JPH043712A - 搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法 - Google Patents
搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法Info
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- JPH043712A JPH043712A JP2105090A JP10509090A JPH043712A JP H043712 A JPH043712 A JP H043712A JP 2105090 A JP2105090 A JP 2105090A JP 10509090 A JP10509090 A JP 10509090A JP H043712 A JPH043712 A JP H043712A
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- rail
- wire
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Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000011120 plywood Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Framework For Endless Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、搬送物を同一平面上で直角方向に移動する
、搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法に関
する。
、搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法に関
する。
第6図は半導体基板(半導体ウェーハ)を収納するカセ
ットを示す。カセット2には多数枚の半導体基板1を立
て姿勢で収納している。
ットを示す。カセット2には多数枚の半導体基板1を立
て姿勢で収納している。
M7図は従来の搬送装置を示す斜視図である。
3及び4は中間の載置台5に連接して配置された直角方
向の載置台、6.フは直行形ロボットで、上下駆動機構
部8によりチャック機構部9を上下させる。チャック機
構部9には1対の腕部10が出され、双方の間隔を狭め
たシ広げたシする。11及び12dロボツト6及びフの
走行機構部で、ロボット6及び7をそれぞれ載置台3及
び4に平行に走行させる。
向の載置台、6.フは直行形ロボットで、上下駆動機構
部8によりチャック機構部9を上下させる。チャック機
構部9には1対の腕部10が出され、双方の間隔を狭め
たシ広げたシする。11及び12dロボツト6及びフの
走行機構部で、ロボット6及び7をそれぞれ載置台3及
び4に平行に走行させる。
次に動作を説明する。一方のロボット6はチャック機構
部9を下降させ、両腕部10により載置台3上のカセッ
ト2を挾付は保持する。つづいて、チャック機構部9t
−上昇させ、A方向に走行し、チャック機構部9を下降
させ両腕部lOを開き、カセツ)2t−載置台5上に置
く。
部9を下降させ、両腕部10により載置台3上のカセッ
ト2を挾付は保持する。つづいて、チャック機構部9t
−上昇させ、A方向に走行し、チャック機構部9を下降
させ両腕部lOを開き、カセツ)2t−載置台5上に置
く。
他方のロボットフがC方向に走行し、上記ロボット6と
同様に載置台5上のカセツ)2t−両腕部1oで挾付は
保持し、D方向に走行し、カセット2を載置台4上の端
に置く。
同様に載置台5上のカセツ)2t−両腕部1oで挾付は
保持し、D方向に走行し、カセット2を載置台4上の端
に置く。
また、載置台4上の端のカセット2を、載置台3上の端
に搬送するには、ロボット7.6により上記とは逆の動
作によυ行う0 〔発明が解決しようとする課題〕 上記のような従来の搬送装置では、2台のロボット6.
7を要し、装置が大形化し、価格が高くなυ、また、直
角方向位置への搬送に時間がかかるという問題点があっ
た0 この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、装置が簡単で小形化され、低価格となシ、ま
た、搬送時間が短縮される搬送装置及び半導体基板収納
カセットの搬送方法を得ることを目的としている0 C11題を解決するための手段〕 この発明にかかる搬送装置は、同一水平面で直角方向に
曲げられた案内レー)vt−配設し、この案内レーyを
両側から弾性挾付は案内される1対宛の前後に配設され
た溝車と、これらの溝車を下部に支持する支持台板と、
この合板の上方に設けられた載置台とから台車を構成し
、支持台板に伝動ワイヤを連結しておシ、載置台に搬送
物を載せワイヤを引張り走行し、台車をレールに沿って
移動させ、搬送物tl[角方向の位置に搬送するように
したものである。
に搬送するには、ロボット7.6により上記とは逆の動
作によυ行う0 〔発明が解決しようとする課題〕 上記のような従来の搬送装置では、2台のロボット6.
