JPH04342437A - 紫外線透過ガラス - Google Patents
紫外線透過ガラスInfo
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- JPH04342437A JPH04342437A JP14138191A JP14138191A JPH04342437A JP H04342437 A JPH04342437 A JP H04342437A JP 14138191 A JP14138191 A JP 14138191A JP 14138191 A JP14138191 A JP 14138191A JP H04342437 A JPH04342437 A JP H04342437A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、読み出し専用記録半導
体（以下、ＥＰ−ＲＯＭという）用のアルミナセラミッ
クパッケージにおいて紫外線透過用窓として好適に用い
ることができる紫外線透過ガラスに関するものである。
体（以下、ＥＰ−ＲＯＭという）用のアルミナセラミッ
クパッケージにおいて紫外線透過用窓として好適に用い
ることができる紫外線透過ガラスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】アルミナセラミックスは、紫外線照射に
よるプログラムのメモリ消去が可能であるＥＰ−ＲＯＭ
用の支持体であるパッケージとして用いられ、これには
、紫外線照射用のガラス窓が取り付けられている。
よるプログラムのメモリ消去が可能であるＥＰ−ＲＯＭ
用の支持体であるパッケージとして用いられ、これには
、紫外線照射用のガラス窓が取り付けられている。
【０００３】この種のガラス窓は、通常、紫外線透過率
が波長２５４ ｎｍの紫外線に対しガラス厚１ｍｍにて
７０％以上の透過率を有し、しかも、支持体に対するシ
ール性との関係から熱膨張係数が０℃〜３００ ℃の温
度範囲で４８〜５８×１０−７／℃であることが要求さ
れている。
が波長２５４ ｎｍの紫外線に対しガラス厚１ｍｍにて
７０％以上の透過率を有し、しかも、支持体に対するシ
ール性との関係から熱膨張係数が０℃〜３００ ℃の温
度範囲で４８〜５８×１０−７／℃であることが要求さ
れている。
【０００４】一方、従来よりガラスに不純物として混入
している鉄分がガラスの紫外線吸収を増大させることが
知られている。これは、Ｆｅ３＋が紫外線域に強い吸収
力をもつことによる。
している鉄分がガラスの紫外線吸収を増大させることが
知られている。これは、Ｆｅ３＋が紫外線域に強い吸収
力をもつことによる。
【０００５】このため、ガラスの紫外線吸収を減少させ
るためには、鉄分の混入を減少させることのほか、ガラ
スを還元することによりＦｅ３＋をＦｅ２＋に変えるこ
とが必要になる。
るためには、鉄分の混入を減少させることのほか、ガラ
スを還元することによりＦｅ３＋をＦｅ２＋に変えるこ
とが必要になる。
【０００６】この際、ガラスを還元状態にするためには
、従来からバッチ中にサッカロースやカーボン粉末、金
属アルミニウム、金属シリコンなどの還元剤を加えるこ
とが行なわれてきている。
、従来からバッチ中にサッカロースやカーボン粉末、金
属アルミニウム、金属シリコンなどの還元剤を加えるこ
とが行なわれてきている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの還元
剤を用いてガラスの溶解を行なうと、還元剤とバッチと
の反応により気泡が発生し、泡切れが悪化する。
剤を用いてガラスの溶解を行なうと、還元剤とバッチと
の反応により気泡が発生し、泡切れが悪化する。
【０００８】特にその熱膨張係数が４８〜５８×１０−
７／℃程度になるように調整した組成においては、泡切
れが極端に悪化する。
７／℃程度になるように調整した組成においては、泡切
れが極端に悪化する。
【０００９】一方、このような泡切れの悪さを改善しよ
うとして溶解時間を長くすると、還元剤の効果が次第に
損なわれ、ガラスの還元状態が維持できなくなり、紫外
線の透過率が低下する。
うとして溶解時間を長くすると、還元剤の効果が次第に
損なわれ、ガラスの還元状態が維持できなくなり、紫外
線の透過率が低下する。
【００１０】また、溶解温度を上昇させると、炉材の選
定等、工業的生産に困難をきたす問題がある。
定等、工業的生産に困難をきたす問題がある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、従来技術に見
られた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構成
上の特徴は、実質的に重量％で ＳｉＯ２ ５５〜５９
％、Ａｌ２Ｏ３ ６〜９％、 Ｂ２Ｏ３２０〜２７％、
Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ ５〜９％、Ｆ ０〜２
％の基本組成を有し、溶融促進剤として原料バッチに外
掛けで０．１〜０．８％のＮａＣｌを混合することによ
り得られる０℃〜３００ ℃の温度範囲で４８〜５８×
１０−７／℃の熱膨張係数を有し、かつ、肉厚１ｍｍで
波長２５４ ｎｍの紫外線の透過率が７０％以上である
ことにある。
られた上記課題に鑑みてなされたものであり、その構成
上の特徴は、実質的に重量％で ＳｉＯ２ ５５〜５９
％、Ａｌ２Ｏ３ ６〜９％、 Ｂ２Ｏ３２０〜２７％、
Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ ５〜９％、Ｆ ０〜２
％の基本組成を有し、溶融促進剤として原料バッチに外
掛けで０．１〜０．８％のＮａＣｌを混合することによ
り得られる０℃〜３００ ℃の温度範囲で４８〜５８×
１０−７／℃の熱膨張係数を有し、かつ、肉厚１ｍｍで
波長２５４ ｎｍの紫外線の透過率が７０％以上である
ことにある。
【００１２】次に、本発明の紫外線透過ガラスの組成限
定理由について説明する。ＳｉＯ２＞５９％；ガラスの
溶解性が悪化する。ＳｉＯ２＜５５％；ガラスの化学的
耐久性が悪化する。
定理由について説明する。ＳｉＯ２＞５９％；ガラスの
溶解性が悪化する。ＳｉＯ２＜５５％；ガラスの化学的
耐久性が悪化する。
【００１３】Ａｌ２Ｏ３ ＞９％；ガラスの溶解性が悪
化する。Ａｌ２Ｏ３ ＜６％；ガラスの紫外線透過率が
減少するとともに、化学的耐久性が悪化する。Ｂ２Ｏ３
＞２７％；ガラスの化学的耐久性が悪化する。Ｂ２Ｏ３
＜２０％；ガラスの紫外線透過率が減少するとともに、
溶解性が悪化する。
化する。Ａｌ２Ｏ３ ＜６％；ガラスの紫外線透過率が
減少するとともに、化学的耐久性が悪化する。Ｂ２Ｏ３
＞２７％；ガラスの化学的耐久性が悪化する。Ｂ２Ｏ３
＜２０％；ガラスの紫外線透過率が減少するとともに、
溶解性が悪化する。
【００１４】Ｒ２Ｏ ＞９％；ガラスの紫外線透過率が
減少し、かつ、熱膨張係数が大きくなりすぎる。Ｒ２Ｏ
＜５％；ガラスの溶解性が悪くなり、熱膨張係数が小
さくなりすぎる。
減少し、かつ、熱膨張係数が大きくなりすぎる。Ｒ２Ｏ
＜５％；ガラスの溶解性が悪くなり、熱膨張係数が小
さくなりすぎる。
【００１５】Ｆ＞２％；ガラスの熱膨張係数が大きくな
り、紫外線透過率が低下する。
り、紫外線透過率が低下する。
【００１６】ＮａＣｌの添加量は、０．１％未満では泡
切れ効果が認められず、０．８％超ではかえって泡が増
加する。
切れ効果が認められず、０．８％超ではかえって泡が増
加する。
【００１７】
【実施例】本発明の実施例と比較例とを表１に示す（単
位は重量％で示す）。
位は重量％で示す）。
【００１８】なお、表１の実施例と比較例のガラス試料
は、次のようにして調製した。
は、次のようにして調製した。
【００１９】すなわち、表１に示す組成になるように調
合したバッチを白金ルツボに入れ、電気炉にて約４時間
溶融した。溶融に際しては、還元剤としてサッカロース
を０．４％添加した。原料は、ガラス中の鉄分が５０ｐ
ｐｍ となるように選定した。溶融後、鉄板上に流し出
し、板状試料を得た。この板状試料を研磨により１ｍｍ
厚とし、泡残りの状況を調べ、紫外線透過率を測定した
。また、板状試料を熱加工して４ｍｍＤ×１００ｍｍ
Ｌの棒状サンプルを作製し、熱膨張係数を測定した。
合したバッチを白金ルツボに入れ、電気炉にて約４時間
溶融した。溶融に際しては、還元剤としてサッカロース
を０．４％添加した。原料は、ガラス中の鉄分が５０ｐ
ｐｍ となるように選定した。溶融後、鉄板上に流し出
し、板状試料を得た。この板状試料を研磨により１ｍｍ
厚とし、泡残りの状況を調べ、紫外線透過率を測定した
。また、板状試料を熱加工して４ｍｍＤ×１００ｍｍ
Ｌの棒状サンプルを作製し、熱膨張係数を測定した。
【００２０】また、板状試料より面積が５０ｍｍ２ で
厚さが５ｍｍ程度のサンプルを切り出し、その両面を鏡
面に仕上げ、目視にて泡の数を数えあげた。この場合、
泡の数が１０個以上認められたものは泡切れ不良（×）
、１０個以下のものは泡切れ良（○）とした。
厚さが５ｍｍ程度のサンプルを切り出し、その両面を鏡
面に仕上げ、目視にて泡の数を数えあげた。この場合、
泡の数が１０個以上認められたものは泡切れ不良（×）
、１０個以下のものは泡切れ良（○）とした。
【００２１】耐水性は、ＪＩＳ法（Ｒ−３５０２）に準
拠し、蒸留水に対するアルカリの溶出量を求めた。この
場合、数値が小さい方が望ましく、１ｍｇ以上となると
本用途に不適となる。
拠し、蒸留水に対するアルカリの溶出量を求めた。この
場合、数値が小さい方が望ましく、１ｍｇ以上となると
本用途に不適となる。
【００２２】なお、表１から判る通り、比較例のガラス
試料は、そのいずれもが泡切れ性もしくは耐水性に難が
あった。
試料は、そのいずれもが泡切れ性もしくは耐水性に難が
あった。
【００２３】
【表１】
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、比較
的低い溶解温度で形成することができるほか、紫外線透
過率が高く、かつ、支持体とのシール性に優れ、しかも
、泡切れ性と耐水性とに優れた紫外線透過ガラスを提供
することができ、したがって、ＥＰ−ＲＯＭ半導体にお
ける紫外線透過用窓として好適に用いることができる。
的低い溶解温度で形成することができるほか、紫外線透
過率が高く、かつ、支持体とのシール性に優れ、しかも
、泡切れ性と耐水性とに優れた紫外線透過ガラスを提供
することができ、したがって、ＥＰ−ＲＯＭ半導体にお
ける紫外線透過用窓として好適に用いることができる。
Claims (1)
- 【請求項１】実質的に重量％で ＳｉＯ２ ５５〜５９
％、Ａｌ２Ｏ３ ６〜９％、 Ｂ２Ｏ３ ２０〜２７％
、Ｌｉ２Ｏ＋Ｎａ２Ｏ＋Ｋ２Ｏ ５〜９％、Ｆ ０〜
２％の基本組成を有し、溶融促進剤として原料バッチに
外掛けで０．１〜０．８％のＮａＣｌを混合し溶融する
ことにより得られる０℃〜３００ ℃の温度範囲で４８
〜５８×１０−７／℃の熱膨張係数を有し、かつ、肉厚
１ｍｍで波長２５４ ｎｍの紫外線の透過率が７０％以
上であることを特徴とする紫外線透過ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14138191A JPH04342437A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | 紫外線透過ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14138191A JPH04342437A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | 紫外線透過ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04342437A true JPH04342437A (ja) | 1992-11-27 |
Family
ID=15290675
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14138191A Pending JPH04342437A (ja) | 1991-05-17 | 1991-05-17 | 紫外線透過ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04342437A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07187706A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-07-25 | Jenaer Glaswerk Gmbh | 改良された紫外線透過性及び加水分解安定性を有する還元溶融ホウケイ酸ガラス及びその利用法 |
| JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| WO2016115685A1 (en) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | Schott Glass Technologies (Suzhou) Co. Ltd. | Low cte glass with high uv-transmittance and solarization resistance |
-
1991
- 1991-05-17 JP JP14138191A patent/JPH04342437A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07187706A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-07-25 | Jenaer Glaswerk Gmbh | 改良された紫外線透過性及び加水分解安定性を有する還元溶融ホウケイ酸ガラス及びその利用法 |
| US5610108A (en) * | 1993-10-15 | 1997-03-11 | Schott Glaswerke | Reducing melt borosilicate glass having improved UV transmission properties and water resistance and methods of use |
| JP2015193521A (ja) * | 2014-03-19 | 2015-11-05 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス及びその製造方法 |
| JP2018197190A (ja) * | 2014-03-19 | 2018-12-13 | 日本電気硝子株式会社 | 紫外線透過ガラス |
| WO2016115685A1 (en) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | Schott Glass Technologies (Suzhou) Co. Ltd. | Low cte glass with high uv-transmittance and solarization resistance |
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