JPH0430040Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

（産業上の利用分野） 本考案は建築物の窓ガラスや自動車の窓ガラス
として用いられる透明熱線反射板に関する。 （従来の技術） 室内への熱線の侵入を阻止し、室温の上昇を防
止するようにした透明熱線反射板が知られてい
る。この透明熱線反射板はガラス板の表面に金属
薄膜をスパツタリング等によつて形成したもので
ある。 また熱線反射機能のみでなく、装飾機能をも高
めるべく、ガラス板の表面にSnO₂等の透明誘電
体層を形成し、この透明誘電体層の上に窒化クロ
ム層（CrNx）層を形成し、前記透明誘電体層の
厚みを変えることで非膜面反射色を調整するよう
にした透明熱線反射板が特開昭60−36355号とし
て知られている。 （考案が解決しようとする問題点） 上述した従来の透明熱線反射板にあつては、透
明誘電体層の厚みを変えることで、非膜面反射色
が変化するのであるが、ガラス面反射色を所定の
色調にした場合、透過色が橙色〜赤色〜赤紫色系
となつたり、膜面反射色が紫〜濃青色系となつた
りし、これらの色が一般建築用として好ましくな
いために用いることができない場合がある。 （問題点を解決するための手段） 上記の問題点を解決するために本考案は、透明
基板表面に幾何学的厚みで１〜40nmの範囲でク
ロム層又は窒化クロム層と５〜500nmの範囲の光
学的厚さの透明誘電体層と幾何学的厚みで１〜
40nmの範囲でクロム層又は窒化クロム層と５〜
300nmの範囲の光学的厚さの透明誘電体層を順次
形成した。 （作用） 透明熱線反射板の膜構成の４層とし、各々の層
の厚みが適当な組合せと成つたときにおだやかな
反射色を呈する。 （実施例） 以下に本考案の実施例を添付図面に基づいて説
明する。 第１図は本考案に係る透明熱線反射板を製造す
るスパツタリング装置の概略図であり、スパツタ
リング装置装置はアースされた真空槽１の一部に
バリアブルバルブ２を設けた排気口３を形成し、
この排気口３を介して真空ポンプ４と接続し、真
空槽１内を減圧するようにしている。また真空槽
１の上部には、マグネトロンカソード５，６，７
を設け、直流電源８，８，８と接続している。ま
たマグネトロンカソード５と６の間にはバルブ９
を備えたガス供給管１０を設け真空槽１内にガス
を供給するようにしている。さらに各カソード
５，６，７下方には往復可能な搬送ベルト１１を
配置している。 第２図は上記スパツタリング装置にて熱線反射
膜が形成された透明板の断面図であり、ガラス基
板１６上に第１層としてのクロム層又は窒化クロ
ム層１７を幾何学的厚みで１〜40nm形成し、こ
の第１層１７の上にSnO₂，TiO₂，Al₂O₃，ZnO，
Bi₂O₃，ZrO₂，Ta₂O₅，AlN，ZnS等からなる第
２層としての透明誘電体層１８を光学的厚さで５
〜500nmの厚さで形成する。ここで光学的厚さと
はその物質の屈折率に幾何学的厚さ（物理的厚
さ）を乗じた値をいう。この透明誘電体層１８の
上に第３層としてのクロム層又は窒化クロム層１
９を幾何学的厚みで１〜34nm形成し、この第３
層１９の上に前記と同様の第４層としての透明誘
電体層２０を幾何学的厚みで５〜30nm形成して
いる。以上の如き膜形成を行うには先ずカソード
５の下面にSnをターゲツト１２として取り付け、
またカソード６の下面にはCrをターゲツト１３
として取り付ける。そして搬送ベルト１１上の基
板ホルダー１５に洗浄したガラス基板１６を載置
し、バリアブルバルブ２を開け、真空槽１内を５
×10^-6T_prr以上まで減圧する。次いでガス供給管
１０よりアルゴンを供給して、バリアブルバルブ
２を閉じ、真空槽１内圧力が２×10^-3T_prrになる
ようにする。次にカソード６に350Vの負電圧を
印加し、ガラス基板１６をカソード下に移動させ
ることでガラス基板１６上に第１層として所定の
幾何学的厚みのクロム被膜１７を形成する。そし
てカソード６のパワーを切り、バリアブルバルブ
２を開き、再び５×10^-6T_prr以上の真空に引き、
次いでガス供給管１０より酸素を供給して、バリ
アブルバルブ２を閉じ、真空槽１内圧力を２×
10^-3T_prrとなるようにする。次にカソード５に
400Vの負電圧を印加し、ガラス基板１６をカソ
ード５下を移動させることでクロム被膜１７表面
に所定の光学的厚みの酸化スズ層１８を第２層と
して形成する。 そして、カソード５のパワーを切り、バリアブ
ルバルブ２を開き、再び５×10^-6T_prr以上の真空
に引いた後、ガス供給管１０からアルゴンを導入
し、バリアブルバルブ２を閉じ、真空槽１内圧力
