JPS5911086B2 - 光変調装置 - Google Patents
光変調装置Info
- Publication number
- JPS5911086B2 JPS5911086B2 JP14372478A JP14372478A JPS5911086B2 JP S5911086 B2 JPS5911086 B2 JP S5911086B2 JP 14372478 A JP14372478 A JP 14372478A JP 14372478 A JP14372478 A JP 14372478A JP S5911086 B2 JPS5911086 B2 JP S5911086B2
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- JP
- Japan
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- optical waveguide
- metal electrodes
- substrate
- voltage
- modulation
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電気光学効果を有する基板を用いてその基板内
に電気光学効果を有する光導波路が形成され、又基板乃
全党導波路上に光導波路に変調電圧に応じた電界を与え
る為の電極が配されてなる構成を有する光変調装置の改
良に関する。
に電気光学効果を有する光導波路が形成され、又基板乃
全党導波路上に光導波路に変調電圧に応じた電界を与え
る為の電極が配されてなる構成を有する光変調装置の改
良に関する。
新種光変調装置として従来、第１図に示す如く例えばＬ
ｉＮｂ０２でなる電気光学効果を有する基板１を用いそ
の基板１内の主面側に、基板１の相対向する両端面２ａ
及び２ｂ間にストライプ状に延長せる光導波路３が例え
ばＴｉの拡散によつて形成され、依つて光導波路３内に
その基板１の一方の端面２ａ上に臨む端面側よりレーザ
光Ｌが入射されれば、これがこの光導波路３に伝播し、
そして光導波路３の基板１の他方の端面２ｂ上に臨む端
面側よりレーザ光υとして出射する様になされ、一方基
板１の主面上に、光導波路３上の領域を含めて、光導波
路３より小なる屈折率を有し且光導波路３に伝播される
レーザ光に対して透明な即ちレーザ光に対する光吸収性
の実質的に無視し得る、例えばＡｌ２０３でなる例えば
２０００λ程度の厚さを有する絶縁層４が附され、而し
てその絶縁層４上に光導波路３と同じくストライプ状に
延長せる一対の金属電極５ａ及び５ｂが上方よりみて光
導波路３を挾む如く配され、依つて光導波路３に上述せ
る如くレーザ光を伝播せしめている状態で金属電極５ａ
及び５ｂ間に変調信号に応じた変調電圧を印加せしめる
ことにより、光導波路３を横切る電界を生ぜしめて光導
波路３にその電界に応じた電気光学効果を呈せしめ、こ
れにより光導波路３より出射して得られるレーザ光υを
変調信号に応じて位相変調されたレーザ光として得られ
るようになされた構成のものが提案されている。
ｉＮｂ０２でなる電気光学効果を有する基板１を用いそ
の基板１内の主面側に、基板１の相対向する両端面２ａ
及び２ｂ間にストライプ状に延長せる光導波路３が例え
ばＴｉの拡散によつて形成され、依つて光導波路３内に
その基板１の一方の端面２ａ上に臨む端面側よりレーザ
光Ｌが入射されれば、これがこの光導波路３に伝播し、
そして光導波路３の基板１の他方の端面２ｂ上に臨む端
面側よりレーザ光υとして出射する様になされ、一方基
板１の主面上に、光導波路３上の領域を含めて、光導波
路３より小なる屈折率を有し且光導波路３に伝播される
レーザ光に対して透明な即ちレーザ光に対する光吸収性
の実質的に無視し得る、例えばＡｌ２０３でなる例えば
２０００λ程度の厚さを有する絶縁層４が附され、而し
てその絶縁層４上に光導波路３と同じくストライプ状に
延長せる一対の金属電極５ａ及び５ｂが上方よりみて光
導波路３を挾む如く配され、依つて光導波路３に上述せ
る如くレーザ光を伝播せしめている状態で金属電極５ａ
及び５ｂ間に変調信号に応じた変調電圧を印加せしめる
ことにより、光導波路３を横切る電界を生ぜしめて光導
波路３にその電界に応じた電気光学効果を呈せしめ、こ
れにより光導波路３より出射して得られるレーザ光υを
変調信号に応じて位相変調されたレーザ光として得られ
るようになされた構成のものが提案されている。
所で斯る第１図に示す光変調装置の場合、変調電圧の与
えられる金属電極５ａ及び５ｂが字句の通り金属である
ことによりその比抵抗が十分小さく、従つて変調電圧を
