JPH0429049A - アンモニアガスセンサ - Google Patents
アンモニアガスセンサInfo
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- JPH0429049A JPH0429049A JP13578790A JP13578790A JPH0429049A JP H0429049 A JPH0429049 A JP H0429049A JP 13578790 A JP13578790 A JP 13578790A JP 13578790 A JP13578790 A JP 13578790A JP H0429049 A JPH0429049 A JP H0429049A
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は塩基性ガス、特にN H3(アンモニアガス)
の検出に好適なガスセンサに関する。
の検出に好適なガスセンサに関する。
(従来の技術)
ガスの吸脱着により抵抗値が変化するSnO2等の金属
酸化物半導体に電極を接続し、抵抗値を測定することで
ガスの有無を検出するようにした半導体ガスセンサか従
来からガス漏れ警報器等として使用されている。
酸化物半導体に電極を接続し、抵抗値を測定することで
ガスの有無を検出するようにした半導体ガスセンサか従
来からガス漏れ警報器等として使用されている。
一方、最近ではトイレやキッチン等の住居内におけるオ
ートヘンチレーション(自動換気)を行なうためのガス
センサの開発が要望されている。
ートヘンチレーション(自動換気)を行なうためのガス
センサの開発が要望されている。
つまり、トイレやキッチン等の悪臭成分の主なものは、
硫化水素、アンモニア、アミン類及びメルカプタン類で
あり、快適な住環境を維持するにはこれらのガス濃度が
数ppb〜数ppmの範囲で検出できるセンサが必要と
される。しかしながら従来の金属酸化物半導体ガスセン
サによる検出可能濃度は数百ppm以上である。
硫化水素、アンモニア、アミン類及びメルカプタン類で
あり、快適な住環境を維持するにはこれらのガス濃度が
数ppb〜数ppmの範囲で検出できるセンサが必要と
される。しかしながら従来の金属酸化物半導体ガスセン
サによる検出可能濃度は数百ppm以上である。
そこで、特開昭58−79149号、特開昭62−21
47号及び特開昭63−31−3048号等に上記の金
属酸化物半導体に更に別の金属(通常酸化物の形態とな
っている)を添加して、ガス検出感度を高めるようにし
た提案がなされている。
47号及び特開昭63−31−3048号等に上記の金
属酸化物半導体に更に別の金属(通常酸化物の形態とな
っている)を添加して、ガス検出感度を高めるようにし
た提案がなされている。
具体的には特開昭58−79149号には添加金属酸化
物として、5b203、TiO□、A1□O3、Li2
O及び(r20mが開示され、また特開昭62−214
7号には添加金属として、B、 AlXSc。
物として、5b203、TiO□、A1□O3、Li2
O及び(r20mが開示され、また特開昭62−214
7号には添加金属として、B、 AlXSc。
GB、Y、In及びT1が開示され、更に特開昭63−
313048号には添加金属酸化物として、PbO5P
dO及びZnOが開示されている。
313048号には添加金属酸化物として、PbO5P
dO及びZnOが開示されている。
(発明が解決しようとする課題)
上述したように従来から種々の金属酸化物を添加して、
ガス検出感度を高める試みがなされているが、いずれも
被検出ガス(NH,)に接触してから定常値になるまで
の時間と、被検出ガスがなくなってからの初期値に戻る
までの回復時間が長く、且つ5ppm程度以下のガス濃
度における感度が十分ではない。
ガス検出感度を高める試みがなされているが、いずれも
被検出ガス(NH,)に接触してから定常値になるまで
の時間と、被検出ガスがなくなってからの初期値に戻る
までの回復時間が長く、且つ5ppm程度以下のガス濃
度における感度が十分ではない。
(課題を解決するための手段)
上記課題を解決すべく本発明は、金属酸化物半導体に対
するガスの吸脱着による抵抗値の変化を利用したガスセ
ンサにおいて、金属酸化物半導体を構成する主体となる
金属酸化物を5no2、TiO2、Fe2O3、In2
O5、N1pSCoo、ZnO及びMgFe2O4のう
ちの1種とし、主体となる金属酸化物に添加する酸化物
触媒をV 20 s、P、O,、V0O3、C520及
びW O3のうちの1種とし、更に酸化物触媒とは別に
必要に応じて添加する貴金属をRu、、Pt及びAgの
うちの1種とした。
するガスの吸脱着による抵抗値の変化を利用したガスセ
ンサにおいて、金属酸化物半導体を構成する主体となる
金属酸化物を5no2、TiO2、Fe2O3、In2
O5、N1pSCoo、ZnO及びMgFe2O4のう
ちの1種とし、主体となる金属酸化物に添加する酸化物
触媒をV 20 s、P、O,、V0O3、C520及
びW O3のうちの1種とし、更に酸化物触媒とは別に
必要に応じて添加する貴金属をRu、、Pt及びAgの
うちの1種とした。
(作用)
電気陰性度の大きい酸性酸化物触媒を添加することで、
塩基性ガスであるNH3に対する感度が向上する。また
C320については、電気陰性度の序列に従わないが感
度が増大した。
塩基性ガスであるNH3に対する感度が向上する。また
C320については、電気陰性度の序列に従わないが感
度が増大した。
(実施例)
以下に本発明の実施例を添付図面に基いて説明する。
第1図は本発明に係るガスセンサの一例を示す斜視図で
あり、ガスセンサ1は筒状アルミナ管2に一対のPt線
3.3を巻回し、このPt線3,3を包むように金属酸
化物半導体4の層を形成している。ここで、、金属酸化
物半導体4は多孔質焼結体となっており、その製法の一
例をSnO□について以下に述べる。
あり、ガスセンサ1は筒状アルミナ管2に一対のPt線
3.3を巻回し、このPt線3,3を包むように金属酸
化物半導体4の層を形成している。ここで、、金属酸化
物半導体4は多孔質焼結体となっており、その製法の一
例をSnO□について以下に述べる。
先ず、SnC14の水溶液をアンモニア水で中和してβ
−スズ酸を得、十分に水洗いして、濾過、乾燥した後、
空気中で600℃、5時間焼成して5nOzの粉末試料
を得る。次いで、この粉末試料にV2O,やC320等
の酸化物触媒を含浸法により添加し、空気中で600℃
、5時間焼成して得た粉末をビヒクルとともに混練して
成形した後焼成することで金属酸化物半導体4の層を形
成する。
−スズ酸を得、十分に水洗いして、濾過、乾燥した後、
空気中で600℃、5時間焼成して5nOzの粉末試料
を得る。次いで、この粉末試料にV2O,やC320等
の酸化物触媒を含浸法により添加し、空気中で600℃
、5時間焼成して得た粉末をビヒクルとともに混練して
成形した後焼成することで金属酸化物半導体4の層を形
成する。
尚、V 20 sやCS20等とともに或いは単独でP
t等の貴金属を添加してもよい。
t等の貴金属を添加してもよい。
第2図は本発明に係るガスセンサの他の例を示す斜視図
であり、ガスセンサ11はアルミナ基板12に一対の櫛
形Au電極13.13を焼成により形成し、このAu電
極13.13が接続する金属酸化物半導体14を同じく
焼成によりアルミナ基板12表面に形成している。
であり、ガスセンサ11はアルミナ基板12に一対の櫛
形Au電極13.13を焼成により形成し、このAu電
極13.13が接続する金属酸化物半導体14を同じく
焼成によりアルミナ基板12表面に形成している。
また、アルミナ等の基板に金属酸化物半導体を薄膜状に
形成せず、ある程度の厚みの金属酸化物半導体に直接電
極を埋設してもよい。
形成せず、ある程度の厚みの金属酸化物半導体に直接電
極を埋設してもよい。
次に、上記金属酸化物半導体4.14を構成する材料と
感度等との関係を実験した結果を以下に述へる。
感度等との関係を実験した結果を以下に述へる。
[表1]はSnO□に対して各種酸化物触媒及び貴金属
を単独で添加した場合のガス感度(50pp m N
H3)を200’C,300℃、400°C及び500
°Cの各温度について示したものである。
を単独で添加した場合のガス感度(50pp m N
H3)を200’C,300℃、400°C及び500
°Cの各温度について示したものである。
ここで、ガス感度は空気中における抵抗Raと被検ガス
中(H2Sを含む空気中)における抵抗R8との比S
= Ra / Rsで表わすようにした。
中(H2Sを含む空気中)における抵抗R8との比S
= Ra / Rsで表わすようにした。
[表1]からは、C520を除いて電気陰性度の大きい
酸性酸化物触媒を添加することで、塩基性ガスであるN
H3に対する感度が向上することが分る。また、C32
0及びW Osについては第3図に示すようにNH3に
対して高い感度を示したか、これらはH2Sにも高い感
度を示すため、ガス選択性の点で問題があり、Agを添
加した場合には感度は向上するが、N H3との接触を
断った場合の回復応答性の点で問題があり、結局■2o
5が多少感度はこれらに比べ劣るが選択性及び回復応答
性(再現性)の面で最も優れていることが判明した。
酸性酸化物触媒を添加することで、塩基性ガスであるN
H3に対する感度が向上することが分る。また、C32
0及びW Osについては第3図に示すようにNH3に
対して高い感度を示したか、これらはH2Sにも高い感
度を示すため、ガス選択性の点で問題があり、Agを添
加した場合には感度は向上するが、N H3との接触を
断った場合の回復応答性の点で問題があり、結局■2o
5が多少感度はこれらに比べ劣るが選択性及び回復応答
性(再現性)の面で最も優れていることが判明した。
そこてV2O5についてNH3濃度とガス感度との関係
について実験をした。その結果を第4図に示す。この第
4図からはNH3濃度が5ppm程度であってもV2O
5を5 w t%の割合で添加したセンサであれば感度
2以上となるので十分に実用に供することができるとい
える。
について実験をした。その結果を第4図に示す。この第
