JPH04292467A - ＢＮ―ＡｌＮ系複合焼結体およびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は加工し易い材料、ないし
は電気絶縁性放熱材料として利用可能なＢＮ―ＡｌＮ系
複合焼結体およびその製造方法に関する。

【０００２】さらに詳しくは高強度で高熱伝導性を有し
、たとえば半導体のパッケージ用材料、耐食性の高い容
器用材料などに応用可能なＢＮ―ＡｌＮ系複合焼結体お
よびその製造方法に関する。

【０００３】

【従来の技術】六方晶ＢＮ焼結体は、優れた被切削加工
性、耐食性、耐熱衝撃性、電気絶縁性などの性質を有し
ているため、さまざまな分野で広く用いられている。

【０００４】六方晶ＢＮ焼結体は通常、酸化物系の助剤
を用いたホットプレス法により製造される。この方法に
より得られた焼結体は、六方晶ＢＮの層状の結晶構造に
起因する構造的な異方性を有することが知られており（
例えばセラミックス、ｖｏｌ．７、Ｎｏ．４、ｐ．２４
３　（１９７２））、熱伝導率等の物性値にも異方性が
存在する。

【０００５】しかしながら、異方性が存在する焼結体に
おいても熱伝導率はあまり高くなく、最高で６０Ｗ／ｍ
・ｋ程度の値（例えばエレクトロニク・セラミックス、
ｖｏｌ．１７、Ｎｏ．８４　、ｐ．６８　（１９８６）
　）が報告されているのみである。

【０００６】この理由として、酸化物系の助剤ないしは
助剤と他成分との反応生成物が焼結体中に多量に存在す
るためであると考えられている。

【０００７】一方、ＡｌＮ焼結体の熱伝導率の向上につ
いては、ＩＣ基板用材料、ＩＣパッケージ材料向けの材
料開発を目的として盛んに研究が行われており（例えば
特開昭６１―２７０２６４、特開昭６２―３６０６９、
特開昭６２―４１７６６　など）　、室温における熱伝
導率が１１０〜１９５Ｗ／ｍ・ｋ程度の高い値が報告さ
れている。

【０００８】しかしながらＡｌＮ焼結体は通常の構造用
セラミックスと同様、切削加工が困難であり、所望の形
状に加工する際に時間を要し、かつコスト高となるとい
う欠点を有している。

【０００９】そこでＡｌＮ焼結体の高熱伝導率を維持し
つつ、主として焼結体の被切削加工性を向上させるため
ＡｌＮに六方晶のＢＮを複合させた焼結体やその製造方
法に関する発明が開示されている。

【００１０】例えば特開昭６０―１９５０５９には、Ａ
ｌＮ、ＢＮ、およびＩＩａ族金属、ＩＩＩ　ａ族金属化
合物からなり、破断面が多角状のＡｌＮ粒子が充填され
、その粒界の一部または全部に薄層状のＢＮが介在する
焼結体に関する記述がある。

【００１１】この焼結体の特徴として、普通工具で高速
切削加工できる、いわゆるマシーナブルセラミック複合
焼結体であると述べている。また、焼結体は均質で、等
方的であり、熱伝導率の例として５５〜１２２Ｗ／ｍ・
ｋ程度の値を報告している。

【００１２】また、本発明者らの出願による特願昭６２
―３２９６２６には、ＢＮ４０〜９５重量部、ＡｌＮと
ＡｌＯＮの合計量５〜６０重量部、およびカルシウム化
合物、イットリウム化合物のうちの少なくとも１種の０
．０１〜５重量部よりなる複合焼結体、およびその加圧
加熱法による製造方法に関する記述がある。

【００１３】該焼結体の特徴としては、熱伝導率、電気
絶縁性、低熱膨張率、低誘電率で機械加工性に優れるこ
となどをあげている。熱伝導率の例としては４０〜１３
５Ｗ／ｍ・ｋ程度の値を報告している。

【００１４】しかしながら、これらの焼結体においては
、優れた被切削加工性は有しているものの、熱伝導率の
値が最高でも１３５Ｗ／ｍ・ｋであり、ＩＣ基板、ＩＣ
パッケージ用材料、あるいは電気絶縁性放熱材料などへ
の応用を考えた場合、十分な熱伝導率であるとはいい難
い。