金属電極５ａ及び５ｂの一端側に供給するとしても、そ
してその変調電圧が高周波であつても、その変調電圧に
基く電界を光導波路３の全域に各部略々均一に作用せし
めることが出来て、変調電圧に忠実な光変調効果を得る
ことが出来るものであるが、その反面金属電極５ａ及び
５ｂは光導波路３に伝播されるレーザ光に対して不透明
であること即ちレーザ光に対する良好な吸収性を有する
ことにより、この金属電極５ａ及び５ｂに光導波路３に
伝播されるレーザ光が入射されればそのレーザ光が金属
電極５ａ及び５ｂ内で大なる損失を伴うものである。
えられる金属電極５ａ及び５ｂが字句の通り金属である
ことによりその比抵抗が十分小さく、従つて変調電圧を
金属電極５ａ及び５ｂの一端側に供給するとしても、そ
してその変調電圧が高周波であつても、その変調電圧に
基く電界を光導波路３の全域に各部略々均一に作用せし
めることが出来て、変調電圧に忠実な光変調効果を得る
ことが出来るものであるが、その反面金属電極５ａ及び
５ｂは光導波路３に伝播されるレーザ光に対して不透明
であること即ちレーザ光に対する良好な吸収性を有する
ことにより、この金属電極５ａ及び５ｂに光導波路３に
伝播されるレーザ光が入射されればそのレーザ光が金属
電極５ａ及び５ｂ内で大なる損失を伴うものである。
従つて若し金属電極５ａ及び５ｂが、光導波路３より小
なる屈折率を有し且光導波路３に伝播されるレーザ光に
対して透明な絶縁層４上に配されて居らず、直接基板１
乃至光導波路３に接して配されているものとすれば、光
導波路３に伝播するレーザ光に大なる損失が与えられる
こととなるものである。このことはレーザ光がＴＭモー
ドのレーザ光であり、叉金属電極５ａ及び５ｂ間に与え
られる変調電圧に基き得られる電界を効果的に光導波路
３に与えるべく金属電極５ａ及び５ｂを光導波路３に近
接して配し、又金属電極５ａ及び５ｂの何れか一方又は
双方を光導波路３上に配する場合は尚更であるものであ
る。然し乍ら第１図にて上述せる光変調装置の場合、金
属電極５ａ及び５ｂが絶縁層４上に配されていることに
より、光導波路３に伝播するレーザ光が金属電極５ａ及
び５ｂの存在によつて実質的に損失を受けることがない
ものである。
なる屈折率を有し且光導波路３に伝播されるレーザ光に
対して透明な絶縁層４上に配されて居らず、直接基板１
乃至光導波路３に接して配されているものとすれば、光
導波路３に伝播するレーザ光に大なる損失が与えられる
こととなるものである。このことはレーザ光がＴＭモー
ドのレーザ光であり、叉金属電極５ａ及び５ｂ間に与え
られる変調電圧に基き得られる電界を効果的に光導波路
３に与えるべく金属電極５ａ及び５ｂを光導波路３に近
接して配し、又金属電極５ａ及び５ｂの何れか一方又は
双方を光導波路３上に配する場合は尚更であるものであ
る。然し乍ら第１図にて上述せる光変調装置の場合、金
属電極５ａ及び５ｂが絶縁層４上に配されていることに
より、光導波路３に伝播するレーザ光が金属電極５ａ及
び５ｂの存在によつて実質的に損失を受けることがない
ものである。
又第１図にて上述せる光変調装置の場合、絶縁層４が存
在しても、それが厚さを２０００λ程度とすれば、金属
電極５ａ及び５ｂ間に与えられる変調電圧に基き得られ
る電界の減少効果は実質的に無視し得るものである。
在しても、それが厚さを２０００λ程度とすれば、金属
電極５ａ及び５ｂ間に与えられる変調電圧に基き得られ
る電界の減少効果は実質的に無視し得るものである。
斯く第１図にて上述せる光変調装置は種々の特徴を有す
るものであるが、電気光学効果を有する基板１とその基
板１上の絶縁層４とが、それ等が本来の機能を夫々十分
発揮するものである限り、一般に互に異なる誘電率を有
する誘電体材料であることにより、金属電極５ａ及び５
ｂ間に変調電圧が印加されて居らず電界が得られていな
い場合は基板１及び絶縁層４間に界面分極が生じて居り
、この為電極５ａ及び５ｂ間に与えられる変調電圧であ
る場合は、金属電極５ａ及び５ｂと絶縁層４とが小なる
容量の容量素子として作用することにより実質的に問題
はないが、変調電圧が直流電圧である場合はその変調電
圧にもとづく電界が実効的に光導波路３に与えられずこ
のため光変調装置としての機能が得られず、又変調電圧
が直流電圧分と交流電圧分との重量電圧である場合はそ
の変調電圧の直流電圧分による電界が光導波路３に与え
られず、・この為変調電圧の直流電圧分による光変調機
能が得られないという欠点を有するものであつた。
るものであるが、電気光学効果を有する基板１とその基
板１上の絶縁層４とが、それ等が本来の機能を夫々十分
