JPH0438136B2 - - Google Patents
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- JPH0438136B2 JPH0438136B2 JP60067606A JP6760685A JPH0438136B2 JP H0438136 B2 JPH0438136 B2 JP H0438136B2 JP 60067606 A JP60067606 A JP 60067606A JP 6760685 A JP6760685 A JP 6760685A JP H0438136 B2 JPH0438136 B2 JP H0438136B2
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- bonding
- drive
- wire
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- bonding tool
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/78—Apparatus for connecting with wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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- H01L2224/7825—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/783—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
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- H01L2224/85148—Aligning involving movement of a part of the bonding apparatus
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- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
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- H01L2924/01019—Potassium [K]
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は金属細線により半導体ペレツトの電極
パツドと外部端子との配線をおこなうワイヤボン
デイング方法および装置に関する。
パツドと外部端子との配線をおこなうワイヤボン
デイング方法および装置に関する。
近年、「デジタルワイヤボンダ」と呼ばれるワ
イヤボンデイング装置が多く用いられている。こ
のワイヤボンデイング装置は、ワイヤクランプと
してソレノイドを用い、ワイヤクランプおよびボ
ンデイング工具を上下移動させるために駆動モー
タを用いている。これらボンデイング工具および
駆動モータはXYテーブルに搭載され、このXY
テーブルはＸ方向の駆動モータとＹ方向の駆動モ
ータにより水平方向に移動される。上下駆動モー
タ、Ｘ軸駆動モータ、Ｙ軸駆動モータを動かすこ
とによりボンデイング工具に保持されたボンデイ
ングワイヤを半導体ペレツトと外部端子にボンデ
イングし、電気的に接続している。
イヤボンデイング装置が多く用いられている。こ
のワイヤボンデイング装置は、ワイヤクランプと
してソレノイドを用い、ワイヤクランプおよびボ
ンデイング工具を上下移動させるために駆動モー
タを用いている。これらボンデイング工具および
駆動モータはXYテーブルに搭載され、このXY
テーブルはＸ方向の駆動モータとＹ方向の駆動モ
ータにより水平方向に移動される。上下駆動モー
タ、Ｘ軸駆動モータ、Ｙ軸駆動モータを動かすこ
とによりボンデイング工具に保持されたボンデイ
ングワイヤを半導体ペレツトと外部端子にボンデ
イングし、電気的に接続している。
かかるワイヤボンデイング装置における特に
XY方向の移動に関して次のような問題がある。
ワイヤボンデイング工具をXY方向に動かすため
には、Ｘ方向の駆動モータとＹ方向の駆動モータ
を駆動する。例えば第９図に示すように原点Ｏか
ら目標位置Ｐ（ａ、ｂ）にワイヤボンデイング工
具を動かす場合は次のようにＸ軸駆動モータとＹ
軸駆動モータを駆動する。これらモータを同時に
駆動開始し、Ｙ方向の位置が目標値ｂに達したら
Ｙ軸駆動モータを停止する。その後Ｘ方向の位置
が目標値ａに達したらＸ軸駆動モータを停止す
る。ボンデイング工具は第９図の移動軌跡l1を描
く。この移動軌跡l1に位置Ｑ（ｂ、ｂ）で曲がつ
ているため、ボンデイング工具はこの位置Ｑ（ｂ、
ｂ）で移動方向を急激に変える。このためボンデ
イング工具が保持しているボンデイングワイヤが
曲がり、望ましくないループ形状となる。上述し
た問題を解消するため、Ｘ方向およびＹ方向の移
動量が異なる場合には、短い移動量の方向の移動
速度を遅くして、ボンデイング工具が第９図の移
動軌跡l1を描くようにする。このようにすればボ
ンデイング工具が途中で移動方向を変えることが
ない。移動のため必要な時間はＸ方向の移動量と
Ｙ方向の移動量のうち長い方で定まる。したがつ
て第９図の位置Ｐ（ａ、ｂ）に達するのに必要な
時間も、位置Ｒ（ａ、ｃ）に達するのに必要な時
間も同じになる。軌跡l2と軌跡l3の距離は異なる
ため、位置Ｐ（ａ、ｂ）に移動する場合と、位置
Ｒ（ａ、ｃ）に移動する場合と、移動速度が異な
る。一方、信頼性あるワイヤボンデイングをおこ
なうためには、ボンデイング工具の許容される移
動速度に限界がある。しかし、上述の移動制御で
は、移動方向が異なると移動速度が異なるため、
許容限界を超えるおそれがある。ボンデイング工
具の上下移動速度が一定であれば、移動速度が異
なると、ボンデイング工具の３次元の移動軌跡も
第１０図に示すように異なるため、ボンデイング
工具の移動軌跡により定まるボンデイングワイヤ
のループ形状も異なる。このため安定したワイヤ
ボンデイングがおこなえないおそれがある。
XY方向の移動に関して次のような問題がある。
ワイヤボンデイング工具をXY方向に動かすため
には、Ｘ方向の駆動モータとＹ方向の駆動モータ
を駆動する。例えば第９図に示すように原点Ｏか
