JP2629478B2 - 非接触プローブ - Google Patents
非接触プローブInfo
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- JP2629478B2 JP2629478B2 JP3076685A JP7668591A JP2629478B2 JP 2629478 B2 JP2629478 B2 JP 2629478B2 JP 3076685 A JP3076685 A JP 3076685A JP 7668591 A JP7668591 A JP 7668591A JP 2629478 B2 JP2629478 B2 JP 2629478B2
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- transparent electrode
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は高速電気信号を観測する
プローブに関し、特に微細なＬＳＩの配線パターン上の
高速電気信号を非接触でプロービングする非接触プロー
ブに関する。
プローブに関し、特に微細なＬＳＩの配線パターン上の
高速電気信号を非接触でプロービングする非接触プロー
ブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の非接触プローブは、たと
えば、文献「日本学術振興会、荷電粒子ビームの工業へ
の応用、第１３２委員会、第１０９回研究会資料、１９
８２年７〜８月」の第７頁から第１２頁に記載されてい
るように、被検査物とプローブの間の電気的容量を少な
くするために１００μｍ四方程度に小さく作ったＬｉＮ
ｂＯ３結晶の薄板と、このＬｉＮｂＯ３結晶の薄板とガ
ラスブロックとの間に位置するＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ
Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）より成る透明電極と、このＬｉＮ
ｂＯ３結晶の薄板の前述した透明電極とは反対側の面に
設けられた多層誘電体反射膜と、前述した透明電極に接
続された電線とを含んで構成されていた。
えば、文献「日本学術振興会、荷電粒子ビームの工業へ
の応用、第１３２委員会、第１０９回研究会資料、１９
８２年７〜８月」の第７頁から第１２頁に記載されてい
るように、被検査物とプローブの間の電気的容量を少な
くするために１００μｍ四方程度に小さく作ったＬｉＮ
ｂＯ３結晶の薄板と、このＬｉＮｂＯ３結晶の薄板とガ
ラスブロックとの間に位置するＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ
Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）より成る透明電極と、このＬｉＮ
ｂＯ３結晶の薄板の前述した透明電極とは反対側の面に
設けられた多層誘電体反射膜と、前述した透明電極に接
続された電線とを含んで構成されていた。
【０００３】ＬｉＮｂＯ３結晶はこの結晶に加わる電界
によって結晶格子が変化し、結晶内に７００〜９００μ
ｍの波長を有するレーザ光がが通過する際にレーザ光の
偏向方向が変化するというポッケルス効果（あるいはカ
ー効果）を有しており、電気的な変化量すなわち電界の
変化をこの結晶内を通過する上述したレーザ光の偏向量
に変換することから、学術的にＥ−Ｏ結晶と呼ばれてい
る。以下このような性質を有する結晶をＥ−Ｏ結晶と称
する。
によって結晶格子が変化し、結晶内に７００〜９００μ
ｍの波長を有するレーザ光がが通過する際にレーザ光の
偏向方向が変化するというポッケルス効果（あるいはカ
ー効果）を有しており、電気的な変化量すなわち電界の
変化をこの結晶内を通過する上述したレーザ光の偏向量
に変換することから、学術的にＥ−Ｏ結晶と呼ばれてい
る。以下このような性質を有する結晶をＥ−Ｏ結晶と称
する。
【０００４】このような従来の非接触プローブを用いて
ＬＳＩの回路パターン上の基準となる点に対して前述し
たＬＳＩの回路の任意の点の電気信号の電位を測定する
場合には、ＬＳＩの回路パターン上の希望する測定位置
の上方に前述したガラスブロックの表面の内で前述した
誘電体多層反射膜が設けられている側を先にして接近さ
せ、Ｅ−Ｏ結晶を測定しようとする測定点の電界中に位
置させ、先述したガラスブロックの透明電極が蒸着され
ている面とは反対側の面からレーザ光を入射させ、この
レーザ光がＥ−Ｏ結晶を通過し誘電体多層反射膜により
反射され再びＥ−Ｏ結晶を通って先述のガラスブロック
を通過してくるレーザ光の偏向の方向と前述したＥ−Ｏ
結晶に電界が加わっていないときの同様なレーザ光の偏
向方向とを比較し、この偏向方向の差を測定することに
よって先述した被測定点の電位を測定していた。
ＬＳＩの回路パターン上の基準となる点に対して前述し
