JPH04310881A - 非接触プローブ - Google Patents
非接触プローブInfo
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- JPH04310881A JPH04310881A JP3076678A JP7667891A JPH04310881A JP H04310881 A JPH04310881 A JP H04310881A JP 3076678 A JP3076678 A JP 3076678A JP 7667891 A JP7667891 A JP 7667891A JP H04310881 A JPH04310881 A JP H04310881A
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- JP
- Japan
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- transparent electrode
- electrode
- crystal
- electric wire
- glass block
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- Pending
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Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高速電気信号を観測す
るプローブに関し、特に微細なＬＳＩの配線パターン上
の高速信号を非接触で観測する非接触プローブに関する
。
るプローブに関し、特に微細なＬＳＩの配線パターン上
の高速信号を非接触で観測する非接触プローブに関する
。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の非接触プローブは、例え
ば文献「日本学術振興会荷電粒子ビームの工業への応用
第１３２委員会第１０９回研究会資料」のＰ７−Ｐ１２
に記されているが、被検査物との電気的容量を少なくす
るため、１００μｍ四方程に小さく作ったニオブ酸リチ
ウム（ＬｉＮｂＯ３ ）結晶の薄板とガラスブロックと
の間に位置するＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏ
ｘｉｄｅ）透明電極から電極取り出す部分は外部との接
続部分を厚く小さく付けた構造となっている。
ば文献「日本学術振興会荷電粒子ビームの工業への応用
第１３２委員会第１０９回研究会資料」のＰ７−Ｐ１２
に記されているが、被検査物との電気的容量を少なくす
るため、１００μｍ四方程に小さく作ったニオブ酸リチ
ウム（ＬｉＮｂＯ３ ）結晶の薄板とガラスブロックと
の間に位置するＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏ
ｘｉｄｅ）透明電極から電極取り出す部分は外部との接
続部分を厚く小さく付けた構造となっている。
【０００３】ＬｉＮｂＯ３ 結晶は、電界によって結晶
格子が変化し、結晶内に７００μｍ〜９００μｍの波長
を有するレーザービームが通過する際に偏向面が変化す
るというカー効果あるいはポッケル効果があり、電気を
光に変換することから学術的にＥ−Ｏ結晶と呼ばれてい
る。
格子が変化し、結晶内に７００μｍ〜９００μｍの波長
を有するレーザービームが通過する際に偏向面が変化す
るというカー効果あるいはポッケル効果があり、電気を
光に変換することから学術的にＥ−Ｏ結晶と呼ばれてい
る。
【０００４】以下、このＥ−Ｏ結晶を用いた非接触プロ
ーブをＥ−Ｏプローブと称する。
ーブをＥ−Ｏプローブと称する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
Ｅ−Ｏプローブは、その物が小さい上、透明電極から線
を引き出す部分はさらに小さく、電極から線を引き出す
ことが困難であり、針などで機械的に押さえつけて接触
を取る際も電極が取れやすいという欠点がある。
Ｅ−Ｏプローブは、その物が小さい上、透明電極から線
を引き出す部分はさらに小さく、電極から線を引き出す
ことが困難であり、針などで機械的に押さえつけて接触
を取る際も電極が取れやすいという欠点がある。
【０００６】本発明の目的は、従来のＥ−Ｏプローブに
、ガラスブロックの斜面と削り取った面とに同時に蒸着
した透明電極と、透明電極とをつなぐ電極接続部と、ガ
ラスブロックと電極接続部および電線を保持するガラス
プレートを追加することにより、上記の欠点を解消し、
透明電極から線を引き出すことが容易であり、電線に引
っ張り力が加わった際に透明電極へ直接に力が加わらず
、電極部分が丈夫なＥ−Ｏプローブを提供することにあ
る。
、ガラスブロックの斜面と削り取った面とに同時に蒸着
した透明電極と、透明電極とをつなぐ電極接続部と、ガ
ラスブロックと電極接続部および電線を保持するガラス
プレートを追加することにより、上記の欠点を解消し、
透明電極から線を引き出すことが容易であり、電線に引
っ張り力が加わった際に透明電極へ直接に力が加わらず
、電極部分が丈夫なＥ−Ｏプローブを提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のＥ−Ｏプローブ
は、角錐形の石英ガラスの頂点を底面と平行面で削り取
ったガラスブロックと、このガラスブロックの斜面と削
り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、ガラスブロ
ックの削り取った面に接着するＥ−Ｏ結晶の薄板と、Ｅ
−Ｏ結晶の薄板上であってガラスブロックと接着した面
と反対面に位置する誘電体多層反射膜と、透明電極に電
気的に接続する電線と、この電線と前記透明電極とをつ
なぐ電極接続部と、ガラスブロックと電極接続部および
電線を保持するガラスプレートとを有している。
は、角錐形の石英ガラスの頂点を底面と平行面で削り取
ったガラスブロックと、このガラスブロックの斜面と削
り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、ガラスブロ
ックの削り取った面に接着するＥ−Ｏ結晶の薄板と、Ｅ
−Ｏ結晶の薄板上であってガラスブロックと接着した面
と反対面に位置する誘電体多層反射膜と、透明電極に電
気的に接続する電線と、この電線と前記透明電極とをつ
なぐ電極接続部と、ガラスブロックと電極接続部および
電線を保持するガラスプレートとを有している。
【０００８】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００９】図１は本発明の一実施例のＥ−Ｏプローブ
の断面図、図２は本実施例のＥ−Ｏプローブを説明する
ための部分拡大図である。
の断面図、図２は本実施例のＥ−Ｏプローブを説明する
ための部分拡大図である。
【００１０】図１に示すＥ−Ｏプローブは、ガラスブロ
ック１と、透明電極２と、Ｅ−Ｏ結晶３と、反射膜４と
、電線５と、電極接続部６と、ガラスプレート７とから
構成される。
ック１と、透明電極２と、Ｅ−Ｏ結晶３と、反射膜４と
、電線５と、電極接続部６と、ガラスプレート７とから
構成される。
【００１１】また、図２の部分拡大図は、ガラスブロッ
ク１にＥ−Ｏ結晶３が付いた部分の拡大図であり、ガラ
スブロック１とＥ−Ｏ結晶３の間に接着層８がある。
ク１にＥ−Ｏ結晶３が付いた部分の拡大図であり、ガラ
スブロック１とＥ−Ｏ結晶３の間に接着層８がある。
【００１２】ここで、ガラスブロック１は、角推形の石
英ガラスで出来ており、その角推の頂点部分は図２のよ
うにガラスブロック１の底面と平行面で削り取った形を
している。このガラスブロック１の削り取った先端面９
と斜面とには、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏ
ｘｉｄｅ）などの材質の透明電極２が一括で蒸着してあ
る。
英ガラスで出来ており、その角推の頂点部分は図２のよ
うにガラスブロック１の底面と平行面で削り取った形を
している。このガラスブロック１の削り取った先端面９
と斜面とには、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏ
ｘｉｄｅ）などの材質の透明電極２が一括で蒸着してあ
る。
【００１３】Ｅ−Ｏ結晶３は、ＬｉＮｂＯ３ やＬｉＴ
ａＯ３ などのカー効果（あるいはポッケスル効果）を
有する結晶の薄板であり、接着層８を介して先端面９に
取り付けられている。このＥ−Ｏ結晶３の被検査物１０
側の面には、波長７００μｍ〜９００μｍのレーザービ
ーム１１を反射する誘電体多層反射膜４がある。Ｅ−Ｏ
結晶３に入射するレーザービーム１１は、数ミクロンか
ら数十ミクロンの径を有し、誘電体多層反射膜４によっ
て反射し、この時、被検査物１０からの電界に比例して
偏向される。電極接続部６は、透明電極２と電線５を電
気的に接続する部分であり、ドータイトなどの金属ペー
ストを塗布して乾燥、硬化した物である。
ａＯ３ などのカー効果（あるいはポッケスル効果）を
有する結晶の薄板であり、接着層８を介して先端面９に
取り付けられている。このＥ−Ｏ結晶３の被検査物１０
側の面には、波長７００μｍ〜９００μｍのレーザービ
ーム１１を反射する誘電体多層反射膜４がある。Ｅ−Ｏ
結晶３に入射するレーザービーム１１は、数ミクロンか
ら数十ミクロンの径を有し、誘電体多層反射膜４によっ
