JPH04310644A - 光ディスクの検査方法 - Google Patents
光ディスクの検査方法Info
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- JPH04310644A JPH04310644A JP10334491A JP10334491A JPH04310644A JP H04310644 A JPH04310644 A JP H04310644A JP 10334491 A JP10334491 A JP 10334491A JP 10334491 A JP10334491 A JP 10334491A JP H04310644 A JPH04310644 A JP H04310644A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 9
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクの検査方法
に関するものであり、特にグルーブに発生する微小欠陥
を検出するための検査方法に関するものである。
に関するものであり、特にグルーブに発生する微小欠陥
を検出するための検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光ディスクにおいては、ディスク上の欠
陥の検査が不可欠であり、例えばグルーブの幅を狭くし
てランド部に信号を記録するようにしたランド記録方式
の光ディスクでは、記録再生時に前記ランド部を中心と
してトラッキング制御を行う関係から、ディスクの欠陥
を検出する際にも、ランド部を中心としてトラッキング
制御し、ＲＦ信号やトラッキングエラー信号のドロップ
アウト等を検出するようにしている。
陥の検査が不可欠であり、例えばグルーブの幅を狭くし
てランド部に信号を記録するようにしたランド記録方式
の光ディスクでは、記録再生時に前記ランド部を中心と
してトラッキング制御を行う関係から、ディスクの欠陥
を検出する際にも、ランド部を中心としてトラッキング
制御し、ＲＦ信号やトラッキングエラー信号のドロップ
アウト等を検出するようにしている。
【０００３】図２は、従来の検査方法におけるレーザビ
ームＢの強度分布を示すもので、従来は、グルーブ１ａ
が設けられた透明基板１と反射膜２とからなる光ディス
クに対して、記録領域であるランド部１ｂの中心にレー
ザービームＢの中心が位置するように走査し、反射光を
検出している。
ームＢの強度分布を示すもので、従来は、グルーブ１ａ
が設けられた透明基板１と反射膜２とからなる光ディス
クに対して、記録領域であるランド部１ｂの中心にレー
ザービームＢの中心が位置するように走査し、反射光を
検出している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ようなトラッキング制御を行って光ディスクの検査を行
った場合には、ランド部に発生した欠陥は検出し易いが
、マスタリング工程等で発生するグルーブの微小欠陥（
例えば、カッティング時のデフォーカス等に起因してグ
ルーブが十分深く形成されないことによる欠陥等。）に
ついては、ＳＮ比がランド部に比べて悪いので検出が難
しい。
ようなトラッキング制御を行って光ディスクの検査を行
った場合には、ランド部に発生した欠陥は検出し易いが
、マスタリング工程等で発生するグルーブの微小欠陥（
例えば、カッティング時のデフォーカス等に起因してグ
ルーブが十分深く形成されないことによる欠陥等。）に
ついては、ＳＮ比がランド部に比べて悪いので検出が難
しい。
【０００５】すなわち、図２からも明らかなように、ラ
ンド部１ｂの中心にレーザービームＢの中心が位置する
ようなトラッキング制御を行うと、グルーブ１ａの中心
位置Ｙにおけるビーム強度がランド部１ｂの中心位置Ｘ
におけるビーム強度に比べてかなり弱くなり、グルーブ
１ａに微小欠陥が発生してもエラー信号が小さく、ＳＮ
比が十分でないとほとんど検出することができない。
ンド部１ｂの中心にレーザービームＢの中心が位置する
ようなトラッキング制御を行うと、グルーブ１ａの中心
位置Ｙにおけるビーム強度がランド部１ｂの中心位置Ｘ
におけるビーム強度に比べてかなり弱くなり、グルーブ
１ａに微小欠陥が発生してもエラー信号が小さく、ＳＮ
比が十分でないとほとんど検出することができない。
【０００６】そこで本発明は、かかる従来の実情に鑑み
て提案されたものであって、グルーブの微小欠陥に対す
る検出能力を高め、マスタリング工程等で発生するグル
ーブの欠落等を的確に把握することが可能な光ディスク
の検査方法を提供することを目的とする。
て提案されたものであって、グルーブの微小欠陥に対す
る検出能力を高め、マスタリング工程等で発生するグル
ーブの欠落等を的確に把握することが可能な光ディスク
の検査方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の検査方法は、記録領域となるランド部と
、これらランド部間に設けられるグルーブとを有してな
る光ディスクに対し、光学ビームをビームスポットの中
心が前記グルーブの略中心に位置するようにトラッキン
グ制御しながら照射し、グルーブの欠陥を検査すること
を特徴とするものである。
めに、本発明の検査方法は、記録領域となるランド部と
、これらランド部間に設けられるグルーブとを有してな
る光ディスクに対し、光学ビームをビームスポットの中
心が前記グルーブの略中心に位置するようにトラッキン
グ制御しながら照射し、グルーブの欠陥を検査すること
を特徴とするものである。
【０００８】
【作用】本発明においては、光学ビーム（レーザビーム
）をビームスポットの中心が前記グルーブの略中心に位
置するようにトラッキング制御しながら照射しているの
で、ビーム強度はグルーブの中心で最も大きくなる。 したがって、グルーブの欠陥により発生するエラー信号
が大きくなり、グルーブの微小欠陥に対する検出能力が
高められる。
）をビームスポットの中心が前記グルーブの略中心に位
置するようにトラッキング制御しながら照射しているの
で、ビーム強度はグルーブの中心で最も大きくなる。 したがって、グルーブの欠陥により発生するエラー信号
が大きくなり、グルーブの微小欠陥に対する検出能力が
高められる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて、図面を参照しながら説明する。本実施例において
、検査対象とする光ディスクは、ランド記録方式の光デ
ィスクである。すなわち、この光ディスクにおいては、
図１に示すように、透明基板１に断面略三角形状の幅の
狭いグルーブ１ａが所定のピッチで形成されており、こ
れらグルーブ１ａ間の平坦な領域がランド部１ｂとされ
ている。そして、このランド部１ｂが、各種情報信号が
記録される記録領域とされている。なお、前記透明基板
１には、前記グルーブ１ａ及びランド部１ｂを裏打ちす
る如くアルミニウム等の金属膜が反射膜２として形成さ
れている。
いて、図面を参照しながら説明する。本実施例において
、検査対象とする光ディスクは、ランド記録方式の光デ
ィスクである。すなわち、この光ディスクにおいては、
図１に示すように、透明基板１に断面略三角形状の幅の
狭いグルーブ１ａが所定のピッチで形成されており、こ
れらグルーブ１ａ間の平坦な領域がランド部１ｂとされ
ている。そして、このランド部１ｂが、各種情報信号が
記録される記録領域とされている。なお、前記透明基板
１には、前記グルーブ１ａ及びランド部１ｂを裏打ちす
る如くアルミニウム等の金属膜が反射膜２として形成さ
れている。
【００１０】通常、前述のような構成を有する光ディス
クでは、記録再生時にランド部１ｂにトラッキングをか
けることから、検査を行う場合にも、図２に示すように
、レーザビームのビームスポットの中心がランド部１ｂ
の中心に来るようにトラッキング制御している。しかし
ながら、先にも述べたように、この場合にはグルーブ１
ａにおけるビーム強度が弱く、十分なエラー信号を得る
ことができない。
クでは、記録再生時にランド部１ｂにトラッキングをか
けることから、検査を行う場合にも、図２に示すように
、レーザビームのビームスポットの中心がランド部１ｂ
の中心に来るようにトラッキング制御している。しかし
ながら、先にも述べたように、この場合にはグルーブ１
ａにおけるビーム強度が弱く、十分なエラー信号を得る
ことができない。
【００１１】そこで、本実施例においては、グルーブ１
ａの中心位置ＹにレーザビームＢのビームスポットの中
心が位置するようなトラッキング制御を行い、グルーブ
１ａの欠陥を検査することとする。すなわち、本実施例
においては、ランド部１ｂへの記録再生時とは異なり、
グルーブ１ａに対してトラッキングをかけ、ＲＦ信号や
トラッキングエラー信号のドロップアウト等を検出する
。
ａの中心位置ＹにレーザビームＢのビームスポットの中
心が位置するようなトラッキング制御を行い、グルーブ
１ａの欠陥を検査することとする。すなわち、本実施例
においては、ランド部１ｂへの記録再生時とは異なり、
グルーブ１ａに対してトラッキングをかけ、ＲＦ信号や
トラッキングエラー信号のドロップアウト等を検出する
。
【００１２】一般に、レーザビームのビーム強度は、ビ
ームスポット内でガウシアン分布を呈し、上述のように
グルーブ１ａの中心位置ＹにレーザビームＢのビームス
ポットの中心が位置するようなトラッキング制御を行う
と、図１に示すように、グルーブ１ａの中心位置Ｙでの
ビーム強度が最も大きくなる。したがって、グルーブ１
ａに発生した微小欠陥によるエラー信号は、図２に示す
ようにレーザビームのビームスポットの中心がランド部
１ｂの中心に来るようにトラッキング制御したときに比
べて遥かに大きくなり、検出が非常に容易なものとなる
。
ームスポット内でガウシアン分布を呈し、上述のように
グルーブ１ａの中心位置ＹにレーザビームＢのビームス
