JPH04236438A - Ｅ−ｏプローブ - Google Patents
Ｅ−ｏプローブInfo
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- JPH04236438A JPH04236438A JP3004932A JP493291A JPH04236438A JP H04236438 A JPH04236438 A JP H04236438A JP 3004932 A JP3004932 A JP 3004932A JP 493291 A JP493291 A JP 493291A JP H04236438 A JPH04236438 A JP H04236438A
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- JP
- Japan
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- crystal
- glass block
- glass
- resin film
- transparent electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＥ−Ｏプローブ、特に、
微細なＬＳＩの配線パターン上の高速信号を非接触でプ
ロービングするＥ−Ｏプローブに関する。
微細なＬＳＩの配線パターン上の高速信号を非接触でプ
ロービングするＥ−Ｏプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のＥ−Ｏプローブは、例え
ば文献「日本学術振興会荷電粒子ビームの工業への応用
第１３２委員会第１０９回研究会資料」のＰ７−Ｐ１２
に記されている。
ば文献「日本学術振興会荷電粒子ビームの工業への応用
第１３２委員会第１０９回研究会資料」のＰ７−Ｐ１２
に記されている。
【０００３】Ｅ−Ｏ結晶は被検査物との静電容量を小さ
くすることによって、より高速の電気信号を検出するこ
とができる。このため、Ｅ−Ｏ結晶は、１００μｍ四方
程に小さく作り、保持用のガラスブロックにＩＴＯ（Ｉ
ｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）透明電極を挟ん
で接着した構造となっていた。
くすることによって、より高速の電気信号を検出するこ
とができる。このため、Ｅ−Ｏ結晶は、１００μｍ四方
程に小さく作り、保持用のガラスブロックにＩＴＯ（Ｉ
ｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）透明電極を挟ん
で接着した構造となっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のＥ−Ｏ
プローブは、先端のＥ−Ｏ結晶が微小な接着面で付いて
いてこの部分が露出しているため、外からの衝撃や、水
やアルコールなどの液体中での使用時あるいは空気中で
の使用であっても湿気の露結による水の接着面へのわず
かな浸透によって、接着部の経時変化でＥ−Ｏ結晶が取
れ、実用性が低いという欠点がある。
プローブは、先端のＥ−Ｏ結晶が微小な接着面で付いて
いてこの部分が露出しているため、外からの衝撃や、水
やアルコールなどの液体中での使用時あるいは空気中で
の使用であっても湿気の露結による水の接着面へのわず
かな浸透によって、接着部の経時変化でＥ−Ｏ結晶が取
れ、実用性が低いという欠点がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のＥ−Ｏプローブ
は、角錐形の石英ガラスの頂点を底面と平行面で削り取
ったガラスブロックと、このガラスブロックの斜面と削
り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、前記ガラス
ブロックの削り取った面に接着するＥ−Ｏ結晶の薄板と
、このＥ−Ｏ結晶の薄板上であって前記ガラスブロック
と接着した面と反対面に位置する波長７００μｍ〜９０
０μｍのレーザービームを反射する誘電体多層反射膜と
、前記ガラスブロックと前記Ｅ−Ｏ結晶の薄板との接着
部分と、前記誘電体多層反射膜とを覆う樹脂膜と前記透
明電極に電気的に接続する電線と、電線と透明電極とを
つなぐ電極接続部と、前記ガラスブロックと前記電極接
続部および電線を保持するガラスプレートと、前記ガラ
スプレートに設けられた前記樹脂膜より被検査物側に５
〜１０μｍ突起した保護プレートとを含んで構成される
。
は、角錐形の石英ガラスの頂点を底面と平行面で削り取
ったガラスブロックと、このガラスブロックの斜面と削
り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、前記ガラス
ブロックの削り取った面に接着するＥ−Ｏ結晶の薄板と