て反射し、この時、被検査物１０からの電界に比例して
偏向される。電極接続部６は、透明電極２と電線５を電
気的に接続する部分であり、ドータイトなどの金属ペー
ストを塗布して乾燥、硬化した物である。
【００１４】ガラスプレート７は、電極接続部６と電線
５を保持しており、電線５に引っ張り力が加わった際に
透明電極２へ直接に力が加わらない構造となっている。
５を保持しており、電線５に引っ張り力が加わった際に
透明電極２へ直接に力が加わらない構造となっている。
【００１５】尚、本実施例では、ニオブ酸リチウム（Ｌ
ｉＮｂＯ３ ）を用いた場合について説明したが、他の
Ｅ−Ｏ結晶を用いた場合には、レーザビームの波長が変
わるので、それにつれて誘電体多層反射膜４を換えれば
よい。
ｉＮｂＯ３ ）を用いた場合について説明したが、他の
Ｅ−Ｏ結晶を用いた場合には、レーザビームの波長が変
わるので、それにつれて誘電体多層反射膜４を換えれば
よい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＥ−Ｏプ
ローブは、従来のＥ−Ｏプローブに、ガラスブロック１
の斜面と削り取った面とに同時に蒸着した透明電極２と
、透明電極２とをつなぐ電極接続部６と、ガラスブロッ
ク１と電極接続部６および電線５を保持するガラスプレ
ート７を追加することにより、透明電極２から線を引き
出すことが容易であり、電線５に引っ張り力が加わった
際に透明電極２へ直接に力が加わらず、電極部分が丈夫
であるという効果がある。
ローブは、従来のＥ−Ｏプローブに、ガラスブロック１
の斜面と削り取った面とに同時に蒸着した透明電極２と
、透明電極２とをつなぐ電極接続部６と、ガラスブロッ
ク１と電極接続部６および電線５を保持するガラスプレ
ート７を追加することにより、透明電極２から線を引き
出すことが容易であり、電線５に引っ張り力が加わった
際に透明電極２へ直接に力が加わらず、電極部分が丈夫
であるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例のＥ−Ｏプローブの断面図で
ある。
ある。
【図２】本実施例のＥ−Ｏプローブを説明するための部
分拡大図である。
分拡大図である。
１ ガラスブロック
２ 透明電極
３ Ｅ−Ｏ結晶
４ 反射膜
５ 電線
６ 電極接続部
７ ガラスプレート
８ 接着層
９ 先端面
１０ 被検査物
１１ レーザービーム
Claims (1)
- 【請求項１】 角錐形の石英ガラスの頂点を底面と平
行面で削り取ったガラスブロックと、前記ガラスブロッ
クの斜面と削り取った面とに同時に蒸着した透明電極と
、前記ガラスブロックの削り取った面に接着するＥ−Ｏ
結晶の薄板と、前記Ｅ−Ｏ結晶の薄板上であって前記ガ
ラスブロックと接着した面と反対面に位置する誘電体多
層反射膜と、前記透明電極に電気的に接続する電線と、
前記電線と前記透明電極とをつなぐ電極接続部と、前記
ガラスブロックと前記電極接続部および前記電線を保持
するガラスプレートとを有することを特徴とする非接触
プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076678A JPH04310881A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 非接触プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076678A JPH04310881A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 非接触プローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04310881A true JPH04310881A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=13612092
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076678A Pending JPH04310881A (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 非接触プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04310881A (ja) |
-
1991
- 1991-04-10 JP JP3076678A patent/JPH04310881A/ja active Pending
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