JPH0438305B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0438305B2 JPH0438305B2 JP11950486A JP11950486A JPH0438305B2 JP H0438305 B2 JPH0438305 B2 JP H0438305B2 JP 11950486 A JP11950486 A JP 11950486A JP 11950486 A JP11950486 A JP 11950486A JP H0438305 B2 JPH0438305 B2 JP H0438305B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- emitting element
- far
- field image
- measuring device
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 10
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、発光素子の遠視野像を高速で、か
つ精度よく測ることができる発光素子の遠視野像
測定装置に関するものである。
つ精度よく測ることができる発光素子の遠視野像
測定装置に関するものである。
例えば、半導体レーザやLED等の発光素子は、
これらの素子の特性の１つとして発光点から離れ
た所での光強度分布、すなわち遠視野像を測定す
る必要がある。基本的な遠視野像測定装置は特開
昭58−173438号公報に示されており、ここでは、
これに説明されている要点のみを第２図ａ〜ｃを
用いて説明する。これらの図において、１は発光
素子で一例として半導体レーザを示している。２
は発光点である。３は受光素子で、発光点２を中
心として第２図ａに示す−90度から＋90度の範囲
で弧を描くように移動して、それぞれの角度での
発光素子１の光強度を測定する。
これらの素子の特性の１つとして発光点から離れ
た所での光強度分布、すなわち遠視野像を測定す
る必要がある。基本的な遠視野像測定装置は特開
昭58−173438号公報に示されており、ここでは、
これに説明されている要点のみを第２図ａ〜ｃを
用いて説明する。これらの図において、１は発光
素子で一例として半導体レーザを示している。２
は発光点である。３は受光素子で、発光点２を中
心として第２図ａに示す−90度から＋90度の範囲
で弧を描くように移動して、それぞれの角度での
発光素子１の光強度を測定する。
この受光素子３の受光部と発光素子１との関係
は第２図ｂに示すようになり、４は前記受光素子
３の受光部に設けられたスリツトで、回転方向で
の分解能を上げるため横方向は狭くし、縦方向は
遠視野像を精度よく測定するために広くしてあ
る。縦方向を横方向と同じように狭くしていく
と、発光素子１の前面にシールガラスがある場合
にガラスに付着した小さなゴミの影響を受けるよ
うになるからである。
は第２図ｂに示すようになり、４は前記受光素子
３の受光部に設けられたスリツトで、回転方向で
の分解能を上げるため横方向は狭くし、縦方向は
遠視野像を精度よく測定するために広くしてあ
る。縦方向を横方向と同じように狭くしていく
と、発光素子１の前面にシールガラスがある場合
にガラスに付着した小さなゴミの影響を受けるよ
うになるからである。
このようにして測定を行うことにより、第２図
ｃに示すよう滑らかな水平方向の遠視野像が描か
れる。また発光素子１を90度回転して受光素子３
を同様に移動させれば垂直方向の遠視野像が描か
れる。
ｃに示すよう滑らかな水平方向の遠視野像が描か
れる。また発光素子１を90度回転して受光素子３
を同様に移動させれば垂直方向の遠視野像が描か
れる。
しかし、何度も同じ試料を測定すると発光素子
１と遠視野像測定装置３との位置関係が微妙に再
現されないので、遠視野像の再現性が悪くなるこ
とがある。
１と遠視野像測定装置３との位置関係が微妙に再
現されないので、遠視野像の再現性が悪くなるこ
とがある。
上述した基本的な遠視野像測定装置では受光素
子３を機械的に移動させる必要があり、測定時間
がかかるため、第３図ａ，ｂに示す構成の遠視野
像測定装置も最近は使われている。第３図ａ，ｂ
において、５は円形断面を持つた光フアイバで、
必要な分解能に対応した角度ごとに並べて設置さ
れ、各光フアイバ５は他端でそれぞれ受光素子
（図示せず）につながつている。この方法にする
と、電気的速度で各角度に対応する光強度データ
を取り込むことができ測定時間を短縮できる。
子３を機械的に移動させる必要があり、測定時間
がかかるため、第３図ａ，ｂに示す構成の遠視野
像測定装置も最近は使われている。第３図ａ，ｂ
において、５は円形断面を持つた光フアイバで、
必要な分解能に対応した角度ごとに並べて設置さ
れ、各光フアイバ５は他端でそれぞれ受光素子
（図示せず）につながつている。この方法にする
と、電気的速度で各角度に対応する光強度データ
を取り込むことができ測定時間を短縮できる。
上記のような従来の遠視野像測定装置では、光
フアイバ５が円形であり、縦方向の径が分解能と
同じ狭いものとなつているので、遠視野像を描く
と第３図ｃに示すようになり、発光素子１の正当
な光出力の広がり角（例えば遠視野像強度ピーク
の0.5になる角度θ，θ）や本来の遠視野像の不
規則形状などが表され難くなるという問題点があ
つた。
フアイバ５が円形であり、縦方向の径が分解能と
同じ狭いものとなつているので、遠視野像を描く
と第３図ｃに示すようになり、発光素子１の正当
な光出力の広がり角（例えば遠視野像強度ピーク
の0.5になる角度θ，θ）や本来の遠視野像の不
規則形状などが表され難くなるという問題点があ
つた。
この発明は、かかる問題点を解決するためにな
されたもので、測定時間が短く精度も高い遠視野
像測定装置を得ることを目的とする。
されたもので、測定時間が短く精度も高い遠視野
像測定装置を得ることを目的とする。
この発明に係る発光素子の遠視野像測定装置
は、受光素子または受光素子の導波路の光入射窓
の測定分解能を決める方向と直角方向の発光素子
の光出力に対する受光角を3.5度以上にしたもの
である。
は、受光素子または受光素子の導波路の光入射窓