発揮するものである限り、一般に互に異なる誘電率を有
する誘電体材料であることにより、金属電極５ａ及び５
ｂ間に変調電圧が印加されて居らず電界が得られていな
い場合は基板１及び絶縁層４間に界面分極が生じて居り
、この為電極５ａ及び５ｂ間に与えられる変調電圧であ
る場合は、金属電極５ａ及び５ｂと絶縁層４とが小なる
容量の容量素子として作用することにより実質的に問題
はないが、変調電圧が直流電圧である場合はその変調電
圧にもとづく電界が実効的に光導波路３に与えられずこ
のため光変調装置としての機能が得られず、又変調電圧
が直流電圧分と交流電圧分との重量電圧である場合はそ
の変調電圧の直流電圧分による電界が光導波路３に与え
られず、・この為変調電圧の直流電圧分による光変調機
能が得られないという欠点を有するものであつた。
依つて本発明は第１図にて上述せる光変調装置を基礎と
するも、上述せる欠点のない新規な光変調装置を提案せ
んとするもので、以下詳述する所より明らかとなるであ
ろう。第２図は本発明による光変調装置の実施例を示し
、第１図との対応部分には同一符号を附して詳細説明は
これを省略するも、第１図にて上述せる構成に於てその
金属電極５ａ及び５ｂが絶縁層４を介して基板１上に配
されているに代え金属電極５ａ及び５ｂが光導波路３よ
り小なる屈折率を有すると共に光導波路３に伝播される
レーザ光に対して透明にして且導電性を有する例えばＩ
ｎ２Ｏ３，ｓｎＯ２或いはそれ等の混晶でなる、例えば
２０００λ程度の厚さを有するストライブ状の透明導電
性層６ａ及び６ｂを介して基板１上に配されてなる事を
除いては第１図にて上述せると同様の構成を有する。
するも、上述せる欠点のない新規な光変調装置を提案せ
んとするもので、以下詳述する所より明らかとなるであ
ろう。第２図は本発明による光変調装置の実施例を示し
、第１図との対応部分には同一符号を附して詳細説明は
これを省略するも、第１図にて上述せる構成に於てその
金属電極５ａ及び５ｂが絶縁層４を介して基板１上に配
されているに代え金属電極５ａ及び５ｂが光導波路３よ
り小なる屈折率を有すると共に光導波路３に伝播される
レーザ光に対して透明にして且導電性を有する例えばＩ
ｎ２Ｏ３，ｓｎＯ２或いはそれ等の混晶でなる、例えば
２０００λ程度の厚さを有するストライブ状の透明導電
性層６ａ及び６ｂを介して基板１上に配されてなる事を
除いては第１図にて上述せると同様の構成を有する。
この場合金属電極５ａ及び５ｂはそれ等が共に比抵抗の
十分小なるものとして得られるべく且透明導電性層６ａ
及び６ｂ上に強固に附着して配されたものとして得られ
るべく、透明導電性層６ａ及び６ｂに対して附着性の比
較的良好な例えばクロム層７と、比抵抗の格段的に小な
る金層８との積層構成とするを可とするものである。以
上が本発明による光変調装置の実施例の構成であるが、
斯る構成によれば、それが第１図にて上述せる構成に於
てその金属電極５ａ及び５ｂが絶縁層４を介して基板１
上に配されているに代え金属電極５ａ及び５ｂが透明導
電性層６ａ及び６ｂを介して基板１上に配されているこ
とを除いては第１図にて上述せると同様の構成を有し、
そして透明導電性層６ａ及び６ｂが互に連接していない
こと、透明導電性層６ａ及び６ｂが誘電体材料でなく導
電性を有する材料であることにより、光導波路３にその
基板１の端面２ａ側に臨む端面側よりレーザ光Ｌを入射
せしめてそれを光導波路３に伝播せしめている状態で、
金属電極５ａ及び５ｂ間に変調信号に応じた変調電圧が
印加される場合、その変調電圧が直流電圧であつても、
直流電圧分と交流電圧分との重畳電圧であつても、その
変調電圧に基く電界が光導波路３を横切つて忠実に生じ
、而してそＯ蹴界に応じた電気光学効果を光導波路３が
呈することにより、光導波路３の基板１の端面２ｂ側に
臨む端面側より出射して得られるレーザＬ′が、変調信
号が直流信号であつても又直流信号分と交流信号分との
重畳信号であつても、その変調信号に応じて位相変調さ
れたレーザ光として得ら八所期の光変調装置としての機
能が得られるものである。又変調電圧の与えられる金属
電極５ａ及び５ｂが第１図の場合と同様に字句通り金属
であることにより、その比抵抗が小さく、第１図につき
上述せると同様に高周波でなる変調電圧が金属電極５ａ
及び５ｂの一端側に供給されても、その変調電圧に基く
電界を光導波路３の全域に各部略々均一に作用せしめる
ことが出来て変調電圧に忠実な光変調効果を得ることが
出来、このことは金属電極５ａ及び５ｂ下の透明導電性
層６ａ及び６ｂが字句通り導電性を有することによりそ
れ等透明導電性層６ａ及び６ｂの電位が夫々金属電極５
ａ及び５ｂの電位となるので尚更である。一方金属電極
５ａ及び５ｂがレーザ光に対して不透明であつてレーザ
光に対して良好な吸収性を有するとしても、それが基板
１上に直接配されて居らず、透明導電性層６ａ及び６ｂ
を介して基板１上に配されているので、金属電極５ａ及
び５ｂの存在による光導波路３に伝播されるレーザ光の
実質的な損失は何等伴なわないものである。又透明導電
性６ａ及び６ｂが存在しても、それが厚さを２０００λ
程度とすれば、金属電極５５ａ及び５ｂ間に与えられる
変調電圧に基き得られる電界の減少効果は第１図の場合
と同様に実質的に無視し得るものである等の大なる特徴
を有するものである。尚上述に於ては本発明の１つの実
施例を示したに留まり、透明導電性層６ａ及び６ｂを夫
々金属電極５ａ及び５ｂに比し幅広とすることも出来、
勿論透明導電性層６ａ及び６ｂ乃至金属電極５ａ及び５
ｂの何れか一方又は双方の幅方向の一部又は全てが光導
波路３上に存する態様とすることも出米、更には金属電
極５ａ及び５ｂの何れか一方を基板乃至光導波路３の光
導波路３の存する面上に透明導電性層を介して配し、他
方をそれとは反対側の面上に透明導電性層を介して又は
介することなしに配することも出来、その他本発明の精
神を脱することなしに種々の変型変更をなし得るであろ
う。
十分小なるものとして得られるべく且透明導電性層６ａ
及び６ｂ上に強固に附着して配されたものとして得られ
るべく、透明導電性層６ａ及び６ｂに対して附着性の比
較的良好な例えばクロム層７と、比抵抗の格段的に小な
る金層８との積層構成とするを可とするものである。以
上が本発明による光変調装置の実施例の構成であるが、
斯る構成によれば、それが第１図にて上述せる構成に於
てその金属電極５ａ及び５ｂが絶縁層４を介して基板１
上に配されているに代え金属電極５ａ及び５ｂが透明導
電性層６ａ及び６ｂを介して基板１上に配されているこ
とを除いては第１図にて上述せると同様の構成を有し、
そして透明導電性層６ａ及び６ｂが互に連接していない
こと、透明導電性層６ａ及び６ｂが誘電体材料でなく導
電性を有する材料であることにより、光導波路３にその
基板１の端面２ａ側に臨む端面側よりレーザ光Ｌを入射
せしめてそれを光導波路３に伝播せしめている状態で、
金属電極５ａ及び５ｂ間に変調信号に応じた変調電圧が
印加される場合、その変調電圧が直流電圧であつても、
直流電圧分と交流電圧分との重畳電圧であつても、その
変調電圧に基く電界が光導波路３を横切つて忠実に生じ
、而してそＯ蹴界に応じた電気光学効果を光導波路３が
呈することにより、光導波路３の基板１の端面２ｂ側に
臨む端面側より出射して得られるレーザＬ′が、変調信
号が直流信号であつても又直流信号分と交流信号分との
重畳信号であつても、その変調信号に応じて位相変調さ
れたレーザ光として得ら八所期の光変調装置としての機
能が得られるものである。又変調電圧の与えられる金属
電極５ａ及び５ｂが第１図の場合と同様に字句通り金属
であることにより、その比抵抗が小さく、第１図につき
上述せると同様に高周波でなる変調電圧が金属電極５ａ
及び５ｂの一端側に供給されても、その変調電圧に基く
電界を光導波路３の全域に各部略々均一に作用せしめる
ことが出来て変調電圧に忠実な光変調効果を得ることが
出来、このことは金属電極５ａ及び５ｂ下の透明導電性
層６ａ及び６ｂが字句通り導電性を有することによりそ
れ等透明導電性層６ａ及び６ｂの電位が夫々金属電極５
ａ及び５ｂの電位となるので尚更である。一方金属電極
５ａ及び５ｂがレーザ光に対して不透明であつてレーザ
光に対して良好な吸収性を有するとしても、それが基板
１上に直接配されて居らず、透明導電性層６ａ及び６ｂ
を介して基板１上に配されているので、金属電極５ａ及
び５ｂの存在による光導波路３に伝播されるレーザ光の
実質的な損失は何等伴なわないものである。又透明導電
性６ａ及び６ｂが存在しても、それが厚さを２０００λ
程度とすれば、金属電極５５ａ及び５ｂ間に与えられる
変調電圧に基き得られる電界の減少効果は第１図の場合
と同様に実質的に無視し得るものである等の大なる特徴
を有するものである。尚上述に於ては本発明の１つの実
施例を示したに留まり、透明導電性層６ａ及び６ｂを夫
々金属電極５ａ及び５ｂに比し幅広とすることも出来、
勿論透明導電性層６ａ及び６ｂ乃至金属電極５ａ及び５
ｂの何れか一方又は双方の幅方向の一部又は全てが光導
波路３上に存する態様とすることも出米、更には金属電
極５ａ及び５ｂの何れか一方を基板乃至光導波路３の光
導波路３の存する面上に透明導電性層を介して配し、他
方をそれとは反対側の面上に透明導電性層を介して又は