ら目標位置Ｐ（ａ、ｂ）にワイヤボンデイング工
具を動かす場合は次のようにＸ軸駆動モータとＹ
軸駆動モータを駆動する。これらモータを同時に
駆動開始し、Ｙ方向の位置が目標値ｂに達したら
Ｙ軸駆動モータを停止する。その後Ｘ方向の位置
が目標値ａに達したらＸ軸駆動モータを停止す
る。ボンデイング工具は第９図の移動軌跡l1を描
く。この移動軌跡l1に位置Ｑ（ｂ、ｂ）で曲がつ
ているため、ボンデイング工具はこの位置Ｑ（ｂ、
ｂ）で移動方向を急激に変える。このためボンデ
イング工具が保持しているボンデイングワイヤが
曲がり、望ましくないループ形状となる。上述し
た問題を解消するため、Ｘ方向およびＹ方向の移
動量が異なる場合には、短い移動量の方向の移動
速度を遅くして、ボンデイング工具が第９図の移
動軌跡l1を描くようにする。このようにすればボ
ンデイング工具が途中で移動方向を変えることが
ない。移動のため必要な時間はＸ方向の移動量と
Ｙ方向の移動量のうち長い方で定まる。したがつ
て第９図の位置Ｐ（ａ、ｂ）に達するのに必要な
時間も、位置Ｒ（ａ、ｃ）に達するのに必要な時
間も同じになる。軌跡l2と軌跡l3の距離は異なる
ため、位置Ｐ（ａ、ｂ）に移動する場合と、位置
Ｒ（ａ、ｃ）に移動する場合と、移動速度が異な
る。一方、信頼性あるワイヤボンデイングをおこ
なうためには、ボンデイング工具の許容される移
動速度に限界がある。しかし、上述の移動制御で
は、移動方向が異なると移動速度が異なるため、
許容限界を超えるおそれがある。ボンデイング工
具の上下移動速度が一定であれば、移動速度が異
なると、ボンデイング工具の３次元の移動軌跡も
第１０図に示すように異なるため、ボンデイング
工具の移動軌跡により定まるボンデイングワイヤ
のループ形状も異なる。このため安定したワイヤ
ボンデイングがおこなえないおそれがある。
また従来のモータの駆動制御を第１１図に示
す。この駆動制御は第１１図ｃに示すように加速
度αを加速時にはα1、減速時には−α1とする、等
加速度の制御である。この等加速度の制御では速
度ｖは第１１図ｂに示すように直線的に増加、減
少し、変位Ｓは第１１図ａに示すようになる。上
述のモータ駆動制御では加速度が、急激に変化す
るため、移動するボンデイングヘツドが変化時に
強い衝撃を受け、振動するという問題があつた。
高速移動すればそれだけこの衝撃も強くなり、安
定したスムーズなワイヤボンデイングがおこなえ
ないおそれがある。
す。この駆動制御は第１１図ｃに示すように加速
度αを加速時にはα1、減速時には−α1とする、等
加速度の制御である。この等加速度の制御では速
度ｖは第１１図ｂに示すように直線的に増加、減
少し、変位Ｓは第１１図ａに示すようになる。上
述のモータ駆動制御では加速度が、急激に変化す
るため、移動するボンデイングヘツドが変化時に
強い衝撃を受け、振動するという問題があつた。
高速移動すればそれだけこの衝撃も強くなり、安
定したスムーズなワイヤボンデイングがおこなえ
ないおそれがある。
本発明は上記事情を考慮してなされたもので、
高速で安定したワイヤボンデイングをすることが
できるワイヤボンデイング方法および装置を提供
することを目的とする。
高速で安定したワイヤボンデイングをすることが
できるワイヤボンデイング方法および装置を提供
することを目的とする。
上記目的を達成するため本発明によるワイヤボ
ンデイング方法は、ボンデイング工具の上下移動
および水平移動テーブルの水平移動における２点
間の駆動制御を、前記２点間の直線距離に応じ
た、所定の基準駆動パターンにほぼ相似の駆動パ
ターンに基づいておこなうことを特徴とする。
ンデイング方法は、ボンデイング工具の上下移動
および水平移動テーブルの水平移動における２点
間の駆動制御を、前記２点間の直線距離に応じ
た、所定の基準駆動パターンにほぼ相似の駆動パ
ターンに基づいておこなうことを特徴とする。
また本発明によるワイヤボンデイング装置のボ
ンデイング工具の上下駆動部と、水平移動テーブ
ルの水平駆動部は、それぞれ、駆動手段と、所定
の基準駆動パターンを記憶する記憶部と、移動開
始点と移動終了点間の直線距離に応じた前記所定
の基準駆動パターンにほぼ相似の駆動パターンを
生成する駆動パターン発生部と、この駆動パター
ン発生部からの駆動パターンに基づいて前記駆動
手段を制御する駆動制御部とを有していることを
特徴とする。
ンデイング工具の上下駆動部と、水平移動テーブ
ルの水平駆動部は、それぞれ、駆動手段と、所定
の基準駆動パターンを記憶する記憶部と、移動開
始点と移動終了点間の直線距離に応じた前記所定
の基準駆動パターンにほぼ相似の駆動パターンを
生成する駆動パターン発生部と、この駆動パター
ン発生部からの駆動パターンに基づいて前記駆動
手段を制御する駆動制御部とを有していることを
特徴とする。
第１の実施例
本発明の第１の実施例によるワイヤボンデイン
グ装置を第１図に示す。Ｘ方向の駆動モータ１と
Ｙ方向の駆動モータ２によりXY方向に制御でき
るXYテーブル３にボンデイングヘツドユニツト
４が搭載され、そのボンデイングヘツドユニツト
４には、ボンデイングワイヤ５を通したボンデイ
ング工具６が設けられている。ボンデイング工具
６は支点７を中心に揺動するボンデイングアーム
８に取りつけられている。支点７を中心に揺動す
る揺動アーム９が設けられている。駆動モータ１
０で偏芯ピン１１の軸を正逆回転させることによ
りこの揺動アーム９を上下方向すなわちＺ方向に
動かすことができる。揺動アーム９が上下方向に
動くと、これにつながるクランプアーム１２、ボ
ンデイングアームロツクピン１３、ボンデイング
アーム８が上下方向に動く。Ｚ方向の駆動モータ
１０には、その回転角を検出するロータリエンコ
ーダ（図示せず）が設けられており、その回転角
からボンデイング工具６の高さを検知することが
できる。支点７はボンデイングアーム８と揺動ア
ーム９両方の支点をかねた２重軸になつており、
揺動アーム９の動きは、アームロツクソレノイド
１４によりボンデイングアームロツクピン１３に
副ボンデイングアーム１５を押しつけることによ
り、ボンデイングアーム８に伝えられる。またア
ームロツクソレノイド１４とは別に副ボンデイン
グアーム１５と揺動アーム９とは、リニアモータ
１６が発生する力により引きつけられている。ボ
ンデイングアーム８を高速で上下させる際には、
アームロツクソレノイド１４によりボンデイング
アーム８をロツクする。ボンデイングワイヤ接合