【００１５】一方、特開昭５８―３２０７３　には、Ａ
ｌＮに立方晶ないしは六方晶のＢＮを最大３０重量％ま
で配合し、これを成形した後、真空中ないしは非酸化性
雰囲気中で焼結するか、あるいはホットプレス焼結する
ことにより高熱伝導率で電気絶縁性の焼結体を得ている
。

【００１６】この焼結体は８５〜１９５Ｗ／ｍ・ｋ程度
の熱伝導率を有すると報告されている。しかしながら、
焼結体の異方性や普通工具等による切削加工性に関する
記載は見あたらない。

【００１７】またこれらのＡｌＮ―ＢＮ複合焼結体にも
製造方法によってはＢＮ焼結体と同様ＢＮの構造異方性
に起因する構造異方性、および物性の異方性が存在する
場合がある（特開昭６２―５６３７７）ものの、これま
ではこの異方性をなくすための製造方法や、異方性の極
めて小さい材料についての利用方法が検討されてきた。

【００１８】熱伝導率を中心とする物性に異方性をもつ
材料としては、本発明者らの出願による特願昭６３―１
３５５６２があり、熱伝導率の異方度が２以上かつ高い
方の熱伝導率の値が１５０Ｗ／ｍ・ｋ以上であるＢＮ―
ＡｌＮ系焼結体とその製造方法として所定の条件でホッ
トプレスする方法を述べている。

【００１９】この材料は２軸方向については熱伝導率が
非常に高く（１５３〜２５８Ｗ／ｍ・ｋ）、３点曲げ強
度も高い（８７〜２５１ＭＰａ）という長所を有するが
、他方、残りの１軸方向については熱伝導率がやや低く
（１６〜７７Ｗ／ｍ・ｋ）、３点曲げ強度もやや低い（
４９〜１２６ＭＰａ）という欠点を持っており、使用方
法や使用条件によっては応用範囲が限られるという短所
があった。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、六方晶
窒化ほう素の構造異方性と、これに窒化アルミニウムを
複合させることによる高熱伝導率化と高強度化を利用し
、なおかつ３次元直交座標軸の全ての軸方向について熱
伝導率、曲げ強度が充分に高い焼結体について検討し、
本発明を完成した。

【００２１】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、（
１）　六方晶窒化ほう素１０〜８０重量部、窒化アルミ
ニウム９０〜２０重量部、および焼結助剤０．２〜５重
量部よりなり、焼結体の３次元直交座標軸のうち或る１
軸方向の熱伝導率が他の２軸方向の熱伝導率よりも高く
、１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、この熱伝導率の異方度
が３以下である異方性を有するＢＮ―ＡｌＮ系複合焼結
体に関する。 （２）　また、六方晶窒化ほう素粉末１０〜８０重量部
、窒化アルミニウム粉末９０〜２０重量部、および焼結
助剤０．２〜５重量部よりなる混合粉末を一軸プレス成
形した後、該成形体を真空中あるいは不活性ガス気流中
、１７００〜２２００℃、５〜５０ＭＰａでホットプレ
スするに際し、ホットプレス加圧軸が該一軸プレス成形
時の加圧軸に垂直となるようにホットプレスすることを
特徴とする上記（１）　項記載の異方性を有するＢＮ―
ＡｌＮ系複合焼結体の製造方法に関する。

【００２２】

【作用】以下、本発明について詳述する。

【００２３】本発明の異方性を有するＢＮ―ＡｌＮ系複
合焼結体は、六方晶窒化ほう素１０〜８０重量部と窒化
アルミニウム９０〜２０重量部の合わせて１００重量部
、および焼結助剤０．２〜５重量部よりなる。

【００２４】六方晶窒化ほう素と窒化アルミニウムの合
計量に対して、窒化ほう素が１０〜３０重量％の組成に
おいては、焼結体の曲げ強さ、ビッカース硬度が比較的
大きく、かつ熱伝導率の異方性がかなり小さい焼結体を
得ることができる。

【００２５】窒化ほう素が３０〜７０重量％の組成にお
いては、熱伝導率の異方性が大きく（すなわち、３に近
く）、高い方の熱伝導率が顕著に高い、曲げ強さがやや
低下した、ビッカース硬度が顕著に小さい焼結体を得る
ことができる。

【００２６】また、窒化ほう素が７０〜８０重量％の組
成においては、熱伝導率の異方性が比較的小さく、ビッ
カース硬度が更に小さい、被切削加工性が極めて良好な
焼結体を得ることができる。

