JPH0529887B2 - - Google Patents
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- JPH0529887B2 JPH0529887B2 JP57093240A JP9324082A JPH0529887B2 JP H0529887 B2 JPH0529887 B2 JP H0529887B2 JP 57093240 A JP57093240 A JP 57093240A JP 9324082 A JP9324082 A JP 9324082A JP H0529887 B2 JPH0529887 B2 JP H0529887B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- telecentric
- mirror
- light beam
- light
- Prior art date
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Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
- G02B5/09—Multifaceted or polygonal mirrors, e.g. polygonal scanning mirrors; Fresnel mirrors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、物体の寸法または位置を測定する方
法に関する。本発明の目的は、一定範囲にわたつ
て平行に偏向されるテレセントリツク光線発生装
置の使用下に物体の寸法または位置を測定する方
法を提供することである。この場合、テレセント
リツク光線発生装置は、寸法の比較的小さい簡単
な部材によつて光線の偏向を大きい範囲にわたつ
て達成しなければならない。少なくとも１組の回
転する平行平面ミラーを有する偏向装置によれ
ば、光線の偏向は簡単な関数、とくに正弦関数に
従つて行われる。この目的は、少なくとも１組の
平行平面の内面ミラーを有する支持体；支持体を
片側で回転可能に支持する装置を有し；支持体は
支持装置により支持された側に窓を備えかつ支持
装置により支持されているのと反対側が開いてお
り；種々の方向からの複数の光線を回転可能の支
持体に向ける装置を備え；さらに支持体から射出
するテレセントリツク光線を反射する複数の、光
線の数に等しいか、それより少ない固定ミラーを
有する、少なくとも１つのテレセントリツク光線
を発生する装置を使用し、物体をテレセントリツ
ク光線が偏向される特定範囲に導入し、支持体を
回転して光線を偏向させ、光線が物体の少なくと
も１つの一定位置にある時点ないしは回転する支
持体の回転角を求め、計算機を使用して、少なく
とも１つの時点ないしは少なくとも１つの角位置
から簡単な計算により、上記の少なくとも１つの
一定位置にある光線の位置、すなわち物体の寸法
または位置を計算することによつて達成される。
本発明の望ましい実施形によれば、光線を物体の
表面に対し所定の角度で向け、光線が物体の表面
の一定位置を通過する時点ないしはその際の回転
角から、物体の寸法または物体の位置を決定す
る。
法に関する。本発明の目的は、一定範囲にわたつ
て平行に偏向されるテレセントリツク光線発生装
置の使用下に物体の寸法または位置を測定する方
法を提供することである。この場合、テレセント
リツク光線発生装置は、寸法の比較的小さい簡単
な部材によつて光線の偏向を大きい範囲にわたつ
て達成しなければならない。少なくとも１組の回
転する平行平面ミラーを有する偏向装置によれ
ば、光線の偏向は簡単な関数、とくに正弦関数に
従つて行われる。この目的は、少なくとも１組の
平行平面の内面ミラーを有する支持体；支持体を
片側で回転可能に支持する装置を有し；支持体は
支持装置により支持された側に窓を備えかつ支持
装置により支持されているのと反対側が開いてお
り；種々の方向からの複数の光線を回転可能の支
持体に向ける装置を備え；さらに支持体から射出
するテレセントリツク光線を反射する複数の、光
線の数に等しいか、それより少ない固定ミラーを
有する、少なくとも１つのテレセントリツク光線
を発生する装置を使用し、物体をテレセントリツ
ク光線が偏向される特定範囲に導入し、支持体を
回転して光線を偏向させ、光線が物体の少なくと
も１つの一定位置にある時点ないしは回転する支
持体の回転角を求め、計算機を使用して、少なく
とも１つの時点ないしは少なくとも１つの角位置
から簡単な計算により、上記の少なくとも１つの
一定位置にある光線の位置、すなわち物体の寸法
または位置を計算することによつて達成される。
本発明の望ましい実施形によれば、光線を物体の
表面に対し所定の角度で向け、光線が物体の表面
の一定位置を通過する時点ないしはその際の回転
