JPH04356010A - テレセントリック光線を発生する装置 - Google Patents
テレセントリック光線を発生する装置Info
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- JPH04356010A JPH04356010A JP3172300A JP17230091A JPH04356010A JP H04356010 A JPH04356010 A JP H04356010A JP 3172300 A JP3172300 A JP 3172300A JP 17230091 A JP17230091 A JP 17230091A JP H04356010 A JPH04356010 A JP H04356010A
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- Japan
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- telecentric
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- mirror
- light
- deflected
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一定範囲にわたって平
行に偏向する少なくとも1つのテレセントリック光線を
発生する装置に関する。
行に偏向する少なくとも1つのテレセントリック光線を
発生する装置に関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】かかる装置においては
、比較的小さい寸法の簡単な部材によって大きい範囲に
わたる光線の偏向を達成しなければならないという課題
が存在する。
、比較的小さい寸法の簡単な部材によって大きい範囲に
わたる光線の偏向を達成しなければならないという課題
が存在する。
【0003】
【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
れば請求項1記載の特徴により、装置が支持体、支持体
に配置された少なくとも1組の平行面の内面ミラー;ミ
ラーの片側で支持体を回転可能に支持する装置;支持装
置により支持された支持体にはその片側に窓が設けられ
ていて、該支持体は支持装置によて支持されていると反
対側が開いており;かつ異なる方向からの複数の光線を
回転可能の支持体に向ける装置を備え;さらに射出する
テレセントリック光線を支持体から別個の範囲に反射す
る固定ミラーを有することによって達成される。
れば請求項1記載の特徴により、装置が支持体、支持体
に配置された少なくとも1組の平行面の内面ミラー;ミ
ラーの片側で支持体を回転可能に支持する装置;支持装
置により支持された支持体にはその片側に窓が設けられ
ていて、該支持体は支持装置によて支持されていると反
対側が開いており;かつ異なる方向からの複数の光線を
回転可能の支持体に向ける装置を備え;さらに射出する
テレセントリック光線を支持体から別個の範囲に反射す
る固定ミラーを有することによって達成される。
【0004】次に、本発明を図面により説明する。
【0005】
【実施例】第1図および第2図は、本発明の理解を容易
にするのに役立つ参考図である。
にするのに役立つ参考図である。
【0006】第1図はレーザ2からなる入射光線1を示
し、この入射光線1はその光軸に対し偏向Hを有するテ
レセントリック射出光線1′として偏向される。この偏
向は正方形の回転ミラー系により行われ。各2つの平行
に相対するミラー面3の距離はSである。回転ミラー3
はフランジ5およびボス6と1体に形成されたリング4
内に挿入される。部分4〜6はミラー3の支持体を形成
する。ボス6は正確に一定の角速度でたとえば同期モー
タまたはパルスモータによって駆動される図示されてい
ない軸と結合する。このような駆動装置は公知であり、
本発明の対象ではない。部分4,5および6からなる支
持体は部分4と5の間に互いに直角の4つの切欠を有し
、その範囲にスリット状の窓7がウエブ7′の間に形成
し、この窓から第2図に示すように入射光線1が入射す
る。支持体4,5,6の軸は入射光線1および射出光線
1′の光軸に対して傾斜し、したがってミラー面3も傾
斜する。それによって第2図に示すようにジグザグ形光
路が発生し、その際光線はそれぞれ2つの相対するミラ
ー面3で反射される。反射の状態は第1図に示される。 この図によりミラー系の一定の回転角に対し入射光線お
よび反射光線の光軸に対し2つのミラーが垂直、2つの
ミラーが平行にあるゼロ位置から、入射光線1が後方に
あるミラー面で2αの角度で反射され、次に後方にある
有効ミラー面でも同じ2αの角度で反射されることが明
かである。それゆえ射出光線はつねに入射光線の軸と正
確に平行に射出し、ミラー面がたとえば第1図に矢印で
示す時計方向に連続的に回転する際繰返し下から上へ運
動する。第1図から明かなように偏向はH=2S・si
nα であり、ここにSは相対するミラー面3の間の距離であ
る。
し、この入射光線1はその光軸に対し偏向Hを有するテ
レセントリック射出光線1′として偏向される。この偏
向は正方形の回転ミラー系により行われ。各2つの平行
に相対するミラー面3の距離はSである。回転ミラー3
はフランジ5およびボス6と1体に形成されたリング4
内に挿入される。部分4〜6はミラー3の支持体を形成
する。ボス6は正確に一定の角速度でたとえば同期モー
タまたはパルスモータによって駆動される図示されてい
ない軸と結合する。このような駆動装置は公知であり、
本発明の対象ではない。部分4,5および6からなる支
持体は部分4と5の間に互いに直角の4つの切欠を有し
、その範囲にスリット状の窓7がウエブ7′の間に形成
し、この窓から第2図に示すように入射光線1が入射す
る。支持体4,5,6の軸は入射光線1および射出光線
1′の光軸に対して傾斜し、したがってミラー面3も傾
斜する。それによって第2図に示すようにジグザグ形光
路が発生し、その際光線はそれぞれ2つの相対するミラ
ー面3で反射される。反射の状態は第1図に示される。 この図によりミラー系の一定の回転角に対し入射光線お
よび反射光線の光軸に対し2つのミラーが垂直、2つの
ミラーが平行にあるゼロ位置から、入射光線1が後方に
あるミラー面で2αの角度で反射され、次に後方にある
有効ミラー面でも同じ2αの角度で反射されることが明
かである。それゆえ射出光線はつねに入射光線の軸と正
確に平行に射出し、ミラー面がたとえば第1図に矢印で
示す時計方向に連続的に回転する際繰返し下から上へ運
動する。第1図から明かなように偏向はH=2S・si
nα であり、ここにSは相対するミラー面3の間の距離であ
る。
【0007】上記により第1図および第2図の装置がき
わめて簡単な要素たとえば平面ミラーから形成され、こ
の部材によりきわめて簡単な函数による射出光線の運動
が生ずることは容易に明らかである。この数学的関係は
、簡単な条件が充足される場合、すなわち回転ミラー系
の回転軸が入射光線1の光軸にあり、ミラー面がこの軸
に対し正確に対称にかつ平行に配置され、ミラー系の回
転角を正確に検出しうる場合、非常に正確である。
わめて簡単な要素たとえば平面ミラーから形成され、こ
の部材によりきわめて簡単な函数による射出光線の運動
が生ずることは容易に明らかである。この数学的関係は
、簡単な条件が充足される場合、すなわち回転ミラー系
の回転軸が入射光線1の光軸にあり、ミラー面がこの軸
に対し正確に対称にかつ平行に配置され、ミラー系の回
転角を正確に検出しうる場合、非常に正確である。
【0008】第1図および第2図の実施例の重要な利点
はミラー系が回転軸に対し線対称に形成され、したがっ
て釣合っていることにある。同様の対称系は2つまたは
4つ以上のミラー面が任意の多角形配置で存在する場合
に得られる。しかし2つまたは4つのミラーを有する実
施例がもっと多数のミラー面を有する系に比して偏向し
たテレセントリック光線または光束の振幅がミラー系の
与えられた寸法に対し最大になる利点を有する。
はミラー系が回転軸に対し線対称に形成され、したがっ
て釣合っていることにある。同様の対称系は2つまたは
4つ以上のミラー面が任意の多角形配置で存在する場合
に得られる。しかし2つまたは4つのミラーを有する実
施例がもっと多数のミラー面を有する系に比して偏向し
たテレセントリック光線または光束の振幅がミラー系の
与えられた寸法に対し最大になる利点を有する。
【0009】第1図のミラー3にミラー系の回転軸内の
1つの平面ミラーが相対するもう1つの実施例が可能で
ある。光線はこのようなミラーによって図示のミラー系
と同様に反射されるけれど、横の偏向が全体で半分の大
きさであり、回転ミラー系の釣合をとることが必要にな
る。
1つの平面ミラーが相対するもう1つの実施例が可能で
ある。光線はこのようなミラーによって図示のミラー系
と同様に反射されるけれど、横の偏向が全体で半分の大
きさであり、回転ミラー系の釣合をとることが必要にな
る。
【0010】本発明による装置はその使用例が第3図〜
第6図に示されている。
第6図に示されている。
【0011】第3図は使用法を示し、この場合互いに垂
直の2つの光軸方向のテレセントリック光線を得るため
、さらに他のミラーが配置される。第1図および第2図
と同じ部分は同じ番号で示す。光源2の光線は半透明ミ
ラー30で2つの光線1aおよび1bに分割され、これ
らの光線はさらにミラー31および32で正方形回転ミ
ラー系3に送られる。光線はそこからさらにミラー33
および34を介して測定物体35が存在する測定範囲に
達する。テレセントリック光線1aおよび1bは測定範
囲で互いに直交し、したがって物体を2次元的に検出す
ることができる。レンズ36および37により光線はホ
トセルまたはダイオード38および39に集光し、これ
らから電気信号が評価のため計算装置へ送られる。光線
のフエードアウトおよびフエードインの瞬間にそれぞれ
ミラー系3が存在する角位値が確認され、その際記憶さ
せた簡単なサイン函数により光軸に対するどの位置でフ
エードアウトおよびフエードインが行われたかを求める
ことができる。それによって物体の寸法および位置を測
定するこができる。矢印は光線の進行方向を示す。
直の2つの光軸方向のテレセントリック光線を得るため
、さらに他のミラーが配置される。第1図および第2図
と同じ部分は同じ番号で示す。光源2の光線は半透明ミ
ラー30で2つの光線1aおよび1bに分割され、これ
らの光線はさらにミラー31および32で正方形回転ミ
ラー系3に送られる。光線はそこからさらにミラー33
および34を介して測定物体35が存在する測定範囲に
達する。テレセントリック光線1aおよび1bは測定範
囲で互いに直交し、したがって物体を2次元的に検出す
ることができる。レンズ36および37により光線はホ
トセルまたはダイオード38および39に集光し、これ
らから電気信号が評価のため計算装置へ送られる。光線
のフエードアウトおよびフエードインの瞬間にそれぞれ
ミラー系3が存在する角位値が確認され、その際記憶さ
せた簡単なサイン函数により光軸に対するどの位置でフ
エードアウトおよびフエードインが行われたかを求める
ことができる。それによって物体の寸法および位置を測
定するこができる。矢印は光線の進行方向を示す。
【0012】第4図はもう1つの使用例を示す。光線1
は半透明ミラー41によって光線1aおよび1bに分割
され、ミラー42および43を介して回転ミラー系3へ
送られる。テレセントリック射出光線ミラー44および
45を介して測定物体46が存在する測定範囲へ達する
。テレセントリック光線の範囲は互いに一定の距離だけ
離れている。光線1aおよび1bのミラー系3への入射
方向およびウエブ7′間の窓7の幅は時間的に交互にず
れてテレセントリック光線1aまたは1bが測定範囲に
達するように選ばれる。それゆえ1つの同じ集光レンズ
47により2つの光線を共通のホトセル48へ集光し、
このホトセルからすべての所要信号を計算機に送ること
もできる。第4図の実施例によれば与えられた回転ミラ
ー系3の寸法に対し第1および2図実施例の2倍の大き
さの物体を測定することができる。しかしこの装置によ
り任意に小さい物体を測定することもでき、その際この
物体はテレセントリック光線の1つ(1aまたは1b)
の範囲の中心に配置され、計算機はそれに応ずる評価の
ため切替えられる。
は半透明ミラー41によって光線1aおよび1bに分割
され、ミラー42および43を介して回転ミラー系3へ
送られる。テレセントリック射出光線ミラー44および
45を介して測定物体46が存在する測定範囲へ達する
。テレセントリック光線の範囲は互いに一定の距離だけ
離れている。光線1aおよび1bのミラー系3への入射
方向およびウエブ7′間の窓7の幅は時間的に交互にず
れてテレセントリック光線1aまたは1bが測定範囲に
達するように選ばれる。それゆえ1つの同じ集光レンズ
47により2つの光線を共通のホトセル48へ集光し、
このホトセルからすべての所要信号を計算機に送ること
もできる。第4図の実施例によれば与えられた回転ミラ
ー系3の寸法に対し第1および2図実施例の2倍の大き
さの物体を測定することができる。しかしこの装置によ
り任意に小さい物体を測定することもでき、その際この
物体はテレセントリック光線の1つ(1aまたは1b)
の範囲の中心に配置され、計算機はそれに応ずる評価の
ため切替えられる。
【0013】第5図はさらに他の使用例を示す。光線1
は第1半透明ミラー51により光線の1/3が光線1c
として直接回転ミラー系3に当る。ミラー51を透過し
た2/3の光線はほぼ第4図に相当する案内により前方
からミラー系3へ入る。テレセントリック光線1a〜1
cは直線またはミラー52および53を介して互いに平
行に射出し、それによって測定範囲はミラー系の寸法に
対し3倍になり、大きい物体54を測定することが可能
になる。第5図による実施例でテレセントリック光線を
時間的に順次に発生させることが不可能な場合、各テレ
セントリック光線の範囲に第5図に示すように集光レン
ズ55および光電変換器56を配置される。
は第1半透明ミラー51により光線の1/3が光線1c
として直接回転ミラー系3に当る。ミラー51を透過し
た2/3の光線はほぼ第4図に相当する案内により前方
からミラー系3へ入る。テレセントリック光線1a〜1
cは直線またはミラー52および53を介して互いに平
行に射出し、それによって測定範囲はミラー系の寸法に
対し3倍になり、大きい物体54を測定することが可能
になる。第5図による実施例でテレセントリック光線を
時間的に順次に発生させることが不可能な場合、各テレ
セントリック光線の範囲に第5図に示すように集光レン
ズ55および光電変換器56を配置される。
【0014】第6図は本発明による装置による装置のも
う1つの使用例を示し、第1及び2図と同じ部分は同じ
記号で示す。入射光線1はケーシング15内の空間を最
大に利用するため反射ミラー16を介して回転ミラー系
3に達し、反射された光線1′はケーシング15の光学
窓17を通って物体19の表面18へ一定の傾斜角で当
る。ケーシング内に配置された光学系21を有する受光
器20は光線1′が光軸22内の特定位置へ当る場合に
応答する。第6図には光線1′がミラー系3の回転に対
し、物体19またはその表面18が光学系21から近く
または遠く離れているかに応じて異なる瞬間に、光軸2
2内の前記特定位置に達することが示される。したがっ
て光線1′が表面18の一定位置へ当る際の時点または
瞬間的回転角から物体19またはその表面18の位置を
推論することができる。この位置の計算は入力情報とし
てミラー系の回転角を入力する計算機によって簡単に行
われる。その際光線1′は表面18が位置a1またはa
2にあるかに応じて回転角α1またはα2で表面の前記
位置に達することが確認される。計算機は簡単なサイン
函数により表面18がどの位置にあるかを求めることが
できる。測定装置の幾何学的条件からそれゆえ計算機の
固有の較正なしに、ただちに換算した正しい測定値を得
るようにプログラミングまたは調節することができる。
う1つの使用例を示し、第1及び2図と同じ部分は同じ
記号で示す。入射光線1はケーシング15内の空間を最
大に利用するため反射ミラー16を介して回転ミラー系
3に達し、反射された光線1′はケーシング15の光学
窓17を通って物体19の表面18へ一定の傾斜角で当
る。ケーシング内に配置された光学系21を有する受光
器20は光線1′が光軸22内の特定位置へ当る場合に
応答する。第6図には光線1′がミラー系3の回転に対
し、物体19またはその表面18が光学系21から近く
または遠く離れているかに応じて異なる瞬間に、光軸2
2内の前記特定位置に達することが示される。したがっ
て光線1′が表面18の一定位置へ当る際の時点または
瞬間的回転角から物体19またはその表面18の位置を
推論することができる。この位置の計算は入力情報とし
てミラー系の回転角を入力する計算機によって簡単に行
われる。その際光線1′は表面18が位置a1またはa
2にあるかに応じて回転角α1またはα2で表面の前記
位置に達することが確認される。計算機は簡単なサイン
函数により表面18がどの位置にあるかを求めることが
できる。測定装置の幾何学的条件からそれゆえ計算機の
固有の較正なしに、ただちに換算した正しい測定値を得
るようにプログラミングまたは調節することができる。
【0015】もちろん変向装置の他の形成および使用も
可能である。たとえば第3図または第4図のミラーは選
択的に第3図による2次元的測定または第4図による大
きい物体の測定に切替えうるように形成することができ
る。測定の評価は公知法で行われる。たとえば1つまた
は多数のテレセントリック光線の範囲内に光学的スクリ
ンまたは測定バーがあり、計算機が発生する光パルスに
より測定物体の大きさおよび(または)位置を計算する
ことができる。
可能である。たとえば第3図または第4図のミラーは選
択的に第3図による2次元的測定または第4図による大
きい物体の測定に切替えうるように形成することができ
る。測定の評価は公知法で行われる。たとえば1つまた
は多数のテレセントリック光線の範囲内に光学的スクリ
ンまたは測定バーがあり、計算機が発生する光パルスに
より測定物体の大きさおよび(または)位置を計算する
ことができる。
【図1】本発明の1実施例による装置の光路を示す水平
断面図
断面図
【図2】本発明の1実施例による装置の垂直断面図
【図
3】本発明による装置の1使用例を示す光路図
3】本発明による装置の1使用例を示す光路図
【図4】
本発明による装置のもう1つの使用例を示す光路図
本発明による装置のもう1つの使用例を示す光路図
【図5】本発明による装置のもう1つの使用例を示す光
路図
路図
【図6】本発明による装置のもう1つの使用例を示す光
路図
路図
1 入射光線
2 レーザ
1′ 射出光線
3 ミラー
4 ルング
5 フランジ
6 ボス
7 窓
7′ ウエブ
Claims (4)
- 【請求項1】 一定範囲にわたって平行に偏向する少
なくとも1つのテレセントリック光線を発生する装置に
おいて、支持体、支持体に配置された少なくとも1組の
平行面の内面ミラー;ミラーの片側で支持体を回転可能
に支持する装置を有し、支持装置により支持された支持
体にはその片側に窓が設けられていてかつ該支持体は支
持装置によって支持されていると反対側が開いており;
かつ異なる方向からの複数の光線を回転可能の支持体に
向ける装置を備え;さら射出するテレセントリック光線
を支持体から別個の範囲に反射する固定ミラーを有する
ことを特徴とする少なくとも1つのテレセントリック光
線を発生する装置。 - 【請求項2】 射出する2つのテレセントリック光線
が互いに垂直の方向に偏向され、測定範囲内で交差する
ような配置を有する、請求項1記載の装置。 - 【請求項3】 射出する2つの以上のテレセントリッ
ク光線が、該テレセントリック光線によって走査される
全範囲を拡大するため、互いに隣接する範囲で、互いに
平行に偏向される、請求項1記載の装置。 - 【請求項4】 回転ミラーに入射する光線の方向およ
び支持体の窓は、射出するテレセントリック光線が2つ
の範囲を時間的にずれて交互に通過するように選択また
は寸法定めされ、かつすべてのテレセントリック光線を
受光するため共通の光学系を備えている、請求項1記載
の装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH3671/81A CH658523A5 (de) | 1981-06-04 | 1981-06-04 | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung eines telezentrischen lichtstrahls und anwendung des verfahrens. |
CH3671/81-8 | 1981-06-04 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57093240A Division JPS581120A (ja) | 1981-06-04 | 1982-06-02 | テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04356010A true JPH04356010A (ja) | 1992-12-09 |
JPH07119899B2 JPH07119899B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=4261008
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57093240A Granted JPS581120A (ja) | 1981-06-04 | 1982-06-02 | テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法 |
JP3172300A Expired - Lifetime JPH07119899B2 (ja) | 1981-06-04 | 1991-07-12 | テレセントリック光線を発生する装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57093240A Granted JPS581120A (ja) | 1981-06-04 | 1982-06-02 | テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4444457A (ja) |
JP (2) | JPS581120A (ja) |
AU (1) | AU554732B2 (ja) |
CA (1) | CA1175129A (ja) |
CH (1) | CH658523A5 (ja) |
DE (1) | DE3220790C2 (ja) |
ES (1) | ES512821A0 (ja) |
GB (1) | GB2100467B (ja) |
IT (1) | IT1151256B (ja) |
ZA (1) | ZA823825B (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH674774A5 (ja) * | 1986-04-03 | 1990-07-13 | Zumbach Electronic Ag | |
DE3623318A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Thebock & Feil Gmbh Physikalis | Vorrichtung zum eindimensionalen vermessen eines objektes |
JPS63314515A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-22 | Union Tool Kk | 光学系の平行走査光線発生装置 |
CH683370A5 (de) * | 1992-04-10 | 1994-02-28 | Zumbach Electronic Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Abmessung eines Objekts. |
US5481361A (en) * | 1993-05-19 | 1996-01-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of and device for measuring position coordinates |
US7738121B2 (en) * | 2007-10-23 | 2010-06-15 | Gii Acquisition, Llc | Method and inspection head apparatus for optically measuring geometric dimensions of a part |
DE102008001749A1 (de) | 2008-05-14 | 2009-11-19 | Bühler AG | System und Verfahren zur Mahlgut-Charakterisierung in einer Mahlanlage |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS546377A (en) * | 1977-06-15 | 1979-01-18 | Mitsubishi Electric Corp | Fluorescent lamp device |
JPS55108079A (en) * | 1979-02-14 | 1980-08-19 | Toshiba Corp | Laser scanning unit |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3765774A (en) * | 1972-01-31 | 1973-10-16 | Techmet Co | Optical measuring apparatus |
GB1400253A (en) * | 1972-03-17 | 1975-07-16 | Ti Group Services Ltd | Gauging dimensions |
DE2426331C2 (de) * | 1974-05-29 | 1982-05-06 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Piezoelektrisches Lichtstrahlablenksystem |
JPS5245352A (en) * | 1975-10-07 | 1977-04-09 | Canon Inc | Scanning device |
GB1584452A (en) * | 1977-01-25 | 1981-02-11 | Schumag Gmbh | Optical scanners |
JPS549377A (en) * | 1977-06-23 | 1979-01-24 | Toshiba Corp | Positioning control system |
DE2811411A1 (de) * | 1978-03-16 | 1979-09-20 | Uranit Gmbh | Verfahren und anordnung zur verschiebung der frequenz eines monochromatischen schmalbandigen lichtstrahls |
US4402575A (en) * | 1981-05-01 | 1983-09-06 | Bell & Howell Company | Wideband optical beam deflector |
-
1981
- 1981-06-04 CH CH3671/81A patent/CH658523A5/de not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-05-24 US US06/381,520 patent/US4444457A/en not_active Expired - Lifetime
- 1982-05-28 CA CA000404008A patent/CA1175129A/en not_active Expired
- 1982-06-01 GB GB8215984A patent/GB2100467B/en not_active Expired
- 1982-06-01 IT IT21617/82A patent/IT1151256B/it active
- 1982-06-01 ZA ZA823825A patent/ZA823825B/xx unknown
- 1982-06-01 AU AU84376/82A patent/AU554732B2/en not_active Ceased
- 1982-06-02 JP JP57093240A patent/JPS581120A/ja active Granted
- 1982-06-02 DE DE3220790A patent/DE3220790C2/de not_active Expired
- 1982-06-03 ES ES512821A patent/ES512821A0/es active Granted
-
1991
- 1991-07-12 JP JP3172300A patent/JPH07119899B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS546377A (en) * | 1977-06-15 | 1979-01-18 | Mitsubishi Electric Corp | Fluorescent lamp device |
JPS55108079A (en) * | 1979-02-14 | 1980-08-19 | Toshiba Corp | Laser scanning unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES8304671A1 (es) | 1983-03-01 |
JPH07119899B2 (ja) | 1995-12-20 |
CH658523A5 (de) | 1986-11-14 |
AU554732B2 (en) | 1986-09-04 |
JPH0529887B2 (ja) | 1993-05-06 |
US4444457A (en) | 1984-04-24 |
DE3220790A1 (de) | 1982-12-23 |
GB2100467B (en) | 1984-10-24 |
IT1151256B (it) | 1986-12-17 |
ZA823825B (en) | 1983-03-30 |
CA1175129A (en) | 1984-09-25 |
IT8221617A0 (it) | 1982-06-01 |
GB2100467A (en) | 1982-12-22 |
ES512821A0 (es) | 1983-03-01 |
AU8437682A (en) | 1982-12-09 |
DE3220790C2 (de) | 1986-04-10 |
JPS581120A (ja) | 1983-01-06 |
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