【００２７】組成がこれらの範囲を越えて、窒化ほう素
が１０重量％未満では、焼結体の異方性が顕著でなくな
り、高い方の熱伝導率も窒化アルミニウム焼結体の熱伝
導率とほぼ等しくなり、また構成成分が殆ど窒化アルミ
ニウムとなるため、被切削加工性がさほど良くない焼結
体となる。

【００２８】また窒化ほう素が８０重量％超の焼結体で
は曲げ強さが小さく、熱伝導率も低いものとなる。

【００２９】本発明のＢＮ―ＡｌＮ系複合材料はＢＮ含
有量が少なくなると、ＢＮ粒子の配向による高い方の熱
伝導率の向上効果が薄れるので、ＢＮ含有量３０〜８０
重量％がより好ましい組成である。

【００３０】本発明の異方性を有する焼結体は３次元直
交座標軸（ｘ、ｙ、ｚ軸）のうち或る２軸方向（例えば
ｘ軸方向、或いはｙ軸方向）に薄片状の六方晶窒化ほう
素粒子が顕著に配向、積層した構造を有する。このため
、熱伝導率等の物性値に異方性が生じる。

【００３１】ここで異方度という数字を考える。この異
方度とはｚ軸方向（最も熱伝導率の高い方向）の熱伝導
率ｋｚと、ｘ軸方向とｙ軸方向（熱伝導率がｚ軸方向の
それよりも小さい方向）の熱伝導率、ｋｘおよびｋｙの
比、すなわちｋｚ／ｋｘとｋｚ／ｋｙの値のうち、より
大きい方で表される。

【００３２】例えば、本ＢＮ―ＡｌＮ系複合材料の製造
工程において一軸プレス成形の加圧軸をｘ軸方向にとり
、ホットプレスの加圧軸をｙ軸方向にとった場合、それ
ぞれｙ軸方向、ｘ軸方向に薄片状ＢＮ粒子の配向・積層
が生ずるため、これらの方向は残りのｚ軸方向と比べて
熱伝導率が低い方向となる。

【００３３】本発明の焼結体では熱伝導率以外にも曲げ
強さ、熱膨張係数、ヴィッカース硬度等の特性値にも異
方性が存在するが、本明細書中でいう異方度とは、あく
までも熱伝導率についてのみ考える。

【００３４】本発明の焼結体は３以下の異方度を有する
。これは、異方度が３を超えるとＢＮ―ＡｌＮ系材料は
必然的に熱伝導率の小さい軸方向の熱伝導率が顕著に小
さくなり（特願昭６３―１３５５６２）、焼結体の３次
元直交軸のすべての軸方向に関して（すなわち、等方的
に）高い熱放散特性を必要とする部材に対してはその応
用が制限されるためである。

【００３５】特願昭６３―１３５５６２によれば、熱伝
導率の高い軸方向のＢＮ―ＡｌＮ異方性材料の熱伝導率
は、組成にも依存するが、ＢＮが２０〜８０重量％の組
成で概略１５０〜２５０Ｗ／ｍ・ｋの範囲の値をとる。

【００３６】この場合、焼結体の異方度が３を超えれば
、低い方の熱伝導率は概略５０〜８０Ｗ／ｍ・ｋ以下と
なり、著しく低下することになる。

【００３７】また、焼結体の異方度が３以下となり、更
に１に近づけば近づく程、等方性の材料となり、焼結体
の３次元直交軸のどの方向にも特別に低熱伝導率の方向
がなくなるので本材料の適用の制限が緩和され、より実
用し易い材料となる。

【００３８】但し、異方度が１、ないし著しく１に近い
（例えば１．１以下）ＢＮ―ＡｌＮ系複合材料は本発明
の範囲から除外される。なぜならば、組成がＢＮ１０〜
８０重量％のＢＮ―ＡｌＮ系材料で、ちみつな高熱伝導
率材料であり、かつ熱伝導率や曲げ強さ等の物性に異方
性の認められない材料は製造が困難だからである。

【００３９】本発明の焼結体は高い方の熱伝導率ｋｚの
値が１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。この特性を満たす組
成の範囲としては窒化ほう素の含有量が窒化ほう素と窒
化アルミニウムの合計量の１０〜８０重量％である。

【００４０】窒化ほう素単味の焼結体においても異方性
は存在するが、熱伝導率はそれほど高くなく、最高６０
Ｗ／ｍ・Ｋ程度であり、１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上という熱
伝導率は窒化アルミニウムを２０重量％以上９０重量％
まで配合することによって初めて達成されるものである
。