角から、物体の寸法または物体の位置を決定す
る。
次に本発明を図面により説明する。
第１図および第２図には、本発明において使用
する装置の実施例が示されている。
する装置の実施例が示されている。
第１図は、レーザ発生器２から来る光線１を示
し、この入射光線１はその光軸に対し偏位Ｈを有
するテレセントリツク射出光線１′として偏向さ
せる。この偏向は正方形の回転ミラー系により行
われる。各２つの平行に相対するミラー面３の相
互間距離はＳである。回転ミラー３はフランジ５
およびボス６と一体に形成されたリング４内に挿
入されている。部材４〜６はミラー３の支持体を
形成する。ボス６は正確に一定の角速度でたとえ
ば同期モータまたはパルスモータによつて駆動さ
れうる図示されていない軸と結合している。この
ような駆動装置は公知であり、本発明の対象では
ない。部材４，５および６からなる支持体は部材
４と５の間に互いに直角の４つの切欠を有し、そ
の範囲内にスリツト状の窓７がウエブ７′の間に
形成し、この窓から第２図に示すように入射光線
１が入射する。支持体４，５，６の軸は入射光線
１および射出光線１′の光軸に対して傾斜し、し
たがつてミラー面３も相当する傾斜を有する。そ
れによつて第２図に示すように、ジグザグ形光路
が形成し、その際光線はそれぞれ２つの相対する
ミラー面３で反射される。反射の状態は第１図に
示されている。この図により、ミラー系の一定の
回転角に対し、入射光線および反射光線の光軸に
対し２つのミラーが垂直、２つのミラーが平行に
あるゼロ位置から、入射光線１が後方にあるミラ
ー面で2αの角度で反射され、次に後方にある有
効ミラー面でも同じ2αの角度で反射させること
が明らかである。それゆえ、射出光線はつねに入
射光線の軸と正確に平行に射出し、ミラー面がた
とえば第１図に矢印で示す時計方向に連続的に回
転する際繰返し下から上へ運動する。第１図から
明らかなように偏向は Ｈ＝2S・sinα であり、ここにＳは相対するミラー面３の相互間
距離である。
し、この入射光線１はその光軸に対し偏位Ｈを有
するテレセントリツク射出光線１′として偏向さ
せる。この偏向は正方形の回転ミラー系により行
われる。各２つの平行に相対するミラー面３の相
互間距離はＳである。回転ミラー３はフランジ５
およびボス６と一体に形成されたリング４内に挿
入されている。部材４〜６はミラー３の支持体を
形成する。ボス６は正確に一定の角速度でたとえ
ば同期モータまたはパルスモータによつて駆動さ
れうる図示されていない軸と結合している。この
ような駆動装置は公知であり、本発明の対象では
ない。部材４，５および６からなる支持体は部材
４と５の間に互いに直角の４つの切欠を有し、そ
の範囲内にスリツト状の窓７がウエブ７′の間に
形成し、この窓から第２図に示すように入射光線
１が入射する。支持体４，５，６の軸は入射光線
１および射出光線１′の光軸に対して傾斜し、し
たがつてミラー面３も相当する傾斜を有する。そ
れによつて第２図に示すように、ジグザグ形光路
が形成し、その際光線はそれぞれ２つの相対する
ミラー面３で反射される。反射の状態は第１図に
示されている。この図により、ミラー系の一定の
回転角に対し、入射光線および反射光線の光軸に
対し２つのミラーが垂直、２つのミラーが平行に
あるゼロ位置から、入射光線１が後方にあるミラ
ー面で2αの角度で反射され、次に後方にある有
効ミラー面でも同じ2αの角度で反射させること
が明らかである。それゆえ、射出光線はつねに入
射光線の軸と正確に平行に射出し、ミラー面がた
とえば第１図に矢印で示す時計方向に連続的に回
転する際繰返し下から上へ運動する。第１図から
明らかなように偏向は Ｈ＝2S・sinα であり、ここにＳは相対するミラー面３の相互間
距離である。
上記により第１図および２図の装置がきわめて
簡単な要素、たとえば平面ミラーから構成されて
いて、この部材によりきわめて簡単な関数による
射出光線の運動が生ずることは容易に明らかであ
る。この数学的関係は簡単な条件が充足される場
合、すなわち回転ミラー系の回転軸が入射光線１
の光軸にあり、ミラー面がこの軸に対し正確に対
称にかつ平行に配置され、ミラー系の回転角を正
確に検出しうる場合、非常に正確である。
簡単な要素、たとえば平面ミラーから構成されて
いて、この部材によりきわめて簡単な関数による
射出光線の運動が生ずることは容易に明らかであ
る。この数学的関係は簡単な条件が充足される場
合、すなわち回転ミラー系の回転軸が入射光線１
の光軸にあり、ミラー面がこの軸に対し正確に対
称にかつ平行に配置され、ミラー系の回転角を正
確に検出しうる場合、非常に正確である。
第１図および第２図の参考図による実施例の重
要な利点はミラー系が回転軸に対し線対称に形成
され、したがつて釣合つていることにある。同様
の対称系は２つまた４つ以上のミラー面が任意の
多角形配置で存在する場合に得られる。しかし２
つまたは４つのミラーを有する実施例は、もつと
多数のミラー面を有する系に比して、偏向したテ
レセントリツク光線または光束の振幅がミラー系
の与えられた寸法に対し最大になる利点を有す
る。
要な利点はミラー系が回転軸に対し線対称に形成
され、したがつて釣合つていることにある。同様
の対称系は２つまた４つ以上のミラー面が任意の
多角形配置で存在する場合に得られる。しかし２
つまたは４つのミラーを有する実施例は、もつと
多数のミラー面を有する系に比して、偏向したテ
レセントリツク光線または光束の振幅がミラー系
の与えられた寸法に対し最大になる利点を有す
る。
第１図のミラー３にミラー系の回転軸内の１つ
の平面ミラーが相対するもう１つの実施例が可能
である。光線はこのようなミラーによつて図示の
ミラー系と同様に反射されるけれど、横の偏向が
全体で半分の大きさであり、回転ミラー系の釣合
をとることが必要になる。
の平面ミラーが相対するもう１つの実施例が可能
である。光線はこのようなミラーによつて図示の
ミラー系と同様に反射されるけれど、横の偏向が
全体で半分の大きさであり、回転ミラー系の釣合
をとることが必要になる。
次に、上述したような装置を使用して物体の寸
法および位置を測定する方法を光路図により説明
する。
法および位置を測定する方法を光路図により説明
する。
第３図においては、互いに垂直な２つの光軸方
向のテレセントリツク光線を得るため、さらに他
のミラーが配置されている。第１図および第２図
と同じ部分は同じ番号で示す。光源２の光線は半
透明ミラー３０で２つの光線１ａおよび１ｂに分
割され、これらの光線はさらにミラー３１および
３２で正方形回転ミラー系３に送られる。光線は
そこからさらにミラー３３および３４を介して測
定物体３５が存在する測定範囲に達する。テレセ
ントリツク光線１ａおよび１ｂは測定範囲で互い
に直交し、したがつて物体を２次元的に検出する
ことができる。レンズ３６および３７により光線
はホトセルまたはダイオード３８および３９に集
光し、これらから電気信号が評価のため計算装置
へ送られる。光線のフエードアウトおよびフエー
ドインの瞬間にそれぞれミラー系３が存在する角
位置が確認され、その際記憶させた簡単な正弦関
数により光軸に対するどの位置でフエードアウト
およびフエードインが行われたかを求めることが
できる。それによつて物体の寸法および位置を測
定することができる。矢印は光線の進行方向を示
す。
向のテレセントリツク光線を得るため、さらに他
のミラーが配置されている。第１図および第２図
と同じ部分は同じ番号で示す。光源２の光線は半
透明ミラー３０で２つの光線１ａおよび１ｂに分
割され、これらの光線はさらにミラー３１および
３２で正方形回転ミラー系３に送られる。光線は
そこからさらにミラー３３および３４を介して測
定物体３５が存在する測定範囲に達する。テレセ
ントリツク光線１ａおよび１ｂは測定範囲で互い
に直交し、したがつて物体を２次元的に検出する
ことができる。レンズ３６および３７により光線
はホトセルまたはダイオード３８および３９に集
光し、これらから電気信号が評価のため計算装置
へ送られる。光線のフエードアウトおよびフエー
ドインの瞬間にそれぞれミラー系３が存在する角
位置が確認され、その際記憶させた簡単な正弦関
数により光軸に対するどの位置でフエードアウト
およびフエードインが行われたかを求めることが
できる。それによつて物体の寸法および位置を測
定することができる。矢印は光線の進行方向を示
す。
第４図はもう１つの実施例を示す。光線１は半
透明ミラー４１によつて光線１ａおよび１ｂに分
割され、ミラー４２および４３を介して回転ミラ
ー系３へ送られる。テレセントリツク射出光線は
ミラー４４および４５を介して測定物体４６が存
在する測定範囲へ達する。テレセントリツク光線
の範囲は互いに一定の距離だけ離れている。光線
１ａおよび１ｂのミラー系３への入射方向および
ウエブ７′間の窓７の幅は時間的に交互にずれて
テレセントリツク光線１ａまたは１ｂが測定範囲
に達するように選ばれる。それゆえ１つの同じ集
光レンズ４７により２つの光線を共通のホトセル
４８へ集光し、このホトセルからすべての所要信
号を計算機に送ることもできる。第４図の実施例
によれば与えられた回転ミラー系３の寸法に対し
第１図および第２図の場合の２倍の大きさの物体
を測定することができる。しかしこの装置により
任意に小さい物体を測定することもでき、その際
この物体はテレセントリツク光線の１つ（１ａま
たは１ｂ）の範囲の中心に配置され、計算機はそ
れに応ずる評価のため切換えられる。
透明ミラー４１によつて光線１ａおよび１ｂに分
割され、ミラー４２および４３を介して回転ミラ
ー系３へ送られる。テレセントリツク射出光線は
ミラー４４および４５を介して測定物体４６が存
在する測定範囲へ達する。テレセントリツク光線
の範囲は互いに一定の距離だけ離れている。光線
１ａおよび１ｂのミラー系３への入射方向および
ウエブ７′間の窓７の幅は時間的に交互にずれて
テレセントリツク光線１ａまたは１ｂが測定範囲
に達するように選ばれる。それゆえ１つの同じ集
光レンズ４７により２つの光線を共通のホトセル
４８へ集光し、このホトセルからすべての所要信
号を計算機に送ることもできる。第４図の実施例
によれば与えられた回転ミラー系３の寸法に対し
第１図および第２図の場合の２倍の大きさの物体
を測定することができる。しかしこの装置により
任意に小さい物体を測定することもでき、その際
この物体はテレセントリツク光線の１つ（１ａま
たは１ｂ）の範囲の中心に配置され、計算機はそ
れに応ずる評価のため切換えられる。
第５図はさらに他の実施例を示す。光線１は第
１半透明ミラー５１により光線の1/3が光線１ｃ
として直接回転ミラー系３に当たる。ミラー５１
を透過した2/3の光線はほぼ第４図に相当する案
内により前方からミラー系３へ入射する。テレセ
ントリツク光線１ａ〜１ｃは直接またはミラー５
２および５３を介して互いに平行に射出し、それ
によつて測定範囲はミラー系の寸法に対し３倍に
なり、大きい物体５４を測定することが可能にな
る。第５図による実施例でテレセントリツク光線
を時間的に順次に発生させることが不可能な場合
には、各テレセントリツク光線の範囲に第５図に
示すように集光レンズ５５および光電変換器５６
を配置することができる。
１半透明ミラー５１により光線の1/3が光線１ｃ
として直接回転ミラー系３に当たる。ミラー５１
を透過した2/3の光線はほぼ第４図に相当する案
内により前方からミラー系３へ入射する。テレセ
ントリツク光線１ａ〜１ｃは直接またはミラー５
２および５３を介して互いに平行に射出し、それ
によつて測定範囲はミラー系の寸法に対し３倍に
なり、大きい物体５４を測定することが可能にな
る。第５図による実施例でテレセントリツク光線
を時間的に順次に発生させることが不可能な場合
には、各テレセントリツク光線の範囲に第５図に
示すように集光レンズ５５および光電変換器５６
を配置することができる。
第６図は第１図および２図の装置を使用する実
施例を示し、第１および２図と同じ部分は同じ番
号で示す。入射光線１はケーシング１５内の空間
を最大に利用するため反射ミラー１６を介して回
転ミラー系３に達し、反射された光線１′はケー
シング１５の光学窓１７を通つて物体１９の表面
１８へ一定の傾斜角で当たる。ケーシング内に配
置された光学系２１を有する受光器２０は光線
１″が光軸２２内の特定位置へ当たる場合に応答
する。第６図には光線１′がミラー系３の回転に
対し、物体１９またはその表面１８が光学系２１
から近いかまたは遠く離れているかに応じて異な
る瞬間に、光軸２２内の前記特定位置に達するこ
とが示されている。したがつて光線１′が表面１
８の一定位置へ当たる際の時点または瞬間的回転
角から物体１９またはその表面１８の位置を推知
することができる。この位置の計算は入力情報と
してミラー系の回転角を入力する計算機によつて
簡単に行われる。その際光線１″は表面１８が位
置a1またはa2にあるかに応じて回転角α1またはα2
で表面の前記位置に達することが確認される。計
算機は簡単な正弦関数により表面１８がどの位置
にあるかを求めることができる。それゆえ、測定
装置の幾何学的条件から計算機の固有の較正なし
に、ただちに換算された正しい測定値を得るよう
にプログラミングまたは調節することができる。
施例を示し、第１および２図と同じ部分は同じ番
号で示す。入射光線１はケーシング１５内の空間
を最大に利用するため反射ミラー１６を介して回
転ミラー系３に達し、反射された光線１′はケー
シング１５の光学窓１７を通つて物体１９の表面
１８へ一定の傾斜角で当たる。ケーシング内に配
置された光学系２１を有する受光器２０は光線
１″が光軸２２内の特定位置へ当たる場合に応答
する。第６図には光線１′がミラー系３の回転に
対し、物体１９またはその表面１８が光学系２１
から近いかまたは遠く離れているかに応じて異な
る瞬間に、光軸２２内の前記特定位置に達するこ
とが示されている。したがつて光線１′が表面１
８の一定位置へ当たる際の時点または瞬間的回転
角から物体１９またはその表面１８の位置を推知
することができる。この位置の計算は入力情報と
してミラー系の回転角を入力する計算機によつて
簡単に行われる。その際光線１″は表面１８が位
置a1またはa2にあるかに応じて回転角α1またはα2
で表面の前記位置に達することが確認される。計
算機は簡単な正弦関数により表面１８がどの位置
にあるかを求めることができる。それゆえ、測定
装置の幾何学的条件から計算機の固有の較正なし
に、ただちに換算された正しい測定値を得るよう
にプログラミングまたは調節することができる。
もちろん偏向装置の他の構成および使用により
物体の寸法および大きさを測定することも可能で