介することなしに配することも出来、その他本発明の精
神を脱することなしに種々の変型変更をなし得るであろ
う。
第１図は従来の光変調装置を示す路線的斜視図、第２図
は本発明による光変調装置の実施例を示す路線的斜視図
である。 図中１は電気光学効果を有する基板、２ａ及び２ｂはそ
の端面、３は電気光学効果を有する光導波路、４は絶縁
層、５ａ及び５ｂは金属電極、６ａ及び６ｂは透明導電
性層、Ｌ及びＬ′は夫々入射光及び出射光を夫々示す。
は本発明による光変調装置の実施例を示す路線的斜視図
である。 図中１は電気光学効果を有する基板、２ａ及び２ｂはそ
の端面、３は電気光学効果を有する光導波路、４は絶縁
層、５ａ及び５ｂは金属電極、６ａ及び６ｂは透明導電
性層、Ｌ及びＬ′は夫々入射光及び出射光を夫々示す。
Claims (1)
- １ 電気光学効果を有する基板を用いて該基板内に電気
光学効果を有する光導波路が形成され、上記基板乃至上
記光導波路上に上記光導波路に変調電圧に応じた電界を
与える為の金属電極が配されてなる構成を有する光変調
装置に於て、上記金属電極が透明導電性層を介して上記
基板乃至上記光導波路上に配されてなる事を特徴とする
光変調装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14372478A JPS5911086B2 (ja) | 1978-11-21 | 1978-11-21 | 光変調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14372478A JPS5911086B2 (ja) | 1978-11-21 | 1978-11-21 | 光変調装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5569122A JPS5569122A (en) | 1980-05-24 |
| JPS5911086B2 true JPS5911086B2 (ja) | 1984-03-13 |
Family
ID=15345514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14372478A Expired JPS5911086B2 (ja) | 1978-11-21 | 1978-11-21 | 光変調装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5911086B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2528991A1 (fr) * | 1982-06-22 | 1983-12-23 | Thomson Csf | Dispositif optique integre modulateur independant de la polarisation incidente |
| JPS604923A (ja) * | 1983-06-23 | 1985-01-11 | Murata Mfg Co Ltd | 光シヤツタ |
| JPS608824A (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-17 | Fujitsu Ltd | 光導波路 |
| JPH01128036A (ja) * | 1987-11-13 | 1989-05-19 | Nec Corp | 光スイッチ・変調器 |
| JP2686560B2 (ja) * | 1989-11-29 | 1997-12-08 | 光計測技術開発 株式会社 | 光変調素子 |
| DE69226761T2 (de) * | 1991-12-27 | 1999-01-14 | Fujitsu Ltd., Kawasaki, Kanagawa | Optische Wellenleiteranordnung mit reduzierter DC-Drift |
| JP2002250905A (ja) | 2000-12-22 | 2002-09-06 | Nec Corp | 光導波路デバイス及びその製造方法 |
-
1978
- 1978-11-21 JP JP14372478A patent/JPS5911086B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5569122A (en) | 1980-05-24 |
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