【００４１】焼結体には、焼結助剤として従来公知の酸
化カルシウム、炭化カルシウム、カルシウムシアナミド
、酸化イットリウム、炭化イットリウム、或いはこれら
と他成分との反応生成物を０．２〜５重量部含有する。

【００４２】以下に本発明のＢＮ―ＡｌＮ系複合焼結体
を最も好適に製造しうる方法について述べる。すなわち
、六方晶窒化ほう素粉末１０〜８０重量部、窒化アルミ
ニウム粉末９０〜２０重量部、および焼結助剤０．２〜
５重量部からなる混合粉末を一軸プレス成形した後、該
成形体を真空中あるいは不活性ガス気流中、１７００〜
２２００℃、５〜５０ＭＰａでホットプレスするに際し
、ホットプレス加圧軸が該一軸プレス成形時の加圧軸に
垂直となるようにホットプレスする製造方法である。

【００４３】窒化アルミニウム原料粉末は、これまでに
公知のものが使用可能であるが、高熱伝導率化、高強度
化の観点から平均粒径２μｍ以下、酸素含有率３．０ｗ
ｔ％以下が好ましく、酸素含有率１．５ｗｔ％以下が特
に好ましい。

【００４４】窒化ほう素原料粉末もこれまでに公知のも
のが使用可能であるが、平均粒径が１μｍ以上、好まし
くは５μｍ超の粉末を用いた場合、本発明の焼結体を好
適に製造することができる。

【００４５】しかしながら平均粒径１μｍ未満の原料粉
末を用いた場合においても、焼結助剤、一軸プレス成形
、ホットプレス条件などを工夫することにより本発明の
焼結体を製造することが可能である。なお、用いる窒化
ほう素原料粉末の純度はできるだけ高い方が好ましい。

【００４６】焼結助剤としては、酸化カルシウム、炭化
カルシウム、カルシウムシアナミド、酸化イットリウム
、炭化イットリウムなどの公知のものが使用できる。 六方晶窒化ほう素と窒化アルミニウムの合計量に対して
、これらの化合物のうちの少なくとも１種を０．２〜５
重量％添加し、混合粉末を得る。

【００４７】助剤の添加量は０．２重量％未満では助剤
としての機能が十分に発揮されず、５重量％超では得ら
れた焼結体中に残留する助剤ないしは助剤と他成分との
反応生成物の量が過多となるため熱伝導率の低下がおこ
る。焼結体の熱伝導率は焼結助剤の添加量に敏感である
ため注意して添加量を決定する必要がある。

【００４８】原料および焼結助剤の混合には、ボールミ
ルなどの公知の方法による乾式混合、湿式混合が使用可
能であるが、好ましくは湿式混合である。

【００４９】湿式混合に用いられる分散媒体は特に限定
されず、アルコール類、炭化水素類、ケトン類が好適に
用いられる。水は窒化物粉末と反応してアンモニアガス
を発生させる可能性があるため、特に必要がある場合を
除き、用いない方が良い。

【００５０】次に混合粉末は金型等を用いて一軸プレス
成形する。該成形圧力は後述のホットプレス焼結の際の
加圧力とともに、最終的に得られる焼結体の構造異方性
や熱的、機械的特性に影響を及ぼす大切な因子であるが
、本発明においては１０ＭＰａ〜５０ＭＰａが好適に用
いられる。

【００５１】本発明の焼結体を得るための焼結には一軸
加圧であるホットプレス法を用いる。ここで大切なこと
は、このホットプレスの加圧軸を、一軸プレス成形時の
加圧軸と垂直となるようにすることである。

【００５２】具体的に言えば、一軸プレス成形したセラ
ミックス成形体を９０度回転させてホットプレスの型と
して使う黒鉛型等の中に設置してホットプレス焼結を行
うことである。ホットプレス焼結は１７００〜２２００
℃、５〜５０ＭＰａの条件で好適に実行される。

【００５３】１７００℃未満では所望の物性値、特に熱
伝導率の高い焼結体が得られないためであり、２２００
℃超では経済的でない。また加圧の圧力が５ＭＰａ未満
では、焼結体の緻密化やＢＮ粒子の配向を起こすのに不
十分な場合があり、５０ＭＰａ超ではホットプレスの際
に使用できるダイスが限定される。

