘッドによれば、狭トラツク化を図る場合にも、
第８図の磁気ヘッドに比べて磁気抵抗の増大を緩和する
ことが可能である。

（解決しようとする課題） しかしながら、第９図の磁気ヘッドの場合、各ヘッド半
体（１）（１１）の強磁性体部（７）が磁気コア部（３
０）の片側に存在するに過ぎないから、磁気漏洩の防止
には不十分てあり、又、強磁性体部（７）は磁気コア部
（３０）に比べて記録再生性能、摺動ノイズ等の点で劣
るから、ヘッド性能の改善に限度があった。更には長期
の使用によってガラス部（７１）（７１）に摩耗による
陥没が生じる問題があった。

本発明の目的は、上記の問題点を一挙に解決出来、優れ
た記録再生性能と耐摩耗性を発揮する積層型磁気ヘッド
を提供することである。

（課題を解決する為の手段） 本発明に係る積層型磁気ヘッドは、一対のヘッド半体（
１）（１１）の夫々が、金属磁性薄膜（３）と非磁性薄
膜（３１）とを交互に積層してなる磁気コア部（３０）
と、該磁気コア部（３０）を挟んでトラック幅方向の両
側に配備した非磁性基板（２）（２１）とを具えている
。

両ヘッド半体（１）（１１）の磁気コア部（３０）（３
０）の突合せ部には、トラック幅方向の全幅領域の内、
その中央部に、両磁気コア部（３０）　（３０）が互い
に対向して形成される磁気ギャップ部（４）を具えると
共に、前記幅領域の内、磁気ギャップ部（４）のトラッ
ク幅方向の両側部に、酸化物或いは非磁性金属を資材と
する非磁性部（５）　（５）が介在している。

（作用及び効果） 上記積層型磁気ヘッドにおいては、磁気コア部（３０）
によって磁路が形成され、該磁気コア部（３ｏ）のトラ
ック幅方向の厚さは、磁気ギャップ部（４）のトラック
幅よりも大きく形成さているから、磁路の磁気抵抗は低
く、狭トラツク化を図る場合にも十分な磁化性能が得ら
れる。

又、磁路全体が、金属磁性薄膜（３）と非磁性薄膜（３
１）と積層した磁気コア部（３ｏ）によって形成されて
いるから、記録再生性能、摺動ノイズ等の点で従来のヘ
ッドよりも優れる。

更に、磁気ギャップ部（４）の両側に設けられた非磁性
部（５）　（５）は酸化物或いは非磁性金属を資材とし
て高い耐摩耗性を具えているがら、長期使用によっても
、記録媒体との対接面に陥没等の欠陥が発生することは
ない。

（実施例） 第１図は本発明に係る積層型磁気ヘッドの一実施例を示
している。尚、実施例は本発明を説明するためのもので
あって、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或は範
囲を減縮する様に解すべきではない。

第１図の如く、磁気ヘッドを構成する一対のヘッド半体
（１）（１１）は夫々、磁気コア部（３０）の両側に非
磁性基板（２）（２１）を配備して構成され、両ヘッド
半体（１）（１１）の突合せ部に、ギャップスペーサ（
４１）を介装し、該ギャップスペーサ（４１）の両磁気
コア部（３０）（３０）に挟まれた領域の内、中央部に
磁気ギャップ部（４）を形成している。該磁気ギャップ
部（４）の両側には、非磁性部（５）　（５）が設けら
れ、これらの非磁性部（５）（５）は両ヘッド半体（１
）（１１）の磁気コア部（３０）（３０）間に介在して
いる。又、一方のヘッド半体（１１）にはコイル窓（１
２）が開設されている。

非磁性基板（２）（２１）は結晶化ガラス等を資材とし
、各基板」二にセンダスト、ＣＯ系アモルファス合金等
からなる金属磁性薄膜（３）と、５ｉ０２、Ａ１２０ａ
、Ｔｉ、Ｃｒ等からなる非磁性薄膜（３１）とを交互に
形成し、最上層の金属磁性薄膜（３）　（３）どうしを
ガラス接合層（６）を介して互い接合固定し、磁気コア
部（３０）を構成している。

非磁性部（５）は、Ｓｉｎ□、Ａｌ２Ｏ８、Ｔｉ５Ｃｒ
等の各種の酸化物或いは非磁性金属を資材として形成さ
れる。

以下、上記積層型磁気ヘッドの製造方法について説明す
る。

先ず第２図に示す如く、結晶化ガラス基板（８）の表面
に、例えばＳｉＯ２を資材としてスパッタリング、蒸着
、ＣＶＤ法等の薄膜形成工程を施し、厚さ１０μｍ程度
の薄膜を形成した後、該薄膜にエツチングを施して、幅
が略１００μｍの帯状の非磁性膜（５１）を一定ピツチ
で形成する。尚、マスクスパッタリングを採用すること
によってエンチング工程を省略することも可能である。