時には、ボンデイング工具６がボンデイング面に
接触してボンデイングアームロツクピン１３から
副ボンデイングアーム１５がはなれる。このとき
副ボンデイングアーム１５にはリニアモータ１６
により接合に必要な力だけが加えられる。ボンデ
イングワイヤ５をクランプするワイヤクランプ１
７とクランプソレノイド１８はクランプアーム１
２に設けられ、同様のワイヤクランプ２５とクラ
ンプソレノイド２６は固定アーム２７に設けられ
ている。
グ装置を第１図に示す。Ｘ方向の駆動モータ１と
Ｙ方向の駆動モータ２によりXY方向に制御でき
るXYテーブル３にボンデイングヘツドユニツト
４が搭載され、そのボンデイングヘツドユニツト
４には、ボンデイングワイヤ５を通したボンデイ
ング工具６が設けられている。ボンデイング工具
６は支点７を中心に揺動するボンデイングアーム
８に取りつけられている。支点７を中心に揺動す
る揺動アーム９が設けられている。駆動モータ１
０で偏芯ピン１１の軸を正逆回転させることによ
りこの揺動アーム９を上下方向すなわちＺ方向に
動かすことができる。揺動アーム９が上下方向に
動くと、これにつながるクランプアーム１２、ボ
ンデイングアームロツクピン１３、ボンデイング
アーム８が上下方向に動く。Ｚ方向の駆動モータ
１０には、その回転角を検出するロータリエンコ
ーダ（図示せず）が設けられており、その回転角
からボンデイング工具６の高さを検知することが
できる。支点７はボンデイングアーム８と揺動ア
ーム９両方の支点をかねた２重軸になつており、
揺動アーム９の動きは、アームロツクソレノイド
１４によりボンデイングアームロツクピン１３に
副ボンデイングアーム１５を押しつけることによ
り、ボンデイングアーム８に伝えられる。またア
ームロツクソレノイド１４とは別に副ボンデイン
グアーム１５と揺動アーム９とは、リニアモータ
１６が発生する力により引きつけられている。ボ
ンデイングアーム８を高速で上下させる際には、
アームロツクソレノイド１４によりボンデイング
アーム８をロツクする。ボンデイングワイヤ接合
時には、ボンデイング工具６がボンデイング面に
接触してボンデイングアームロツクピン１３から
副ボンデイングアーム１５がはなれる。このとき
副ボンデイングアーム１５にはリニアモータ１６
により接合に必要な力だけが加えられる。ボンデ
イングワイヤ５をクランプするワイヤクランプ１
７とクランプソレノイド１８はクランプアーム１
２に設けられ、同様のワイヤクランプ２５とクラ
ンプソレノイド２６は固定アーム２７に設けられ
ている。
次にこのワイヤボンデイング装置によるワイヤ
ボンデイング方法を第２図ａ，ｂにより説明す
る。まず、ボンデイング工具６から出たワイヤ５
の先端にボールが形成され（時点○イ）、ボンデイ
ング工具６はワイヤクランプ１７とともに第１ボ
ンデイング位置まで下降する。このときワイヤ
クランプ２５を閉じてワイヤ５との間に摩擦を生
じさせることによりボンデイング工具６の先端に
ボールをくわえこませる（時点○ロ）。第１ボンデ
イングが終了すると、ボンデイング工具６とワイ
ヤクランプ１７は共にＨだけ上昇し、必要な長さ
のワイヤをボンデイング工具６から引き出す（時
点○ハ）。この間にXYテーブル３は第１ボンデイ
ング位置から第２ボンデイング位置に移動する。
第１ボンデイング位置と第２ボンデイング位置と
の間の距離Ｌからボンデイングアーム６の上昇量
Ｈが次式の如く定まる。このＨとＬの関係はＨ＝
（1.5〜2.0）×Ｌ＋αである。ここでαは経験的に
定まる値である。次にボンデイング工具６は徐々
に下降し（時点○ニ）、第２ボンデイング位置にワ
イヤ５をボンデイングする（時点○ホ）。このとき
ワイヤクランプ２５は閉じている。ボンデイング
が終了するとボンデイング工具は上昇し（時点
○ヘ）、一旦停止してワイヤクランプ１７を閉じ再
び上昇してワイヤを切断する（時点○ト）。ボンデ
イング工具６の上昇が終了するとH2O2トーチま
たは電気トーチ２１によりワイヤの先端にボール
が形成され（時点○チ）、１回のボンデイングが終
了する。
ボンデイング方法を第２図ａ，ｂにより説明す
る。まず、ボンデイング工具６から出たワイヤ５
の先端にボールが形成され（時点○イ）、ボンデイ
ング工具６はワイヤクランプ１７とともに第１ボ
ンデイング位置まで下降する。このときワイヤ
クランプ２５を閉じてワイヤ５との間に摩擦を生
じさせることによりボンデイング工具６の先端に
ボールをくわえこませる（時点○ロ）。第１ボンデ
イングが終了すると、ボンデイング工具６とワイ
ヤクランプ１７は共にＨだけ上昇し、必要な長さ
のワイヤをボンデイング工具６から引き出す（時
点○ハ）。この間にXYテーブル３は第１ボンデイ
ング位置から第２ボンデイング位置に移動する。
第１ボンデイング位置と第２ボンデイング位置と
の間の距離Ｌからボンデイングアーム６の上昇量
Ｈが次式の如く定まる。このＨとＬの関係はＨ＝
（1.5〜2.0）×Ｌ＋αである。ここでαは経験的に
定まる値である。次にボンデイング工具６は徐々
に下降し（時点○ニ）、第２ボンデイング位置にワ
イヤ５をボンデイングする（時点○ホ）。このとき
ワイヤクランプ２５は閉じている。ボンデイング
が終了するとボンデイング工具は上昇し（時点
○ヘ）、一旦停止してワイヤクランプ１７を閉じ再
び上昇してワイヤを切断する（時点○ト）。ボンデ
イング工具６の上昇が終了するとH2O2トーチま
たは電気トーチ２１によりワイヤの先端にボール
が形成され（時点○チ）、１回のボンデイングが終
了する。
本実施例によるワイヤボンデイング装置のボン
デイング工具６の上下動およびXYテーブル３の
駆動の概略は上述の通りであるが、移動時の駆動
軌跡が従来のものとは異なる。任意の駆動軌跡で
駆動することができる駆動制御部を第３図に示
す。本実施例ではこの駆動制御部を、揺動アーム
９を上下動させる駆動モータ１０、XYテーブル
３を動かすＸ軸駆動モータ１、Ｙ軸駆動モータ２
にそれぞれ設けている。
デイング工具６の上下動およびXYテーブル３の
駆動の概略は上述の通りであるが、移動時の駆動
軌跡が従来のものとは異なる。任意の駆動軌跡で
駆動することができる駆動制御部を第３図に示
す。本実施例ではこの駆動制御部を、揺動アーム
９を上下動させる駆動モータ１０、XYテーブル
３を動かすＸ軸駆動モータ１、Ｙ軸駆動モータ２
にそれぞれ設けている。
駆動モータ１，２，１０をモータＭで代表す
る。またモータＭの回転角度に、このモータＭに