ポットの中心が位置するようなトラッキング制御を行う
と、図１に示すように、グルーブ１ａの中心位置Ｙでの
ビーム強度が最も大きくなる。したがって、グルーブ１
ａに発生した微小欠陥によるエラー信号は、図２に示す
ようにレーザビームのビームスポットの中心がランド部
１ｂの中心に来るようにトラッキング制御したときに比
べて遥かに大きくなり、検出が非常に容易なものとなる
。
【００１３】また、マスタリング工程等において、カッ
ティング時のデフォーカス等が原因で十分な深さのグル
ーブ１ａが形成されなかった場合、あるいはグルーブ１
ａが全く形成されなかった場合には、この部分のエラー
信号はＲＦ信号にドロップインの形で検出され、欠陥の
種類をある程度識別することが可能となるという利点も
生まれる。
ティング時のデフォーカス等が原因で十分な深さのグル
ーブ１ａが形成されなかった場合、あるいはグルーブ１
ａが全く形成されなかった場合には、この部分のエラー
信号はＲＦ信号にドロップインの形で検出され、欠陥の
種類をある程度識別することが可能となるという利点も
生まれる。
【００１４】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明においては、グルーブにトラッキングをかけながら検
査を行うようにしているので、グルーブの欠陥で発生す
るエラー信号を大きくしＳＮ比を上げることができる。 したがって、グルーブに発生する微小欠陥の検出能力を
大幅に向上することが可能である。
明においては、グルーブにトラッキングをかけながら検
査を行うようにしているので、グルーブの欠陥で発生す
るエラー信号を大きくしＳＮ比を上げることができる。 したがって、グルーブに発生する微小欠陥の検出能力を
大幅に向上することが可能である。
【００１５】また、欠陥によるエラー信号として、ドロ
ップインとドロップアウトの両者の検出が可能となり、
欠陥の種類を区別し易くなり、グルーブの部分的な欠落
等に対する検出能力を高めることができる。
ップインとドロップアウトの両者の検出が可能となり、
欠陥の種類を区別し易くなり、グルーブの部分的な欠落
等に対する検出能力を高めることができる。
【図１】本発明を適用した実施例におけるビーム強度の
分布を示す模式図である。
分布を示す模式図である。
【図２】従来例におけるビーム強度の分布を示す模式図
である。
である。
Claims (1)
- 【請求項１】 記録領域となるランド部と、これらラ
ンド部間に設けられるグルーブとを有してなる光ディス
クに対し、光学ビームをビームスポットの中心が前記グ
ルーブの略中心に位置するようにトラッキング制御しな
がら照射し、グルーブの欠陥を検査することを特徴とす
る光ディスクの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10334491A JPH04310644A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 光ディスクの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10334491A JPH04310644A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 光ディスクの検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04310644A true JPH04310644A (ja) | 1992-11-02 |
Family
ID=14351526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10334491A Withdrawn JPH04310644A (ja) | 1991-04-09 | 1991-04-09 | 光ディスクの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04310644A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007188565A (ja) * | 2006-01-11 | 2007-07-26 | Pioneer Electronic Corp | 検査用光ディスク及びその製造方法 |
-
1991
- 1991-04-09 JP JP10334491A patent/JPH04310644A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007188565A (ja) * | 2006-01-11 | 2007-07-26 | Pioneer Electronic Corp | 検査用光ディスク及びその製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980711 |