JPH043712A - 搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、搬送物を同一平面上で直角方向に移動する
、搬送装置及び半導体基板収納カセットの搬送方法に関
する。

〔従来の技術〕

第６図は半導体基板（半導体ウェーハ）を収納するカセ
ットを示す。カセット２には多数枚の半導体基板１を立
て姿勢で収納している。

Ｍ７図は従来の搬送装置を示す斜視図である。

３及び４は中間の載置台５に連接して配置された直角方
向の載置台、６．フは直行形ロボットで、上下駆動機構
部８によりチャック機構部９を上下させる。チャック機
構部９には１対の腕部１０が出され、双方の間隔を狭め
たシ広げたシする。１１及び１２ｄロボツト６及びフの
走行機構部で、ロボット６及び７をそれぞれ載置台３及
び４に平行に走行させる。

次に動作を説明する。一方のロボット６はチャック機構
部９を下降させ、両腕部１０により載置台３上のカセッ
ト２を挾付は保持する。つづいて、チャック機構部９ｔ
−上昇させ、Ａ方向に走行し、チャック機構部９を下降
させ両腕部ｌＯを開き、カセツ）２ｔ−載置台５上に置
く。

他方のロボットフがＣ方向に走行し、上記ロボット６と
同様に載置台５上のカセツ）２ｔ−両腕部１ｏで挾付は
保持し、Ｄ方向に走行し、カセット２を載置台４上の端
に置く。

また、載置台４上の端のカセット２を、載置台３上の端
に搬送するには、ロボット７．６により上記とは逆の動
作によυ行う０ 〔発明が解決しようとする課題〕 上記のような従来の搬送装置では、２台のロボット６．
７を要し、装置が大形化し、価格が高くなυ、また、直
角方向位置への搬送に時間がかかるという問題点があっ
た０ この発明は、このような問題点を解決するためになされ
たもので、装置が簡単で小形化され、低価格となシ、ま
た、搬送時間が短縮される搬送装置及び半導体基板収納
カセットの搬送方法を得ることを目的としている０ Ｃ１１題を解決するための手段〕 この発明にかかる搬送装置は、同一水平面で直角方向に
曲げられた案内レー）ｖｔ−配設し、この案内レーｙを
両側から弾性挾付は案内される１対宛の前後に配設され
た溝車と、これらの溝車を下部に支持する支持台板と、
この合板の上方に設けられた載置台とから台車を構成し
、支持台板に伝動ワイヤを連結しておシ、載置台に搬送
物を載せワイヤを引張り走行し、台車をレールに沿って
移動させ、搬送物ｔｌ［角方向の位置に搬送するように
したものである。

また、この発明のカセットの搬送方法は、半導体基板を
収納したカセットを上記搬送装置の載置台に載せ、直角
方向の位置に搬送する方法である。

〔作用〕

この発明においては、載置台上に搬送物を載せ、支持台
板を伝動ワイヤにより走行方向に引張り移動すると、案
内レールに沿い直角方向の位置に搬送ができる。

また、搬送物として半導体基板を収納したカセットを載
置台に載せ直角曲げ方向の搬送ができ、半導体基板処理
工程において搬送に適用し、生産性が向上される。

〔実施例〕

第１図はこの発明の一実施例による搬送装置の斜視図で
ある。２０は水平に配置され直角に曲げられた搬送路を
なす案内レール、２１は前後に配置された１対の台車で
、それぞれ案内レール２０を両側から挾付ける１対宛前
後の溝車２３が設けられ、レー／％／２０に沿い走行さ
れる。台車２１上には載置台３フが設けられ、カーブド
２が載せられている。

４０は一端が一方の台車２１に連結され、他端が他方の
台車２１に連結された伝動ワイヤで、複数の案内プーリ
４１により案内し−Ａ／２０に沿って〜−プ状に引回わ
されている。４２は１対の案内デーｊＪ４１ｔ−介しワ
イヤ４０　’ｉ　１８０°以上の接触角で巻付けた摩擦
車で、電動機４３により駆動回転され、ワイヤ４０に張
力を与え走行させる。上記摩擦車４２と両側１対の案内
プーリ４１及び電動機４３で走行駆動手段４４をなす。