その後、第３図に示す如く基板（８）上の非磁性膜（５
１）間に、センダスト等からなる金属磁性薄膜（３）と
５ｉｎ２等からなる非磁性薄膜（３１）とを交互に積層
して、非磁性膜（５１）及び金属磁性薄膜（３）が−平
面に揃った接合面（５０）を形成する。この工程におい
てもスパッタリング、エツチング等が用いられる。

次に第４図に示す如く前記接合面（５０）に対して、前
記同様の工程によって非磁性薄膜（３１）及び金属磁性
薄膜（３）を交互に積層し、更に最上層の金属磁性薄膜
（３）の表面には、ガラス膜（６１）を形成する。

第２図及び第３図の工程を経て作製した基板と、第２図
乃至第４図の工程を経て作製した基板とを、第５図の如
く重ね合せ、ガラス膜（６１）を溶融固化せしめること
によって、一体の接合体（９）を作製する。

該接合体（９）を図中の鎖線に沿って切断し、第６図に
示すブロック半体（９１）を得る。該ブロック半体（９
１）に対し、図中の鎖線の位置まで研磨を施す。

前記工程を経て得られた一対のブロック半体（９１）の
内、一方のブロック車体（９１）には第７図の如くコイ
ル溝（９２）を凹設すると共に、他方のブロック半体（
９１）には５ｉｎ２膜からなるギャップスペーサ（４１
）を形成し、その後、両ブロック半体（９１）（９１）
を互いに接合固定し、一体のヘッドブロック（９０）を
作製する。

前記ブロック半体（９１）を図中の鎖線に沿って切断し
て複数のへラドチップを作製し、該ヘッドチップに曲面
研磨等の加工を施すことによって、第１図に示す積層型
磁気ヘッドが完成する。ここで、第７図に示す非磁性膜
（５１）が第１図の非磁性部（５）となり、コイル溝（
９２）がコイル窓（１２）となり、ガラス膜（６１）が
接合層（６）となる。

この様にして得られた積層型磁気ヘッドにおいては、磁
路の全体が積層型の磁気コア部（３０）によって形成さ
れ、該磁気コア部（３０）のトラック幅方向の厚さは、
磁気ギャップ部（４）のトラック幅よりも大きく形成さ
れている。従って、コイル窓（１２）を包囲する磁路の
磁気抵抗は低く、狭トラツク化を図った場合にも、第８
図のヘッドに比べて高い磁化性能が得られる。

又、磁路全体が積層型磁気コア部（３０）によって形成
されているから、記録再生性能、摺動ノイズ等の点で第
９図のヘッドよりも優れている。

更に、非磁性部（５）　（５）の資材である酸化物或い
は非磁性金属は、第９図のヘッドのガラス部（７１）に
比べて高い耐摩耗性を具えているから、長期使用によっ
ても、記録テープとの対接面に陥没等の欠陥が発生する
虞れはなく、長い寿命を実現出来る。

尚、非磁性部（５）は、前述の如く各種非磁性資材によ
って形成出来るが、その選定に際しては、非磁性基板（
２）（２１）、磁気コア部（３０）の熱膨張係数、摩耗
性等を考慮して、最適なものを選択する。

上記実施例の説明は、本発明を説明するためのものであ
って、特許請求の範囲に記載の発明を限定し、或は範囲
を減縮する様に解すべきではない。

又、本発明の各部構成は上記実施例に限らず、特許請求
の範囲に記載の技術的範囲内で種々の変形が可能である
ことは勿論である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る積層型磁気ヘッドの斜視図、第２
図乃至第７図は該積層型磁気ヘッドの製造方法を示す工
程図、第８図及び第９図は夫々従来の積層型磁気ヘッド
を示す斜視図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ［１］一対のヘッド半体（１）（１１）の突合せ部に磁
   気ギャップ部（４）を設けて構成され、各ヘッド半体（
   １）（１１）は、金属磁性薄膜（３）と非磁性薄膜（３
   １）とを交互に積層してなる磁気コア部（３０）と、該
   磁気コア部（３０）を挟んでトラック幅方向の両側に配
   備した非磁性基板（２）（２１）とを具えている積層型
   磁気ヘッドにおいて、両ヘッド半体（１）（１１）の磁
   気コア部（３０）（３０）の突合せ部には、トラック幅
   方向の全幅領域の内、その中央部に、両磁気コア部（３
   ０）（３０）が互いに対向して形成される磁気ギャップ
   部（４）を具えると共に、前記幅領域の内、磁気ギャッ
   プ部（４）のトラック幅方向の両側部に、酸化物或いは
   非磁性金属を資材とする非磁性部（５）（５）が介在し
   ていることを特徴とする積層型磁気ヘッド。