より移動するボンデイング工具６、XYテーブル
３の移動距離が比例するものとする。なお、ボン
デイング工具６の上下動の移動距離と駆動モータ
１０の回転角を比例させる技術については、同じ
出願人の特願昭59−92025号に記載してある。
る。またモータＭの回転角度に、このモータＭに
より移動するボンデイング工具６、XYテーブル
３の移動距離が比例するものとする。なお、ボン
デイング工具６の上下動の移動距離と駆動モータ
１０の回転角を比例させる技術については、同じ
出願人の特願昭59−92025号に記載してある。
モータＭへの電力はサーボアンプ３８より供給
される。モータＭには回転角度に比例した電圧を
発生するタコジエネレータ３５と回転方向に回転
角度に応じたパルスを発生する回転式パルスエン
コーダ３６が同軸上に直結されている。タコジエ
ネレータ３５からの電圧出力はサーボアンプ３８
に直接負帰還され、独立したサーボループが構成
される。パルスカウンタ３７はパルスエンコーダ
３６から送られるパルス列を、回転方向を弁別し
ながらカウントする。CPU３１は所定の時間間
隔でパルスカウンタ３７の内容を読み込み、前回
のカウント値との差を求め、この差をメモリ３２
ｃ内の旧現在位置データ（EXDT）に加減算す
ることにより、駆動対象Ｋの新現在位置とする。
一方メモリ３２ｄには駆動対象Ｋの目標位置
（TARG）が格納されており、CPU３１はこの目
標位置と新現在位置との差を求め、これを偏差値
（HEN）としてメモリ３２ｅに格納するする
CPU３１はHEN＝TARG−EXPT＝０となるよ
うに、HENに応じたアナログ出力量を所定演算
により求め、これをサーボアンプ３８に出力す
る。駆動対象Ｋが停止状態にある場合は、
TARG≒EXPTとなつており、駆動対象Ｋを移
動させたい場合は目標位置を変化させればよい。
なお、本実施例では精密制御のため、これらデー
タ（TARG、EXPT、HEN等）は、パルスエン
コーダ３６の発生するパルス数とする。
される。モータＭには回転角度に比例した電圧を
発生するタコジエネレータ３５と回転方向に回転
角度に応じたパルスを発生する回転式パルスエン
コーダ３６が同軸上に直結されている。タコジエ
ネレータ３５からの電圧出力はサーボアンプ３８
に直接負帰還され、独立したサーボループが構成
される。パルスカウンタ３７はパルスエンコーダ
３６から送られるパルス列を、回転方向を弁別し
ながらカウントする。CPU３１は所定の時間間
隔でパルスカウンタ３７の内容を読み込み、前回
のカウント値との差を求め、この差をメモリ３２
ｃ内の旧現在位置データ（EXDT）に加減算す
ることにより、駆動対象Ｋの新現在位置とする。
一方メモリ３２ｄには駆動対象Ｋの目標位置
（TARG）が格納されており、CPU３１はこの目
標位置と新現在位置との差を求め、これを偏差値
（HEN）としてメモリ３２ｅに格納するする
CPU３１はHEN＝TARG−EXPT＝０となるよ
うに、HENに応じたアナログ出力量を所定演算
により求め、これをサーボアンプ３８に出力す
る。駆動対象Ｋが停止状態にある場合は、
TARG≒EXPTとなつており、駆動対象Ｋを移
動させたい場合は目標位置を変化させればよい。
なお、本実施例では精密制御のため、これらデー
タ（TARG、EXPT、HEN等）は、パルスエン
コーダ３６の発生するパルス数とする。
次に駆動対象を距離Ｓだけ動かす場合について
説明する。CPU３１は、メモリ３２ｂで与えら
れた移動距離Ｓから目標位置の更新回数をｎを求
め、目標更新データ（ΔSi）として第４図に示す
ようにメモリ３２ｆに格納する。ここで駆動対象
Ｋの移動軌跡は第５図ａに示すように、例えば次
式に示すようなサイクロイダル曲線になるように
する。
説明する。CPU３１は、メモリ３２ｂで与えら
れた移動距離Ｓから目標位置の更新回数をｎを求
め、目標更新データ（ΔSi）として第４図に示す
ようにメモリ３２ｆに格納する。ここで駆動対象
Ｋの移動軌跡は第５図ａに示すように、例えば次
式に示すようなサイクロイダル曲線になるように
する。
ΔS＝Sx（ΔT／Ｔ−１／2πsin2πΔt／Ｔ） ……(1)
ここでＴは全移動時間であり、Δtは更新回数
ｎで全移動時間Ｔを割つた駆動単位時間である。
メモリ３２ａに記憶されたこの式に基づいて目標
更新データ（ΔSi）が定められ、メモリ３２ｆに
格納される。
ｎで全移動時間Ｔを割つた駆動単位時間である。
メモリ３２ａに記憶されたこの式に基づいて目標
更新データ（ΔSi）が定められ、メモリ３２ｆに
格納される。
標準軌跡データを(1)式に示すようなサイクロイ
ダル曲線とすると、移動軌跡は第５図ａに示すよ
うになり、速度ｖは第５図ｂに示すようになり、
加速度αは第５図ｃに示すようになる。加速度α
は正弦波状変化をしており、急激に変化しないの
でモータＭへの負担が少なく、衝撃も少ない。な
お、加速度αが急激に変化しないものであれば、
他の駆動曲線でもよい。例えば単弦カム曲線、変
形台形カム曲線がある。
ダル曲線とすると、移動軌跡は第５図ａに示すよ
うになり、速度ｖは第５図ｂに示すようになり、
加速度αは第５図ｃに示すようになる。加速度α
は正弦波状変化をしており、急激に変化しないの
でモータＭへの負担が少なく、衝撃も少ない。な
お、加速度αが急激に変化しないものであれば、
他の駆動曲線でもよい。例えば単弦カム曲線、変
形台形カム曲線がある。
CPU３１は所定の単位時間Δtの間隔で目標更
新データΔSiをメモリ２ｆから順次読み出し、こ
れを目標位置に加えていく。最終目標位置を設定
後、現在位置（EXPT）が目標位置（TARG）
になるのをまち、駆動対象Ｋの移動を完了する。
新データΔSiをメモリ２ｆから順次読み出し、こ
れを目標位置に加えていく。最終目標位置を設定
後、現在位置（EXPT）が目標位置（TARG）
になるのをまち、駆動対象Ｋの移動を完了する。
本実施例ではメモリ３２ａの標準軌跡をメモリ
３２ｂの直線距離Ｓに応じてほぼ相似形に変形す
ることになる。なお、メモリ３２ａに数種類の標
準軌跡を記憶し、動作時の目的に合せて選択して
もよい。
３２ｂの直線距離Ｓに応じてほぼ相似形に変形す
ることになる。なお、メモリ３２ａに数種類の標
準軌跡を記憶し、動作時の目的に合せて選択して
もよい。
本実施例によれば標準軌跡に基づいて駆動制御
することができるので、カム運動理論により、高
速で低衝撃、低振動の駆動が可能である。
することができるので、カム運動理論により、高
