JPH0429023A - 多点温度測定素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、電気炉、恒温槽、乾燥器等の温度測定に用い
る多点温度測定素子に関する。

（従来の技術） 従来、電気炉等の温度は、予め設けられた熱電対によっ
て測定され、従って電気炉等の温度コン［・ロールも固
設された熱電対付近の温度でなされていた。

（発明が解決しようとする課題） ところで、容積を持つ電気炉や恒温槽等の内部ては、場
所によって温度が違い、成る一点だけの温度を測定して
いたのでは、全体の平均温度や任意の場所の温度を測定
することができない。

そこで本発明は、容積を持った電気炉や恒温槽等の内部
の、任意の複数の場所の温度を同時に測定でき、しかも
全体の平均温度を測定することのできる多点温度測定素
子を提供しようとするものである。

（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するための本発明の多点温度測定素子は
、耐熱性絶縁基板上に、Ｐｔ薄膜で抵抗体回路を形成し
、その抵抗体回路の途中から複数の端子を取り出し、抵
抗体回路中の任意の複数の場所の温度を同時に測定でき
るようにしたことを特徴とするものである。

（作用） 上述の如く構成された本発明の多点温度測定素子は、抵
抗体回路部を電気炉や恒温槽内に入れ、抵抗体回路の途
中から取り出した複数の端子を外部に出して抵抗を測定
することにより、Ｐｔの温度−抵抗特性から計算して、
電気炉や恒温槽内の任意の複数の場所の温度を同時に測
定でき、且つ全体の平均温度を測定できる。

（実施例） 本発明の多点温度測定素子の一実施例を図によって説明
すると、第１図に示す如く石英カラス基板１上に、Ｐｔ
薄膜で抵抗体回路２を形成し、その抵抗体回路２の途中
の任意の場所から多数の端子３を取り出し、抵抗体回路
２中の任意の複数の場所の抵抗を同時に測定できるよう
にする。この場合、全体の平均温度は、第２図において
４個の端子３を１組として、その各組の端子３を２個ず
つを用いて電圧端子３ａと電流端子３ｂとすれば、同様
に抵抗を測定することにより得られる。

このように構成された実施例の多点温度測定素子４は、
第３図に示す如（恒温槽５内に抵抗体回路２を入れ、複
数の端子３を外部に出して、任意の複数の場所の温度を
同時に測定する。測定には四端子法を用い、端子３と測
定器の接触抵抗や測定器内の内部抵抗を避ける。この時
の恒温槽５の設定温度は２００°Ｃである。

四端子法で得られた抵抗値を、この回路の温度−抵抗特
性から計算し、第３図のＡ部、Ｂ部、６部の温度を２０
２°Ｃ１２００°Ｃ１１９７°Ｃと得た。そして全体の
平均温度２０１０Ｃを得た。

一方、従来例の温度測定について説明すると、第４図に
示す如く恒温槽５内に熱電対６を複数本、本例では３本
人れて、夫々の起電力を測定する。

この時の恒温槽５の設定温度は２００℃である。

熱起電力換算により第４図のＡ部、Ｂ部、６部の温度を
２０４°Ｃ１２０２°Ｃ１１９９°Ｃと得たが、全体平
均温度測定は不可能であった。また、測定個所を増やす
には、それに応じた数の熱電対を用意する必要があった
。

（発明の効果） 以上の通り本発明の多点温度測定素子によれば、任意の
複数の場所の温度を同時に測定できるので、電気炉や恒
温槽内の温度分布状態を即座に認識できるほか、全体の
平均温度を測定できるのでより細かな温度測定ができる
という効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の多点温度測定素子の一実施例を示す斜
視図、第２図はその一部拡大平面図、第３図は本発明の
多点温度測定素子による恒温槽の温度測定方法を示す図
、第４図は熱電対による従来の恒温槽の温度測定方法を
示す図である。 出願人　　田中貴金属工業株式会社 第 図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）耐熱性絶縁基板上に、Ｐｔ薄膜で抵抗体回路を形成
   し、その抵抗体回路の途中から複数の端子を取り出し、
   抵抗体回路中の任意の複数の場所の温度を同時に測定で
   きるようにしたことを特徴とする多点温度測定素子。