JPH07119899B2 - テレセントリック光線を発生する装置 - Google Patents
テレセントリック光線を発生する装置Info
- Publication number
- JPH07119899B2 JPH07119899B2 JP3172300A JP17230091A JPH07119899B2 JP H07119899 B2 JPH07119899 B2 JP H07119899B2 JP 3172300 A JP3172300 A JP 3172300A JP 17230091 A JP17230091 A JP 17230091A JP H07119899 B2 JPH07119899 B2 JP H07119899B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- rays
- telecentric
- mirror
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一定範囲にわたって平
行に偏向する少なくとも１つのテレセントリック光線を
発生する装置に関する。
行に偏向する少なくとも１つのテレセントリック光線を
発生する装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】かかる装置において
は、比較的小さい寸法の簡単な部材によって大きい範囲
にわたる光線の偏向を達成しなければならないという課
題が存在する。
は、比較的小さい寸法の簡単な部材によって大きい範囲
にわたる光線の偏向を達成しなければならないという課
題が存在する。
【０００３】
【課題を解決するための手段】この課題は、本発明によ
れば請求項１記載の特徴により、装置が支持体、支持体
に配置された少なくとも１組の平行面の内面ミラー；ミ
ラーの片側で支持体を回転可能に支持する装置；支持装
置により支持された支持体にはその片側に窓が設けられ
ていて、該支持体は支持装置によて支持されていると反
対側が開いており；かつ異なる方向からの複数の光線を
回転可能の支持体に向ける装置を備え；さらに射出する
テレセントリック光線を支持体から別個の範囲に反射す
る固定ミラーを有することによって達成される。
れば請求項１記載の特徴により、装置が支持体、支持体
に配置された少なくとも１組の平行面の内面ミラー；ミ
ラーの片側で支持体を回転可能に支持する装置；支持装
置により支持された支持体にはその片側に窓が設けられ
ていて、該支持体は支持装置によて支持されていると反
対側が開いており；かつ異なる方向からの複数の光線を
回転可能の支持体に向ける装置を備え；さらに射出する
テレセントリック光線を支持体から別個の範囲に反射す
る固定ミラーを有することによって達成される。
【０００４】次に、本発明を図面により説明する。
【０００５】
【実施例】第１図および第２図は、本発明の理解を容易
にするのに役立つ参考図である。
にするのに役立つ参考図である。
【０００６】第１図はレーザ２からなる入射光線１を示
し、この入射光線１はその光軸に対し偏向Ｈを有するテ
レセントリック射出光線１′として偏向される。この偏
向は正方形の回転ミラー系により行われ。各２つの平行
に相対するミラー面３の距離はＳである。回転ミラー３
はフランジ５およびボス６と１体に形成されたリング４
内に挿入される。部分４〜６はミラー３の支持体を形成
する。ボス６は正確に一定の角速度でたとえば同期モー
タまたはパルスモータによって駆動される図示されてい
ない軸と結合する。このような駆動装置は公知であり、
本発明の対象ではない。部分４，５および６からなる支
持体は部分４と５の間に互いに直角の４つの切欠を有
し、その範囲にスリット状の窓７がウエブ７′の間に形
成し、この窓から第２図に示すように入射光線１が入射
する。支持体４，５，６の軸は入射光線１および射出光
線１′の光軸に対して傾斜し、したがってミラー面３も
傾斜する。それによって第２図に示すようにジグザグ形
光路が発生し、その際光線はそれぞれ２つの相対するミ
ラー面３で反射される。反射の状態は第１図に示され
る。この図によりミラー系の一定の回転角に対し入射光
線および反射光線の光軸に対し２つのミラーが垂直、２
つのミラーが平行にあるゼロ位置から、入射光線１が後
方にあるミラー面で２αの角度で反射され、次に後方に
ある有効ミラー面でも同じ２αの角度で反射されること
が明かである。それゆえ射出光線はつねに入射光線の軸
と正確に平行に射出し、ミラー面がたとえば第１図に矢
印で示す時計方向に連続的に回転する際繰返し下から上
へ運動する。第１図から明かなように偏向は Ｈ＝２Ｓ・ｓｉｎα であり、ここにＳは相対するミラー面３の間の距離であ
る。
し、この入射光線１はその光軸に対し偏向Ｈを有するテ
レセントリック射出光線１′として偏向される。この偏
向は正方形の回転ミラー系により行われ。各２つの平行
に相対するミラー面３の距離はＳである。回転ミラー３
はフランジ５およびボス６と１体に形成されたリング４
内に挿入される。部分４〜６はミラー３の支持体を形成
する。ボス６は正確に一定の角速度でたとえば同期モー
タまたはパルスモータによって駆動される図示されてい
ない軸と結合する。このような駆動装置は公知であり、
本発明の対象ではない。部分４，５および６からなる支
持体は部分４と５の間に互いに直角の４つの切欠を有
し、その範囲にスリット状の窓７がウエブ７′の間に形
成し、この窓から第２図に示すように入射光線１が入射
する。支持体４，５，６の軸は入射光線１および射出光
線１′の光軸に対して傾斜し、したがってミラー面３も
傾斜する。それによって第２図に示すようにジグザグ形
光路が発生し、その際光線はそれぞれ２つの相対するミ
ラー面３で反射される。反射の状態は第１図に示され
る。この図によりミラー系の一定の回転角に対し入射光
線および反射光線の光軸に対し２つのミラーが垂直、２
つのミラーが平行にあるゼロ位置から、入射光線１が後
方にあるミラー面で２αの角度で反射され、次に後方に
ある有効ミラー面でも同じ２αの角度で反射されること
が明かである。それゆえ射出光線はつねに入射光線の軸
と正確に平行に射出し、ミラー面がたとえば第１図に矢
印で示す時計方向に連続的に回転する際繰返し下から上
へ運動する。第１図から明かなように偏向は Ｈ＝２Ｓ・ｓｉｎα であり、ここにＳは相対するミラー面３の間の距離であ
る。
【０００７】上記により第１図および第２図の装置がき
わめて簡単な要素たとえば平面ミラーから形成され、こ
の部材によりきわめて簡単な函数による射出光線の運動
が生ずることは容易に明らかである。この数学的関係
は、簡単な条件が充足される場合、すなわち回転ミラー
系の回転軸が入射光線１の光軸にあり、ミラー面がこの
軸に対し正確に対称にかつ平行に配置され、ミラー系の
回転角を正確に検出しうる場合、非常に正確である。
わめて簡単な要素たとえば平面ミラーから形成され、こ
の部材によりきわめて簡単な函数による射出光線の運動
が生ずることは容易に明らかである。この数学的関係
は、簡単な条件が充足される場合、すなわち回転ミラー
系の回転軸が入射光線１の光軸にあり、ミラー面がこの
軸に対し正確に対称にかつ平行に配置され、ミラー系の
回転角を正確に検出しうる場合、非常に正確である。
【０００８】第１図および第２図の実施例の重要な利点
はミラー系が回転軸に対し線対称に形成され、したがっ
て釣合っていることにある。同様の対称系は２つまたは
４つ以上のミラー面が任意の多角形配置で存在する場合
に得られる。しかし２つまたは４つのミラーを有する実
施例がもっと多数のミラー面を有する系に比して偏向し
たテレセントリック光線または光束の振幅がミラー系の
与えられた寸法に対し最大になる利点を有する。
はミラー系が回転軸に対し線対称に形成され、したがっ
て釣合っていることにある。同様の対称系は２つまたは
４つ以上のミラー面が任意の多角形配置で存在する場合
に得られる。しかし２つまたは４つのミラーを有する実
施例がもっと多数のミラー面を有する系に比して偏向し
たテレセントリック光線または光束の振幅がミラー系の
与えられた寸法に対し最大になる利点を有する。
【０００９】第１図のミラー３にミラー系の回転軸内の
１つの平面ミラーが相対するもう１つの実施例が可能で
ある。光線はこのようなミラーによって図示のミラー系
と同様に反射されるけれど、横の偏向が全体で半分の大
きさであり、回転ミラー系の釣合をとることが必要にな
る。
１つの平面ミラーが相対するもう１つの実施例が可能で
ある。光線はこのようなミラーによって図示のミラー系
と同様に反射されるけれど、横の偏向が全体で半分の大
きさであり、回転ミラー系の釣合をとることが必要にな
る。
【００１０】本発明による装置はその使用例が第３図〜
第６図に示されている。
第６図に示されている。
【００１１】第３図は使用法を示し、この場合互いに垂
直の２つの光軸方向のテレセントリック光線を得るた
め、さらに他のミラーが配置される。第１図および第２
図と同じ部分は同じ番号で示す。光源２の光線は半透明
ミラー３０で２つの光線１ａおよび１ｂに分割され、こ
れらの光線はさらにミラー３１および３２で正方形回転
ミラー系３に送られる。光線はそこからさらにミラー３
３および３４を介して測定物体３５が存在する測定範囲
に達する。テレセントリック光線１ａおよび１ｂは測定
範囲で互いに直交し、したがって物体を２次元的に検出
することができる。レンズ３６および３７により光線は
ホトセルまたはダイオード３８および３９に集光し、こ
れらから電気信号が評価のため計算装置へ送られる。光
線のフエードアウトおよびフエードインの瞬間にそれぞ
れミラー系３が存在する角位値が確認され、その際記憶
させた簡単なサイン函数により光軸に対するどの位置で
フエードアウトおよびフエードインが行われたかを求め
ることができる。それによって物体の寸法および位置を
測定するこができる。矢印は光線の進行方向を示す。
直の２つの光軸方向のテレセントリック光線を得るた
め、さらに他のミラーが配置される。第１図および第２
図と同じ部分は同じ番号で示す。光源２の光線は半透明
ミラー３０で２つの光線１ａおよび１ｂに分割され、こ
れらの光線はさらにミラー３１および３２で正方形回転
ミラー系３に送られる。光線はそこからさらにミラー３
３および３４を介して測定物体３５が存在する測定範囲
に達する。テレセントリック光線１ａおよび１ｂは測定
範囲で互いに直交し、したがって物体を２次元的に検出
することができる。レンズ３６および３７により光線は
ホトセルまたはダイオード３８および３９に集光し、こ
れらから電気信号が評価のため計算装置へ送られる。光
線のフエードアウトおよびフエードインの瞬間にそれぞ
れミラー系３が存在する角位値が確認され、その際記憶
させた簡単なサイン函数により光軸に対するどの位置で
フエードアウトおよびフエードインが行われたかを求め
ることができる。それによって物体の寸法および位置を
測定するこができる。矢印は光線の進行方向を示す。
【００１２】第４図はもう１つの使用例を示す。光線１
は半透明ミラー４１によって光線１ａおよび１ｂに分割
され、ミラー４２および４３を介して回転ミラー系３へ
送られる。テレセントリック射出光線ミラー４４および
４５を介して測定物体４６が存在する測定範囲へ達す
る。テレセントリック光線の範囲は互いに一定の距離だ
け離れている。光線１ａおよび１ｂのミラー系３への入
射方向およびウエブ７′間の窓７の幅は時間的に交互に
ずれてテレセントリック光線１ａまたは１ｂが測定範囲
に達するように選ばれる。それゆえ１つの同じ集光レン
ズ４７により２つの光線を共通のホトセル４８へ集光
し、このホトセルからすべての所要信号を計算機に送る
こともできる。第４図の実施例によれば与えられた回転
ミラー系３の寸法に対し第１および２図実施例の２倍の
大きさの物体を測定することができる。しかしこの装置
により任意に小さい物体を測定することもでき、その際
この物体はテレセントリック光線の１つ（１ａまたは１
ｂ）の範囲の中心に配置され、計算機はそれに応ずる評
価のため切替えられる。
は半透明ミラー４１によって光線１ａおよび１ｂに分割
され、ミラー４２および４３を介して回転ミラー系３へ
送られる。テレセントリック射出光線ミラー４４および
４５を介して測定物体４６が存在する測定範囲へ達す
る。テレセントリック光線の範囲は互いに一定の距離だ
け離れている。光線１ａおよび１ｂのミラー系３への入
射方向およびウエブ７′間の窓７の幅は時間的に交互に
ずれてテレセントリック光線１ａまたは１ｂが測定範囲
に達するように選ばれる。それゆえ１つの同じ集光レン
ズ４７により２つの光線を共通のホトセル４８へ集光
し、このホトセルからすべての所要信号を計算機に送る
こともできる。第４図の実施例によれば与えられた回転
ミラー系３の寸法に対し第１および２図実施例の２倍の
大きさの物体を測定することができる。しかしこの装置
により任意に小さい物体を測定することもでき、その際
この物体はテレセントリック光線の１つ（１ａまたは１
ｂ）の範囲の中心に配置され、計算機はそれに応ずる評
価のため切替えられる。
【００１３】第５図はさらに他の使用例を示す。光線１
は第１半透明ミラー５１により光線の1/3が光線１ｃと
して直接回転ミラー系３に当る。ミラー５１を透過した
2/3の光線はほぼ第４図に相当する案内により前方から
ミラー系３へ入る。テレセントリック光線１ａ〜１ｃは
直線またはミラー５２および５３を介して互いに平行に
射出し、それによって測定範囲はミラー系の寸法に対し
３倍になり、大きい物体５４を測定することが可能にな
る。第５図による実施例でテレセントリック光線を時間
的に順次に発生させることが不可能な場合、各テレセン
トリック光線の範囲に第５図に示すように集光レンズ５
５および光電変換器５６を配置される。
は第１半透明ミラー５１により光線の1/3が光線１ｃと
して直接回転ミラー系３に当る。ミラー５１を透過した
2/3の光線はほぼ第４図に相当する案内により前方から
ミラー系３へ入る。テレセントリック光線１ａ〜１ｃは
直線またはミラー５２および５３を介して互いに平行に
射出し、それによって測定範囲はミラー系の寸法に対し
３倍になり、大きい物体５４を測定することが可能にな
る。第５図による実施例でテレセントリック光線を時間
的に順次に発生させることが不可能な場合、各テレセン
トリック光線の範囲に第５図に示すように集光レンズ５
５および光電変換器５６を配置される。
【００１４】第６図は本発明による装置による装置のも
う１つの使用例を示し、第１及び２図と同じ部分は同じ
記号で示す。入射光線１はケーシング１５内の空間を最
大に利用するため反射ミラー１６を介して回転ミラー系
３に達し、反射された光線１′はケーシング１５の光学
窓１７を通って物体１９の表面１８へ一定の傾斜角で当
る。ケーシング内に配置された光学系２１を有する受光
器２０は光線１′が光軸２２内の特定位置へ当る場合に
応答する。第６図には光線１′がミラー系３の回転に対
し、物体１９またはその表面１８が光学系２１から近く
または遠く離れているかに応じて異なる瞬間に、光軸２
２内の前記特定位置に達することが示される。したがっ
て光線１′が表面１８の一定位置へ当る際の時点または
瞬間的回転角から物体１９またはその表面１８の位置を
推論することができる。この位置の計算は入力情報とし
てミラー系の回転角を入力する計算機によって簡単に行
われる。その際光線１′は表面１８が位置ａ1またはａ2
にあるかに応じて回転角α1またはα2で表面の前記位置
に達することが確認される。計算機は簡単なサイン函数
により表面１８がどの位置にあるかを求めることができ
る。測定装置の幾何学的条件からそれゆえ計算機の固有
の較正なしに、ただちに換算した正しい測定値を得るよ
うにプログラミングまたは調節することができる。
う１つの使用例を示し、第１及び２図と同じ部分は同じ
記号で示す。入射光線１はケーシング１５内の空間を最
大に利用するため反射ミラー１６を介して回転ミラー系
３に達し、反射された光線１′はケーシング１５の光学
窓１７を通って物体１９の表面１８へ一定の傾斜角で当
る。ケーシング内に配置された光学系２１を有する受光
器２０は光線１′が光軸２２内の特定位置へ当る場合に
応答する。第６図には光線１′がミラー系３の回転に対
し、物体１９またはその表面１８が光学系２１から近く
または遠く離れているかに応じて異なる瞬間に、光軸２
２内の前記特定位置に達することが示される。したがっ
て光線１′が表面１８の一定位置へ当る際の時点または
瞬間的回転角から物体１９またはその表面１８の位置を
推論することができる。この位置の計算は入力情報とし
てミラー系の回転角を入力する計算機によって簡単に行
われる。その際光線１′は表面１８が位置ａ1またはａ2
にあるかに応じて回転角α1またはα2で表面の前記位置
に達することが確認される。計算機は簡単なサイン函数
により表面１８がどの位置にあるかを求めることができ
る。測定装置の幾何学的条件からそれゆえ計算機の固有
の較正なしに、ただちに換算した正しい測定値を得るよ
うにプログラミングまたは調節することができる。
【００１５】もちろん変向装置の他の形成および使用も
可能である。たとえば第３図または第４図のミラーは選
択的に第３図による２次元的測定または第４図による大
きい物体の測定に切替えうるように形成することができ
る。測定の評価は公知法で行われる。たとえば１つまた
は多数のテレセントリック光線の範囲内に光学的スクリ
ンまたは測定バーがあり、計算機が発生する光パルスに
より測定物体の大きさおよび（または）位置を計算する
ことができる。
可能である。たとえば第３図または第４図のミラーは選
択的に第３図による２次元的測定または第４図による大
きい物体の測定に切替えうるように形成することができ
る。測定の評価は公知法で行われる。たとえば１つまた
は多数のテレセントリック光線の範囲内に光学的スクリ
ンまたは測定バーがあり、計算機が発生する光パルスに
より測定物体の大きさおよび（または）位置を計算する
ことができる。
【図１】本発明の１実施例による装置の光路を示す水平
断面図
断面図
【図２】本発明の１実施例による装置の垂直断面図
【図３】本発明による装置の１使用例を示す光路図
【図４】本発明による装置のもう１つの使用例を示す光
路図
路図
【図５】本発明による装置のもう１つの使用例を示す光
路図
路図
【図６】本発明による装置のもう１つの使用例を示す光
路図
路図
１ 入射光線 ２ レーザ １′ 射出光線 ３ ミラー ４ ルング ５ フランジ ６ ボス ７ 窓 ７′ ウエブ
Claims (2)
- 【請求項１】 少なくとも１組の平行平面の内面ミラー
を有する支持体；支持体を片側で回転可能に支持する装
置を有し；支持体は支持装置により支持された側に窓を
備えかつ支持装置により支持されているのと反対側が開
いており；種々の方向からの複数の光線を回転可能の支
持体に向ける装置を備え；さらに支持体から射出するテ
レセントリック光線（１ａ，１ｂ）を反射する複数の、
光線の数に等しい複数の固定ミラー（４４，４５）を有
し、支持体から射出するテレセントリック光線は互いに
隣接する範囲で互いに平行に偏向され；回転ミラーに入
射する光線の方向および支持体の窓は、射出するテレセ
ントリック光線が２つの範囲を時間的にずれて交互に通
過するように選択または寸法定めされ；かつすべてのテ
レセントリック光線を受光するため共通の光学系を備え
ていることを特徴とする少なくとも１つのテレセントリ
ック光線を発生する装置。 - 【請求項２】 少なくとも１組の平行平面の内面ミラー
を有する支持体；支持体を片側で回転可能に支持する装
置を有し；支持体は支持装置により支持された側に窓を
備えかつ支持装置により支持されているのと反対側が開
いており；種々の方向からの複数の光線を回転可能の支
持体に向ける装置を備え；さらに支持体から射出するテ
レセントリック光線（１ａ，１ｂ，１ｃ）を反射する複
数の、光線の数に等しい複数の固定ミラー（５２，５
３）を有し、支持体から射出するテレセントリック光線
は互いに隣接する範囲で互いに平行に偏向され；かつ各
テレセントリック光線を受光するため複数の光学系を備
えていることを特徴とする少なくとも１つのテレセント
リック光線を発生する装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH3671/81A CH658523A5 (de) | 1981-06-04 | 1981-06-04 | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung eines telezentrischen lichtstrahls und anwendung des verfahrens. |
| CH3671/81-8 | 1981-06-04 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57093240A Division JPS581120A (ja) | 1981-06-04 | 1982-06-02 | テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04356010A JPH04356010A (ja) | 1992-12-09 |
| JPH07119899B2 true JPH07119899B2 (ja) | 1995-12-20 |
Family
ID=4261008
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57093240A Granted JPS581120A (ja) | 1981-06-04 | 1982-06-02 | テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法 |
| JP3172300A Expired - Lifetime JPH07119899B2 (ja) | 1981-06-04 | 1991-07-12 | テレセントリック光線を発生する装置 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57093240A Granted JPS581120A (ja) | 1981-06-04 | 1982-06-02 | テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4444457A (ja) |
| JP (2) | JPS581120A (ja) |
| AU (1) | AU554732B2 (ja) |
| CA (1) | CA1175129A (ja) |
| CH (1) | CH658523A5 (ja) |
| DE (1) | DE3220790C2 (ja) |
| ES (1) | ES512821A0 (ja) |
| GB (1) | GB2100467B (ja) |
| IT (1) | IT1151256B (ja) |
| ZA (1) | ZA823825B (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH674774A5 (ja) * | 1986-04-03 | 1990-07-13 | Zumbach Electronic Ag | |
| DE3623318A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Thebock & Feil Gmbh Physikalis | Vorrichtung zum eindimensionalen vermessen eines objektes |
| JPS63314515A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-22 | Union Tool Kk | 光学系の平行走査光線発生装置 |
| CH683370A5 (de) * | 1992-04-10 | 1994-02-28 | Zumbach Electronic Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Abmessung eines Objekts. |
| US5481361A (en) * | 1993-05-19 | 1996-01-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of and device for measuring position coordinates |
| US7738121B2 (en) * | 2007-10-23 | 2010-06-15 | Gii Acquisition, Llc | Method and inspection head apparatus for optically measuring geometric dimensions of a part |
| DE102008001749A1 (de) * | 2008-05-14 | 2009-11-19 | Bühler AG | System und Verfahren zur Mahlgut-Charakterisierung in einer Mahlanlage |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3765774A (en) * | 1972-01-31 | 1973-10-16 | Techmet Co | Optical measuring apparatus |
| GB1400253A (en) * | 1972-03-17 | 1975-07-16 | Ti Group Services Ltd | Gauging dimensions |
| DE2426331C2 (de) * | 1974-05-29 | 1982-05-06 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Piezoelektrisches Lichtstrahlablenksystem |
| JPS5245352A (en) * | 1975-10-07 | 1977-04-09 | Canon Inc | Scanning device |
| GB1584452A (en) * | 1977-01-25 | 1981-02-11 | Schumag Gmbh | Optical scanners |
| JPS546377A (en) * | 1977-06-15 | 1979-01-18 | Mitsubishi Electric Corp | Fluorescent lamp device |
| JPS549377A (en) * | 1977-06-23 | 1979-01-24 | Toshiba Corp | Positioning control system |
| DE2811411A1 (de) * | 1978-03-16 | 1979-09-20 | Uranit Gmbh | Verfahren und anordnung zur verschiebung der frequenz eines monochromatischen schmalbandigen lichtstrahls |
| JPS55108079A (en) * | 1979-02-14 | 1980-08-19 | Toshiba Corp | Laser scanning unit |
| US4402575A (en) * | 1981-05-01 | 1983-09-06 | Bell & Howell Company | Wideband optical beam deflector |
-
1981
- 1981-06-04 CH CH3671/81A patent/CH658523A5/de not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-05-24 US US06/381,520 patent/US4444457A/en not_active Expired - Lifetime
- 1982-05-28 CA CA000404008A patent/CA1175129A/en not_active Expired
- 1982-06-01 ZA ZA823825A patent/ZA823825B/xx unknown
- 1982-06-01 GB GB8215984A patent/GB2100467B/en not_active Expired
- 1982-06-01 AU AU84376/82A patent/AU554732B2/en not_active Ceased
- 1982-06-01 IT IT21617/82A patent/IT1151256B/it active
- 1982-06-02 JP JP57093240A patent/JPS581120A/ja active Granted
- 1982-06-02 DE DE3220790A patent/DE3220790C2/de not_active Expired
- 1982-06-03 ES ES512821A patent/ES512821A0/es active Granted
-
1991
- 1991-07-12 JP JP3172300A patent/JPH07119899B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| ZA823825B (en) | 1983-03-30 |
| GB2100467B (en) | 1984-10-24 |
| ES8304671A1 (es) | 1983-03-01 |
| GB2100467A (en) | 1982-12-22 |
| CH658523A5 (de) | 1986-11-14 |
| DE3220790C2 (de) | 1986-04-10 |
| IT8221617A0 (it) | 1982-06-01 |
| US4444457A (en) | 1984-04-24 |
| JPH04356010A (ja) | 1992-12-09 |
| JPH0529887B2 (ja) | 1993-05-06 |
| CA1175129A (en) | 1984-09-25 |
| AU554732B2 (en) | 1986-09-04 |
| JPS581120A (ja) | 1983-01-06 |
| AU8437682A (en) | 1982-12-09 |
| DE3220790A1 (de) | 1982-12-23 |
| IT1151256B (it) | 1986-12-17 |
| ES512821A0 (es) | 1983-03-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11336074B2 (en) | LIDAR sensor system with small form factor | |
| CN110325877B (zh) | 用于支持激光雷达应用的系统和方法 | |
| US6879384B2 (en) | Process and apparatus for measuring an object space | |
| US4355904A (en) | Optical inspection device for measuring depthwise variations from a focal plane | |
| US4005926A (en) | Scanning device | |
| JPS61200409A (ja) | 透明物体の壁厚測定方法及び装置 | |
| JPH07119899B2 (ja) | テレセントリック光線を発生する装置 | |
| JPH0652170B2 (ja) | 光結像式非接触位置測定装置 | |
| EP0112374B1 (en) | Beam scanning apparatus | |
| US4063814A (en) | Optical scanner | |
| US5587787A (en) | Process for measuring relative angles | |
| JPH0914935A (ja) | ３次元物体の測定装置 | |
| JP3250627B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| NL8503182A (nl) | Inrichting voor het langs optische weg meten van een oppervlakteprofiel. | |
| US3917409A (en) | Optical apparatus for determining focus | |
| JPH07504750A (ja) | 光放射測定方法および装置 | |
| US4256958A (en) | Apparatus for monitoring the optical quality of a beam of radiation | |
| JP2788281B2 (ja) | 遠隔変位測定装置 | |
| JP2992075B2 (ja) | 光ビームの走査装置 | |
| JPH0611341A (ja) | 光学式距離測定装置 | |
| JP2674129B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| JPH07218633A (ja) | 距離測定装置 | |
| JP3309537B2 (ja) | フーリエ変換分光光度計 | |
| JPH02276908A (ja) | 三次元位置認識装置 | |
| JPS60138404A (ja) | 光点距離測定装置 |