速で低衝撃、低振動の駆動が可能である。
第２の実施例
次に本発明の第２の実施例によるワイヤボンデ
イング装置を第６図に示す。本実施例はボンデイ
ング工具が設けられたボンデイングアームと、ワ
イヤクランプが設けられたクランプアームとが独
立駆動可能であり、それぞれの駆動部を前述の特
願昭59−92025の技術により回転角と移動量が比
例するように改良したものである。
イング装置を第６図に示す。本実施例はボンデイ
ング工具が設けられたボンデイングアームと、ワ
イヤクランプが設けられたクランプアームとが独
立駆動可能であり、それぞれの駆動部を前述の特
願昭59−92025の技術により回転角と移動量が比
例するように改良したものである。
ボンデイング工具２１３を上下駆動するための
モータ（図示せず）の回転軸２０２にロータリー
エンコーダ（図示せず）とカム２０３が取りつけ
られている。ボンデイングアーム２１１は揺動ア
ーム２０６と同一支軸２０９で結合されている。
揺動アーム２０６にはカムフオロワー２０５が設
けられ、このカムフオロワー２０５はカム２０３
と接触している。また揺動アーム２０６には補助
アーム２０８が設けられている。この補助アーム
２０８の一端にもカムフオロワー２０４が取りつ
けられている。カムフオロワー２０４と２０５と
でカム２０３をはさむ。揺動アーム２０６と補助
アーム２０８との間にバネ２１０を設けて、カム
フオロワー２０４，２０５に一定の予圧をかけて
いる。
モータ（図示せず）の回転軸２０２にロータリー
エンコーダ（図示せず）とカム２０３が取りつけ
られている。ボンデイングアーム２１１は揺動ア
ーム２０６と同一支軸２０９で結合されている。
揺動アーム２０６にはカムフオロワー２０５が設
けられ、このカムフオロワー２０５はカム２０３
と接触している。また揺動アーム２０６には補助
アーム２０８が設けられている。この補助アーム
２０８の一端にもカムフオロワー２０４が取りつ
けられている。カムフオロワー２０４と２０５と
でカム２０３をはさむ。揺動アーム２０６と補助
アーム２０８との間にバネ２１０を設けて、カム
フオロワー２０４，２０５に一定の予圧をかけて
いる。
ボンデイングアーム２１１は支軸２０９で揺動
アーム２０６と連結されている。ボンデイングア
ーム２１１は、マグネツト２１７とムービンコイ
ル２１６により構成されたボイスコイルモータと
バネ２１８とにより保持されている。ピン２２３
はボンデイングアーム２１１の回転を阻止するた
めにボンデイングアーム２１１の端部２２１近く
に設けられている。この端部２２１の動きを検出
するための容量センサ２２２が設けられている。
ボンデイング工具２１３がボンデイング位置に当
たると、ボンデイングアーム２１１がわずかに回
転し、端部２２１と容量センサ２２２とのギヤツ
プが変化する。このギヤツプ変化を容量センサ２
２２で検出して、ボンデイングした時刻を知るこ
とができる。この時刻から超音波発振を開始し、
超音波ボンデイングをおこなう。
アーム２０６と連結されている。ボンデイングア
ーム２１１は、マグネツト２１７とムービンコイ
ル２１６により構成されたボイスコイルモータと
バネ２１８とにより保持されている。ピン２２３
はボンデイングアーム２１１の回転を阻止するた
めにボンデイングアーム２１１の端部２２１近く
に設けられている。この端部２２１の動きを検出
するための容量センサ２２２が設けられている。
ボンデイング工具２１３がボンデイング位置に当
たると、ボンデイングアーム２１１がわずかに回
転し、端部２２１と容量センサ２２２とのギヤツ
プが変化する。このギヤツプ変化を容量センサ２
２２で検出して、ボンデイングした時刻を知るこ
とができる。この時刻から超音波発振を開始し、
超音波ボンデイングをおこなう。
上クランプ２５２と下クランプ２５４を上下駆
動するためのモータ（図示せず）の回転軸２４２
にロータリエンコーダ（図示せず）とカム２４３
が取りつけられている。クランプアーム２４６は
支軸２４９を中心に回転する。クランプアーム２
４６の一方は２つのアーム２５１，２５３に分か
れておりそれぞれクランプ２５２，２５４が取り
つけられている。クランプアーム２４６の他端に
はカムフオロワー２４５が設けられ、カム２４３
と接触している。またクランプアーム２４６には
補助アーム２４８が設けられ、この補助アーム２
４８の一端にもカムフオロワー２４４が取りつけ
られている。カムフオロワー２４４と２４５とで
カム２４３をはさむ。クランプアーム２４６と補
助アーム２４８との間にバネ２５０を設けて、カ
ムフオロワー２４４，２４５に一定の予圧をかけ
ている。
動するためのモータ（図示せず）の回転軸２４２
にロータリエンコーダ（図示せず）とカム２４３
が取りつけられている。クランプアーム２４６は
支軸２４９を中心に回転する。クランプアーム２
４６の一方は２つのアーム２５１，２５３に分か
れておりそれぞれクランプ２５２，２５４が取り
つけられている。クランプアーム２４６の他端に
はカムフオロワー２４５が設けられ、カム２４３
と接触している。またクランプアーム２４６には
補助アーム２４８が設けられ、この補助アーム２
４８の一端にもカムフオロワー２４４が取りつけ
られている。カムフオロワー２４４と２４５とで
カム２４３をはさむ。クランプアーム２４６と補
助アーム２４８との間にバネ２５０を設けて、カ
ムフオロワー２４４，２４５に一定の予圧をかけ
ている。
スプール（図示せず）から引きだされたボンデ
イングワイヤ２３０は、上クランプ２５２、下ク
ランプ２５４を通つてボンデイング工具２１３の
先端から出ている。上クランプ２５２と下クラン
プ２５４との間にガイド２３２が設けられてい
る。上クランプ２５２のすぐ上にもガイド２３４
が設けられている。ボンデイングワイヤ２３０を
常に一定のテンシヨンで上に引き上げるため、エ
アーノズル２３６からエアーがふきつけられてい
る。
イングワイヤ２３０は、上クランプ２５２、下ク
ランプ２５４を通つてボンデイング工具２１３の
先端から出ている。上クランプ２５２と下クラン
プ２５４との間にガイド２３２が設けられてい
る。上クランプ２５２のすぐ上にもガイド２３４
が設けられている。ボンデイングワイヤ２３０を
常に一定のテンシヨンで上に引き上げるため、エ
アーノズル２３６からエアーがふきつけられてい
る。
次に本実施例によるワイヤボンデイング方法を
第７図ａ，ｂを用いて説明する。まずボンデイン
グワイヤ２３０の先端に形成されたボールを、上
