JP3301106B2 - Ｅ−ｏプローブ - Google Patents
Ｅ−ｏプローブInfo
- Publication number
- JP3301106B2 JP3301106B2 JP10263392A JP10263392A JP3301106B2 JP 3301106 B2 JP3301106 B2 JP 3301106B2 JP 10263392 A JP10263392 A JP 10263392A JP 10263392 A JP10263392 A JP 10263392A JP 3301106 B2 JP3301106 B2 JP 3301106B2
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- Japan
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- shaped
- crystal
- glass block
- glass
- laser beam
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- Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＥ−Ｏプローブ、特に、
微細なＬＳＩの配線パターン上の高速信号を検出するＥ
−Ｏプローブに関する。
微細なＬＳＩの配線パターン上の高速信号を検出するＥ
−Ｏプローブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のＥ−Ｏプローブは、例え
ば文献「日本学術振興会荷電粒子ビームの工業への応用
第１３２委員会第１０９回研究会資料」のＰ７−Ｐ１２
に記されている。
ば文献「日本学術振興会荷電粒子ビームの工業への応用
第１３２委員会第１０９回研究会資料」のＰ７−Ｐ１２
に記されている。
【０００３】Ｅ−Ｏ結晶は、静電容量を小さくすること
によって、より高速の電気信号を検出できるように、１
００μｍ四方程に小さく作り、保持用のガラスブロック
にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）透明電
極を挟んで接着した構造となっていて、さらに被検査物
の電気信号をより効率よく検出するために、被検査物と
Ｅ−Ｏ結晶との間にアルコールを入れる構成となってい
た。
によって、より高速の電気信号を検出できるように、１
００μｍ四方程に小さく作り、保持用のガラスブロック
にＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）透明電
極を挟んで接着した構造となっていて、さらに被検査物
の電気信号をより効率よく検出するために、被検査物と
Ｅ−Ｏ結晶との間にアルコールを入れる構成となってい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のＥ−Ｏ
プローブは、Ｅ−Ｏ結晶が薄板状になっているため、レ
ーザー光を垂直に入射する際には、誘電体多層反射膜か
らの反射光が、入射光と同じ光軸上に返され、入射光と
反射光を分離する必要が生じ、また、入射光を誘電体多
層反射膜に角度を付けて入射した際には、 入力光と反射
光を分離する必要はないが、入射光がガラスブロックか
らＥ−Ｏ結晶に入る際に、境界面で反射を起こし、レー
ザー光の損失が大きくなり、境界面での反射光がガラス
ブロック内に走り、ノイズとなって信号を汚すという欠
点がある。
プローブは、Ｅ−Ｏ結晶が薄板状になっているため、レ
ーザー光を垂直に入射する際には、誘電体多層反射膜か
らの反射光が、入射光と同じ光軸上に返され、入射光と
反射光を分離する必要が生じ、また、入射光を誘電体多
層反射膜に角度を付けて入射した際には、 入力光と反射
光を分離する必要はないが、入射光がガラスブロックか
らＥ−Ｏ結晶に入る際に、境界面で反射を起こし、レー
ザー光の損失が大きくなり、境界面での反射光がガラス
ブロック内に走り、ノイズとなって信号を汚すという欠
点がある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のＥ−Ｏプローブ
は、角錐型の石英ガラスの頂点部分をＶ字の溝に削り取
ったガラスブロックと、前記ガラスブロックの斜面と削
り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、前記ガラス
ブロックの削り取ったＶ字の溝に接着する五角柱型のＥ
−Ｏ結晶と、このＥ−Ｏ結晶の上であって前記ガラスブ
ロックと接着した側と反対側に位置する波長７００ｎｍ
−９００ｎｍのレーザービームを反射する誘電体多層反
射膜と、前記透明電極に電気的に接続する電線と、電線
と透明電極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブロッ
クと前記電極接続部および電線を保持するガラスプレー
トとを含んで構成される。
は、角錐型の石英ガラスの頂点部分をＶ字の溝に削り取
ったガラスブロックと、前記ガラスブロックの斜面と削
り取った面とに同時に蒸着した透明電極と、前記ガラス
ブロックの削り取ったＶ字の溝に接着する五角柱型のＥ
−Ｏ結晶と、このＥ−Ｏ結晶の上であって前記ガラスブ
ロックと接着した側と反対側に位置する波長７００ｎｍ
−９００ｎｍのレーザービームを反射する誘電体多層反
射膜と、前記透明電極に電気的に接続する電線と、電線
と透明電極とをつなぐ電極接続部と、前記ガラスブロッ
クと前記電極接続部および電線を保持するガラスプレー
トとを含んで構成される。
【０００６】
【実施例】次に、本発明について、図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
【０００７】図１は本発明の実施例を示す断面図、図２
は同実施例を説明するための部分拡大図である。
は同実施例を説明するための部分拡大図である。
【０００８】図１に示すＥ−Ｏプローブは、ガラスブロ
ック１０１と、透明電極１０２と、Ｅ−Ｏ結晶１０３
と、反射膜１０４と、電線１０５と、電極接続部１０６
と、ガラスプレート１０７とを含んで構成される。
ック１０１と、透明電極１０２と、Ｅ−Ｏ結晶１０３
と、反射膜１０４と、電線１０５と、電極接続部１０６
と、ガラスプレート１０７とを含んで構成される。
【０００９】図２は図１において、ガラスブロック１０
１にＥ−Ｏ結晶１０３が付いた部分の拡大図であって、
ガラスブロック１０１とＥ−Ｏ結晶１０３の間に接着層
１０８がある。
１にＥ−Ｏ結晶１０３が付いた部分の拡大図であって、
ガラスブロック１０１とＥ−Ｏ結晶１０３の間に接着層
１０８がある。
【００１０】ガラスブロック１０１は、角錐型の石英ガ
ラスで出来ていて、その角錐の頂点部分は図２のごとく
Ｖ字の溝に削られている。このガラスブロック１０１の
削り取ったＶ字の先端面１０９と斜面とには、ＩＴＯな
どの材質の透明電極１０２が一括で蒸着してある。Ｅ−
Ｏ結晶１０３はＬｉＮｂＯ3やＬｉＴａＯ3などのカー効
果（ポッケスル効果）を有する結晶で作られ、ガラスブ
ロック１０１のＶ字の先端面１０９に合わせた五角柱型
に形成した物であって、接着層１０ ８を介して取り付け
られている。このＥ−Ｏ結晶１０３の被検査物１１０側
の面には、波長７００ｎｍ−９００ｎｍのレーザービー
ム１１１を反射する誘電体多層反射膜１０４がある。
ラスで出来ていて、その角錐の頂点部分は図２のごとく
Ｖ字の溝に削られている。このガラスブロック１０１の
削り取ったＶ字の先端面１０９と斜面とには、ＩＴＯな
どの材質の透明電極１０２が一括で蒸着してある。Ｅ−
Ｏ結晶１０３はＬｉＮｂＯ3やＬｉＴａＯ3などのカー効
果（ポッケスル効果）を有する結晶で作られ、ガラスブ
ロック１０１のＶ字の先端面１０９に合わせた五角柱型
に形成した物であって、接着層１０ ８を介して取り付け
られている。このＥ−Ｏ結晶１０３の被検査物１１０側
の面には、波長７００ｎｍ−９００ｎｍのレーザービー
ム１１１を反射する誘電体多層反射膜１０４がある。
【００１１】Ｅ−Ｏ結晶１０３に入射するレーザービー
ム１１１は、数ミクロンから数十ミクロンの径を有し、
Ｖ字に削られた先端面１０９の片側の面に垂直に入射
し、誘電体多層反射膜１０４によって反射し、入射面と
は反対のＶ字面から出射する。このＥ−Ｏ結晶１０３を
通過時に、被検査物１１０からの電界に比例して偏向さ
れる。電極接続部１０６は、透明電極１０２と電線１０
５を電気的に接続する部分であり、ドータイトなどの金
属ペーストを塗布して乾燥、硬化した物である。ガラス
プレート１０７は、電極接続部１０６と電線１０５を保
持しており、電線１０５に引っ張り力が加わった際に透
明電極１０２へ直接に力が加わらない構造となってい
る。
ム１１１は、数ミクロンから数十ミクロンの径を有し、
Ｖ字に削られた先端面１０９の片側の面に垂直に入射
し、誘電体多層反射膜１０４によって反射し、入射面と
は反対のＶ字面から出射する。このＥ−Ｏ結晶１０３を
通過時に、被検査物１１０からの電界に比例して偏向さ
れる。電極接続部１０６は、透明電極１０２と電線１０
５を電気的に接続する部分であり、ドータイトなどの金
属ペーストを塗布して乾燥、硬化した物である。ガラス
プレート１０７は、電極接続部１０６と電線１０５を保
持しており、電線１０５に引っ張り力が加わった際に透
明電極１０２へ直接に力が加わらない構造となってい
る。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、角錐型の
石英ガラスの頂点部分をＶ字の溝に削り取ったガラスブ
ロックと、この溝に接着する五角柱型のＥ−Ｏ結晶と、