、このＥ−Ｏ結晶の薄板上であって前記ガラスブロック
と接着した面と反対面に位置する波長７００μｍ〜９０
０μｍのレーザービームを反射する誘電体多層反射膜と
、前記ガラスブロックと前記Ｅ−Ｏ結晶の薄板との接着
部分と、前記誘電体多層反射膜とを覆う樹脂膜と前記透
明電極に電気的に接続する電線と、電線と透明電極とを
つなぐ電極接続部と、前記ガラスブロックと前記電極接
続部および電線を保持するガラスプレートと、前記ガラ
スプレートに設けられた前記樹脂膜より被検査物側に５
〜１０μｍ突起した保護プレートとを含んで構成される
。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
【０００７】図１は本発明の一実施例を示す断面図であ
り、図２は同実施例を説明するための部分拡大図である
。
り、図２は同実施例を説明するための部分拡大図である
。
【０００８】図１に示すＥ−Ｏプローブは、ガラスブロ
ック１と、透明電極２と、Ｅ−Ｏ結晶３と、反射膜４と
、電線５と、電極接続部６と、ガラスプレート７と、保
護プレート８とを含んで構成される。
ック１と、透明電極２と、Ｅ−Ｏ結晶３と、反射膜４と
、電線５と、電極接続部６と、ガラスプレート７と、保
護プレート８とを含んで構成される。
【０００９】図２の部分拡大図は、ガラスブロック１に
Ｅ−Ｏ結晶３が付いた部分の拡大図であって、ガラスブ
ロック１とＥ−Ｏ結晶３の間に接着層９があり、接着層
９と反射膜４とを囲う樹脂膜１３がある。
Ｅ−Ｏ結晶３が付いた部分の拡大図であって、ガラスブ
ロック１とＥ−Ｏ結晶３の間に接着層９があり、接着層
９と反射膜４とを囲う樹脂膜１３がある。
【００１０】ガラスブロック１は、角錐形の石英ガラス
で出来ていて、その角錐の頂点部分は図２のごとくガラ
スブロック１の底面と平行面で削り取った形をしている
。
で出来ていて、その角錐の頂点部分は図２のごとくガラ
スブロック１の底面と平行面で削り取った形をしている
。
【００１１】このガラスブロック１の削り取った先端面
９と斜面とには、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ
Ｏｘｉｄｅ）などの材質の透明電極２が一括で蒸着して
ある。Ｅ−Ｏ結晶３はＬｉＮｂＯ３やＬｉＴａＯ３など
のカー効果（ポッケスル効果）を有する結晶の薄板であ
って、接着層９を介して先端面１０に取り付けられてい
る。このＥ−Ｏ結晶３の被検査物１１側の面には、波長
７００μｍ〜９００μｍのレーザービーム１２を反射す
る誘電体多層反射膜４がある。
９と斜面とには、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ
Ｏｘｉｄｅ）などの材質の透明電極２が一括で蒸着して
ある。Ｅ−Ｏ結晶３はＬｉＮｂＯ３やＬｉＴａＯ３など
のカー効果（ポッケスル効果）を有する結晶の薄板であ
って、接着層９を介して先端面１０に取り付けられてい
る。このＥ−Ｏ結晶３の被検査物１１側の面には、波長
７００μｍ〜９００μｍのレーザービーム１２を反射す
る誘電体多層反射膜４がある。
【００１２】Ｅ−Ｏ結晶３に入射するレーザービーム１
２は、数ミクロンから数十ミクロンの径を有し、誘電体
多層反射膜４によって反射し、この時、被検査物１１か
らの電界に比例して偏向される。電極接続部６は、透明
電極２と電線５を電気的に接続する部分であり、ドータ
イトなどの金属ペーストを塗布して乾燥、硬化した物で
ある。ガラスプレート７は、電極接続部６と電線５を保
持しており、電線５に引っ張り力が加わった際に透明電
極２へ直接に力が加わらない構造となっている。
２は、数ミクロンから数十ミクロンの径を有し、誘電体
多層反射膜４によって反射し、この時、被検査物１１か
らの電界に比例して偏向される。電極接続部６は、透明
電極２と電線５を電気的に接続する部分であり、ドータ
イトなどの金属ペーストを塗布して乾燥、硬化した物で
ある。ガラスプレート７は、電極接続部６と電線５を保
持しており、電線５に引っ張り力が加わった際に透明電
極２へ直接に力が加わらない構造となっている。
【００１３】接着層９と誘電体多層反射膜４は、数ミク
ロンの厚さを有する樹脂膜１３で覆われていて、例えば
被検査物１１からＥ−Ｏ結晶３へ効率よく電界が伝わる
ようにアルコールなどの液体を被検査物１１とＥ−Ｏ結
晶３との間に満たした際に接着層９へ液体が浸透するこ
とを防ぐ。接着面１０は微小であり、少しでも液体が進
入すると膨張係数の違いで浸透した隙間が大きくなり、
ついにはＥ−Ｏ結晶３が剥離する。
ロンの厚さを有する樹脂膜１３で覆われていて、例えば
被検査物１１からＥ−Ｏ結晶３へ効率よく電界が伝わる
ようにアルコールなどの液体を被検査物１１とＥ−Ｏ結
晶３との間に満たした際に接着層９へ液体が浸透するこ
とを防ぐ。接着面１０は微小であり、少しでも液体が進
入すると膨張係数の違いで浸透した隙間が大きくなり、