クランプ２５２を閉じてボンデイング工具２１３
を下降させることにより、ボンデイング工具２１
３の先端にくわえ込む（時点Ａ）。次に上クラン
プ２５２、下クランプ２５４を開いた状態にして
ボンデイング工具２１３だけを軌跡Z1、Z2に沿つ
て距離S1だけ降下し、直下の半導体ペレツト２２
０の第１ボンデイング位置にボールを圧着時間の
間押しつけ超音波ボンデイングする（時点Ｂ）。
第７図ａ，ｂを用いて説明する。まずボンデイン
グワイヤ２３０の先端に形成されたボールを、上
クランプ２５２を閉じてボンデイング工具２１３
を下降させることにより、ボンデイング工具２１
３の先端にくわえ込む（時点Ａ）。次に上クラン
プ２５２、下クランプ２５４を開いた状態にして
ボンデイング工具２１３だけを軌跡Z1、Z2に沿つ
て距離S1だけ降下し、直下の半導体ペレツト２２
０の第１ボンデイング位置にボールを圧着時間の
間押しつけ超音波ボンデイングする（時点Ｂ）。
次にボンデイング工具２１３を少し上昇してか
ら上クランプ２５４を閉じてボンデイング工具２
１３を第２ボンデイング位置から相対的に離間す
る方向に移動させた後第２ボンデイング位置へ向
う（時点Ｃ）。ここで、第２ボンデイング位置は、
半導体ペレツト２２０に近接して配置された外部
端子上に設けられている。ボンデイング工具２１
３を第２ボンデイング位置から相対的に離す操作
はボンデイング工具２１３を搭載したXYテーブ
ル２００を移動させておこなう。
ら上クランプ２５４を閉じてボンデイング工具２
１３を第２ボンデイング位置から相対的に離間す
る方向に移動させた後第２ボンデイング位置へ向
う（時点Ｃ）。ここで、第２ボンデイング位置は、
半導体ペレツト２２０に近接して配置された外部
端子上に設けられている。ボンデイング工具２１
３を第２ボンデイング位置から相対的に離す操作
はボンデイング工具２１３を搭載したXYテーブ
ル２００を移動させておこなう。
次いで、上クランプ２５２を閉じた状態で所定
分だけ降下して、スプール２４９から架設に必要
な長さHc分のボンデイングワイヤ２３０を引き
出す。このボンデイングワイヤ２３０の引き出し
に同期してボンデイング工具２３１を所定距離S2
だけ軌跡Z3に沿つて上昇する（時点Ｄ）。次いで
ボンデイング工具２１３を軌跡Z4に沿つて第２ボ
ンデイング位置の上方に移動させる（時点Ｅ）。
ボンデイング工具２１３が第２ボンデイング位置
の上方に達した時点では、ボンデイング工具２１
３と第１ボンデイング位置間には、架設に必要な
長さHcのボンデイングワイヤ２３０が供給され
ている。
分だけ降下して、スプール２４９から架設に必要
な長さHc分のボンデイングワイヤ２３０を引き
出す。このボンデイングワイヤ２３０の引き出し
に同期してボンデイング工具２３１を所定距離S2
だけ軌跡Z3に沿つて上昇する（時点Ｄ）。次いで
ボンデイング工具２１３を軌跡Z4に沿つて第２ボ
ンデイング位置の上方に移動させる（時点Ｅ）。
ボンデイング工具２１３が第２ボンデイング位置
の上方に達した時点では、ボンデイング工具２１
３と第１ボンデイング位置間には、架設に必要な
長さHcのボンデイングワイヤ２３０が供給され
ている。
上クランプ２５２及び下クランプ２５４を開い
た状態にしてボンデイング工具２１３を第２ボン
デイング位置までで軌跡Z5に沿つて降下し、ボン
デイングワイヤ２３０を引つ張つた状態でボンデ
イングワイヤ２３０の接続を行なう（時点Ｆ）。
次いで、下クランプ２５４を閉じた状態でボンデ
イング工具２１３を所定距離S4だけ軌跡Z6に沿つ
て上昇し（時点Ｇ）、ボンデイング工具２１３か
ら次のボールを形成するためのボンデイングワイ
ヤ２３０が突き出した状態になるように、上クラ
ンプ２５２と下クランプ２５４を上昇させる（時
点Ｈ）。然る後、ボンデイング工具２１３から突
き出したボンデイングワイヤ２３０の先端にトー
チ２５５によりボールを形成する（時点Ｉ） 以上の動作において、ボンデイング工具２１３
の上下駆動の軌跡Z1、Z3、Z4、Z6に沿つての移動
は、第１の実施例と同様、サイクロイダル曲線等
の衝撃が少なく高速で駆動できる曲線に従つてな
され、軌跡Z2、Z5に沿つての移動は低速駆動によ
りなされる。
た状態にしてボンデイング工具２１３を第２ボン
デイング位置までで軌跡Z5に沿つて降下し、ボン
デイングワイヤ２３０を引つ張つた状態でボンデ
イングワイヤ２３０の接続を行なう（時点Ｆ）。
次いで、下クランプ２５４を閉じた状態でボンデ
イング工具２１３を所定距離S4だけ軌跡Z6に沿つ
て上昇し（時点Ｇ）、ボンデイング工具２１３か
ら次のボールを形成するためのボンデイングワイ
ヤ２３０が突き出した状態になるように、上クラ
ンプ２５２と下クランプ２５４を上昇させる（時
点Ｈ）。然る後、ボンデイング工具２１３から突
き出したボンデイングワイヤ２３０の先端にトー
チ２５５によりボールを形成する（時点Ｉ） 以上の動作において、ボンデイング工具２１３
の上下駆動の軌跡Z1、Z3、Z4、Z6に沿つての移動
は、第１の実施例と同様、サイクロイダル曲線等
の衝撃が少なく高速で駆動できる曲線に従つてな
され、軌跡Z2、Z5に沿つての移動は低速駆動によ
りなされる。
XYテーブル２００の移動について第７図、第
８図を用いてさらに詳細に説明する。第１ボンデ
イング位置にボンデイング後、ボンデイング工具
２１３が軌跡Z3に沿つて上昇しはじめる。この上
昇開始後時間T5が経過すると、XYテーブル２０
０が移動を開始し、時間T1経過後その移動を終
了する。この時間T1は、第１ボンデイング位置
Ｏから第２ボンデイング位置Ｑまでの直線距離
OQにより、標準軌跡データから求められた基準
速度曲線に基づいて求められる。この時間T1で
XYテーブル２００のＸ軸方向の距離SxQの移動、
Ｙ軸方向の距離SyQの移動がなされる。このとき
のＸ軸駆動の速度曲線はVxQ（第８図ｂ）Ｙ軸駆
動の速度曲線はVyQ（第８図ｃ）となり、各所要
時間TxQ、TyQは時間T1と等しい。したがつて第
１ボンデイング位置Ｏから第２ボンデイング位置
ＱまでのXYテーブル２００の移動軌跡は、Ｘ
軸、Ｙ軸の移動が合成され直線を描く。
８図を用いてさらに詳細に説明する。第１ボンデ
イング位置にボンデイング後、ボンデイング工具
２１３が軌跡Z3に沿つて上昇しはじめる。この上
昇開始後時間T5が経過すると、XYテーブル２０
０が移動を開始し、時間T1経過後その移動を終
了する。この時間T1は、第１ボンデイング位置
