JPH0429086B2 - - Google Patents

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JPH0429086B2
JPH0429086B2 JP3756687A JP3756687A JPH0429086B2 JP H0429086 B2 JPH0429086 B2 JP H0429086B2 JP 3756687 A JP3756687 A JP 3756687A JP 3756687 A JP3756687 A JP 3756687A JP H0429086 B2 JPH0429086 B2 JP H0429086B2
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    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
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    • G—PHYSICS
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    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明の利用分野は広範囲にわたり機械的変化
量を電気信号として取り出すロボツトのセンサと
しての装置または表示装置等に組み込み、タツチ
センサとしてのコンピユータ用入力装置を提案す
るにある。
〔従来技術〕
一般に圧力を感知する物質として、圧電効果の
ある強誘電体を２枚の平行な電極の間にはさみ、
強誘電体に外圧を加えることにより外圧に応じた
電圧信号をとつていた。
主にこれら強誘電体として利用されているもの
にはチタン酸バリウム、ジルコン酸鉛、硫沃化ア
ンチモン、チタン酸鉛等がある。
〔解決すべき問題点〕
現在使用されている圧電効果を示す強誘電体の
大多数は、無機物よりなる結晶固体であり、その
製造の工程において非常に高温を必要とするため
製造装置にかかるコストが高価であつた。また、
結晶性を必要とするために面積的に大きな物は得
がたく、小面積な素子を集めた大面積素子も周知
となつているが、製造に伴う難点が多い。
また、圧電効果を示す強誘電体の大多数は、圧
電効果を得るために膜厚を必要とし、可視光が透
過するような薄膜化した物を作れなかつたため、
表示装置上に組み合わせてタツチパネル（指で押
すことにより信号を入力するもの）として、コン
ピユータの入力装置を形成するような目的にも不
向きであつた。
〔問題を解決するための手段〕
第１の電極および電極からの電気信号を取り出
すためのリードを有する第１の基板。これは基板
が非誘電性の物質であれば基板表面上に導電性物
質よりなる第１の電極およびリードを設けること
になる。もし基板が導電性の物質であつた場合は
第１の電極およびリードと第１の基板は兼ねるこ
とができる。
さらに第２の電極および電極からの電気信号を
取り出すためのリードを有する第２の基板。これ
は第１の基板同様２種類の基板物質により２種類
の構造が決まる。
これら第１の基板１と第２の基板２を第１図の
如く第１の電極３およびリードと第２の電極４お
よびリードが電気抵抗的に接続されない状態にな
るように、かつ第１の電極の少なくとも１部分と
第２の電極の少なくとも１部分を含む少なくとも
１つ以上の閉じられた空間を第１の基板と第２の
基板の間に形成するように第１の基板と第２の基
板が接する部分を設けるか、または第１の基板と
第２の基板を埋めるための壁を設ける。
そのようにして作られた閉じられた空間に強誘
電性を示す液晶５を概略満たす。
このような装置において、第１の基板１及び第
２の基板２にほぼ垂直な外圧を加えることにより
装置内部に満たした液晶材料５の圧電効果により
第１の電極３と第２の電極４の間に外圧の大きさ
に応じた電位差が生じ、圧力が感知できることを
特徴とした圧力感知装置。
以下実施例に伴つて詳細な説明を加える。
〔実施例〕
ガラス基板６上に電極およびリードを形成する
ためITOを2000〓、DCスパツタ法により成膜す
る。次に周知の技術であるフオトリソグラフイー
法によつて第２図の如く線状のパターン７にITO
を加工した。
その後ポリイミド９を印刷法によりITO上に塗
布し、250℃で1H、N2雰囲気中にて焼成を行つ
た。その後、毛足２mmを有する綿布にて表面をこ
すり一定方向にキズをつけた。
これを第１の基板１とする。第２の基板２は第
１の基板と同様の電極パターン７をITOにて形成
し第２の基板２とした。その後第１の基板上にス
ペーサーとして東レ（株）トスパール（粒子
2μmφ）をスキヤツタリング法により100μm□に
１ケの割合でばらまき、かつ第２の基板２上にエ
ポキシ性接着剤８をスクリーン印刷法により印刷
した。両基板をITO電極が相向かいあうようには
りあわせ、熱によつて接着剤８を硬化させた。該
構造物に周知の真空注入法により強誘電性を示す
液晶５を注入し、注入口を接着剤にい塞ぐことに
より閉じられた１つの空間を作つた。その平面図
と断面図とを第３図に示す。
指等により第１、第２の基板のほぼ垂直な方向
から力を加えると、第４図に示す如く、押した場
所に応じた各電極および配線より電圧信号を得る
ことができ、平面上の任意の場所を確認すること
ができる。
(B)は選択点における発生電圧。
(C)は選択点より１つずれた領域での発生電圧を
示す。
また本発明品は押す力の大きさに応じて電圧信
号を第５図に示す如く得ることができ、位置だけ
でなくアナログ的データも入力が可能となつてい
る。
〔効果〕
比較的低温な工程（max250℃）によつて圧力
感知装置を得ることができた。
可視光に対し透光性があるため、表示装置との
重ね合わせによりタツチパネル等の入力装置とし
て使うことができる。
また従来のON、OFFの入力のみでなく押圧に
応じたアナログ的なデーター入力も可能となつ
た。
【図面の簡単な説明】
第１図、第２図および第３図は本発明の装置の
概略図を示す。第４図、第５図は本発明の装置の
特性を示す。 １，２……基板、３，４……電極、５……液
晶。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 第１の電極およびリードを有する第１の基板
    と、第２の電極およびリードを有する第２の基板
    を第１の電極と第２の電極が相向かい合いかつ概
    略平行な位置になるように設け、第１の基板と第
    ２の基板が接する部分または第１の基板と第２の
    基板の間を埋めるための部分を設けることで、第
    １の基板と第２の基板の間に第１の電極の少なく
    とも一部分と第２の電極の少なくとも一部分を含
    む少なくとも１つ以上の閉じられた空間を形成
    し、該閉じられた空間に強誘電性を示す液晶を概
    略満たした装置において、 第１、第２の基板にほぼ垂直な方向の圧力を加
    えることにより第１の電極およびリードと第２の
    電極およびリードの間に電位差が生ずることを特
    徴とする圧力感知装置。
JP62037566A 1987-02-19 1987-02-19 圧力感知装置 Granted JPS63204313A (ja)

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JP62037566A JPS63204313A (ja) 1987-02-19 1987-02-19 圧力感知装置
US07/150,150 US4875378A (en) 1987-02-19 1988-01-29 Pressure sensor with a ferroelectric liquid crystal layer
US07/361,954 US5159323A (en) 1987-02-19 1989-06-06 Liquid crystal display

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JP62037566A JPS63204313A (ja) 1987-02-19 1987-02-19 圧力感知装置

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JPS63204313A JPS63204313A (ja) 1988-08-24
JPH0429086B2 true JPH0429086B2 (ja) 1992-05-18

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