JPH04368144A - 半導体プロービング装置用ボード延長治具 - Google Patents
半導体プロービング装置用ボード延長治具Info
- Publication number
- JPH04368144A JPH04368144A JP14438691A JP14438691A JPH04368144A JP H04368144 A JPH04368144 A JP H04368144A JP 14438691 A JP14438691 A JP 14438691A JP 14438691 A JP14438691 A JP 14438691A JP H04368144 A JPH04368144 A JP H04368144A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- short
- jig
- electrically connected
- probing equipment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 9
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体デバイス製造のウ
ェーハ段階にてペレットの電気的特性試験を行う時の半
導体プロービング装置用ボード延長治具に関する。
ェーハ段階にてペレットの電気的特性試験を行う時の半
導体プロービング装置用ボード延長治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体プロービング装置用ボード
は、図３に示すように、直径１００インチまでのウェー
ハにはプリントコネクタＬの短いボード、そして１２５
インチ以上のウェーハにはコネクタＬの長いボードを用
意して、ウェーハの大きさによって使用ボードの使いわ
けていた。これは、ウェーハの大型化に伴い図４に示す
ように、プローバ８内部のウェーハステージ１３も大き
くなり、１２５ウェーハ１２に対して短いボード５をプ
ローバ８にセットして使用した場合は、インデックス途
中でウェーハステージ１３がコンタクタ１１にぶつかっ
てしまう。よって、１２５インチ以上のウェーハ１２に
対してはプリントコネクタＬの長いボード使用する必要
があった。
は、図３に示すように、直径１００インチまでのウェー
ハにはプリントコネクタＬの短いボード、そして１２５
インチ以上のウェーハにはコネクタＬの長いボードを用
意して、ウェーハの大きさによって使用ボードの使いわ
けていた。これは、ウェーハの大型化に伴い図４に示す
ように、プローバ８内部のウェーハステージ１３も大き
くなり、１２５ウェーハ１２に対して短いボード５をプ
ローバ８にセットして使用した場合は、インデックス途
中でウェーハステージ１３がコンタクタ１１にぶつかっ
てしまう。よって、１２５インチ以上のウェーハ１２に
対してはプリントコネクタＬの長いボード使用する必要
があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この従来のプロービン
グ装置用ボードでは、ウェーハの直径が１００インチか
ら１２５インチへの大型化に伴い、短いボードを長いボ
ードに作り直す必要があった。
グ装置用ボードでは、ウェーハの直径が１００インチか
ら１２５インチへの大型化に伴い、短いボードを長いボ
ードに作り直す必要があった。
【０００４】それに際し半導体デバイスペレットの電気
的特性を測定する為に種々の外付け部品をボードに搭載
するわけであるが、短いボードと同一特性を作り直した
長いボードにて得ることは困難であった。
的特性を測定する為に種々の外付け部品をボードに搭載
するわけであるが、短いボードと同一特性を作り直した
長いボードにて得ることは困難であった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のプロービング装
置用ボード延長治具は、ウェーハ段階の半導体デバイス
ペレットの電気的特性を測定するシステムの一部である
プロービング装置用ボードの複数のコネクタに対応する
配置の他の複数コネクタを表面に有し、前記プロービン
グ装置用ボードと製着部を介して固定されかつ配線を介
して前記プロービング装置用ボードと電気的に接続され
て構成される。
置用ボード延長治具は、ウェーハ段階の半導体デバイス
ペレットの電気的特性を測定するシステムの一部である
プロービング装置用ボードの複数のコネクタに対応する
配置の他の複数コネクタを表面に有し、前記プロービン
グ装置用ボードと製着部を介して固定されかつ配線を介
して前記プロービング装置用ボードと電気的に接続され
て構成される。
【０００６】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１（ａ）〜（ｂ）は、本発明の一実施例の平面図，
正面図および側面図であり、電極２，配線３，装着板４
で構成される。
。図１（ａ）〜（ｂ）は、本発明の一実施例の平面図，
正面図および側面図であり、電極２，配線３，装着板４
で構成される。
【０００７】この治具を使用場合は図２に示す様に、装
着板４をプリントコネクタＬの短いボード５にはめ込み
機械的に固定し、配線３を短いボード５のスルーホール
６にはんだ付けして電気的に接続する。これにより延長
ボード１と短いボード５を電気的に導通・接続させる。
着板４をプリントコネクタＬの短いボード５にはめ込み
機械的に固定し、配線３を短いボード５のスルーホール
６にはんだ付けして電気的に接続する。これにより延長
ボード１と短いボード５を電気的に導通・接続させる。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、延長治具
を用いることにより、ウェーハの大型化に際してもプリ
ントコネクタの短いボードを使用することができる。
を用いることにより、ウェーハの大型化に際してもプリ
ントコネクタの短いボードを使用することができる。
【０００９】又、プローバの種類によりボードを使い分
ける場合においても、延長ボードの取り外しにより短い
ボード１枚で対応が可能となる。
ける場合においても、延長ボードの取り外しにより短い
ボード１枚で対応が可能となる。
【図１】（ａ）〜（ｃ）は本発明の一実施例の平面図，
正面図および側面図である。
正面図および側面図である。
【図２】（ａ），（ｂ）は図１の延長ボードの使用例を
示す平面図および側面図である。
示す平面図および側面図である。
【図３】（ａ），（ｂ）は従来のボードの一例の平面図
および側面図である。
および側面図である。
【図４】図３のボードを使用した半導体プロービング装
置のブロック図である。
置のブロック図である。
１ 延長ボード
２ 配線
３ 電極
４ 装着板
５ 短いボード
６ スルーホール
Ｌ プリントコネクタ
Claims (1)
- 【請求項１】ウェーハ段階の半導体デバイスペレットの
電気的特性を測定するシステムの一部であるプロービン
グ装置用ボードの複数のコネクタに対応する配置の他の
複数コネクタを表面に有し、前記プロービング装置用ボ
ードと製着部を介して固定されかつ配線を介して前記プ
ロービング装置用ボードと電気的に接続されることを特
徴とするプロービング装置用ボード延長治具
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14438691A JPH04368144A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | 半導体プロービング装置用ボード延長治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14438691A JPH04368144A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | 半導体プロービング装置用ボード延長治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04368144A true JPH04368144A (ja) | 1992-12-21 |
Family
ID=15360934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14438691A Pending JPH04368144A (ja) | 1991-06-17 | 1991-06-17 | 半導体プロービング装置用ボード延長治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04368144A (ja) |
-
1991
- 1991-06-17 JP JP14438691A patent/JPH04368144A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971224 |