7を要し、装置が大形化し、価格が高くなυ、また、直
角方向位置への搬送に時間がかかるという問題点があっ
た0 この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、装置が簡単で小形化され、低価格となシ、ま
た、搬送時間が短縮される搬送装置及び半導体基板収納
カセットの搬送方法を得ることを目的としている0 C11題を解決するための手段〕 この発明にかかる搬送装置は、同一水平面で直角方向に
曲げられた案内レー)vt−配設し、この案内レーyを
両側から弾性挾付は案内される1対宛の前後に配設され
た溝車と、これらの溝車を下部に支持する支持台板と、
この合板の上方に設けられた載置台とから台車を構成し
、支持台板に伝動ワイヤを連結しておシ、載置台に搬送
物を載せワイヤを引張り走行し、台車をレールに沿って
移動させ、搬送物tl[角方向の位置に搬送するように
したものである。
また、この発明のカセットの搬送方法は、半導体基板を
収納したカセットを上記搬送装置の載置台に載せ、直角
方向の位置に搬送する方法である。
収納したカセットを上記搬送装置の載置台に載せ、直角
方向の位置に搬送する方法である。
この発明においては、載置台上に搬送物を載せ、支持台
板を伝動ワイヤにより走行方向に引張り移動すると、案
内レールに沿い直角方向の位置に搬送ができる。
板を伝動ワイヤにより走行方向に引張り移動すると、案
内レールに沿い直角方向の位置に搬送ができる。
また、搬送物として半導体基板を収納したカセットを載
置台に載せ直角曲げ方向の搬送ができ、半導体基板処理
工程において搬送に適用し、生産性が向上される。
置台に載せ直角曲げ方向の搬送ができ、半導体基板処理
工程において搬送に適用し、生産性が向上される。
第1図はこの発明の一実施例による搬送装置の斜視図で
ある。20は水平に配置され直角に曲げられた搬送路を
なす案内レール、21は前後に配置された1対の台車で
、それぞれ案内レール20を両側から挾付ける1対宛前
後の溝車23が設けられ、レー/%/20に沿い走行さ
れる。台車21上には載置台3フが設けられ、カーブド
2が載せられている。
ある。20は水平に配置され直角に曲げられた搬送路を
なす案内レール、21は前後に配置された1対の台車で
、それぞれ案内レール20を両側から挾付ける1対宛前
後の溝車23が設けられ、レー/%/20に沿い走行さ
れる。台車21上には載置台3フが設けられ、カーブド
2が載せられている。
40は一端が一方の台車21に連結され、他端が他方の
台車21に連結された伝動ワイヤで、複数の案内プーリ
41により案内し−A/20に沿って〜−プ状に引回わ
されている。42は1対の案内デーjJ41t−介しワ
イヤ40 ’i 180°以上の接触角で巻付けた摩擦
車で、電動機43により駆動回転され、ワイヤ40に張
力を与え走行させる。上記摩擦車42と両側1対の案内
プーリ41及び電動機43で走行駆動手段44をなす。
台車21に連結された伝動ワイヤで、複数の案内プーリ
41により案内し−A/20に沿って〜−プ状に引回わ
されている。42は1対の案内デーjJ41t−介しワ
イヤ40 ’i 180°以上の接触角で巻付けた摩擦
車で、電動機43により駆動回転され、ワイヤ40に張
力を与え走行させる。上記摩擦車42と両側1対の案内
プーリ41及び電動機43で走行駆動手段44をなす。
45は圧縮空気供給源46からの圧縮空気を受け、2次
圧を例えば0.1 kg/am 単位で制御する圧力調
整器、47はこの圧力調整器45から配管が入口4フa
に接続され、6口4フbが開放された複流形エアシリン
ダで、ピストン棒4フCの先端に回転自在に支持した張
り車48に所定の張力を加え、張力の変化を圧力調整器
45により吸収し、ワイヤ40に対し一定の張力に維持
するようにしている。上記圧力調整器45.エアシリン
ダ47.張り車4日によりワイヤ40の張力調整手段4
9t−なす。
圧を例えば0.1 kg/am 単位で制御する圧力調
整器、47はこの圧力調整器45から配管が入口4フa
に接続され、6口4フbが開放された複流形エアシリン
ダで、ピストン棒4フCの先端に回転自在に支持した張
り車48に所定の張力を加え、張力の変化を圧力調整器
45により吸収し、ワイヤ40に対し一定の張力に維持
するようにしている。上記圧力調整器45.エアシリン
ダ47.張り車4日によりワイヤ40の張力調整手段4
9t−なす。
第2図は第1図の台車部のC方向からの正面図で、第3