４５は圧縮空気供給源４６からの圧縮空気を受け、２次
圧を例えば０．１　ｋｇ／ａｍ　単位で制御する圧力調
整器、４７はこの圧力調整器４５から配管が入口４フａ
に接続され、６口４フｂが開放された複流形エアシリン
ダで、ピストン棒４フＣの先端に回転自在に支持した張
り車４８に所定の張力を加え、張力の変化を圧力調整器
４５により吸収し、ワイヤ４０に対し一定の張力に維持
するようにしている。上記圧力調整器４５．エアシリン
ダ４７．張り車４日によりワイヤ４０の張力調整手段４
９ｔ−なす。

第２図は第１図の台車部のＣ方向からの正面図で、第３
図は第２図の台車部のＨ方向からの側面図である。台車
２１の支持台板２２の一側部下方には、前後１対の溝車
２３ａが軸受２５を介し支持軸２４に回転自在に支持さ
れている。また、支持台板２２の他側部上には、前後１
対の支持部材２６が軸受２８を介し支持軸２７に回動可
能に支持されている。各支持部材２６には、溝車２３ｂ
が軸受３０を介し支持軸２９に回転自在に支持されてい
る。支持台板２２上にばね受はピン３工が固定され、こ
のピン３１と支持軸２９の上端部との間に引張りばね３
２が掛けられ、支持部材２６を引寄せ回動させ、溝車２
３ｍと２３ｂとで案内レーＡ／２０を両側から弾性挾付
けるようにしている。３３ｒｉ支持台板２２の側面にね
じ込み固定されたストッパで、支持部材２６の内方への
回船位置を所定に規制する。３４は支持台板２２の他側
部下方に固定されたワイヤ掛はピンで、下端のフック３
５にワイヤ４ｏの端部を連結している。支持台板２２上
ｔＣａ支柱３６が取付けられ、支柱３６上には載置台３
７が取付けられカセット２が載せられる。３８ａ、　３
８ｂ　ｒｉ載置台３７上に固定され、カセツ）２Ｏ周囲
を受ける受は板である。案内レール２０は、床７０上に
取付けられた複数のスタンド５３上に固定されている０
第１図のｆｆ−４線における断面図を第４図に示す。図
は台車２１が案内レー１ｖ２０の曲率部上にある場合を
示している。前後の台車２１の連結には、各支持台板２
２の一側部上に固定された支持ピン３９に、連結ねじ棒
５０の両端に結合したロッドエンド５１を回動可能に連
結することによっている。

連結ねじ棒５０は回すことにより、連結長きが調整され
る。

第５図は第４図のマーＶｉｉＫおける断面図である。床
７０上に複数のスタンド５３を取付け、これらのスタン
ド上に案内レー）％／２０ｉ１定している。

また、床７０上には、複数の案内１〜す４１１に回転自
在に取付けている◎ 次に、上記カセット２の直角方向位置への移送について
説明する。第１図において、多数枚の半導体基板１が収
納されたカセット２が各台車２１の載置台３フに載せら
れると、電動機４３を始幼し摩擦車４２を回転させる。

これにより、ワイヤ４０に引張力が生じ各台車２１は各
溝車２３＆Ｃよシレー／ｌ／２０に沿ってに方向に走行
される。台車２ユがレ−１ｖ２０の曲率部にさしかかる
と、ワイヤ４０が緩み始める。この緩みは、常に一定の
力でワイヤ４０を下側へ押している張り車４８により吸
収され、摩擦車４２にワイヤ４ｏを接触維持させ張力を
一定に発生させている。

各台車２１がレール２ｏの曲率部を過ぎて直線部に入る
と、ワイヤ４Ｏｒ！張り具合になり、先はどまで緩みを
吸収していた張υ車４８には上方向に力が加わシ、この
力はエアシリンダ４フの２次圧の増加となる。この２次
圧の増加を瞬時に圧力調整器４５の排気弁が開放し、こ
の結果張り車４８が上昇し、ワイヤ４０の張９真合を吸
収することになる。この一連の動作によ）、複数のカセ
ット２を同一水平面で直角位１ｋにある場所へ連続的に
搬送できる。