ついにはＥ−Ｏ結晶３が剥離する。
【００１４】また外からの衝撃に対しても接着層９が傷
む。これは接着層９が、他の部分、ガラスブロック１、
透明電極２、Ｅ−Ｏ結晶３、誘電体多層反射膜４に比べ
て柔らかいためで、保護プレート８は、ガラスプレート
７に固定してあり、樹脂膜１３より被検査物１１側に５
〜１０μｍ突起していて、被検査物１１が直接、誘電体
多層反射膜４に当たって接着層９が傷みＥ−Ｏ結晶３が
剥離することを防ぐ。
む。これは接着層９が、他の部分、ガラスブロック１、
透明電極２、Ｅ−Ｏ結晶３、誘電体多層反射膜４に比べ
て柔らかいためで、保護プレート８は、ガラスプレート
７に固定してあり、樹脂膜１３より被検査物１１側に５
〜１０μｍ突起していて、被検査物１１が直接、誘電体
多層反射膜４に当たって接着層９が傷みＥ−Ｏ結晶３が
剥離することを防ぐ。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、接着層と
、反射膜とを覆う樹脂膜と、樹脂膜より被検査物側に５
〜１０μｍ突起している保護プレートとを設けることに
よって、微小な接着面で付いているＥ−Ｏ結晶３が露出
していない構造となっているため、外からの衝撃に強く
、水やアルコールなどの液体中での使用が可能となり、
また空気中での使用であっても湿気の露結による水の接
着面へのわずかな浸透によって接着部が経時変化するこ
となく、Ｅ−Ｏ結晶が剥離せず実用性が高いという効果
がある。
、反射膜とを覆う樹脂膜と、樹脂膜より被検査物側に５
〜１０μｍ突起している保護プレートとを設けることに
よって、微小な接着面で付いているＥ−Ｏ結晶３が露出
していない構造となっているため、外からの衝撃に強く
、水やアルコールなどの液体中での使用が可能となり、
また空気中での使用であっても湿気の露結による水の接
着面へのわずかな浸透によって接着部が経時変化するこ
となく、Ｅ−Ｏ結晶が剥離せず実用性が高いという効果
がある。
【図１】本発明の一実施例の断面図である。
【図２】図１に示すＥ−Ｏプローブの部分拡大図である
。
。
１ ガラスブロック
２ 透明電極
３ Ｅ−Ｏ結晶
４ 反射膜
５ 電線
６ 電極接続部
７ ガラスプレート
８ 保護プレート
９ 接着層
１０ 先端面
１１ 被検査物
１２ レーザービーム
１３ 樹脂膜
Claims (1)
- 【請求項１】 角錐形の石英ガラスの頂点を底面と平
行面で削り取ったガラスブロックと、このガラスブロッ
クの斜面と削り取った面とに同時に蒸着した透明電極と
、前記ガラスブロックの削り取った面に接着するＥ−Ｏ
結晶の薄板と、このＥ−Ｏ結晶の薄板上であって前記ガ
ラスブロックと接着した面と反対面に位置する波長７０
０μｍ〜９００μｍのレーザービームを反射する誘電体
多層反射膜と、前記ガラスブロックと前記Ｅ−Ｏ結晶の
薄板との接着部分と前記誘電体多層反射膜とを覆う樹脂
膜と、前記透明電極に電気的に接続する電線と、電線と
透明電極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブロック
と前記電極接続部および電線を保持するガラスプレート
と、前記ガラスプレートに設けられた前記樹脂膜より被
検査物側に５〜１０μｍ突起した保護プレートとを含む
ことを特徴とするＥ−Ｏプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004932A JPH04236438A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | Ｅ−ｏプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3004932A JPH04236438A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | Ｅ−ｏプローブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236438A true JPH04236438A (ja) | 1992-08-25 |
Family
ID=11597358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3004932A Pending JPH04236438A (ja) | 1991-01-21 | 1991-01-21 | Ｅ−ｏプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04236438A (ja) |
-
1991
- 1991-01-21 JP JP3004932A patent/JPH04236438A/ja active Pending
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