【００５４】また焼結の際の雰囲気は、窒化物の酸化を
防ぐため窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気とすることが
好ましい。

【００５５】しかしながら、ある特定の焼結助剤を用い
た場合には、真空中で焼結を行うことにより、これらの
焼結助剤ないしは焼結助剤と他成分との反応生成物が比
較的すみやかに系外へ放出され、結果として熱伝導率が
向上する場合があり、この様な場合には真空中で焼結す
ることが好ましい。

【００５６】さらに詳細をつけ加えると、ホットプレス
焼結の際に焼結助剤として添加した酸化カルシウム、炭
化カルシウム、カルシウムシアナミドは、窒化アルミニ
ウム表面に不可避的に生成している酸化アルミニウムと
反応し、カルシウム・アルミニウム酸化物となり、１４
００℃程度から溶融しはじめる。

【００５７】また酸化イットリウム、炭化イットリウム
を添加した場合には同じく酸化アルミニウムと反応し、
アルミニウム・イットリウム酸化物となり、１７００℃
以上で溶融をはじめる。

【００５８】これらの溶融物はしだいに窒化ほう素や窒
化アルミニウムをとり囲む状態となり、窒化物粒子の表
面に残存する酸化物層とほぼ完全に反応して粒子表面の
純化を行い、焼結体の熱伝導率を向上させる。

【００５９】またこの溶融物の存在により、粒子間の緻
密化は、■再配列、■溶解―析出、■合体というプロセ
スを経る、いわゆる液相焼結によって進行する。

【００６０】本発明の焼結体の製造方法の主眼はホット
プレスによる焼結を行う前に、予め成形体を一軸プレス
成形によって得て、その後、加圧軸を９０°変えてホッ
トプレスを行う方法であり、この方法によって得られる
焼結体の３次元直交座標軸のすべての軸方向の高熱伝導
率化、高強度化は以下のように説明される。

【００６１】すなわち、ホットプレスの加圧方向と一軸
プレス成形の加圧方向が同一の場合、或いは一軸プレス
成形を行わずに混合粉体をそのままホットプレス焼結す
る場合は、特願昭６３―１３５５６２に記載されている
ように二軸方向には高い熱伝導率と強度を有するが、残
りの一軸方向（加圧軸方向）についてはこれらの特性が
劣っている。

【００６２】これは１度ないし２度にわたる同一軸方向
への加圧のために薄片状の六方晶ＢＮ粉が加圧軸に垂直
な面内に顕著に配向するので焼結体が高度の異方性をも
つに至ったためである。

【００６３】他方、両者の加圧方向が９０°異なる本発
明の方法によれば六方晶ＢＮ粉の配向が一軸プレス成形
の加圧軸に垂直な面内とホットプレス加圧軸に垂直な面
内に分散されて起こり、結果として焼結体の異方性が緩
和され、熱伝導率や曲げ強度の劣った軸方向がなくなり
、焼結体のどの軸方向にも充分高い熱伝導率や高い強度
といった優れた性質を有するＢＮ―ＡｌＮ系の複合材料
が製造できるのである。

【００６４】以下、本発明を実施例を用いて説明するが
、本発明はかかる実施例にのみ限定されるものではない
。

【００６５】

【実施例】平均粒子径６μｍの六方晶窒化ほう素粉末、
平均粒子径１．８μｍ以下の窒化アルミニウム粉末、お
よび焼結助剤として炭化カルシウムまたは酸化イットリ
ウムを表１に示した割合で混合し、ボールミル中で２４
時間、アセトンを溶媒として湿式混合を行った。

【００６６】得られた混合粉末を乾燥した後、成形用金
型に充填し、３０ＭＰａの圧力で５分間一軸プレスした
。

【００６７】得られた成形体を９０°回転して、黒鉛製
ダイス中に設置し、ホットプレスの加圧軸が一軸プレス
成形の加圧軸に垂直となるようにホットプレスを行った
。ホットプレスは毎分２ｌの窒素気流中、１８００℃で
２時間、３０ＭＰａの圧力で行った。

【００６８】得られた焼結体の嵩密度、熱伝導率、熱膨
張係数、曲げ強さ、ビッカース硬度の測定を行った。焼
結体には異方性が存在するため、嵩密度を除く物性につ
いては一軸プレス成形の加圧軸方向ｘ、ホットプレスの
加圧軸方向ｙ、および残りの軸方向ｚの各方向の値をす
べて測定した。