また、カセット２がＭ方向（Ｌ方向）終端に近づくとセ
ンナ６１ａ（６１ｂ）が検知し信号を出し、これにより
ミ動機４３の速度を低下させ、台車２１の走行速度が下
がり、カセット２が終端に至ると、センサ６２ａ（６２
ｂ）が検知し信号を出し、ストッパ６３ａ（６ｓｂ）で
停止させるようにすることかで龜る。このようにすれば
、台車２１の移動速度を途中では大きくでき、停止ｗＩ
度をユ／ユ００（ｍｍ）台に抑えることができる。

なお、上記実施例ではカセッ）　２ｔ−２個搬送するよ
うにしたが、これにより個数の多い搬送の場合にも適用
できるものである。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、同一水平面に案内レ
ールを直角に曲率をもって曲げ、台車の支持台板の下方
に配置した両ｌＡ１１１対宛前後の溝単により、案内レ
ー／ｌ’を両側から弾性挾付けし、レールに沿いループ
状に配した伝動ワイヤを支持台板に連結し、ワイヤの引
張りにより台車をレールに沿って走行させ、ワイヤの閉
ループには張り車による張力調整機構を設は張力を一定
にし、台車上の載置台に搬送物を載せ直角方向位ｔＫ搬
送するようにしたので、機構が簡単になり占有場所が縮
小され、価格が低減され、また、途中で停止することな
く連続して速度の高い搬送ができる。

さらには、半導体基板を収納したカセットの搬送に適用
し、直角方向の搬送が効率よく行われ、半導体基板の生
産性が向上される。

【図面の簡単な説明】

Ｎ１図はこの発明の一実施例による搬送装置の斜視図、
第２図は第１図の台車部のＧ方向の一部断面した正面図
、第３図は第２図の台車部のＨ方向の一部断面した側面
図、３ｇ４図は第１図のｌ！−■線における台車部のレ
ールの曲率部位置にした断面図、第６図は第４図のマー
ｖ線における断面図、第６図はカセットの斜視図、第７
図は従来の搬送装置の斜視図である。 ユ・・・半導体基板、２・・・搬送物（カセット〕、２
゜・・・案内レール、２１・・・台車、２２・・・支持
台板、２３゜２３ａ　、　２３ｂ・・・溝車、２６・・
・支持部材、３２・・・引張りばね、３フ・・・載置台
、４０・・・伝動ワイヤ、４１・・・案内プーリ、４２
・・・摩擦車、４３・・・電動機、４４・・・走行駆動
手段、４５・・・圧力ｉｌｌ整器、４フ・・・エアシリ
ンダ、４８・・・張り車、４９・・・張力調整手段、５
０・・・連結ねじ俸 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）同一平面で直角に曲率をもつて曲げられた案内レ
   ール、支持台板と、この支持台板の下方に支持され、上
   記レールを両側から弾性挾付けする両側１対宛が前後に
   配設された溝車と、上記支持台板上方に設けられ搬送物
   を載せる載置台とからなる台車、上記支持台板を連結し
   上記レールに沿いループ状に張られ、上記台車を案内レ
   ールに沿い前後方向に走行させるための伝動ワイヤ、こ
   の伝動ワイヤに引張力を与え前、後方向に走行させる走
   行駆動手段、張り車を有し上記伝動ワイヤに一定の張力
   を維持させる張力調整手段を備え、搬送物を台車に載せ
   、上記案内レールに沿い直角方向位置に移動させるよう
   にした搬送装置。
2. （２）案内レールを同一平面で直角に曲率をもつて曲げ
   、台車の支持台板の下方に支持され、案内レールを両側
   から弾性挾付けする両側１対宛の前後の溝車を設け、案
   内レールに沿いループ状に形成したワイヤを支持台板に
   連結し、ワイヤを走行駆動手段により引張力を加え前進
   、後退方向に走行させ、半導体基板を収納したカセット
   を上記台車上に載せ、上記案内レールに沿い直角方向位
   置に移動させる半導体基板収納カセットの搬送方法。