JP2531303B2 - Ｅ―ｏプロ―ブ - Google Patents
Ｅ―ｏプロ―ブInfo
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- JP2531303B2 JP2531303B2 JP2269825A JP26982590A JP2531303B2 JP 2531303 B2 JP2531303 B2 JP 2531303B2 JP 2269825 A JP2269825 A JP 2269825A JP 26982590 A JP26982590 A JP 26982590A JP 2531303 B2 JP2531303 B2 JP 2531303B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass block
- transparent electrode
- electric wire
- glass
- electrode
- Prior art date
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- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はE-Oプローブ、特に、微細なLSIのパターン上
の高速信号を非接触でプロービングするE-Oプローブに
関する。
の高速信号を非接触でプロービングするE-Oプローブに
関する。
従来、この種のE-Oプローブは、例えば「日本学術振
興会荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会第109回
研究会資料」のP7-P12に記されているが、被検査物との
電気的容量を少なくするため、100μｍ四方程に小さく
作ったLiNbO3の薄板とガラスブロックとの間に位置する
ITO（Indium Tin Oxide）透明電極から電極取り出す部
分は外部との接触部分を厚く付けた構造となっていた。
興会荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会第109回
研究会資料」のP7-P12に記されているが、被検査物との
電気的容量を少なくするため、100μｍ四方程に小さく
作ったLiNbO3の薄板とガラスブロックとの間に位置する
ITO（Indium Tin Oxide）透明電極から電極取り出す部
分は外部との接触部分を厚く付けた構造となっていた。
上述した従来のE-Oプローブは、その物が小さい上、
透明電極から線を引き出す部分はさらに小さく、電極か
ら線を引き出すことが困難であり、針などで機械的に押
え付けて接触を取る際も電極が取れやすいという欠点が
ある。
透明電極から線を引き出す部分はさらに小さく、電極か
ら線を引き出すことが困難であり、針などで機械的に押
え付けて接触を取る際も電極が取れやすいという欠点が
ある。
本発明のE-Oプローブは、角錐形の石英ガラスの頂点
を底面と平行面で削り取ったガラスブロックと、このガ
ラスブロックの斜面と削り取った面とに同時に蒸着した
透明電極と、前記ガラスブロックの削り取った面に接着
するE-O結晶の薄板と、このE-O結晶の薄板上であって前
記ガラスブロックと接着した面と反対面に位置する波長
700μｍ〜900μｍのレーザービームを反射する誘電体多
層反射膜と、前記透明電極に電気的に接続する電線と、
電線の透明電極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブ
ロックと前記電極接続部および電線を保持するガラスプ
レートとを含んで構成される。
を底面と平行面で削り取ったガラスブロックと、このガ
ラスブロックの斜面と削り取った面とに同時に蒸着した
透明電極と、前記ガラスブロックの削り取った面に接着
するE-O結晶の薄板と、このE-O結晶の薄板上であって前
記ガラスブロックと接着した面と反対面に位置する波長
700μｍ〜900μｍのレーザービームを反射する誘電体多
層反射膜と、前記透明電極に電気的に接続する電線と、
電線の透明電極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブ
ロックと前記電極接続部および電線を保持するガラスプ
レートとを含んで構成される。
次に、本発明について、図面を参照して詳細に説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示す断面図であり、第２
図は同実施例を説明するための部分拡大図である。
図は同実施例を説明するための部分拡大図である。
第１図に示すE-Oプローブは、ガラスブロック１と、
透明電極２と、E-O結晶３と、反射膜４と、電線５と、
電極接続部６と、ガラスプレート７とを含んで構成され
る。
透明電極２と、E-O結晶３と、反射膜４と、電線５と、
電極接続部６と、ガラスプレート７とを含んで構成され
る。
第２図の部分拡大図は、ガラスブロック１にE-O結晶
３が付いた部分の拡大図であって、ガラスブロック１と
E-O結晶３の間に接着層８がある。
３が付いた部分の拡大図であって、ガラスブロック１と
E-O結晶３の間に接着層８がある。
ガラスブロック１は角錐形の石英ガラスで出来てい
て、その角錐の頂点部分は第２図のごとくガラスブロッ
ク１の底面と平行面で削り取った形をしている。このガ
ラスブロック１の削り取った先端面９は100μｍ四方程
の広さを有し、この先端面９と斜面とには、ITO（Indiu
m Tin Oxide）などの材質の透明電極２が一括で蒸着し
てある。
て、その角錐の頂点部分は第２図のごとくガラスブロッ
ク１の底面と平行面で削り取った形をしている。このガ
ラスブロック１の削り取った先端面９は100μｍ四方程
の広さを有し、この先端面９と斜面とには、ITO（Indiu
m Tin Oxide）などの材質の透明電極２が一括で蒸着し
てある。
E-O結晶３はLiNbO3やLiTaO3などのカー効果（ポッケ
スル効果）を有する結晶の薄板であって、接着層８を介
して先端面９に取り付けられている。
スル効果）を有する結晶の薄板であって、接着層８を介
して先端面９に取り付けられている。
このE-O結晶３の被検査物10側の面には、波長700μｍ
〜900μｍのレーザービーム11を反射する誘電体多層反
射膜４がある。E-O結晶３に入射するレーザービーム11