Ｏから第２ボンデイング位置Ｑまでの直線距離
OQにより、標準軌跡データから求められた基準
速度曲線に基づいて求められる。この時間T1で
XYテーブル２００のＸ軸方向の距離SxQの移動、
Ｙ軸方向の距離SyQの移動がなされる。このとき
のＸ軸駆動の速度曲線はVxQ（第８図ｂ）Ｙ軸駆
動の速度曲線はVyQ（第８図ｃ）となり、各所要
時間TxQ、TyQは時間T1と等しい。したがつて第
１ボンデイング位置Ｏから第２ボンデイング位置
ＱまでのXYテーブル２００の移動軌跡は、Ｘ
軸、Ｙ軸の移動が合成され直線を描く。
もし第２ボンデイング位置がＰの場合は、Ｘ軸
方向の距離はSxp、Ｙ軸方向の距離はSypとなり、
速度曲線はVxp、Vypとなり、所要時間はTxp、
Typとなる。所要時間TxpはTypに等しく、直線距
離OPとOQとの比に応じて時間T1より短い。
方向の距離はSxp、Ｙ軸方向の距離はSypとなり、
速度曲線はVxp、Vypとなり、所要時間はTxp、
Typとなる。所要時間TxpはTypに等しく、直線距
離OPとOQとの比に応じて時間T1より短い。
ボンデイングループを形成するボンデイング工
具２１３の軌跡Z3とZ4に沿つての所要時間T5＋
T4は、XYテーブル２００の移動時間T1により
定まり、距離S2と時間T4＋T5によるサイクロイ
ダル曲線で上下方向（Ｚ方向）に駆動される。本
実施例では距離S6とS7が、ボンデイングワイヤの
ループ形状を定めるため、予め定められており、
これにより所要時間T5とT4が定まる。また距離
S2は第１ボンデイング位置と第２ボンデイング位
置までの直線距離により求められる。この距離S2
により距離S6とS7を変化させてもよい。
具２１３の軌跡Z3とZ4に沿つての所要時間T5＋
T4は、XYテーブル２００の移動時間T1により
定まり、距離S2と時間T4＋T5によるサイクロイ
ダル曲線で上下方向（Ｚ方向）に駆動される。本
実施例では距離S6とS7が、ボンデイングワイヤの
ループ形状を定めるため、予め定められており、
これにより所要時間T5とT4が定まる。また距離
S2は第１ボンデイング位置と第２ボンデイング位
置までの直線距離により求められる。この距離S2
により距離S6とS7を変化させてもよい。
なお、ボンデイングワイヤの形状をよくするた
め、第１ボンデイング位置から第２ボンデイング
位置にXYテーブル２００を移動させる場合に、
一度、離れる方向に移動させたのち第２ボンデイ
ング位置へ移動させる場合がある（特願昭58−
244120参照）。このような一度離れる方向への
XYテーブルの移動にも上記制御が利用できる。
め、第１ボンデイング位置から第２ボンデイング
位置にXYテーブル２００を移動させる場合に、
一度、離れる方向に移動させたのち第２ボンデイ
ング位置へ移動させる場合がある（特願昭58−
244120参照）。このような一度離れる方向への
XYテーブルの移動にも上記制御が利用できる。
本実施例によればXYテーブルの移動を移動方
向に関係なく相似に駆動することができ、この軌
跡を直線にすることができる。したがつて安定し
たループ形状が得られるとともに、移動方向によ
る加減速度の差がなくなり、許容限界まで速度を
上げることができる。また上下方向も同様の制御
をおこなうことにより、ボンデイング工具の軌跡
が相似形となり、安定したループ形状が得られ
る。
向に関係なく相似に駆動することができ、この軌
跡を直線にすることができる。したがつて安定し
たループ形状が得られるとともに、移動方向によ
る加減速度の差がなくなり、許容限界まで速度を
上げることができる。また上下方向も同様の制御
をおこなうことにより、ボンデイング工具の軌跡
が相似形となり、安定したループ形状が得られ
る。
以上の通り本発明によれば、基準駆動パターン
に相似の駆動パターンでボンデイング工具の上下
駆動、水平駆動テーブルの水平駆動をおこなうこ
とにしたので、高速で安定したワイヤボンデイン
グをおこなうことができる。
に相似の駆動パターンでボンデイング工具の上下
駆動、水平駆動テーブルの水平駆動をおこなうこ
とにしたので、高速で安定したワイヤボンデイン
グをおこなうことができる。
第１図は本発明の第１の実施例によるワイヤボ
ンデイング装置の側面図、第２図は同ワイヤボン
デイング装置の動作を示す図、第３図は同ワイヤ
ボンデイング装置の駆動制御部のブロツク図、第
４図は同駆動制御部の目標更新データメモリのメ
モリマツプ、第５図は同駆動制御部の動作を示す
図、第６図は本発明の第２の実施例によるワイヤ
ボンデイング装置の要部の側面図、第７図、第８
図は同ワイヤボンデイング装置の動作を示す図、
第９図、第１０図、第１１図は従来のワイヤボン
デイング装置の動作を示す図である。 １，２……駆動モータ、３……XYテーブル、
４……ボンデイングヘツドユニツト、５……ボン
デイングワイヤ、６……ボンデイング工具、７…
…支点、８……ボンデイングアーム、９……揺動
アーム、１０……駆動モータ、１１……偏芯ピ
ン、１２……クランプアーム、１３……ボンデイ
ングアームロツクピン、１４……アームロツクソ
レノイド、１５……副ボンデイングアーム、１６
……リニアモータ、１７，２５……ワイヤクラン
プ、１８，２６……クランプソレノイド、１９…
…スプール、２１……トーチ。
ンデイング装置の側面図、第２図は同ワイヤボン
デイング装置の動作を示す図、第３図は同ワイヤ
ボンデイング装置の駆動制御部のブロツク図、第
４図は同駆動制御部の目標更新データメモリのメ
モリマツプ、第５図は同駆動制御部の動作を示す
図、第６図は本発明の第２の実施例によるワイヤ
ボンデイング装置の要部の側面図、第７図、第８
図は同ワイヤボンデイング装置の動作を示す図、
第９図、第１０図、第１１図は従来のワイヤボン
デイング装置の動作を示す図である。 １，２……駆動モータ、３……XYテーブル、
４……ボンデイングヘツドユニツト、５……ボン
デイングワイヤ、６……ボンデイング工具、７…
…支点、８……ボンデイングアーム、９……揺動
アーム、１０……駆動モータ、１１……偏芯ピ
ン、１２……クランプアーム、１３……ボンデイ
ングアームロツクピン、１４……アームロツクソ
レノイド、１５……副ボンデイングアーム、１６
……リニアモータ、１７，２５……ワイヤクラン
プ、１８，２６……クランプソレノイド、１９…
…スプール、２１……トーチ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ボンデイングワイヤを保持するボンデイング
工具を上下駆動しながら、このボンデイング工具
が搭載された水平移動テーブルを駆動するこによ
り、前記ボンデイングワイヤを半導体ペレツトと
外部端子にボンデイングして電気的に接続するワ
イヤボンデイング方法において、 前記ボンデイング工具の上下移動および前記水
平移動テーブルの水平移動における２点間の駆動
制御を、前記２点間の直線距離に応じた、所定の
基準駆動パターンにほぼ相似の駆動パターンに基
づいておこなうことを特徴とするワイヤボンデイ
ング方法。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の方法において、
前記所定の基準駆動パターンは、移動時間に対す
る移動量の変化曲線が単弦カム曲線またはサイク
ロイドカム曲線または変形台形カム曲線であるこ
とを特徴とするワイヤボンデイング方法。 ３ 特許請求の範囲第１項または第２項記載の方
法において、前記水平移動テーブルを互いに直交
するＸ軸駆動およびＹ軸駆動により水平移動する
際に、Ｘ軸駆動とＹ軸駆動をほぼ同時に開始し、
ほぼ同時に終了することを特徴とするワイヤボン
デイング方法。 ４ ボンデイングワイヤを保持するボンデイング
工具と、このボンデイング工具を上下駆動する上
下駆動部と、このボンデイング工具が搭載された
水平移動テーブルと、この水平移動テーブルを水
平駆動する水平駆動部とを備え、前記上下駆動部
により前記ボンデイング工具を上下移動しながら
前記水平駆動部により前記水平移動テーブルを水
平移動させることにより、前記ボンデイングワイ
ヤを半導体ペレツトと外部端子にボンデイングし
て電気的に接続するワイヤボンデイング装置にお
いて、 前記上下駆動部および前記水平駆動部は、それ
ぞれ、駆動手段と、所定の基準駆動パターンを記
憶する記憶部と、移動開始点と移動終了点間の直
線距離に応じた、前記所定の基準駆動パターンに
ほぼ相似の駆動パターンを生成する駆動パターン
発生部と、この駆動パターン発生部からの駆動パ
ターンに基づいて前記駆動手段を制御する駆動制
御部とを有していることを特徴とするワイヤボン
デイング装置。 ５ 特許請求の範囲第４項記載の装置方法におい
て、前記所定の基準駆動パターンは、移動時間に
対する移動量の変化曲線が単弦カム曲線またはサ
イクロイドカム曲線または変形台形カム曲線であ
ることを特徴とするワイヤボンデイング装置。 ６ 特許請求の範囲第４項または第５項記載の方
法において、前記水平駆動部の駆動手段は、互い
に直交するＸ軸駆動手段およびＹ軸駆動手段を有
し、前記駆動制御部は、Ｘ軸駆動およびＹ軸駆動
をほぼ同時に開始し、ほぼ同時に終了するように
前記Ｘ軸駆動手段およびＹ軸駆動手段を制御する
ことを特徴とするワイヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60067606A JPS61226936A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | ワイヤボンデイング方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60067606A JPS61226936A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | ワイヤボンデイング方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61226936A JPS61226936A (ja) | 1986-10-08 |
| JPH0438136B2 true JPH0438136B2 (ja) | 1992-06-23 |
Family
ID=13349757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60067606A Granted JPS61226936A (ja) | 1985-03-30 | 1985-03-30 | ワイヤボンデイング方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61226936A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11404393B2 (en) * | 2018-08-23 | 2022-08-02 | Kaijo Corporation | Wire bonding method and wire bonding device |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5348461A (en) * | 1976-10-15 | 1978-05-01 | Hitachi Ltd | Wire bonder |
| JPS5724026A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-08 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
| JPS593850A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 陰極線管 |
-
1985
- 1985-03-30 JP JP60067606A patent/JPS61226936A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5348461A (en) * | 1976-10-15 | 1978-05-01 | Hitachi Ltd | Wire bonder |
| JPS5724026A (en) * | 1980-07-16 | 1982-02-08 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
| JPS593850A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 陰極線管 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61226936A (ja) | 1986-10-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |