JPH04341860A - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法Info
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 38
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
タのインクジェットヘッドの製造方法に係り、特に基板
上に樹脂材を供給して共通インク室及びインク供給通路
の形状に凹部とした樹脂層を形成して基板で挟んで作成
されるインクジェットヘッドの製造方法に関するもので
ある。
吹きつけて記録するインクジェットプリンタが、印字媒
体に対する制限がなく、且つ高速印字, 低騒音であり
、カラー化が容易であることから急速に普及しつつある
。
ットヘッド (以下印字ヘッドという) は、ステンレ
ス鋼板やガラス板等の基板にエッチングによって両面か
ら溝を彫ってインクの通路を形成する方法がとられてい
るが、コストが掛かるので低コストで作成する方法が望
まれている。
示す。図に示すように、インクジェットヘッド(以下印
字ヘッドという)1を搭載したキャリア2にガイドシャ
フト3が嵌合し、又キャリア2に送りねじ4が螺合し、
送りねじ4は図示省略したモータに連結されている。キ
ャリア2はプラテン5の前面に配置され、モータの正逆
回転により送りねじ4によってプラテン5に平行に矢印
A,B方向に移動する。
介して対向し、先端に配列した複数のノズル孔(図示し
ていないが、例えば2列で24個等) を有している。 従ってキャリア2が移動しながら、印字ヘッド1のノズ
ル孔からインクを選択的に射出して印字用紙6にマトリ
ックスドットによって印字が形成される。印字用紙6は
図示していない移動機構の駆動及びプラテン5の回転に
よって矢印C方向に行送りされる。
すように、共通インク室7aから分岐し、中間位置に圧
力室81〜812 が設けられ、先端にノズル孔91〜
912 を有するノズル部9aを形成した1列で12個
のインク供給通路101 〜1012がプレート11に
形成されている。
2列になるように、プレート11とブランクのプレート
(図示していない)を交互に積層して例えば拡散溶接に
よって固着して印字ヘッド1が作成されている。
外側に配置された図示していない例えば圧電素子に選択
的に電圧を印加させて振動させることによって上記のよ
うにノズル孔からインクの粒子を射出する。
ク供給通路101 〜1012を形成する方法は、例え
ば厚さ80μm のステンレス鋼板をエッチング法によ
って、図6(a) に示すようにプレート11上にレジ
スト110を塗布してパターンマスク111 を載せ、
上方向から露光して洗浄すると、(b) に示すように
、プレート11上にパターン周辺形状のレジスト110
が残り、これをエッチングすると、(c) に示すよう
に、片面に溝が形成される。これを裏面からも同様に図
中破線で示すように処理して貫通した形状に形成される
。
供給通路10aを共にエッチングによって形成する場合
を説明したが、共通インク室7aが円形等の単純な形状
の時は、他の円形孔と共にプレス加工等によって孔明け
し、インク供給通路10aだけをエッチングする場合も
ある。
、例えばステンレス鋼板をエッチングしてインク供給通
路を形成しているが、エッチングしてインク供給通路の
幅によって形成できる溝の深さが限定され、細く浅い部
分と広く深い部分が共存するインク供給通路の構成では
、一度のエッチングで完全に作成することができないた
め、両面からエッチングが必要となっており、エッチン
グした面に細かな凹凸やばり状のエッチング残りがあっ
て、形成された端面の形状の精度が悪く、インク通路の
不要な流体抵抗を増大させたり、気泡をトラップする核
になり、信頼性を低下させている。また両面エッチング
により形成された縁の形状の精度が悪く、且つコストが
高くなっているという問題点がある。
ち、コストの改善を図ることができるインクジェットヘ
ッドを提供することを目的としている。
、(a) はインクジェットヘッドの内部構成図、(b
)(イ) 及び (ロ) はインクジェットヘッドの製
造方法の説明図である。
室、9はノズル部、12は第1の基板、13は第1の樹
脂材、14は樹脂層、15は第2の基板、10は共通イ
ンク室7から分岐し、中間位置に圧力室8が設けられ、
先端にノズル部9を形成した複数のインク供給通路、従
って(b)(イ) に示すように、第1の基板12上に
第1の樹脂材13を供給して少なくともインク供給通路
10の形状を凹部とした樹脂層14を形成し、(b)(
ロ) に示すように、樹脂層14の上面に第2の基板1
5を載置して固着する方法である。
10の形状が凹部となるように第1の樹材13を供給し
て樹脂層14を形成してから、樹脂層14の上面に第2
の基板15を載せて固着することにより、凹部が少なく
ともインク供給通路10となって、インクジェットヘッ
ドを作成することができ、形状周辺の精度を向上させる
ことができ、またコストを改善することができる。また
インクジェットヘッドの形状(少なくともインク供給通
路10の形状)を変えた場合にも簡単に対応することが
できる。
する。全図を通じて同一符号は同一対象物を示す。
材13に対応し、また図2の基板フィルム12a,15
a は、図1の第1の基板12及び第2の基板15に対
応している。図2の側面図に示すように、複数の抵抗発
熱素子を備え、形状データ駆動回路16によって選択的
に抵抗発熱素子が加熱されるサーマルヘッド17, プ
ラテンローラ18, 転写シート19を供給する転写シ
ート供給部20, 及び巻取り部21から成る装置を準
備する。転写シート19は、例えば厚さ10μm のポ
リエステルフィルムに厚さ100μmのポリエステル樹
脂から成る樹脂材13aを塗布したものである。
(請求項3の第2の樹脂材に対応) で形成された基板
フィルム12aを用意する。プラテンローラ18及び巻
取り部21はサーマルヘッド17の駆動に応じて回転し
て基板フィルム12a及び転写シート19を移送し、ま
た巻取り部21は転写シート19を巻き取る。
13aを重ねて、サーマルヘッド17及びプラテンロー
ラ18で挟持し、形状データ駆動回路16により、印字
ヘッド1aの共通インク室7a及びインク供給通路10
aの形状が凹部になるように、即ち、共通インク室7a
及びインク供給通路10aの形状の外側の部分に相当す
る転写シート13aの位置をサーマルヘッド17の駆動
によって加熱,溶解して基板フィルム12aに樹脂材1
3aを転写すると図3(a) に示すように、基板フィ
ルム12a上に厚さ100μmの樹脂層14aが形成さ
れる。
a及びインク供給通路10aが形成された基板フィルム
12aを装置から取り外して、図3(b) に示すよう
に、基板フィルム12a上の樹脂層17aの上にポリエ
ステル樹脂 (請求項3の第2の樹脂材に対応)で形成
された厚さ 100μm の基板フィルム15aを載せ
て接着材で接着する。かくて印字ヘッド1の共通インク
室7a及びインク供給通路10aの1列分ができ上がり
、これを複数個 (例えば2個)作成して積層し、圧力
室81〜812 に対応する基板フィルム15a上の位
置に例えば圧電素子を接着することにより印字ヘッド1
aが完成する。
aの端面の形状が綺麗に仕上がり、転写形状の精度が高
く、また低コストの安い印字ヘッド1を得ることができ
る。上記例では、印字ヘッド1の基板フィルム12a,
15a にポリエステルを使用した場合を説明したが、
他の樹脂材でも良く、例えばポリカーボネート, ポリ
アミド樹脂, アクリル樹脂等としても良い。またステ
ンレス鋼板等の金属やガラス, セラミックス等を用い
ても良い。
ンク供給通路10aを基板フィルム12a上に形成する
場合を説明したが、共通インク室7aが円形等の単純な
形状の時は、インク供給通路10aだけを基板フィルム
12a上に形成し、共通インク室7aは他の方法,例え
ば座ぐり加工等によって形成する方法としても良い。
求項1では、第1の基板上に第1の樹脂材を供給して共
通インク室及びインク供給通路の形状を凹部とした樹脂
層を形成し、樹脂層の上面に第2の基板を載置して固着
することにより、インクジェットヘッドを製造すること
ができ、作業が簡単で、且つ樹脂層の端面の形状が整っ
て形状精度が高められ、またコストの改善を図ることが
できる。
1の樹脂材を共通インク室及びインク供給通路の形状を
凹部とするように選択的に加熱して、第1の樹脂材を第
1の基板上に転写して樹脂層を形成することにより、一
層作業が簡単になり、形状精度が高められ、またコスト
の改善を図ることができる。
を第2の樹脂材で形成することにより、樹脂層との固着
が一層容易になり、コストの改善を図ることができる。 という効果がある。
実施例の説明図
図
Claims (3)
- 【請求項1】 共通インク室(7) から分岐し、中
間位置に圧力室(8) が設けられ、先端にノズル部(
9) を形成した複数のインク供給通路(10)の該圧
力室(8)に選択的に圧力を加えることにより該ノズル
部(9) からインクの粒子を射出させるインクジェッ
トヘッドの製造方法であって、第1の基板(12)上に
第1の樹脂材(13)を供給して少なくとも前記インク
供給通路(10)の形状を凹部とした樹脂層(14)を
形成し、該樹脂層(11)の上面に第2の基板(15)
を載置して固着することを特徴とするインクジェットヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項2】 前記樹脂層(13)は、フィルム上に
塗布された前記第1の樹脂材(13)を少なくとも前記
インク供給通路(10)の形状を凹部とするように選択
的に加熱して、該第1の樹脂材(13)を前記第1の基
板(12)上に転写して形成されることを特徴とする請
求項1のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項3】 前記第1の基板(12)及び前記第2
の基板(15)は、第2の樹脂材で形成されることを特
徴とする請求項1或いは請求項2のインクジェットヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11449791A JP2961943B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11449791A JP2961943B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04341860A true JPH04341860A (ja) | 1992-11-27 |
JP2961943B2 JP2961943B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=14639240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11449791A Expired - Lifetime JP2961943B2 (ja) | 1991-05-20 | 1991-05-20 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2961943B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5826333A (en) * | 1994-10-31 | 1998-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing an ink jet head |
JP2008000964A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 精密微細空間の形成方法、精密微細空間を有する部材の製造方法および感光性積層フィルム |
-
1991
- 1991-05-20 JP JP11449791A patent/JP2961943B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5826333A (en) * | 1994-10-31 | 1998-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing an ink jet head |
US6499828B1 (en) | 1994-10-31 | 2002-12-31 | Canon Kabushiki Kaisha | Manufacturing method of ink jet head, ink jet head manufactured by same and ink jet device having ink jet head |
JP2008000964A (ja) * | 2006-06-21 | 2008-01-10 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 精密微細空間の形成方法、精密微細空間を有する部材の製造方法および感光性積層フィルム |
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JP2961943B2 (ja) | 1999-10-12 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990706 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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