4図からはNH3濃度が5ppm程度であってもV2O
5を5 w t%の割合で添加したセンサであれば感度
2以上となるので十分に実用に供することができるとい
える。
またV2O5の添加割合としては3〜7 w t%の範
囲とするのが好ましい。
囲とするのが好ましい。
(効果)
以上に説明したように本発明によれば、金属酸化物半導
体ガスセンサを構成する主体となる金属酸化物に添加す
る酸化物触媒をV 20 s、P2O5、M OO3、
C520及びW Osのうちの1種とし、更に酸化物触
媒とは別に必要に応して添加する貴金属をRu、Pt及
びAgのうちの1種としたことで、N Hzに対するセ
ンサの感度を大幅に高めることができ、更に応答速度及
び回復速度の双方に優れたガスセンサとすることかでき
る。
体ガスセンサを構成する主体となる金属酸化物に添加す
る酸化物触媒をV 20 s、P2O5、M OO3、
C520及びW Osのうちの1種とし、更に酸化物触
媒とは別に必要に応して添加する貴金属をRu、Pt及
びAgのうちの1種としたことで、N Hzに対するセ
ンサの感度を大幅に高めることができ、更に応答速度及
び回復速度の双方に優れたガスセンサとすることかでき
る。
第1図及び第2図は本発明に係るガスセンサの一例を示
す斜視図、第3図はNH3に対する応答曲線を示すグラ
フ、第4図はV2O5を添加した場合のNH3濃度とガ
ス感度との関係を示すグラフである。 尚、図面中1,11はガスセンサ、2.12はアルミナ
、3.13は電極、4.14は金属酸化物半導体である
。 第 図 第 図 第3図 時間/min 各種Sn○2系素子のNH,に対する応答曲線(測定温
度二300°c、N HJ度:50ppm)第 図 5wt%■20i−SnOz素子のNH3感度の濃度依
存性(測定温度:300℃)
す斜視図、第3図はNH3に対する応答曲線を示すグラ
フ、第4図はV2O5を添加した場合のNH3濃度とガ
ス感度との関係を示すグラフである。 尚、図面中1,11はガスセンサ、2.12はアルミナ
、3.13は電極、4.14は金属酸化物半導体である
。 第 図 第 図 第3図 時間/min 各種Sn○2系素子のNH,に対する応答曲線(測定温
度二300°c、N HJ度:50ppm)第 図 5wt%■20i−SnOz素子のNH3感度の濃度依
存性(測定温度:300℃)
Claims (1)
- 主体となる金属酸化物に添加物を加えた金属酸化物半導
体に対するガスの吸脱着による抵抗値の変化を利用した
ガスセンサにおいて、前記主体となる金属酸化物はSn
O_2、TiO_2、Fe_2O_3、In2O_3、
NiO、CoO、ZnO及びMgFe_2O_4のうち
の1種とし、前記添加物はV_2O_5、P_2O_5
、MoO_3、Cs_2O及びWO_3の酸化物触媒の
1種或いはRu、Pt及びAgの貴金属の1種としたこ
とを特徴とするガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13578790A JP2921032B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | アンモニアガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13578790A JP2921032B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | アンモニアガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0429049A true JPH0429049A (ja) | 1992-01-31 |
JP2921032B2 JP2921032B2 (ja) | 1999-07-19 |
Family
ID=15159832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13578790A Expired - Fee Related JP2921032B2 (ja) | 1990-05-25 | 1990-05-25 | アンモニアガスセンサ |
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---|---|
JP (1) | JP2921032B2 (ja) |
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JPWO2003029801A1 (ja) * | 2001-09-28 | 2005-01-20 | 新光電気工業株式会社 | 硫黄分検出センサ及び硫黄分検出装置 |
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-
1990
- 1990-05-25 JP JP13578790A patent/JP2921032B2/ja not_active Expired - Fee Related
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