が２×10^-3T_prrとなるようにする。 次にカソード６に350Vの負電圧を印加し、ガ
ラス基板１６をカソード６下を移動させること
で、酸化スズ層１８上に第３層として所定の幾何
学的厚みのクロム被膜１９を形成する。再び５×
10^-6T_prr以上の真空に引いた後、酸素を内圧２×
10^-3T_prrになるまで導入し、前記同様にカソード
５に400Vの負電圧を印加し、クロム被膜１９上
に第４層として所定の幾何学的厚みの酸化スズ層
を形成する。 尚、第１層又は第３層に形成した上記のクロム
被膜に代えて窒化クロム被膜を形成する場合に
は、５×10^-6T_prr以下の真空に引いた後、ガス供
給管１０からアルゴンを導入することに代えて窒
素を内圧２×10^-3T_prrになるまで導入し、次にカ
ソード５に500Vの負電圧を印加し、ガラス基板
１６をカソード６下に移動させる。 尚、実施例にあつては膜形成方法としてスパツ
タリング法を示したが、この他に真空蒸着法、デ
イツピング法、その他熱分解法で成膜した後に真
空蒸着法、ガススパツタリング法で成膜する方法
等任意である。また透明誘電体層としてはZnO，
Bi₂O₃，Al_xN_y，Al_o，ZnS等が考えられるが、耐
久性からSnO₂，TiO₂，Al₂O₃が好ましい。 実施例 １〜３ 上記の方法により、透明基板表面に第１層とし
てクロム層又は窒化クロム層、第２層として酸化
スズ被膜からなる透明誘電体層、第３層としてク
ロム層又は窒化クロム層、第４層として酸化スズ
被膜からなる透明誘電体層を各々［表１］に示す
所定の厚みで第２図に示すように形成し、実施例
１、実施例２、実施例３にかかる３種類の透明熱
線反射板を形成した。 実施例１〜３の透明熱線反射板に付いて各々の
可視光透過率（％）、透過色、膜面反射色、非膜
面反射色を［表１］に示した。 比較例 １〜３ 実施例１〜３と同様な方法により第３図に示す
ように透明基板１６の表面に第１層として酸化ス
ズ被膜からなる透明誘電体層２１、第１層の表面
に第２層としてクロム被膜２２、第２層の表面に
第３層として酸化スズ被膜からなる透明誘電体層
２３を各々［表２］に示す所定の厚みで形成し、
比較例１、比較例２、比較例３にかかる３種類の
透明熱線反射板を形成した。 比較例１〜３の透明熱線反射板に付いて各々可
視光透過率（％）、透過色、膜面反射色、非膜面
反射色を［表２］に示した。 ［表１］を［表２］に対比させることにより、
４層構成を有する本考案の透明熱線反射板は３層
構成を有する比較例の透明熱線反射板と比較して
次のような特性を有する。 a※の（＋）の数値が大きいほど赤色が強
く、（−）の数値が大きいほど緑色が強くなる
が、このa※の（＋）の数値から比較例１の透
明熱線反射板の透過色が赤色を示す一方、実施
例１の透明熱線反射板の透過色は薄い緑色を示
し、透過色が穏やかな好ましい色に改善されて
いる。 比較例２の透明熱線反射板膜面反射色はきつ
い青緑色を示すが、実施例１の透明熱線反射板
は非膜面反射色を変えることなく穏やかな青緑
色の膜面反射色を示すように改善されている。 比較例３の透明熱線反射板よりも実施例３の
透明熱線反射板被膜面反射色を表示するL※の
数値が大きいことから、反射率が高く、反射像
がより鮮やかに映ることを示し、更にb※の数
値が大きいことから、より金色に近くなり、４
層構成とすることにより、より優れた非膜面反
射性能が得られる。

【表】 表中〓 〓はクロム被膜に代えて窒化クロム
被膜を形成したことを示す。

【表】

【表】 （考案の効果） 以上の如く本考案の透明熱線反射板は、非膜面
反射色を変えずに透過色或いは膜面反射色を穏や
かな色に改善したものであり、一般建築用にも十
分に適応できる穏やかな好ましい色彩が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はスパツタリング装置の概略図、第２図
は本考案にかかる反射板の断面図、第３図は比較
例にかかる反射板の断面図である。 尚、図面中、１６はガラス板、１７，１９はク
ロム或いは窒化クロム層、１８，２０は透明誘電
体層である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 透明基板表面に幾何学的厚みで１〜40nmの範
   囲でクロム層又は窒化クロム層からなる第１層を
   形成し、この第１層の表面に５〜500nmの範囲の
   光学的厚さで透明誘電体層の第２層を形成し、こ
   の第２層の表面に幾何学的厚みで１〜40nmの範
   囲でクロム層又は窒化クロム層からなる第３層を
   形成し、更にこの第３層の表面に５〜300nmの範
   囲の光学的厚さで透明誘電体層の第４層を形成し
   たことを特徴とする透明熱線反射板。