【００６９】嵩密度は水を用いたアルキメデス法により
、熱伝導率はレーザーフラッシュ法により、ビッカース
硬度は荷重１〜５ｋｇを用い、熱膨張係数は酸化アルミ
ニウム焼結体を標準物質とした示差方式により０〜４０
０℃の平均値をそれぞれ測定し、曲げ強さはＪＩＳ規格
に準じた３点曲げ強さである。

【００７０】結果を表１に示す。熱伝導率、曲げ強さは
ＢＮ―ＡｌＮ組成によって変わり、曲げ強さはＡｌＮ含
有率が豊富なほど高くなり、熱伝導率もほぼ同様な傾向
を示すがｚ方向の値のみＢＮ／ＡｌＮ＝６０／４０組成
付近で高い値をとっている。

【００７１】曲げ強さ、熱伝導率ともにｚ方向の値がｘ
、ｙ方向の値よりも高く、異方性を示しており、ｚ方向
の熱伝導率はいずれも１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上である。

【００７２】また、熱伝導率の異方度はいずれも３以下
である。熱膨張係数やビッカース硬度についても同様の
異方性を示すがその程度はＢＮ組成が豊富なほど大きく
なっている。またビッカース硬度は顕著な組成依存性を
示し、ＡｌＮ組成が豊富になるに伴って急激に増加して
いることがわかる。

【００７３】

【比較例】実施例１と同様にして調整した混合粉末を、
一軸プレス成形体せずに黒鉛ダイスに充填し、後は実施
例１と同様にホットプレス焼結を行った。得られた焼結
体の各種特性を表２に示す。

【００７４】ここで表中ｘ、ｙ、ｚとあるのは、ｙ方向
がホットプレスの加圧方向に一致し、ｘ、ｚ方向はこの
加圧方向に垂直な任意の互いに直交した軸方向のことで
ある（ｘ、ｚ方向は焼結体の特性に関して等価である。 ）。

【００７５】熱伝導率や曲げ強さが大きな異方性を示し
ており、特にＢＮ組成が豊富な焼結体ほど熱伝導率のｙ
方向の値が著しく低下しており、曲げ強さのｙ方向の値
も小さくなっている。

【００７６】また、熱伝導率の異方度はいずれも３を超
えている。これらの特性値と表１の値とを比較すると、
本発明の焼結体はすべての組成において異方性がかなり
緩和されており、比較例に示されているような熱伝導率
や曲げ強さがかなり低い値を持つ方向（表２中のｙ方向
の値）が存在せず、一般的に実用し易い材料となってい
ることがわかる。

【００７７】

【表１】

【００７８】

【表２】

【００７９】

【発明の効果】以上述べた如く、本発明のＢＮ―ＡｌＮ
系複合焼結体、およびその製造方法によれば、六方晶Ｂ
Ｎ粒子の一軸加圧による配向・積層に起因する異方性が
緩和され、焼結体の３次元直交座標軸のすべての軸方向
について、熱伝導率、曲げ強さ等が充分に高い材料が得
られていることが明らかであり、機械的な切削加工性が
良好であることと相まって本材料は電気絶縁性放熱材料
、耐食性の高い部材等への応用が可能な材料であり、産
業上きわめて有用である。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　六方晶窒化ほう素１０〜８０重量部、
   窒化アルミニウム９０〜２０重量部、および焼結助剤０
   ．２〜５重量部よりなり、焼結体の３次元直交座標軸の
   うち或る１軸方向の熱伝導率が他の２軸方向の熱伝導率
   よりも高く、１００Ｗ／ｍ・Ｋ以上であり、この熱伝導
   率の異方度が３以下である異方性を有するＢＮ―ＡｌＮ
   系複合焼結体。
2. 【請求項２】　　六方晶窒化ほう素粉末１０〜８０重量
   部、窒化アルミニウム粉末９０〜２０重量部、および焼
   結助剤０．２〜５重量部からなる混合粉末を一軸プレス
   成形した後、該成形体を真空中あるいは不活性ガス気流
   中、１７００〜２２００℃、５〜５０ＭＰａでホットプ
   レスするに際し、ホットプレス加圧軸が該一軸プレス成
   形時の加圧軸に垂直となるようにホットプレスすること
   を特徴とする請求項１記載の異方性を有するＢＮ―Ａｌ
   Ｎ系複合焼結体の製造方法。