図は第2図の台車部のH方向からの側面図である。台車
21の支持台板22の一側部下方には、前後1対の溝車
23aが軸受25を介し支持軸24に回転自在に支持さ
れている。また、支持台板22の他側部上には、前後1
対の支持部材26が軸受28を介し支持軸27に回動可
能に支持されている。各支持部材26には、溝車23b
が軸受30を介し支持軸29に回転自在に支持されてい
る。支持台板22上にばね受はピン3工が固定され、こ
のピン31と支持軸29の上端部との間に引張りばね3
2が掛けられ、支持部材26を引寄せ回動させ、溝車2
3mと23bとで案内レーA/20を両側から弾性挾付
けるようにしている。33ri支持台板22の側面にね
じ込み固定されたストッパで、支持部材26の内方への
回船位置を所定に規制する。34は支持台板22の他側
部下方に固定されたワイヤ掛はピンで、下端のフック3
5にワイヤ4oの端部を連結している。支持台板22上
tCa支柱36が取付けられ、支柱36上には載置台3
7が取付けられカセット2が載せられる。38a、 3
8b ri載置台37上に固定され、カセツ)2O周囲
を受ける受は板である。案内レール20は、床70上に
取付けられた複数のスタンド53上に固定されている0
第1図のff−4線における断面図を第4図に示す。図
は台車21が案内レー1v20の曲率部上にある場合を
示している。前後の台車21の連結には、各支持台板2
2の一側部上に固定された支持ピン39に、連結ねじ棒
50の両端に結合したロッドエンド51を回動可能に連
結することによっている。
図は第2図の台車部のH方向からの側面図である。台車
21の支持台板22の一側部下方には、前後1対の溝車
23aが軸受25を介し支持軸24に回転自在に支持さ
れている。また、支持台板22の他側部上には、前後1
対の支持部材26が軸受28を介し支持軸27に回動可
能に支持されている。各支持部材26には、溝車23b
が軸受30を介し支持軸29に回転自在に支持されてい
る。支持台板22上にばね受はピン3工が固定され、こ
のピン31と支持軸29の上端部との間に引張りばね3
2が掛けられ、支持部材26を引寄せ回動させ、溝車2
3mと23bとで案内レーA/20を両側から弾性挾付
けるようにしている。33ri支持台板22の側面にね
じ込み固定されたストッパで、支持部材26の内方への
回船位置を所定に規制する。34は支持台板22の他側
部下方に固定されたワイヤ掛はピンで、下端のフック3
5にワイヤ4oの端部を連結している。支持台板22上
tCa支柱36が取付けられ、支柱36上には載置台3
7が取付けられカセット2が載せられる。38a、 3
8b ri載置台37上に固定され、カセツ)2O周囲
を受ける受は板である。案内レール20は、床70上に
取付けられた複数のスタンド53上に固定されている0
第1図のff−4線における断面図を第4図に示す。図
は台車21が案内レー1v20の曲率部上にある場合を
示している。前後の台車21の連結には、各支持台板2
2の一側部上に固定された支持ピン39に、連結ねじ棒
50の両端に結合したロッドエンド51を回動可能に連
結することによっている。
連結ねじ棒50は回すことにより、連結長きが調整され
る。
る。
第5図は第4図のマーViiKおける断面図である。床
70上に複数のスタンド53を取付け、これらのスタン
ド上に案内レー)%/20i1定している。
70上に複数のスタンド53を取付け、これらのスタン
ド上に案内レー)%/20i1定している。
また、床70上には、複数の案内1〜す411に回転自
在に取付けている◎ 次に、上記カセット2の直角方向位置への移送について
説明する。第1図において、多数枚の半導体基板1が収
納されたカセット2が各台車21の載置台3フに載せら
れると、電動機43を始幼し摩擦車42を回転させる。
在に取付けている◎ 次に、上記カセット2の直角方向位置への移送について
説明する。第1図において、多数枚の半導体基板1が収
納されたカセット2が各台車21の載置台3フに載せら
れると、電動機43を始幼し摩擦車42を回転させる。
これにより、ワイヤ40に引張力が生じ各台車21は各
溝車23&Cよシレー/l/20に沿ってに方向に走行
される。台車2ユがレ−1v20の曲率部にさしかかる
と、ワイヤ40が緩み始める。この緩みは、常に一定の
力でワイヤ40を下側へ押している張り車48により吸
収され、摩擦車42にワイヤ4oを接触維持させ張力を
一定に発生させている。