ある。たとえば第３図または第４図のミラーは選
択的に第３図による２次元的測定または第４図に
よる大きい物体の測定に切換えうるように構成す
ることができる。測定の評価は公知法で行われ
る。たとえば１つまたは多数のテレセントリツク
構成の範囲内に光学的スクリンまたは測定バーが
あり、計算機が発生する光パルスより測定物体の
大きさおよび／または位置を計算することができ
る。
物体の寸法および大きさを測定することも可能で
ある。たとえば第３図または第４図のミラーは選
択的に第３図による２次元的測定または第４図に
よる大きい物体の測定に切換えうるように構成す
ることができる。測定の評価は公知法で行われ
る。たとえば１つまたは多数のテレセントリツク
構成の範囲内に光学的スクリンまたは測定バーが
あり、計算機が発生する光パルスより測定物体の
大きさおよび／または位置を計算することができ
る。
第１図および第２図で本発明で使用する装置を
示す参考図であつて、第１図は正面図、第２図は
第１図に示す装置の軸方向断面図であり、第３図
〜第６図は上記装置を使用する本発明による測定
方法を説明するためのもので、第３図は互いに垂
直な２つの光軸方向のテレセントリツク光線を利
用する実施例、第４図は物体の２次元的測定に使
用される実施例および第５図は大きい物体の測定
に使用される実施例の光路図である。 １……入射光線、１ａ，１ｂ，１ｃ……テレセ
ントリツク光線、３……回転ミラー系、７……
窓、７′……ウエブ、１５……ケーシング、１６
……ミラー、１７……窓、１９……物体、２０…
…受光器、２１……光学系、３０……半透明ミラ
ー、３１，３２，３３，３４……ミラー、３５…
…物体、３６，３７……集光レンズ、３８，３９
……ダイオード、４１……半透明ミラー、４２，
４３，４４，４５……ミラー、４６……物体、４
７……集光レンズ、４８……ホトセル、５１……
半透明ミラー、５２，５３……ミラー、５４……
物体、５５……集光レンズ、５６……ホトセル。
示す参考図であつて、第１図は正面図、第２図は
第１図に示す装置の軸方向断面図であり、第３図
〜第６図は上記装置を使用する本発明による測定
方法を説明するためのもので、第３図は互いに垂
直な２つの光軸方向のテレセントリツク光線を利
用する実施例、第４図は物体の２次元的測定に使
用される実施例および第５図は大きい物体の測定
に使用される実施例の光路図である。 １……入射光線、１ａ，１ｂ，１ｃ……テレセ
ントリツク光線、３……回転ミラー系、７……
窓、７′……ウエブ、１５……ケーシング、１６
……ミラー、１７……窓、１９……物体、２０…
…受光器、２１……光学系、３０……半透明ミラ
ー、３１，３２，３３，３４……ミラー、３５…
…物体、３６，３７……集光レンズ、３８，３９
……ダイオード、４１……半透明ミラー、４２，
４３，４４，４５……ミラー、４６……物体、４
７……集光レンズ、４８……ホトセル、５１……
半透明ミラー、５２，５３……ミラー、５４……
物体、５５……集光レンズ、５６……ホトセル。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 物体の寸法または位置を測定する方法におい
て、少なくとも１組の平行平面の内面ミラーを有
する支持体；支持体を片側で回転可能に支持する
装置を有し；支持体は支持装置により支持された
側に窓を備えかつ支持装置により支持されている
のと反対側が開いており；種々の方向からの複数
の光線を回転可能の支持体に向ける装置を備え；
さらに支持体から射出するテレセントリツク光線
１ａ，１ｂ，１ｃを反射する複数の、光線の数に
等しいか、それより少ない固定ミラー３３，３
４；４４，４５；５２，５３を有する、少なくと
も１つのテレセントリツク光線を発生する装置を
使用し、物体をテレセントリツク光線が偏向され
る特定範囲に導入し、支持体を回転して光線を偏
向させ、光線が物体の少なくとも１つの一定位置
にある時点ないしは回転する支持体の回転角を求
め、計算機を使用して、少なくとも１つの時点な
いしは少なくとも１つの角位置から簡単な計算に
より、上記の少なくとも１つの一定位置にある光
線の位置、すなわち物体の寸法または位置を計算
することを特徴とする物体の寸法または位置を測
定する方法。 ２ 光線を物体の表面に対し所定の角度で向け、
光線が物体の表面の一定位置を通過する時点ない
しはその際の回転角から、物体の寸法または物体
の位置を確かめる、特許請求の範囲第１項記載の
方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH3671/818 | 1981-06-04 | ||
| CH3671/81A CH658523A5 (de) | 1981-06-04 | 1981-06-04 | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung eines telezentrischen lichtstrahls und anwendung des verfahrens. |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3172300A Division JPH07119899B2 (ja) | 1981-06-04 | 1991-07-12 | テレセントリック光線を発生する装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS581120A JPS581120A (ja) | 1983-01-06 |
| JPH0529887B2 true JPH0529887B2 (ja) | 1993-05-06 |
Family
ID=4261008
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57093240A Granted JPS581120A (ja) | 1981-06-04 | 1982-06-02 | テレセントリツク光線を発生する装置および物体の寸法または位置を測定する方法 |
| JP3172300A Expired - Lifetime JPH07119899B2 (ja) | 1981-06-04 | 1991-07-12 | テレセントリック光線を発生する装置 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3172300A Expired - Lifetime JPH07119899B2 (ja) | 1981-06-04 | 1991-07-12 | テレセントリック光線を発生する装置 |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4444457A (ja) |
| JP (2) | JPS581120A (ja) |
| AU (1) | AU554732B2 (ja) |
| CA (1) | CA1175129A (ja) |
| CH (1) | CH658523A5 (ja) |
| DE (1) | DE3220790C2 (ja) |
| ES (1) | ES8304671A1 (ja) |
| GB (1) | GB2100467B (ja) |
| IT (1) | IT1151256B (ja) |
| ZA (1) | ZA823825B (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH674774A5 (ja) * | 1986-04-03 | 1990-07-13 | Zumbach Electronic Ag | |
| DE3623318A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Thebock & Feil Gmbh Physikalis | Vorrichtung zum eindimensionalen vermessen eines objektes |
| JPS63314515A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-22 | Union Tool Kk | 光学系の平行走査光線発生装置 |
| CH683370A5 (de) * | 1992-04-10 | 1994-02-28 | Zumbach Electronic Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Abmessung eines Objekts. |
| US5481361A (en) * | 1993-05-19 | 1996-01-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of and device for measuring position coordinates |
| US7738121B2 (en) * | 2007-10-23 | 2010-06-15 | Gii Acquisition, Llc | Method and inspection head apparatus for optically measuring geometric dimensions of a part |
| DE102008001749A1 (de) * | 2008-05-14 | 2009-11-19 | Bühler AG | System und Verfahren zur Mahlgut-Charakterisierung in einer Mahlanlage |
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Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US3765774A (en) * | 1972-01-31 | 1973-10-16 | Techmet Co | Optical measuring apparatus |
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| GB1584452A (en) * | 1977-01-25 | 1981-02-11 | Schumag Gmbh | Optical scanners |
| JPS546377A (en) * | 1977-06-15 | 1979-01-18 | Mitsubishi Electric Corp | Fluorescent lamp device |
| DE2811411A1 (de) * | 1978-03-16 | 1979-09-20 | Uranit Gmbh | Verfahren und anordnung zur verschiebung der frequenz eines monochromatischen schmalbandigen lichtstrahls |
| JPS55108079A (en) * | 1979-02-14 | 1980-08-19 | Toshiba Corp | Laser scanning unit |
| US4402575A (en) * | 1981-05-01 | 1983-09-06 | Bell & Howell Company | Wideband optical beam deflector |
-
1981
- 1981-06-04 CH CH3671/81A patent/CH658523A5/de not_active IP Right Cessation
-
1982
- 1982-05-24 US US06/381,520 patent/US4444457A/en not_active Expired - Lifetime
- 1982-05-28 CA CA000404008A patent/CA1175129A/en not_active Expired
- 1982-06-01 IT IT21617/82A patent/IT1151256B/it active
- 1982-06-01 ZA ZA823825A patent/ZA823825B/xx unknown
- 1982-06-01 AU AU84376/82A patent/AU554732B2/en not_active Ceased
- 1982-06-01 GB GB8215984A patent/GB2100467B/en not_active Expired
- 1982-06-02 JP JP57093240A patent/JPS581120A/ja active Granted
- 1982-06-02 DE DE3220790A patent/DE3220790C2/de not_active Expired
- 1982-06-03 ES ES512821A patent/ES8304671A1/es not_active Expired
-
1991
- 1991-07-12 JP JP3172300A patent/JPH07119899B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| AU8437682A (en) | 1982-12-09 |
| JPH07119899B2 (ja) | 1995-12-20 |
| CH658523A5 (de) | 1986-11-14 |
| ZA823825B (en) | 1983-03-30 |
| DE3220790A1 (de) | 1982-12-23 |
| AU554732B2 (en) | 1986-09-04 |
| IT8221617A0 (it) | 1982-06-01 |
| IT1151256B (it) | 1986-12-17 |
| GB2100467A (en) | 1982-12-22 |
| JPH04356010A (ja) | 1992-12-09 |
| US4444457A (en) | 1984-04-24 |
| CA1175129A (en) | 1984-09-25 |
| ES512821A0 (es) | 1983-03-01 |
| GB2100467B (en) | 1984-10-24 |
| JPS581120A (ja) | 1983-01-06 |
| DE3220790C2 (de) | 1986-04-10 |
| ES8304671A1 (es) | 1983-03-01 |
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