JPH04363582A - 真空熱処理装置 - Google Patents
真空熱処理装置Info
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- JPH04363582A JPH04363582A JP13780491A JP13780491A JPH04363582A JP H04363582 A JPH04363582 A JP H04363582A JP 13780491 A JP13780491 A JP 13780491A JP 13780491 A JP13780491 A JP 13780491A JP H04363582 A JPH04363582 A JP H04363582A
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- vacuum
- heat treatment
- inner tank
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- Pending
Links
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- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 33
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Landscapes
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は真空熱処理装置に関する
。
。
【０００２】
【従来の技術】真空熱処理装置は、■物品を加熱しなが
ら、所定真空状態下に曝して乾燥する、■２液性エポキ
シ樹脂や２液性ゴムを混合して用いるとき、該混合液か
ら脱泡するにあたり、該混合液を加熱して粘性を下げつ
つ、真空状態下で脱泡する、■熱処理すべき物品周囲の
雰囲気を、真空引き、不活性ガス導入を繰り返して、無
酸化雰囲気にして熱処理する等に用いられる。
ら、所定真空状態下に曝して乾燥する、■２液性エポキ
シ樹脂や２液性ゴムを混合して用いるとき、該混合液か
ら脱泡するにあたり、該混合液を加熱して粘性を下げつ
つ、真空状態下で脱泡する、■熱処理すべき物品周囲の
雰囲気を、真空引き、不活性ガス導入を繰り返して、無
酸化雰囲気にして熱処理する等に用いられる。
【０００３】かかる真空熱処理装置は、一般に、図２に
示す構成のものである。この従来装置は、物品出入用の
開口１１０を有する耐圧性の真空容器１０の外壁面に沿
ってヒータ２０を設け、該ヒータの上から高温用断熱材
３０及び通常の断熱材４０を順次被せ、その上を外槽５
０で覆い、容器開口１１０は耐圧性の扉６０で開閉でき
るようにしてある。容器１０には図示しない真空吸引手
段が接続され、また、必要に応じ、不活性ガス等の導入
手段が接続される。
示す構成のものである。この従来装置は、物品出入用の
開口１１０を有する耐圧性の真空容器１０の外壁面に沿
ってヒータ２０を設け、該ヒータの上から高温用断熱材
３０及び通常の断熱材４０を順次被せ、その上を外槽５
０で覆い、容器開口１１０は耐圧性の扉６０で開閉でき
るようにしてある。容器１０には図示しない真空吸引手
段が接続され、また、必要に応じ、不活性ガス等の導入
手段が接続される。
【０００４】前記真空容器は、耐食性及び強度をもたせ
るため、通常、板厚３〜５ｍｍ程度のステンレス鋼板で
製作され、鉄製のリブで補強される。また、真空熱処理
装置の使用温度は通常２００℃程度までであるが、ヒー
タ２０の表面温度が高くなるため、前記高温用断熱材３
０には、高価な高温用グラスウール（例えばグラスウー
ルＧＷ−３０８）やセラミックウール等が用いられる。
るため、通常、板厚３〜５ｍｍ程度のステンレス鋼板で
製作され、鉄製のリブで補強される。また、真空熱処理
装置の使用温度は通常２００℃程度までであるが、ヒー
タ２０の表面温度が高くなるため、前記高温用断熱材３
０には、高価な高温用グラスウール（例えばグラスウー
ルＧＷ−３０８）やセラミックウール等が用いられる。
【０００５】この真空熱処理装置によると、真空容器１
０がヒータ２０によって加熱され、容器内物品Ａの加熱
は、該容器からの輻射熱で行われる。
０がヒータ２０によって加熱され、容器内物品Ａの加熱
は、該容器からの輻射熱で行われる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来真空熱処理装置によると、容器１０内物品の加熱が、
該容器１０からの輻射熱で行われ、しかも、容器１０の
構成が既述のとおりで、その熱容量がきわめて大きく、
従って、物品の温度上昇が遅いという問題がある。
来真空熱処理装置によると、容器１０内物品の加熱が、
該容器１０からの輻射熱で行われ、しかも、容器１０の
構成が既述のとおりで、その熱容量がきわめて大きく、
従って、物品の温度上昇が遅いという問題がある。
【０００７】物品の温度上昇を速くするため、ヒータ容
量を大きくすると、高価な高温用断熱材３０の使用量が
増し、ヒータ容量の増大と、断熱材３０の使用量の増加
とにより装置全体が高価になる。さらに、前記従来の真
空熱処理装置によると、真空容器１０が相当高温になる
ため、外槽５０との接続部断熱に格別の考慮を払わなけ
ればならず、それだけ設計許容幅が狭くなるとともに高
価につく。
量を大きくすると、高価な高温用断熱材３０の使用量が
増し、ヒータ容量の増大と、断熱材３０の使用量の増加
とにより装置全体が高価になる。さらに、前記従来の真
空熱処理装置によると、真空容器１０が相当高温になる
ため、外槽５０との接続部断熱に格別の考慮を払わなけ
ればならず、それだけ設計許容幅が狭くなるとともに高
価につく。
【０００８】さらに、ヒータ断線時等におけるヒータ交
換にあたっては、外槽５０、断熱材４０及び３０をいち
いち取り外さなければならず、その作業に手間を要し、
また、真空熱処理装置がクリーンルーム内に設置されて
いるときは、該ルーム内で断熱材等を取り外すことは汚
染防止上許されないので、装置をルーム外へ持ち出して
ヒータを交換しなければならず、該作業はきわめて、煩
わしく、困難なものとなる。
換にあたっては、外槽５０、断熱材４０及び３０をいち
いち取り外さなければならず、その作業に手間を要し、
また、真空熱処理装置がクリーンルーム内に設置されて
いるときは、該ルーム内で断熱材等を取り外すことは汚
染防止上許されないので、装置をルーム外へ持ち出して
ヒータを交換しなければならず、該作業はきわめて、煩
わしく、困難なものとなる。
【０００９】そこで本発明は、ヒータ容量を従来の真空
熱処理装置におけるヒータ容量と同じにしても、従来装
置より速く物品を昇温させることができ、しかも従来装
置より安価に提供できるうえ、ヒータ交換も容易に行え
る真空熱処理装置を提供することを目的とする。
熱処理装置におけるヒータ容量と同じにしても、従来装
置より速く物品を昇温させることができ、しかも従来装
置より安価に提供できるうえ、ヒータ交換も容易に行え
る真空熱処理装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的に従い
、物品の出入用開口を有する耐圧性真空容器、前記真空
容器内に該容器内壁面に対し間隔をおいて設けた前記容
器より熱容量が小さい内槽、前記内槽と前記容器内壁面
の間に配設したヒータ、前記容器に断熱材を介して外装
した外槽及び前記容器開口を開閉する耐圧性扉を備えた
ことを特徴とする真空熱処理装置を提供するものである
。
、物品の出入用開口を有する耐圧性真空容器、前記真空
容器内に該容器内壁面に対し間隔をおいて設けた前記容
器より熱容量が小さい内槽、前記内槽と前記容器内壁面
の間に配設したヒータ、前記容器に断熱材を介して外装
した外槽及び前記容器開口を開閉する耐圧性扉を備えた
ことを特徴とする真空熱処理装置を提供するものである
。
【００１１】前記耐圧性扉は、必要に応じ、その一部を
強化ガラスのような耐圧性ガラス板で構成して、真空容
器内を外から観察できるようにしてもよい。また、該耐
圧性ガラス板の内側に、該ガラスに対し間隔をおいてガ
ラス板を配置し、扉における断熱性を向上させてもよい
。さらに、内側のガラス板を導電性ガラス（例えば全体
が導電性のガラス、又はヒータラインを付設したガラス
）として、これによっても真空容器内を加熱するように
してもよい。
強化ガラスのような耐圧性ガラス板で構成して、真空容
器内を外から観察できるようにしてもよい。また、該耐
圧性ガラス板の内側に、該ガラスに対し間隔をおいてガ
ラス板を配置し、扉における断熱性を向上させてもよい
。さらに、内側のガラス板を導電性ガラス（例えば全体
が導電性のガラス、又はヒータラインを付設したガラス
）として、これによっても真空容器内を加熱するように
してもよい。
【００１２】また、必要に応じ、真空容器内に気体攪拌
手段を設け、内槽と容器内壁面との間隙を気体攪拌循環
用ダクトとして利用してもよい。
手段を設け、内槽と容器内壁面との間隙を気体攪拌循環
用ダクトとして利用してもよい。
【００１３】
【作用】本発明真空熱処理装置によると、真空容器に接
続された適当な真空吸引手段により該容器内を所定の真
空状態におくことができるとともに、熱容量の比較的小
さい内槽がヒータで加熱されることによって、内槽から
の熱輻射により内槽内物品を所定温度に速やかに加熱す
ることができる。
続された適当な真空吸引手段により該容器内を所定の真
空状態におくことができるとともに、熱容量の比較的小
さい内槽がヒータで加熱されることによって、内槽から
の熱輻射により内槽内物品を所定温度に速やかに加熱す
ることができる。
【００１４】真空容器の扉の一部が耐圧性ガラスで構成
されているときは、これらガラスを通して容器外から内
槽内の物品を観察できるとともに、該ガラスの内側にガ
ラス板を配置してあるときは、両ガラス間の間隙による
断熱効果のため、扉の断熱性が向上する。また、真空容
器内に気体攪拌手段を設け、内槽と真空容器内壁面との
間隙を気体循環用ダクトとして使用するときは、内槽内
気体の攪拌、循環により内槽内温度分布をそれだけ均一
にすることができる。
されているときは、これらガラスを通して容器外から内
槽内の物品を観察できるとともに、該ガラスの内側にガ
ラス板を配置してあるときは、両ガラス間の間隙による
断熱効果のため、扉の断熱性が向上する。また、真空容
器内に気体攪拌手段を設け、内槽と真空容器内壁面との
間隙を気体循環用ダクトとして使用するときは、内槽内
気体の攪拌、循環により内槽内温度分布をそれだけ均一
にすることができる。
【００１５】なお、真空容器には、必要に応じ、不活性
ガス等の導入手段を接続し、容器内を真空引き、不活性
ガス等の導入によって、所定の雰囲気（例えば無酸化雰
囲気）として使用することもできる。
ガス等の導入手段を接続し、容器内を真空引き、不活性
ガス等の導入によって、所定の雰囲気（例えば無酸化雰
囲気）として使用することもできる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図１を参照して説
明する。図１の真空熱処理装置は、物品の出入用開口１
１を有する耐圧性真空容器１を含んでいる。この真空容
器１は厚さ３〜５ｍｍ程度のステンレス鋼板で形成され
、その外面が鉄製のリブ１２によって補強されている。
明する。図１の真空熱処理装置は、物品の出入用開口１
１を有する耐圧性真空容器１を含んでいる。この真空容
器１は厚さ３〜５ｍｍ程度のステンレス鋼板で形成され
、その外面が鉄製のリブ１２によって補強されている。
【００１７】真空容器１内には容器内壁面１３に対し間
隔を置いた内槽２が配置してある。内槽２は薄いステン
レス鋼板から形成されており、その熱容量は容器１に比
べ格段に小さい。この内槽２は数箇所が連結部材２１を
介して容器１に連結支持されている。この内槽２と容器
１内壁面との空間１０は気体が流通できるダクトを形成
している。また、内槽２の奥板には開口２２が形成して
あり、この開口に気体循環用ファン３が臨んでいる。こ
のファン３は後ほど説明する外槽５の外面に固定したモ
ータ３１によって回転駆動される。
隔を置いた内槽２が配置してある。内槽２は薄いステン
レス鋼板から形成されており、その熱容量は容器１に比
べ格段に小さい。この内槽２は数箇所が連結部材２１を
介して容器１に連結支持されている。この内槽２と容器
１内壁面との空間１０は気体が流通できるダクトを形成
している。また、内槽２の奥板には開口２２が形成して
あり、この開口に気体循環用ファン３が臨んでいる。こ
のファン３は後ほど説明する外槽５の外面に固定したモ
ータ３１によって回転駆動される。
【００１８】内槽２の外側空間１０には真空容器１の内
壁面１３に対し間隔をおいて電気ヒータ４が配置されて
いる。一方、真空容器１の外壁面は通常のグラスウール
製断熱材５で覆ってあり、さらにその外側を外槽６で囲
繞してある。真空容器１の開口１１は該容器に連結した
断熱性扉７によって開閉される。扉閉時には真空容器１
の開口周面に設けた断熱パッキン８が真空容器１と扉７
との間に介在する。
壁面１３に対し間隔をおいて電気ヒータ４が配置されて
いる。一方、真空容器１の外壁面は通常のグラスウール
製断熱材５で覆ってあり、さらにその外側を外槽６で囲
繞してある。真空容器１の開口１１は該容器に連結した
断熱性扉７によって開閉される。扉閉時には真空容器１
の開口周面に設けた断熱パッキン８が真空容器１と扉７
との間に介在する。
【００１９】断熱扉７は内槽２内を外部から観察できる
ように厚手の耐圧性ガラス７１を備えており、該ガラス
の内側には該ガラスに若干の間隙をおいて薄いガラス板
７２を取りつけてある。ガラス板７２は図示しないニク
ロム線を備えており、図示しない電源からの給電により
加熱される。真空容器１内には真空吸引装置９を接続し
てある。
ように厚手の耐圧性ガラス７１を備えており、該ガラス
の内側には該ガラスに若干の間隙をおいて薄いガラス板
７２を取りつけてある。ガラス板７２は図示しないニク
ロム線を備えており、図示しない電源からの給電により
加熱される。真空容器１内には真空吸引装置９を接続し
てある。
【００２０】以上説明した真空熱処理装置によると、扉
７を開いて内槽２内に処理対象物Ａを納め、扉７を再び
閉めることによって真空熱処理を開始することができる
。真空熱処理開始にあたっては、扉７を密閉したのち真
空吸引装置９が運転されるとともにヒータ４がオンされ
る。かくして内槽２内が所定の真空状態にされるととも
にヒータ４による内槽２の加熱により、内槽２からの熱
輻射により所定温度にされる。内槽２の熱容量は小さい
ので、速やかに加熱され、また、真空容器１と内槽２と
の間の空間１０及び扉７におけるガラス７１と７２の間
の空間７３は真空断熱層として作用するので、ヒータ４
の容量を従来の真空熱処理装置におけるヒータと同容量
にしたとしても、従来装置よりも処理対象物品Ａの温度
上昇を速めることができる。また、扉７における内側の
ガラス板７２のニクロム線に通電してこれを熱すること
により、内槽内温度上昇をさらに速めることができる。 さらに、ファン３を運転すれば、内槽２内と内槽外空間
１０との間に気体を循環させて内槽２内の温度分布の均
一化を図ることができる。
７を開いて内槽２内に処理対象物Ａを納め、扉７を再び
閉めることによって真空熱処理を開始することができる
。真空熱処理開始にあたっては、扉７を密閉したのち真
空吸引装置９が運転されるとともにヒータ４がオンされ
る。かくして内槽２内が所定の真空状態にされるととも
にヒータ４による内槽２の加熱により、内槽２からの熱
輻射により所定温度にされる。内槽２の熱容量は小さい
ので、速やかに加熱され、また、真空容器１と内槽２と
の間の空間１０及び扉７におけるガラス７１と７２の間
の空間７３は真空断熱層として作用するので、ヒータ４
の容量を従来の真空熱処理装置におけるヒータと同容量
にしたとしても、従来装置よりも処理対象物品Ａの温度
上昇を速めることができる。また、扉７における内側の
ガラス板７２のニクロム線に通電してこれを熱すること
により、内槽内温度上昇をさらに速めることができる。 さらに、ファン３を運転すれば、内槽２内と内槽外空間
１０との間に気体を循環させて内槽２内の温度分布の均
一化を図ることができる。
【００２１】前記真空熱処理装置によると、容器１はヒ
ータにより直接昇温することがないので、容器１を覆う
断熱材５は比較的安価な断熱材で足り、それだけ装置を
安価に製作できる。また、ヒータ４は真空容器１と切り
離されているので、真空容器１の昇温がそれだけ低く抑
えられ、従って容器１と外槽６との接続部断熱を容易に
行うことができ、それだけ設計の許容幅が広くなり、装
置全体を安価に製作することができるという利点もある
。
ータにより直接昇温することがないので、容器１を覆う
断熱材５は比較的安価な断熱材で足り、それだけ装置を
安価に製作できる。また、ヒータ４は真空容器１と切り
離されているので、真空容器１の昇温がそれだけ低く抑
えられ、従って容器１と外槽６との接続部断熱を容易に
行うことができ、それだけ設計の許容幅が広くなり、装
置全体を安価に製作することができるという利点もある
。
【００２２】さらにヒータ４の断線時等におけるヒータ
交換にあたっては、扉７を開けて内槽２を取り外せば容
易に該交換作業を行うことができるので、たとえ真空熱
処理装置がクリーンルーム内に配置されているときでも
、装置をわざわざクリーンルーム外へ取り出してヒータ
交換を行う必要がなく、クリーンルーム内に設置したま
まヒータ交換を容易に行うことができる利点もある。
交換にあたっては、扉７を開けて内槽２を取り外せば容
易に該交換作業を行うことができるので、たとえ真空熱
処理装置がクリーンルーム内に配置されているときでも
、装置をわざわざクリーンルーム外へ取り出してヒータ
交換を行う必要がなく、クリーンルーム内に設置したま
まヒータ交換を容易に行うことができる利点もある。
【００２３】なお、真空容器１には必要に応じ、不活性
ガスボンベＢ等を接続して、真空引きとガス導入により
容器内を所定雰囲気にすることもできる。
ガスボンベＢ等を接続して、真空引きとガス導入により
容器内を所定雰囲気にすることもできる。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明装置によれば
、ヒータ容量を従来の真空熱処理装置におけるヒータ容
量と同じにしても、従来装置より速く処理対象物品を昇
温させることができ、しかも従来装置より安価に提供で
きるうえ、ヒータ交換も容易に行える。
、ヒータ容量を従来の真空熱処理装置におけるヒータ容
量と同じにしても、従来装置より速く処理対象物品を昇
温させることができ、しかも従来装置より安価に提供で
きるうえ、ヒータ交換も容易に行える。
【００２５】真空容器の扉の一部が耐圧性ガラスで構成
されているときは、これらガラスを通して容器外から内
槽内の物品を観察できるとともに、該ガラスの内側にガ
ラス板を配置してあるときは、両ガラス間の間隙による
断熱効果のため、扉の断熱性が向上する。また、真空容
器内に気体攪拌手段を設け、内槽と真空容器内壁面との
間隙を気体循環用ダクトとして使用するときは、内槽内
気体の攪拌、循環により内槽内温度分布をそれだけ均一
にすることができる。
されているときは、これらガラスを通して容器外から内
槽内の物品を観察できるとともに、該ガラスの内側にガ
ラス板を配置してあるときは、両ガラス間の間隙による
断熱効果のため、扉の断熱性が向上する。また、真空容
器内に気体攪拌手段を設け、内槽と真空容器内壁面との
間隙を気体循環用ダクトとして使用するときは、内槽内
気体の攪拌、循環により内槽内温度分布をそれだけ均一
にすることができる。
【図１】本発明の一実施例の概略断面図である。
【図２】従来例の断面図である。
１ 真空容器
１１ 容器開口
１２ 補強リブ
１３ 容器内壁面
２ 内槽
２１ 連結部材
２２ 内槽開口部
３ ファン
１０ 内槽２外空間
４ 電気ヒータ
５ 断熱材
６ 外槽
７ 断熱性扉
７１ 耐熱性ガラス
７２ 内側のガラス板
７３ ガラス７１と７２の間の空間
８ 断熱パッキン
９ 真空吸引装置
Ｂ ガスボンベ
Claims (3)
- 【請求項１】 物品の出入用開口を有する耐圧性真空
容器、前記真空容器内に該容器内壁面に対し間隔をおい
て設けた前記容器より熱容量が小さい内槽、前記内槽と
前記容器内壁面の間に配設したヒータ、前記容器に断熱
材を介して外装した外槽及び前記容器開口を開閉する耐
圧性扉を備えたことを特徴とする真空熱処理装置。 - 【請求項２】 前記耐圧性扉の一部が、前記容器内を
観察できる耐圧性ガラス板及び該耐圧性ガラス板に対し
間隔をおいてその内側に設けたガラス板を備えている請
求項１記載の真空熱処理装置。 - 【請求項３】 前記真空容器内に気体攪拌手段を設け
、前記内槽と真空容器内壁面との間隙に該攪拌手段によ
る気体循環用のダクトを兼ねさせた請求項１又は２記載
の真空熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13780491A JPH04363582A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 真空熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13780491A JPH04363582A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 真空熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04363582A true JPH04363582A (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=15207241
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13780491A Pending JPH04363582A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 真空熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04363582A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020040180A1 (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | Ｄｏｗａサーモテック株式会社 | 熱処理装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62223593A (ja) * | 1986-03-22 | 1987-10-01 | 大同特殊鋼株式会社 | マツフル炉における処理物の冷却方法 |
-
1991
- 1991-06-10 JP JP13780491A patent/JPH04363582A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62223593A (ja) * | 1986-03-22 | 1987-10-01 | 大同特殊鋼株式会社 | マツフル炉における処理物の冷却方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020040180A1 (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | Ｄｏｗａサーモテック株式会社 | 熱処理装置 |
| JP2020029995A (ja) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | Ｄｏｗａサーモテック株式会社 | 熱処理装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19950613 |