たＬＳＩの回路の任意の点の電気信号の電位を測定する
場合には、ＬＳＩの回路パターン上の希望する測定位置
の上方に前述したガラスブロックの表面の内で前述した
誘電体多層反射膜が設けられている側を先にして接近さ
せ、Ｅ−Ｏ結晶を測定しようとする測定点の電界中に位
置させ、先述したガラスブロックの透明電極が蒸着され
ている面とは反対側の面からレーザ光を入射させ、この
レーザ光がＥ−Ｏ結晶を通過し誘電体多層反射膜により
反射され再びＥ−Ｏ結晶を通って先述のガラスブロック
を通過してくるレーザ光の偏向の方向と前述したＥ−Ｏ
結晶に電界が加わっていないときの同様なレーザ光の偏
向方向とを比較し、この偏向方向の差を測定することに
よって先述した被測定点の電位を測定していた。
【０００５】なお、透明電極に電気的に接続されている
電線は上述した電位の測定の際に測定対象であるＬＳＩ
の基準電位点に接続される。
電線は上述した電位の測定の際に測定対象であるＬＳＩ
の基準電位点に接続される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の非接触
プローブは、その物が小さい上、透明電極に電線を接続
する部分はさらに小さく、透明電極に電線を接続するこ
とが困難であるため、これらのガラスブロックを複数個
同一の平面上に並べたプローブとして使用する際に、そ
れぞれのガラスブロックの透明電極同士を接続するため
には多大な時間を要するという欠点があった。
プローブは、その物が小さい上、透明電極に電線を接続
する部分はさらに小さく、透明電極に電線を接続するこ
とが困難であるため、これらのガラスブロックを複数個
同一の平面上に並べたプローブとして使用する際に、そ
れぞれのガラスブロックの透明電極同士を接続するため
には多大な時間を要するという欠点があった。
【０００７】本発明の目的は、複数個同一平面上に配列
されたガラスブロックに蒸着される透明電極同士を蒸着
時に互いに連続させることにより透明電極に接続する電
線を１本にすることを可能とし、従来のこの種のプロー
ブにくらべて透明電極に電気的に接続される電線の接続
を短時間で行うことを可能とした非接触プローブを提供
することにある。
されたガラスブロックに蒸着される透明電極同士を蒸着
時に互いに連続させることにより透明電極に接続する電
線を１本にすることを可能とし、従来のこの種のプロー
ブにくらべて透明電極に電気的に接続される電線の接続
を短時間で行うことを可能とした非接触プローブを提供
することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の非接触プローブ
は、角錐形の石英ガラスの頂部を底面と平行な面で削り
取った同一形状の複数個のガラスブロックと、前記ガラ
スブロックの底面が一平面上にあり前記ガラスブロック
の底面の辺端を互いに隣接させた状態で前記各ガラスブ
ロックの底面と一面が固着された光学的に等質なガラス
プレートと、前記各ガラスブロックの斜面と削り取った
面とに一括して蒸着した透明電極と、前記各ガラスブロ
ックの頂部の前記透明電極が蒸着された面上に一面が接
着されたＥ−Ｏ結晶の薄板と、これらのＥ−Ｏ結晶の薄
板上であって前記ガラスブロックの頂部の前記透明電極
が蒸着された面とは反対面に位置する誘電体多層反射膜
と、前記透明電極に電気的に接続された電線とを備えて
構成されている。
は、角錐形の石英ガラスの頂部を底面と平行な面で削り
取った同一形状の複数個のガラスブロックと、前記ガラ
スブロックの底面が一平面上にあり前記ガラスブロック
の底面の辺端を互いに隣接させた状態で前記各ガラスブ
ロックの底面と一面が固着された光学的に等質なガラス
プレートと、前記各ガラスブロックの斜面と削り取った
面とに一括して蒸着した透明電極と、前記各ガラスブロ
ックの頂部の前記透明電極が蒸着された面上に一面が接
着されたＥ−Ｏ結晶の薄板と、これらのＥ−Ｏ結晶の薄
板上であって前記ガラスブロックの頂部の前記透明電極
が蒸着された面とは反対面に位置する誘電体多層反射膜
と、前記透明電極に電気的に接続された電線とを備えて
構成されている。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１は本発明の非接触プローブの一実施例
を示す側断面図であり、図２は図１の部分拡大図であ
る。
を示す側断面図であり、図２は図１の部分拡大図であ
る。
【００１１】図１に示す非接触プローブは互いに底面の
側端同士が隣接しているガラスブロック１と、ガラスブ
ロック１の表面に蒸着された透明電極２と、ガラスブロ
ック１の頂部の透明電極の上に一面が固着された薄板上
のＥ−Ｏ結晶３と、このＥ−Ｏ結晶３の透明電極２とは
反対側の面に固着された誘電体多層反射膜４と、透明電
極２に電気的に接続された電線５と、この電線５を透明
電極上に固定する電極接続部６と、複数のガラスブロッ
ク１の底面を一面側に固着したガラスプレート７とを含
んで構成されている。
側端同士が隣接しているガラスブロック１と、ガラスブ