は、数ミクロンから数十ミクロンの径を有し、誘電体多
層反射膜４によって反射され、この時、被検査物10から
の電界に比例して変更される。
〜900μｍのレーザービーム11を反射する誘電体多層反
射膜４がある。E-O結晶３に入射するレーザービーム11
は、数ミクロンから数十ミクロンの径を有し、誘電体多
層反射膜４によって反射され、この時、被検査物10から
の電界に比例して変更される。
電極接続部６は、透明電極２と電線５を電気的に接続
する部分であり、ドータイトなどの金属ペーストを塗布
して乾燥、硬化した物で形成される。ガラスプレート７
は、電極接続部６と電線５を保持しており、電線５に引
っ張り力が加わった際に透明電極２へ直接に力が加わら
ない構造となっている。
する部分であり、ドータイトなどの金属ペーストを塗布
して乾燥、硬化した物で形成される。ガラスプレート７
は、電極接続部６と電線５を保持しており、電線５に引
っ張り力が加わった際に透明電極２へ直接に力が加わら
ない構造となっている。
以上説明したように本発明は、ガラスブロックの斜面
と削り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、この透
明電極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブロックと
前記電極接続部および電線を保持するガラスプレートを
追加することにより、透明電極から先に引き出すことが
容易であり、電線に引っ張り力が加わった際に透明電極
へ直接に力が加わらず、電極部分が丈夫であるという効
果がある。
と削り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、この透
明電極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブロックと
前記電極接続部および電線を保持するガラスプレートを
追加することにより、透明電極から先に引き出すことが
容易であり、電線に引っ張り力が加わった際に透明電極
へ直接に力が加わらず、電極部分が丈夫であるという効
果がある。
第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は同実施例
を説明するための部分拡大図である。 １……ガラスブロック、２……透明電極、３……E-O結
晶、４……反射膜、５……電線、６……電極接続部、７
……ガラスプレート、８……接着層、９……先端面、10
……被検査物、11……レーザービーム。
を説明するための部分拡大図である。 １……ガラスブロック、２……透明電極、３……E-O結
晶、４……反射膜、５……電線、６……電極接続部、７
……ガラスプレート、８……接着層、９……先端面、10
……被検査物、11……レーザービーム。
Claims (1)
- 【請求項１】角錐形の石英ガラスの頂点を底面と平行面
で削り取ったガラスブロックと、このガラスブロックの
斜面と削り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、前
記ガラスブロックの削り取った面に接着するE-O結晶の
薄板と、このE-O結晶の薄板上であって前記ガラスブロ
ックと接着した面と反対面に位置する波長700μｍ〜900
μｍのレーザービームを反射する誘電体多層反射膜と、
前記透明電極に電気的に接続する電線と、電線の透明電
極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブロックと前記
電極接続部および電線を保持するガラスプレートとを含
むことを特徴とするE-Oプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2269825A JP2531303B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | Ｅ―ｏプロ―ブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2269825A JP2531303B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | Ｅ―ｏプロ―ブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04145383A JPH04145383A (ja) | 1992-05-19 |
| JP2531303B2 true JP2531303B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=17477702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2269825A Expired - Fee Related JP2531303B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | Ｅ―ｏプロ―ブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531303B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2802868B2 (ja) * | 1992-12-22 | 1998-09-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 半導体ウエハの非接触電気測定用センサおよびその製造方法、並びに、そのセンサを用いた測定方法 |
-
1990
- 1990-10-08 JP JP2269825A patent/JP2531303B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04145383A (ja) | 1992-05-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627 Year of fee payment: 12 |
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627 Year of fee payment: 13 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |