JPH04358378A

JPH04358378A - 磁気ヘッドスライダの製造装置及び製造方法

Info

Publication number: JPH04358378A
Application number: JP3133054A
Authority: JP
Inventors: Shigetomo Sawada; 澤田　茂友; Yoshimichi Asauchi; 浅内　良道; Yoshio Tanaka; 義男田中; Kikuo Yashiro; 八城　喜久雄
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1991-06-04
Filing date: 1991-06-04
Publication date: 1992-12-11
Anticipated expiration: 2011-03-21
Also published as: JPH0828086B2; KR960006333B1; US5365700A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置のヘ
ッドに使用される磁気ヘッドスライダの製造装置に関す
る。

【０００２】近年、磁気ディスク装置における記録媒体
面より浮上して駆動される磁気ヘッドスライダは、高感
度を図るためにその浮上量が著しく減少しており、スラ
イダ面の平面度として高低差を１／３０μｍ　以下に抑
えた高精度の形状が要求されている。また、磁気ヘッド
スライダが記録媒体面上に接した状態で駆動、停止動作
するＣＳＳ（コンタクト・スタート・ストップ）方式で
は、ＣＳＳ動作の際に当該スライダが高速度で記録媒体
面と接触していることから、ヘッドの破壊という事態の
発生を回避することが望まれている。

【０００３】

【従来の技術】図１３に、磁気ヘッドスライダの理想的
形状の斜視図を示す。磁気ディスク装置における記録媒
体の記録、再生を行う場合、磁気ヘッドスライダを該記
録媒体面上に常に浮上させて駆動する方式と、記録媒体
面上に接触させた状態で駆動、停止動作させるＣＳＳ方
式がある。

【０００４】記録媒体面上を浮上して駆動される磁気ヘ
ッドスライダ１Ａは、図１３（Ａ）に示すように、スラ
イダ表面が２本の平坦レール面２ａ，２ｂ形状に形成さ
れ、その先端（空気流入側）にはテーパ部３ａ，３ｂが
形成される。また、後端（空気流出側）には図１３（Ｃ
）に示すように、一般的構成の２つの薄膜磁気ヘッド４
ａ，４ｂが設けられる。この平坦レール面２ａ，２ｂは
、記録媒体からの浮上量が減少していることから平面度
として高低差を１／３０μｍ　以下にすることが望まれ
る。なお、テーパ部は必ずしも必要でなく、磁気ヘッド
も必らずしも２個必要としない。

【０００５】また、ＣＳＳ方式に使用される磁気ヘッド
スライダ１Ｂは、動作時に記録媒体との摩擦力と磨耗を
軽減し、ヘッドクラッシュの危険性を低下させるために
、図１３（Ｂ）に示すように、レール面５ａ，５ｂを凸
曲面のクラウン形状に形成することが望ましい。この場
合、クラウン量はレール面５ａ，５ｂの高低差で１０〜
２０ｎｍ以上ある場合に有効であるとされている。

【０００６】次に、図１４に、従来のスライダ加工を説
明するための図を示す。図１４において、複数個の磁気
ヘッドスライダ１Ａの背面を剛体６に接着固定し、該ス
ライダ１Ａの平坦レール面２ａ，２ｂをラップ定盤７上
に載置する。そして、剛体６上から重り等で所定圧力で
加圧し、ラップ定盤７をＯ軸上例えば矢印方向に回転さ
せると共に、剛体６を回転させて、上記平坦レール面２
ａ，２ｂを平坦に加工するものである。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の磁気ヘ
ッドスライダの加工は、スライダの板厚がばらついてお
り、平坦な剛体６に接着することから、加工量は該板厚
に従ってばらつきを生じ、多数のスライダを機械的に均
一に加工することができない。また、上述のラッピング
方法ではレール面を平坦に形成させるのみで前述のクラ
ウン形状に加工することができない。従って、機械的加
工では均一に行うことができないことから、薄膜磁気ヘ
ッド４ａ，４ｂのギャップ深さＤ（図１３（Ｃ））を所
望の値に調整することができないという問題がある。

【０００８】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、スライダのレール面を、均一に加工して任意に
ギャップ深さを調整すると共に、容易にクラウン形状に
加工する磁気ヘッドスライダの製造装置及び製造方法を
提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題は、一方面に、
一端に磁気ヘッドを設けたレール面が形成された磁気ヘ
ッドスライダの他方面を、平坦な剛体に取着し、該レー
ル面をラップ定盤上で回転によりラッピング加工する磁
気ヘッドスライダの製造において、前記剛体と前記磁気
ヘッドスライダとの間に、該磁気ヘッドスライダをその
粘着力により保持する弾性部材を介在させることにより
解決される。

【００１０】また、レール面の一端がテーパ部を有した
磁気ヘッドスライダを製造するにあたり、前記剛体に設
けられた弾性部材に前記磁気ヘッドスライダの他方面を
取着し、前記テーパ部を、該レール面の回転進行方向の
後端にしてラッピング加工する工程と、該テーパ部を、
該レール面の回転進行方向の先端にしてラッピング加工
する工程とを含む。

【００１１】

【作用】上述のように、磁気ヘッドスライダを弾性部材
の有する特性の粘着力により保持する。この弾性部材は
磁気ヘッドスライダを所定間隔で保持すると共に、その
柔軟性により該磁気ヘッドスライダに均一に荷重負荷を
与える。従って、磁気ヘッドスライダのレール面の均一
なラッピング加工が可能であり、該レール面の歪みを修
正して高度に平坦化することが可能となる。また、レー
ル面の一端にテーパ部を有するスライダの場合、レール
面のテーパ部を進行方向の後端にして加工し、その後該
テーパ部を先端にして加工すると、レール面の他端に設
けた磁気ヘッドの磁気先端の凹み（リセス）を小さく保
つことが可能となる。

【００１２】また、磁気ヘッドスライダは弾性部材上に
複数個所定間隔、例えば等間隔で配置させて保持するこ
とにより均一なラッピング加工が可能であり、そのため
に該磁気ヘッドスライダの配置される位置に対応する例
えば凹部又は穴部の嵌合部を形成した位置決め治具を使
用し、適宜傷発生防止のために該凹部又は穴部に保護材
を嵌合する。または、ラッピング加工中の磁気ヘッドス
ライダの移動を防止するために、小孔で該磁気ヘッドス
ライダの位置規制をする保持板を弾性部材上に設ける。

【００１３】一方、磁気ヘッドスライダのレール面をク
ラウン形状にするために、レール面を剛体の回転半径方
向と同方向にし磁気ヘッドを内周側に配置させて弾性部
材に保持している。これにより、弾性部材からの加圧力
によってクラウン形状の加工が自動的に行われると共に
、回転時の遠心力により内周側の磁気ヘッドへの過大な
力の作用を防止して磁極のリセス増大を抑止することが
可能となる。また、温度調節手段で磁気ヘッドスライダ
のレール面とその反対面に温度差を設け、この温度差に
よる撓み状態で平坦ラッピング加工を行うことにより、
温度差解消後にレール面に正のクラウン形状を得る。こ
の場合、弾性部材を熱伝導性の良好な材質で形成し、又
はこの層を含ませることでより大きなクラウン量の形状
を得ることが可能となる。さらに内周部が凹んだ形状の
ラップ定盤を用いそれに倣って加工することにより、よ
り大きなクランク量の形状を得ることができる。

【００１４】すなわち、手作業ではなく機械作業により
大きな量のクラウン形状のレール面を有する磁気ヘッド
スライダを得ることが可能となる。

【００１５】

【実施例】図１に、本発明の第１の実施例の構成図を示
す。図１（Ａ）は製造装置の一部断面を示しており、図
１（Ｂ）は磁気ヘッドスライダ（以下、単に「スライダ
」という）の取着を示しており、図１（Ｃ）は同一の一
部斜視図を示しており、図１（Ｄ）は加工時のスライダ
のラップ盤に対して運動する状態を示している。なお、
図１３，図１４と同一の構成部分には同一の符号を付す
。

【００１６】図１（Ａ）において、製造装置１０は、平
面が平坦性の良好な円柱状の剛体６上にドーナツ状の弾
性部材であるゴム材１１が接着剤により固着されている
。該ゴム材１１上に、図１（Ｂ）に示すように、予めレ
ール面２ａ，２ｂ及びテーパ部３ａ，３ｂが形成され、
薄膜磁気ヘッド４ａ，４ｂが設けられた（図１３参照）
スライダ１Ａの背面を該ゴム材１１の粘着力により等間
隔で例えば２４個保持する。なお、剛体６上に液状のゴ
ム材を流してライニングにより該ゴム材１１を形成して
もよい。このスライダ１Ａのレール面２ａ，２ｂ（図１
３参照）が、表面が所定粗さの断面ドーナツ形状のラッ
プ定盤７上に当接するように載置される。この場合、剛
体６の回転進行方向に対してスライダ１Ａのテーパ部３
ａ，３ｂを先端にして配設される（図１（Ｄ））。

【００１７】一方、剛体６上には加圧部材（重り）１２
が位置されると共に、該剛体６の側面にゴムローラ等の
回転伝達部材１３が当接し、軸１４を介して回転駆動部
（図示せず）より回転力を伝達する。

【００１８】このような製造装置１０において、スライ
ダ１Ａのレール面２ａ，２ｂをラッピングする場合、図
１（Ａ），（Ｃ）に示すように、ラップ定盤７が軸Ｏに
対して矢印方向（平面上反時計方向）に回転されると同
時に、軸１４（回転伝達部材１３）が平面上時計方向に
回転することにより剛体６が平面上反時計方向に回転す
る。このとき、図１（Ｄ）に示すようにスライダ１Ａが
ラップ定盤７上を、テーパ部３ａ（３ｂ）を先端にして
回転する。なお、図示しないが、加工時はラップ定盤７
とスライダ１Ａのテーパ部３ａ，３ｂの間には砥粒が含
有された研磨液が注入される。すなわち、スライダ１Ａ
はゴム材１１の粘着力で保持され、該スライダ１Ａのレ
ール面２ａ，２ｂをラップ定盤６上で加圧部材１２によ
り荷重を加えながら所定の回転数で回転させてラッピン
グ加工するものである。この場合、ゴム材１１のスライ
ダ１Ａの粘着力は十分に強く、ラッピング加工中、及び
ラップ定盤７への配置時にスライダ１Ａが脱落すること
がない。特に、ゴム材１１の表面を清浄に維持すること
により粘着力が増すものである。また、ゴム材１１上に
等間隔で２４個のスライダ１Ａを保持させることにより
、加圧部材１２の負荷を各スライダ１Ａに均等に加える
ものである。

【００１９】ここで、図２に、スライダの位置決め治具
を説明するための図を示し、図３に、スライダの位置決
めを説明するための図を示す。図１において、スライダ
１Ａをゴム材１１上の所定位置に保持する場合に、図２
（Ａ）に示す位置決め治具１５ａを使用する。この位置
決め治具１５は、図２（Ｂ）に示すように、円形の枠体
１６に円板状の薄板１７を取付けたもので、薄板１７に
スライダ１Ａを位置規制する嵌合部である凹部１８が円
周に沿って等間隔に例えば１５°間隔で２４個形成され
る。凹部１８は、図２（Ｃ）に示すように、スライダ１
Ａを嵌合するように矩形状に形成され、対向する辺に切
欠き１９が形成される。例えば、ピンセット等の把持具
でスライダ１Ａを凹部１８に嵌合させる場合に切欠き１
９が把持具の逃げ領域となる。ここで、図２（Ｄ）にお
いて凹部１８の形成について説明すると、薄板１７は銅
板１７ａの表裏にニッケルめっき１７ｂを施したもので
、ニッケル層と銅部分をエッチングにより凹部１８を形
成するものである。

【００２０】そこで、図３（Ａ）に示すように位置決め
治具１５ａの凹部１８に背面を上（レール面２ａ，２ｂ
を下）にしてスライダ１Ａを入れ、位置決めピン２０に
より剛体６間で位置決めしつつゴム材１１にスライダ１
Ａを押付ける。これにより、図３（Ｂ）に示すように、
ゴム材１１の粘着力によりスライダ１Ａを等間隔に整列
した形で保持することができる。

【００２１】また、図４に、上述のスライダの他の位置
決めを説明するための図を示す。図４（Ａ）の位置決め
治具１５ｂは、枠部が形成された円板上の薄板２１に等
間隔で例えば１５°間隔で２４個の嵌合部である穴部２
２が形成される。穴部２２は、図４（Ｂ）に示すように
、つば部２２ａを設けた矩形状にエッチングにより形成
され、該穴部２２に保護材２３が嵌合して取付けられる
。この保護材２３にはスライダ１Ａを嵌合する開孔部２
４が切欠き２４ａと共に、ポリイミド板等の軟質の材料
をプレス加工により形成するものである。

【００２２】図４（Ｃ）に示すように、この位置決め治
具１５ｂをゴム材１１を上方向にして上から位置決めピ
ン１９により位置決めする。このとき、穴部２２はゴム
材１１上に位置し、該穴部２２の保護材２３内にスライ
ダ１Ａを背面を下方にして嵌合して押圧することにより
、ゴム材１１の粘着力でスライダ１Ａを保持する（図４
（Ｄ））。スライダ１Ａをラッピング加工するにあたっ
ては、該位置決め治具１５ｂは、そのままの状態であっ
ても、取外してもよい。なお、保護材２３を図２に示す
位置決め治具１５ａに使用してもよく、この場合穴部２
２のつば部２２ａを省略して凹部１８に保護材２３を嵌
合すればよい。

【００２３】すなわち、保護材２３を使用することによ
り、スライダ１Ａが接触した場合でも傷の発生を防止す
ることができる。

【００２４】以上のように、スライダ１Ａのレール面２
ａ，２ｂを高精度な平坦度で、能率よく加工することが
でき、スライダ１Ａの浮上特性の安定性が均一となり、
歩留りを向上させることができる。このことは、ラッピ
ング量を任意に設定できることを意味し、後述するよう
に、薄膜磁気ヘッド４ａ，４ｂのギャップ深さＤ（図１
３（Ｃ））を容易に調整することができる。

【００２５】例えば、スライダのサイズを、縦３．２　
×横２．６　×厚さ０．５５ｍｍとし、図１（Ｄ）のテ
ーパ部３ａ，３ｂに研磨液が流入する場合の流入端傾斜
面長さＬ（図６（Ａ））を５００μｍ　とし、加工数を
２４個とした場合の平面度の結果を図５に示し、Ｌを変
えた場合の加工量の結果を図６に示す。

【００２６】図５に示すように、スライダ１Ａの平面度
をレール面２ａ，２ｂの高低差（ＰＶ値）で求めたもの
で、総て１０〜１６ｎｍの範囲内であって、各スライダ
１Ａが均一に加工されたことが明確である。また、図６
（Ａ）に示すように、スライダ１Ａのレール面２ａ，２
ｂの各Ａ〜Ｄ点におけるラッピング量を求めたもので、
図６（Ｂ）に測定値の平均値と標準偏差で示したもので
ある。図６（Ｂ）において、△はＣ，Ｄ点の平均値、○
はＡ，Ｂ点の平均値を表わしており、流入側、流出側共
に標準偏差（加工量）は約１〜２割以下で、各スライダ
１Ａは均一に加工されていることが示され、ギャップ深
さ（図１３（Ｃ））を所望する量に調整することができ
ることを示している。

【００２７】ところで、同図から流入端Ｌが長い程、入
口側が削られ易いことがわかる。これは、図１（Ｄ）に
示すように流入端側の傾斜面を通ってラップ液がクサビ
状に進入するため、入口側が削られ易く、流入端長が小
さいとクサビの効果が減少するためと考えられる。従っ
て、ギャップ深さを調整加工した後に、個々のスライダ
１Ａの流入端長Ｌを増やす加工を行うのはコスト増を招
くので、入口部の削れ量は小さく抑える必要がある。ち
なみに、流入端長がゼロの時、入口部の削れ量は最小と
なる。そのため、スライダ１Ａを逆向き（テーパ部３ａ
，３ｂを後端）に並べた場合は流入端長がゼロの場合に
あたり入口部の削れ量はやはり最小となる。このため、
加工の大半をスライダを逆向きに配置して行い、最終仕
上げ時に正規の向きとして、微小量を加工することで、
入口部の削れ量を抑えて流入端長さへの影響を最小にで
きる。なお、ギャップ深さを調整する際に、予め同時に
加工する分については、除去するべき加工量を揃えた上
で行う必要がある。

【００２８】次に、図７に、本発明の第２の実施例の構
成図を示す。図７（Ａ）において、剛体６に取付けられ
たゴム材１１の粘着力によりスライダ１Ａが保持されて
おり、該スライダ１Ａを保持板２４により位置規制され
る。保持板２４は、図７（Ｂ）に示すように、スライダ
１Ａの配置に対応した小孔２５が１５°間隔で２４個等
間隔に形成された円板形状の薄板であり、小孔２５は図
７（Ｃ）に示すように、スライダ１Ａの形状に対応した
矩形状の孔であって、対向する辺に切欠き２５ａが形成
されたものである。この切欠き２５ａは前述と同様にス
ライダ１Ａの脱着における工具等の逃げの役割をする。また、保持板２４は、例えば軟らかいポリイミドの薄板
を用い、小孔２５をプレス打ち抜きにより形成される。スライダ１Ａはこの小孔２５を用いて容易に配列するこ
とができる。

【００２９】このような保持板２４は、スライダ１Ａの
レール面２ａ，２ｂのラッピング加工時の移動を防止し
て保持を確実にし、移動で生じるラップ定盤７への傷の
発生を防止するものである。さらに図２，図４に示すよ
うなスライダ１Ａの位置決め治具１５ａ，１５ｂによる
位置決め作業は不要となり、従って、スライダ１Ａの配
列作業の高能率化を図ることができる。

【００３０】次に、図８に、本発明の第３の実施例の構
成図を示す。本実施例は、大きなクラウン形状のスライ
ダ１Ｂを得るためのもので、図８（Ａ）〜（Ｃ）におい
て、剛体６上にゴム材１１が設けられ、該ゴム材１１上
に１５°の等間隔で２４個のスライダ１Ａが保持される
ことは図１〜図４と同様である。この場合、スライダ１
Ａは、剛体６の半径方向と同方向にレール面２ａ，２ｂ
が位置し、かつ、薄膜磁気ヘッド４ａ，４ｂが内周に位
置するように配設されるものである。

【００３１】ここで、図９に、クラウン形状の加工を説
明するための図を示す。図９はクラウン形状加工の原理
を説明するためのものでスライダ１Ａのテーパ部３ａ，
３ｂは省略してある。いま、図９（Ａ）において、ゴム
材１１にレール面２ａ，２ｂが平坦なスライダ１Ａをそ
の粘着力により保持させると、ゴム材１１からのスライ
ダ１Ａの加圧力がスライダ１Ａの周辺部で大きくなり、
その力が内側に働く。この力の影響で、図９（Ｂ）に示
すようにスライダ１Ａが歪み、その浮上面に負のクラウ
ン２６ａが生じる。

【００３２】そして、ラッピング加工終了後は、ゴム材
１１からの加圧力が解除されて、図９（Ｅ）に示すよう
に正のクラウン２６ｂのスライダ１Ｂが得られる。すな
わち、ゴム材１１のスライダ周辺に偏在する加圧力によ
りクラウン形成の作用が強まり、図１３（Ｂ）に示すよ
うな正のクラウン形状のスライダ１Ｂを得ることができ
るものである。

【００３３】そして、図８のようにスライダ１Ａを剛体
６の半径方向と同方向に配列した場合、図９（Ｃ）に示
すように、剛体６を回転させると、その遠心力によりス
ライダ１Ａが外側にせり出す状態となり、ゴム材１１か
ら受ける力が外側部で増大して加工中の力の偏りが著し
くなる。こうした場合、図９（Ｄ）に示すように、スラ
イダ１Ａの周辺部が優先的にラッピングされてさらに大
きなクラウン形状を得ることができる。

【００３４】例えば、図８（Ｃ）に示すスライダ１Ａの
サイズを縦３．２　×横２．６　×厚さ０．５５ｍｍと
して、テーパ部３ａ，３ｂの流入端傾斜面の長さＬ（図
６（Ａ）参照）を５００μｍ　，加工時間を１〜２分と
し、錫のラップ定盤７でラッピング加工した場合、図１
（Ｂ）のように配列した場合にはクラウン量が平均で１
０ｎｍ、標準偏差が１．４ｎｍとなり、ばらつきの小さ
い安定したラッピング加工ができる。これに対して図８
のように配列した場合にはクラウン量（高さ）が平均で
１６ｎｍ，標準偏差が１．５　ｎｍとなって、大きなク
ラウン量が得られ、やはりばらつきの少ない安定したラ
ッピング加工することができる。すなわち、レール面２
ａ，２ｂに正のクラウン形状を容易に与えることができ
、かつクラウン量を制御することができることから、Ｃ
ＳＳ方式における磁気ヘッドの記録媒体面への吸着、及
びヘッドクラッシュを防止することができる。また、磁
極先端の凹み（リセス）は、図１（Ｂ）の配列とした場
合、約２０ｎｍの良好な値を安定して保持できる。

【００３５】しかし、図８の配列の場合、磁極部に過大
な力が加わり、リセスを増大させることがある。しかし
ながら、この場合、薄膜磁気ヘッド４ａ，４ｂを内周側
に配置すことで荷重負担を軽減させてリセスの増大を防
止できる。薄膜磁気ヘッド４ａ，４ｂを外周側に配置し
た場合にはリセスが３５〜４５ｎｍとなるのに対し、内
周側に配置した場合にはリセスが２３ｎｍと小さく抑え
ることができる。

【００３６】次に、図１０に、本発明の第４の実施例の
構成図を示す。図１０は、図１及び図８において、スラ
イダ１Ａ側を高温側とし、ラップ定盤７側を低温側とし
て温度差を設けたもので、具体的にはゴム材１１に第１
の温度調節手段２７を設けると共に、ラップ定盤７に第
２の温度調節手段２８を設けたものである。なお、第２
の温度調節手段２８を設けずに、常温下で第１の温度調
節手段２７によりスライダ１Ａ側を常温以上に設定して
もよい。又、第１の温度調節手段２７を省き、第２の温
度調節手段２８のみを用いても良い。

【００３７】図１０（Ａ）〜（Ｃ）において、少なくと
も第１の温度調節手段２７により、ゴム材１１を加熱し
てラップ定盤７との間に温度差を生じさせると（図１０
（Ａ））、スライダ１Ａに熱歪みを生じ、周辺部が突き
出る形で負のクラウン２６ａ形状となる（図１０（Ｂ）
）。そして、ラッピング加工中には突き出た部分が選択
的に研磨されることから、熱歪みで突き出た部分が選択
的に加工され、加工終了後に温度差が解消された時には
正のクラウン２６ｂの形状が表われ、クラウン形状のス
ライダ１Ｂが得られる（図１０（Ｃ））。

【００３８】ここで、図１１に、熱歪みにより生じるク
ラウン量を説明するための図を示す。いま、厚さｔのス
ライダ１Ａの表裏間に温度差を生じると、表裏間で歪み
εが生じ、曲率半径Ｒ＝ｔ／εでスライダ１Ａが撓み変
形する。このとき、スライダ長をＬ０　とするとクラウ
ン量Ｃは、Ｃ≒Ｌ０　２　／８Ｒ＝Ｌ０　２　・ε／８ｔ　　　　
　　　　…（１）で表わされる。

【００３９】例えば、スライダ材料がＡｌ２　Ｏ３　・
ＴｉＣ材（膨張率：７．９　×１０−６），スライダの
寸法がｔ：０．５５ｍｎｍ　，Ｌ：３ｍｍの場合、温度
差が１℃の時、スライダ１Ａの表裏に７．９　×１０−
６のεが生じ、Ｒが約７０ｍ，クラウン量が１６ｎｍと
導かれる。この結果より、１℃という僅かな温度差でＣ
ＳＳ動作時の磨耗を軽減する効果を有するクラウン量を
形成できる。

【００４０】そこで、ラップ定盤７の温度を変化させ、
図１（Ｂ）のようにスライダ１Ａを配列して加工した場
合のクラウン量の値のグラフを図１２に示す。図１２の
グラフには各データの平均値と標準偏差値を用いて示し
た。ラップ定盤７の各温度において、クラウン量がばら
つきが小さく得られており、ラップ定盤７温度が室温の
時で１０ｎｍ以下、１０〜１５℃の時でおよそ２０ｎｍ
となり、さらに低温の時に、より大きなクラウンが得ら
れた。この場合、スライダ１Ｂのレール面全体は図１３
（Ｂ）に示され、そのクラウン量Ｃは、図６（Ａ）に示
される、Ａ−Ｃ間及びＢ−Ｄ間の高低差で表わされる。また、本条件での浮上面（レール面）の平面度（ＰＶ値
）はクラウン量＋１０ｎｍ以下に入り、良好な平面性を
得ており、また、磁極先端部の凹み（リセス）も２０ｎ
ｍ以下と極めて良好であった。

【００４１】なお、本実施例ではスライダ１Ａの表裏間
で温度差を生じさせれば十分であり、そのために、第１
に第１の温度調節手段２７のみでゴム材１１を加熱する
場合、第２に第１及び第２の温度調節手段２７，２８の
両方で加熱して温度差を生じさせる場合、第３に第２の
温度調節手段２８でラップ定盤７を冷却する場合、第４
に第１の温度調節手段２７で加熱し、第２の温度調節手
段２８で冷却する場合の組合せが考えられる。この場合
、第４の組合せにより複合的効果が得られる。

【００４２】また、本実施例では、温度差のみについて
説明しているが、図８の第３の実施例のゴム材１１によ
る撓みも合せて作用させれば、さらに大きなクラウン量
を得ることができる。

【００４３】次に、図１０におけるゴム材１１について
説明する。スライダ１Ａの表裏に温度差を設けるために
、ゴム材１１を熱伝導性の良好な材質を使用するもので
ある。材質として、例えばシリコンゴムにアルマイトを
添加したものがあり、通常のシリコンゴムと比較して数
倍から数十倍の熱伝導性を得ることができる。

【００４４】スライダ１Ａ，１Ｂの材質（フェライト）
の熱伝導度は２１．０ｗ／ｍ　・ｄｅｇ　であり、ゴム
材の熱伝導度は０．２　ｗ／ｍ　・ｄｅｇ　であって、
ゴム材の方が非常に小さいことから、ラップ定盤７とゴ
ム材１１間の温度差によるスライダ１Ａを通過する熱量
は、殆どがゴム材１１の熱伝導性で決定される。従って
、ゴム材１１側の熱伝導性を高くするとスライダ１Ａを
通過する熱量が増し、該スライダ１Ａの表裏に生じる温
度差が増大して大きなクラウン量を得ることができるも
のである。

【００４５】このゴム材１１の熱伝導性は添加材の量に
依存しており、反面柔軟性を悪くしていくという性質が
あることから、通常の柔軟性の高いゴム材と積層しても
よく、また、スライダ１Ａ，１Ｂを保持する場合の粘着
力が低下する場合には粘着材を形成させてもよい。

【００４６】次に、図１３に本発明の第５の実施例の構
成図を示す。図１３（Ａ），（Ｂ）は内周側が凹んだ形
状のラップ定盤７ａを示している。ラップ定盤７ａはス
ライダ１Ａの浮上面に大きなクラウン量を形成させるた
めのものである。ここでは実施例として、ラップ定盤７
ａの形状を、内周側が凹んだ円錐面とした場合の加工結
果を示す。

【００４７】スライダ１Ａの浮上面は該円錐面に倣いつ
つラップされるために正のクラウンが形成され、さらに
該円錐面の内周側の凹み量を変えることでクラウン量の
制御が可能になる。

【００４８】該円錐面により形成されるクラウン量Ｃは
幾何学的な関係から、浮上面のラップ加工の様子を示す
図１３（Ｃ）における、ラップ定盤７ａの内外周の幅Ｗ
、および内外周間の高低差Ｈから、Ｃ＝（ｄ２　・Ｈ）／２Ｗｒ　　　　　　　　　　　　
　　…（２）となる。ここで、ｒはラップ定盤７ａの中
心からスライダ１Ａまでの距離、ｄはスライダ１Ａの長
さの半分である。

【００４９】例えばｄを１．６ｍｍ、ｒを７０ｍｍ、Ｗ
を１００ｍｍとした場合の（２）式の示すクラウン量は
図１３（Ｄ）の直線で示される。

【００５０】又、実際の円錐形状のラップ定盤７ａで加
工した場合のクラウン量を丸印で示しており、（２）式
による円錐形状のラップ定盤によるクラウン量の増大効
果を表わしていることがわかる。

【００５１】この結果より、中央部が凹んだラップ定盤
７ａを用いることで大きなクラウン量を形成でき、かつ
、クラウン量を制御可能であることが示された。

【００５２】ところで、本実施例ではラップ定盤７ａを
、その形成が容易な円錐面形状とした場合を示したが、
原理的にラップ定盤７ａを球面あるいは放物面等の曲面
を用いても、同様に大きなクラウンを創成できることは
明らかである。

【００５３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、磁気ヘッ
ドスライダを剛体に設けられる弾性部材にその吸着力に
より保持させることにより、該スライダのレール面を平
坦度の高い均一なラッピング加工をすることができると
共に、磁気ヘッドのギャップ調整を行うことができ、該
スライダの浮上特性の安定性を均一化することができる
。また、弾性部材の加圧力又は該スライダの表裏に温度
差を設けたり、内周側が凹んだラップ定盤を用いること
により、自動的に該スライダのレール面をクラウン形状
とすることができ、磁気ヘッドの記録媒体面への吸着及
びヘッドクラッシュを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の構成図である。

【図２】スライダの位置決め治具を説明するための図で
ある。

【図３】スライダの位置決めを説明するための図である
。

【図４】スライダの他の位置決めを説明するための図で
ある。

【図５】平面度の結果を示したグラフである。

【図６】加工量の結果を示したグラフである。

【図７】本発明の第２の実施例の構成図である。

【図８】本発明の第３の実施例の構成図である。

【図９】クラウン形状の加工を説明するための図である
。

【図１０】本発明の第４の実施例の構成図である。

【図１１】熱歪みにより生じるクラウン量を説明するた
めの図である。

【図１２】クラウン量の値を示すグラフである。

【図１３】内周部が凹んだラップ定盤によるクラウン量
を説明するための図である。

【図１４】従来の磁気ヘッドスライダの理想形状を示し
た斜視図である。

【図１５】従来のスライダ加工を説明するための図であ
る。

【符号の説明】

１Ａ，１Ｂ　　磁気ヘッドスライダ２ａ，２ｂ　　平坦レール面３ａ，３ｂ　　テーパ部４ａ，４ｂ　　薄膜磁気ヘッド５ａ，５ｂ　　クラウン形状レール面６　　剛体７　　ラップ定盤７ａ　　内周部が凹んだラップ定盤１１　　ゴム材（弾性部材）１５ａ，１５ｂ　　位置決め治具１８　　凹部２２　　穴部２３　　保護材２４　　保持板２７　　第１の温度調節手段２８　　第２の温度調節手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】　　一方面に、一端に磁気ヘッド（４ａ，
４ｂ）を設けたレール面（２ａ，２ｂ）が形成された磁
気ヘッドスライダ（１）の他方面を、平坦な剛体（６）
に取着し、該レール面（２ａ，２ｂ）をラップ定盤（７
）上で回転によりラッピング加工する磁気ヘッドスライ
ダの製造装置において、前記剛体（６）と前記磁気ヘッ
ドスライダ（１）との間に、該磁気ヘッドスライダ（１
）をその粘着力により保持する弾性部材（１１）を介在
させることを特徴とする磁気ヘッドスライダの製造装置
。
【請求項２】　　前記弾性部材（１１）に複数の磁気ヘ
ッドスライダ（１）を保持させるにあたり、所定間隔で
形成された嵌合部（１８，２２）に該磁気ヘッドスライ
ダ（１）を嵌合させる位置決め治具（１５ａ，１５ｂ）
により該磁気ヘッドスライダ（１）の位置決めを行うこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダの製
造装置。
【請求項３】　　前記嵌合部（１８，２２）内に、前記
磁気ヘッドスライダ（１）の嵌合可能な保護材（２３）
を嵌合させることを特徴とする請求項１又は２記載の磁
気ヘッドスライダの製造装置。
【請求項４】　　前記弾性部材（１１）に保持された複
数の磁気ヘッドスライダ（１）を収納する略同形状の小
孔（２５）が所定間隔で形成された保持板（２４）を、
該弾性部材（１１）に設けることを特徴とする請求項１
，２又は３記載の磁気ヘッドスライダの製造装置。
【請求項５】　　前記複数の磁気ヘッドスライダ（１）
のレール面（２ａ，２ｂ）を、前記剛体（６）の回転半
径方向と同方向にして配設し、前記磁気ヘッド（４ａ，
４ｂ）を内周側に位置させることを特徴とする請求項１
又は２記載の磁気ヘッドスライダの製造装置。
【請求項６】　　前記磁気ヘッドスライダ（１）のレー
ル面（２ａ，２ｂ）を有する一方面より反対側の他方面
を高温度にするために、前記剛体（６）、前記弾性部材
（１１）、前記ラップ定盤（７）の少なくとも一つに温
度調節手段を設けることを特徴とする請求項１，２，３
，４又は５記載の磁気ヘッドスライダの製造装置。
【請求項７】　　前記ラップ定盤（７）をその中心側が
凹んでいる円錐面もしくは曲面としたことを特徴とする
請求項１，２，３，４，５又は６記載の磁気ヘッドスラ
イダの製造装置。
【請求項８】　　前記弾性部材（１１）を、熱伝導性の
良好な部材で形成することを特徴とする請求項６又は７
記載の磁気ヘッドスライダの製造装置。
【請求項９】　　前記弾性部材（１１）を、熱伝導性の
良好な部材で形成する層と通常の熱伝導性の部材で形成
する層とを積層して形成することを特徴とする請求項８
記載の磁気ヘッドスライダの製造装置。
【請求項１０】　　熱伝導性の良好な部材を含む前記弾
性部材（１１）の、前記磁気ヘッドスライダ（１）を保
持する面に粘着材を設けることを特徴とする請求項８又
は９記載の磁気ヘッドスライダの製造装置。
【請求項１１】　　一方面に、一端がテーパ部（３ａ，
３ｂ）を有し、他端に磁気ヘッド（４ａ，４ｂ）を設け
たレール面（２ａ，２ｂ）が形成された磁気ヘッドスラ
イダ（１）の他方面を、平坦な剛体（６）に取着し、該
レール面（２ａ，２ｂ）をラップ定盤（７）上で回転に
よりラッピング加工する磁気ヘッドスライダの製造方法
において、前記剛体（６）に設けられた弾性部材（１１
）に前記磁気ヘッドスライダ（１）の他方面を取着し、
前記テーパ部（３ａ，３ｂ）を、該レール面（２ａ，２
ｂ）の回転進行方向の後端にしてラッピング加工する工
程と、該テーパ部（３ａ，３ｂ）を、該レール面（２ａ
，２ｂ）の回転進行方向の先端にしてラッピング加工す
る工程と、を含むことを特徴とする磁気ヘッドスライダ
の製造方法。