ロック１の表面に蒸着された透明電極２と、ガラスブロ
ック１の頂部の透明電極の上に一面が固着された薄板上
のＥ−Ｏ結晶３と、このＥ−Ｏ結晶３の透明電極２とは
反対側の面に固着された誘電体多層反射膜４と、透明電
極２に電気的に接続された電線５と、この電線５を透明
電極上に固定する電極接続部６と、複数のガラスブロッ
ク１の底面を一面側に固着したガラスプレート７とを含
んで構成されている。
【００１２】図２の部分拡大図は、ガラスブロック１と
Ｅ−Ｏ結晶３と電線５を含んだ部分の部分拡大図であっ
て、ガラスブロック１の頂部に蒸着された透明電極２の
表面とＥ−Ｏ結晶３とは接着層８によって固着されてい
る。
Ｅ−Ｏ結晶３と電線５を含んだ部分の部分拡大図であっ
て、ガラスブロック１の頂部に蒸着された透明電極２の
表面とＥ−Ｏ結晶３とは接着層８によって固着されてい
る。
【００１３】ガラスブロック１は、角錐形の石英ガラス
でできていて、その角錐の頂部はガラスブロック１の底
面と平行な平面になるように削り取られている。
でできていて、その角錐の頂部はガラスブロック１の底
面と平行な平面になるように削り取られている。
【００１４】同一形状の複数のガラスブロック１は、こ
れらガラスブロック１の底面が一つの平面上にありまた
その底面部は光学的に等方性を持つガラスプレート７の
広幅面に固着されている。またこれらガラスブロック１
同士は互いに隣接している。
れらガラスブロック１の底面が一つの平面上にありまた
その底面部は光学的に等方性を持つガラスプレート７の
広幅面に固着されている。またこれらガラスブロック１
同士は互いに隣接している。
【００１５】各ガラスブロック１の頂部が削り取られた
先端面９とその斜面とには、たとえば、ＩＴＯなどの光
学的には透明で導電性を有する材料が一括して蒸着され
て透明電極２を形成している。この透明電極２によって
すべての複数個のガラスブロック１のガラスプレート７
とは反対側の面は電気的に接続された状態となってい
る。
先端面９とその斜面とには、たとえば、ＩＴＯなどの光
学的には透明で導電性を有する材料が一括して蒸着され
て透明電極２を形成している。この透明電極２によって
すべての複数個のガラスブロック１のガラスプレート７
とは反対側の面は電気的に接続された状態となってい
る。
【００１６】Ｅ−Ｏ結晶３は、たとえば、ＬｉＮｂＯ３
やＬｉＴａＯ３などのポッケルス効果（またはカー効
果）を有する結晶の薄板であって、接着層８によって先
端面９上に蒸着されている透明電極２に固着されてい
る。
やＬｉＴａＯ３などのポッケルス効果（またはカー効
果）を有する結晶の薄板であって、接着層８によって先
端面９上に蒸着されている透明電極２に固着されてい
る。
【００１７】このＥ−Ｏ結晶３の被検査物１０に近い側
の面には、測定時に使用する光、たとえばレーザービー
ム１１の波長を持つ光を反射する誘電体多層反射膜４が
固着されている。
の面には、測定時に使用する光、たとえばレーザービー
ム１１の波長を持つ光を反射する誘電体多層反射膜４が
固着されている。
【００１８】電極接続部６は電線５を透明電極２に固着
する部分であり、銀などの導電性を有する微粉が混合さ
れている接着剤より成り電線５を透明電極２に固着して
いる。
する部分であり、銀などの導電性を有する微粉が混合さ
れている接着剤より成り電線５を透明電極２に固着して
いる。
【００１９】図１中に示されているようにガラスプレー
ト７の上方から入射したレーザービーム１１はガラスブ
ロック１を通過しＥ−Ｏ結晶３を通過し誘電体多層反射
膜４によって反射され、再びＥ−Ｏ結晶３とガラスブロ
ック１およびガラスプレート７をこの順に通過して自由
空間に出てくる。
ト７の上方から入射したレーザービーム１１はガラスブ
ロック１を通過しＥ−Ｏ結晶３を通過し誘電体多層反射
膜４によって反射され、再びＥ−Ｏ結晶３とガラスブロ
ック１およびガラスプレート７をこの順に通過して自由
空間に出てくる。
【００２０】電線５を被検査物１０の基準電位点に接続
すると、被検査物１０上のＥ−Ｏ結晶３に近接している
領域の電界の場中にこのＥ−Ｏ結晶３が置かれることに
なり、前述したレーザービームの偏向方向はＥ−Ｏ結晶
３内を往復通過するときＥ−Ｏ結晶３内の電界の大きさ
応じて変化するので電界の大きさが０であるときのレー
ザビームの偏向方向と上述した測定時に測定されたレー
ザービーム１１の反射成分の偏向方向との差を測定する
ことによりＥ−Ｏ結晶３が置かれた部分の電界の大きさ
を知ることができる。すなわち、被検査物１０の上のＥ
−Ｏ結晶３に近接する部分の電界の大きさをレーザービ
ーム１１の反射光の偏向方向を測定することによって知
ることができる。
すると、被検査物１０上のＥ−Ｏ結晶３に近接している
領域の電界の場中にこのＥ−Ｏ結晶３が置かれることに
なり、前述したレーザービームの偏向方向はＥ−Ｏ結晶
３内を往復通過するときＥ−Ｏ結晶３内の電界の大きさ
応じて変化するので電界の大きさが０であるときのレー
ザビームの偏向方向と上述した測定時に測定されたレー
ザービーム１１の反射成分の偏向方向との差を測定する
ことによりＥ−Ｏ結晶３が置かれた部分の電界の大きさ
を知ることができる。すなわち、被検査物１０の上のＥ
−Ｏ結晶３に近接する部分の電界の大きさをレーザービ
ーム１１の反射光の偏向方向を測定することによって知
ることができる。
【００２１】また、被検査物１０上で複数のガラスブロ
ック１のそれぞれの頂部に近接している部分の電界の大
きさが、それぞれのガラスブロック１から反射されるレ
ーザービーム１１の反射成分の偏向方向を同時にまた別
個に測定することによって知ることができる。
ック１のそれぞれの頂部に近接している部分の電界の大
きさが、それぞれのガラスブロック１から反射されるレ
ーザービーム１１の反射成分の偏向方向を同時にまた別
個に測定することによって知ることができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の非接触プ
ローブは、複数のガラスブロック１をガラスプレート７
に互いに隣接して固着しこれらガラスブロック１の斜面
と頂部とに電気点に連続した透明電極を一括して設ける
ことにより、透明電極に接続する電線は１本だけでよい
ため、従来のこの種の被接触プローブにくらべて電線と
透明電極との接続が容易となり短時間にこの電線を透明
電極に接続できるという効果を有している。
ローブは、複数のガラスブロック１をガラスプレート７
に互いに隣接して固着しこれらガラスブロック１の斜面
と頂部とに電気点に連続した透明電極を一括して設ける
ことにより、透明電極に接続する電線は１本だけでよい
ため、従来のこの種の被接触プローブにくらべて電線と
透明電極との接続が容易となり短時間にこの電線を透明
電極に接続できるという効果を有している。
【図１】本発明の非接触プローブの一実施例を示す側断
面図である。
面図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
１ ガラスブロック ２ 透明電極 ３ Ｅ−Ｏ結晶 ４ 誘電体多層反射膜 ５ 電線 ７ ガラスプレート
Claims (1)
- 【請求項１】 角錐形の石英ガラスの頂部を底面と平行
な面で削り取った同一形状の複数個のガラスブロック
と、前記ガラスブロックの底面が一平面上にあり前記ガ
ラスブロックの底面の辺端を互いに隣接させた状態で前
記各ガラスブロックの底面と一面が固着された光学的に
等質なガラスプレートと、前記各ガラスブロックの斜面
と削り取った面とに一括して蒸着した透明電極と、前記
各ガラスブロックの頂部の前記透明電極が蒸着された面
上に一面が接着されたＥ−Ｏ結晶の薄板と、これらのＥ
−Ｏ結晶の薄板上であって前記ガラスブロックの頂部の
前記透明電極が蒸着された面とは反対面に位置する誘電
体多層反射膜と、前記透明電極に電気的に接続された電
線とを有することを特徴とする非接触プローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076685A JP2629478B2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 非接触プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3076685A JP2629478B2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 非接触プローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04310882A JPH04310882A (ja) | 1992-11-02 |
| JP2629478B2 true JP2629478B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=13612304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3076685A Expired - Fee Related JP2629478B2 (ja) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | 非接触プローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2629478B2 (ja) |
-
1991
- 1991-04-10 JP JP3076685A patent/JP2629478B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04310882A (ja) | 1992-11-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19970225 |
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