レーザービームを反射する誘電体多層反射膜とを有し、
レーザービームをＶ字面に垂直に入射することによっ
て、ガラスブロックからＥ−Ｏ結晶に入る際に、境界面
での反射がなくなり、レーザー光の損失が少なくなると
同時に、境界面での反射光がガラスブロック内に走り、
ノイズとなって信号を汚すということがなくなり、良好
な検出信号が得られるという効果がある。
石英ガラスの頂点部分をＶ字の溝に削り取ったガラスブ
ロックと、この溝に接着する五角柱型のＥ−Ｏ結晶と、
レーザービームを反射する誘電体多層反射膜とを有し、
レーザービームをＶ字面に垂直に入射することによっ
て、ガラスブロックからＥ−Ｏ結晶に入る際に、境界面
での反射がなくなり、レーザー光の損失が少なくなると
同時に、境界面での反射光がガラスブロック内に走り、
ノイズとなって信号を汚すということがなくなり、良好
な検出信号が得られるという効果がある。
【図１】本発明の実施例の断面図である。
【図２】実施例を説明するための部分拡大図である。
【符号の説明】１０１ ガラスブロック １０２ 透明電極 １０３ Ｅ−Ｏ結晶 １０４ 反射膜 １０５ 電線 １０６ 電極接続部 １０７ ガラスプレート １０８ 接着層 １０９ 先端面 １１０ 被検査物 １１１ レーザービーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01R 15/00 - 19/32 G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/28 - 31/3193
Claims (1)
- 【請求項１】 角錐型の石英ガラスの頂点部分をＶ字の
溝に形成したガラスブロックと、前記ガラスブロックの
斜面と前記Ｖ字の溝の表面とに形成された透明電極と、
前記Ｖ字の溝に２辺が密着する五角柱型のＥ−Ｏ結晶
と、前記Ｅ−Ｏ結晶の前記ガラスブロックと密着した側
と対向する側に位置する波長７００ｎｍ−９００ｎｍの
レーザービームを反射する誘電体多層反射膜と、前記透
明電極に電気的に接続する電線と、電線と透明電極とを
つなぐ電極接続部と、前記ガラスブロックと前記電極接
続部および電線を保持するガラスプレートとを有し、前
記レーザービームが前記Ｖ字面の１方の面に垂直に入射
し、前記レーザビームが前記誘電体多層反射膜で反射さ
れた反射光は前記Ｖ字面の他方の面に垂直に反射するこ
とを特徴とするＥ−Ｏプローブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10263392A JP3301106B2 (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Ｅ−ｏプローブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10263392A JP3301106B2 (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Ｅ−ｏプローブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666845A JPH0666845A (ja) | 1994-03-11 |
| JP3301106B2 true JP3301106B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=14332647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10263392A Expired - Fee Related JP3301106B2 (ja) | 1992-04-22 | 1992-04-22 | Ｅ−ｏプローブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3301106B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002022775A (ja) | 2000-07-05 | 2002-01-23 | Ando Electric Co Ltd | 電気光学プローブおよび磁気光学プローブ |
-
1992
- 1992-04-22 JP JP10263392A patent/JP3301106B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0666845A (ja) | 1994-03-11 |
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Legal Events
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