の測定分解能を決める方向と直角方向の発光素子
の光出力に対する受光角を3.5度以上にしたもの
である。
この発明においては、測定分解能を高めるため
に隣り合う受光素子または受光素子の導波路の光
入射窓間の間隔を小さくしても入射光量が安定に
得られる。
に隣り合う受光素子または受光素子の導波路の光
入射窓間の間隔を小さくしても入射光量が安定に
得られる。
第１図ａ〜ｃはこの発明の発光素子の遠視野像
測定装置の一実施例の構成を示す斜視図、側面図
および遠視野像を示す図である。これらの図にお
いて、第２図ａ〜ｃと同一符号は同一部分を示
し、６は縦方向を長くして前記発光素子１の光出
力に対する受光角を3.5度以上とした光フアイバ
であり、各光フアイバ６の他端はそれぞれ受光素
子（図示せず）に接続されている。
測定装置の一実施例の構成を示す斜視図、側面図
および遠視野像を示す図である。これらの図にお
いて、第２図ａ〜ｃと同一符号は同一部分を示
し、６は縦方向を長くして前記発光素子１の光出
力に対する受光角を3.5度以上とした光フアイバ
であり、各光フアイバ６の他端はそれぞれ受光素
子（図示せず）に接続されている。
すなわち、この実施例では、光フアイバ６の縦
方向の長さを長くし発光素子１の光出力に対する
受光角を3.5度（NA＝0.03）以上としているので
光量が安定し、第１図ｃに示すような滑らかな遠
視野像を得ることができるうえ、同一試料を測定
しても再現性がよく測定精度が向上する。
方向の長さを長くし発光素子１の光出力に対する
受光角を3.5度（NA＝0.03）以上としているので
光量が安定し、第１図ｃに示すような滑らかな遠
視野像を得ることができるうえ、同一試料を測定
しても再現性がよく測定精度が向上する。
なお、上記実施例では、受光部に光フアイバ６
を用いているが、受光部に直接受光素子３を並べ
ても同じ効果を得ることができる。
を用いているが、受光部に直接受光素子３を並べ
ても同じ効果を得ることができる。
この発明は以上説明したとおり、受光素子また
は受光素子の導波路の光入射窓の測定分解能を決
める方向と直角方向の発光素子の光出力に対する
受光角を3.5度以上にしたので、滑らかで精度の
よい遠視野像測定装置が得られるという効果があ
る。
は受光素子の導波路の光入射窓の測定分解能を決
める方向と直角方向の発光素子の光出力に対する
受光角を3.5度以上にしたので、滑らかで精度の
よい遠視野像測定装置が得られるという効果があ
る。
第１図ａ〜ｃはこの発明の発光素子の遠視野像
測定装置の一実施例の構成を示す斜視図、側面図
および遠視野像を示す図、第２図ａ〜ｃ、第３図
ａ〜ｃはそれぞれ従来の発光素子の遠視野像測定
装置の構成を示す斜視図、側面図および遠視野像
を示す図である。 図において、１は発光素子、２は発光点、６は
光フアイバである。なお、各図中の同一符号は同
一または相当部分を示す。
測定装置の一実施例の構成を示す斜視図、側面図
および遠視野像を示す図、第２図ａ〜ｃ、第３図
ａ〜ｃはそれぞれ従来の発光素子の遠視野像測定
装置の構成を示す斜視図、側面図および遠視野像
を示す図である。 図において、１は発光素子、２は発光点、６は
光フアイバである。なお、各図中の同一符号は同
一または相当部分を示す。
Claims (1)
- １ 発光素子の発光点が中心にくるように設置さ
れた試料台と、この試料台に対向して必要な分解
能の間隔で並べられた複数の光強度測定用の受光
素子またはこれらの受光素子の導波路を有し、前
記受光素子により前記発光素子の光出力分布を測
定する発光素子の遠視野像測定装置において、前
記受光素子または前記導波路の光入射窓の測定分
解能を決める方向と直角方向の前記発光素子の光
出力に対する受光角を3.5度以上にしたことを特
徴とする発光素子の遠視野像測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61119504A JPS62274235A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | 発光素子の遠視野像測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61119504A JPS62274235A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | 発光素子の遠視野像測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62274235A JPS62274235A (ja) | 1987-11-28 |
| JPH0438305B2 true JPH0438305B2 (ja) | 1992-06-24 |
Family
ID=14762897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61119504A Granted JPS62274235A (ja) | 1986-05-22 | 1986-05-22 | 発光素子の遠視野像測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62274235A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20020136490A1 (en) * | 2001-01-24 | 2002-09-26 | Nan Zhang | MEMS optical switch including tapered fiber with hemispheric lens |
| JP7277841B2 (ja) * | 2017-12-25 | 2023-05-19 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置 |
-
1986
- 1986-05-22 JP JP61119504A patent/JPS62274235A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62274235A (ja) | 1987-11-28 |
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