溝車23&Cよシレー/l/20に沿ってに方向に走行
される。台車2ユがレ−1v20の曲率部にさしかかる
と、ワイヤ40が緩み始める。この緩みは、常に一定の
力でワイヤ40を下側へ押している張り車48により吸
収され、摩擦車42にワイヤ4oを接触維持させ張力を
一定に発生させている。
各台車21がレール2oの曲率部を過ぎて直線部に入る
と、ワイヤ4Or!張り具合になり、先はどまで緩みを
吸収していた張υ車48には上方向に力が加わシ、この
力はエアシリンダ4フの2次圧の増加となる。この2次
圧の増加を瞬時に圧力調整器45の排気弁が開放し、こ
の結果張り車48が上昇し、ワイヤ40の張9真合を吸
収することになる。この一連の動作によ)、複数のカセ
ット2を同一水平面で直角位1kにある場所へ連続的に
搬送できる。
と、ワイヤ4Or!張り具合になり、先はどまで緩みを
吸収していた張υ車48には上方向に力が加わシ、この
力はエアシリンダ4フの2次圧の増加となる。この2次
圧の増加を瞬時に圧力調整器45の排気弁が開放し、こ
の結果張り車48が上昇し、ワイヤ40の張9真合を吸
収することになる。この一連の動作によ)、複数のカセ
ット2を同一水平面で直角位1kにある場所へ連続的に
搬送できる。
また、カセット2がM方向(L方向)終端に近づくとセ
ンナ61a(61b)が検知し信号を出し、これにより
ミ動機43の速度を低下させ、台車21の走行速度が下
がり、カセット2が終端に至ると、センサ62a(62
b)が検知し信号を出し、ストッパ63a(6sb)で
停止させるようにすることかで龜る。このようにすれば
、台車21の移動速度を途中では大きくでき、停止wI
度をユ/ユ00(mm)台に抑えることができる。
ンナ61a(61b)が検知し信号を出し、これにより
ミ動機43の速度を低下させ、台車21の走行速度が下
がり、カセット2が終端に至ると、センサ62a(62
b)が検知し信号を出し、ストッパ63a(6sb)で
停止させるようにすることかで龜る。このようにすれば
、台車21の移動速度を途中では大きくでき、停止wI
度をユ/ユ00(mm)台に抑えることができる。
なお、上記実施例ではカセッ) 2t−2個搬送するよ
うにしたが、これにより個数の多い搬送の場合にも適用
できるものである。
うにしたが、これにより個数の多い搬送の場合にも適用
できるものである。
以上のように、この発明によれば、同一水平面に案内レ
ールを直角に曲率をもって曲げ、台車の支持台板の下方
に配置した両lA111対宛前後の溝単により、案内レ
ー/l’を両側から弾性挾付けし、レールに沿いループ
状に配した伝動ワイヤを支持台板に連結し、ワイヤの引
張りにより台車をレールに沿って走行させ、ワイヤの閉
ループには張り車による張力調整機構を設は張力を一定
にし、台車上の載置台に搬送物を載せ直角方向位tK搬
送するようにしたので、機構が簡単になり占有場所が縮
小され、価格が低減され、また、途中で停止することな
く連続して速度の高い搬送ができる。
ールを直角に曲率をもって曲げ、台車の支持台板の下方
に配置した両lA111対宛前後の溝単により、案内レ
ー/l’を両側から弾性挾付けし、レールに沿いループ
状に配した伝動ワイヤを支持台板に連結し、ワイヤの引
張りにより台車をレールに沿って走行させ、ワイヤの閉
ループには張り車による張力調整機構を設は張力を一定
にし、台車上の載置台に搬送物を載せ直角方向位tK搬
送するようにしたので、機構が簡単になり占有場所が縮
小され、価格が低減され、また、途中で停止することな
く連続して速度の高い搬送ができる。
さらには、半導体基板を収納したカセットの搬送に適用
し、直角方向の搬送が効率よく行われ、半導体基板の生
産性が向上される。
し、直角方向の搬送が効率よく行われ、半導体基板の生
産性が向上される。
N1図はこの発明の一実施例による搬送装置の斜視図、
第2図は第1図の台車部のG方向の一部断面した正面図
、第3図は第2図の台車部のH方向の一部断面した側面
図、3g4図は第1図のl!−■線における台車部のレ
ールの曲率部位置にした断面図、第6図は第4図のマー
v線における断面図、第6図はカセットの斜視図、第7
図は従来の搬送装置の斜視図である。 ユ・・・半導体基板、2・・・搬送物(カセット〕、2
゜・・・案内レール、21・・・台車、22・・・支持
台板、23゜23a 、 23b・・・溝車、26・・
・支持部材、32・・・引張りばね、3フ・・・載置台
、40・・・伝動ワイヤ、41・・・案内プーリ、42
・・・摩擦車、43・・・電動機、44・・・走行駆動
手段、45・・・圧力ill整器、4フ・・・エアシリ
ンダ、48・・・張り車、49・・・張力調整手段、5
0・・・連結ねじ俸 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
第2図は第1図の台車部のG方向の一部断面した正面図
、第3図は第2図の台車部のH方向の一部断面した側面
図、3g4図は第1図のl!−■線における台車部のレ
ールの曲率部位置にした断面図、第6図は第4図のマー
v線における断面図、第6図はカセットの斜視図、第7
図は従来の搬送装置の斜視図である。 ユ・・・半導体基板、2・・・搬送物(カセット〕、2
゜・・・案内レール、21・・・台車、22・・・支持
台板、23゜23a 、 23b・・・溝車、26・・
・支持部材、32・・・引張りばね、3フ・・・載置台
、40・・・伝動ワイヤ、41・・・案内プーリ、42
・・・摩擦車、43・・・電動機、44・・・走行駆動
手段、45・・・圧力ill整器、4フ・・・エアシリ
ンダ、48・・・張り車、49・・・張力調整手段、5
0・・・連結ねじ俸 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (2)
- (1)同一平面で直角に曲率をもつて曲げられた案内レ
ール、支持台板と、この支持台板の下方に支持され、上
記レールを両側から弾性挾付けする両側1対宛が前後に
配設された溝車と、上記支持台板上方に設けられ搬送物
を載せる載置台とからなる台車、上記支持台板を連結し
上記レールに沿いループ状に張られ、上記台車を案内レ
ールに沿い前後方向に走行させるための伝動ワイヤ、こ
の伝動ワイヤに引張力を与え前、後方向に走行させる走
行駆動手段、張り車を有し上記伝動ワイヤに一定の張力
を維持させる張力調整手段を備え、搬送物を台車に載せ
、上記案内レールに沿い直角方向位置に移動させるよう
にした搬送装置。 - (2)案内レールを同一平面で直角に曲率をもつて曲げ
、台車の支持台板の下方に支持され、案内レールを両側
から弾性挾付けする両側1対宛の前後の溝車を設け、案
内レールに沿いループ状に形成したワイヤを支持台板に
連結し、ワイヤを走行駆動手段により引張力を加え前進
、後退方向に走行させ、半導体基板を収納したカセット
を上記台車上に載せ、上記案内レールに沿い直角方向位
置に移動させる半導体基板収納カセットの搬送方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2105090A JPH043712A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2105090A JPH043712A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH043712A true JPH043712A (ja) | 1992-01-08 |
Family
ID=14398220
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2105090A Pending JPH043712A (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 | 搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH043712A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023095611A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | 日本トムソン株式会社 | 直曲案内装置 |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP2105090A patent/JPH043712A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023095611A1 (ja) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | 日本トムソン株式会社 | 直曲案内装置 |
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