JPH04287202A - 制御システム - Google Patents

制御システム

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JPH04287202A
JPH04287202A JP5240491A JP5240491A JPH04287202A JP H04287202 A JPH04287202 A JP H04287202A JP 5240491 A JP5240491 A JP 5240491A JP 5240491 A JP5240491 A JP 5240491A JP H04287202 A JPH04287202 A JP H04287202A
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JP
Japan
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disturbance
state
control system
control
temperature
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JP5240491A
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JP3275316B2 (ja
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Tomoyuki Tsukabe
塚部 智之
Yumi Saito
斉藤 ゆみ
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Omron Corp
Original Assignee
Omron Corp
Omron Tateisi Electronics Co
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、温度制御システム等の
外乱発生時における整定制御動作に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、炉の温度制御を行うに際し、整
定状態において外乱があると炉内の温度(制御量)が変
化する。そして、目標値と制御量との偏差に基づく制御
作用が働いて操作量が修正され加熱状態が変化されるこ
とにより制御量は再び目標値に整定される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来に
おける制御作用は単に偏差に基づいて行うのが基本であ
り、上記の外乱時における制御作用も外乱状態に関係な
く行われている。したがって、システムにおいて外乱時
の制御作用が大きくなるように制御特性を設定すると整
定時間は短くなるもののオーバーシュートが発生し、逆
に小さくなるように制御特性を設定するとオーバーシュ
ートは発生しないものの整定時間が長くなり、外乱状態
の実状に即した制御動作が行われていないのが現状であ
る。
【0004】上記の外乱としては、大別して復帰(パル
ス、電断)型外乱と非復帰(ステップ)型外乱があり、
例えば、炉のドアの開閉、加熱ヒータの電断で炉内の温
度が一時的に変化する場合が復帰型外乱であり、炉内の
被加熱物が交換され炉内の温度が継続的に変化する場合
が非復帰型外乱あり、復帰型外乱においてオーバーシュ
ートが発生しやすく、非復帰型外乱において整定時間が
長くなる傾向にある。本発明は、上記の問題点に鑑みて
行うもので、常に外乱状態の実状に即した整定制御動作
が行われるようにすることを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明では、制御対象の出力量を目標値とすべく制御
動作を行うように構成される制御システムにおいて、外
乱発生時の整定制御動作途中においてその外乱状態を推
定する外乱状態推定装置と、前記外乱状態推定装置から
の推定内容に対応して整定制御動作を修正する外乱状態
適応装置とを備えてなる構成とした。
【0006】
【作用】本発明構成によると、外乱発生時の整定制御動
作途中において外乱状態が推定され、その推定内容に対
応して整定制御動作が修正される。
【0007】
【実施例】図1は温度制御システムの全体制御系統図で
あり、1は炉等の制御対象、2は目標値rと制御対象1
からの制御量としての出力温度yとの偏差eに基づいて
操作量Uを出力する温度補償器、3は制御対象1からの
出力温度yに基づいて外乱状態を推定する外乱状態推定
装置、4は外乱状態推定装置3からの推定信号に基づい
て温度補償器2に補正信号を出力する外乱状態適応装置
である。
【0008】上記温度補償器2は、偏差eに基づいて比
例操作量を出力する比例操作量出力部7、偏差eの微分
を行う微分器8、微分器8の微分値に基づいて微分操作
量を出力する微分操作量出力部9、偏差eの積分を行う
積分器10、積分器10の積分値に基づいて積分操作量
を出力する積分操作量出力部11とから構成され、それ
ぞれの出力部7,9,11からの出力の総和を操作量U
として出力する。
【0009】外乱状態推定装置3は、外乱発生時におけ
る出力温度yの変化に際しての変化率H1と前記変化の
後の復帰変化に際しての変化率H2とをそれぞれ算出す
る変化率算出部13と、それぞれの変化率に基づいて外
乱状態を推定する外乱状態推定部14とから構成され、
復帰型外乱で有る場合に推定信号を出力するように構成
されている。
【0010】外乱状態適応装置4は、外乱状態推定装置
3からの推定信号に基づいて、温度補償器2の積分器1
0に外乱後の積分量をリセットさせる補正信号を出力す
るように構成されている。
【0011】上記温度制御システムは、この実施例では
制御対象1を除く部分がソフトウェアにより構成され、
その温度制御動作はマイクロコンピュータが所定のプロ
グラムにしたがって行うものである。
【0012】次に、上記温度制御システムの動作を、図
2のフローチャート、図3の外乱状態グラフ図を参照し
て行う。
【0013】通常は目標値応答制御を行っており、この
場合は外乱状態適応機能はoffしている(ステップ1
,2:図3のAで示す部分での動作)。
【0014】そして、何等かの外乱が発生して出力温度
yが変化すると、外乱状態適応機能がonし、その出力
温度y変化が設定温度幅xを越えるとその際の積分量U
I、その際の温度y0、その際の時刻taをそれぞれ記
憶する(ステップ3,4,5:図3のBで示す部分での
動作)。
【0015】そして出力温度yの変化率の符号が負から
正に切り替わると、その際の時刻tbを記憶するととも
に、出力温度yがy0に達した時点からの経過時間tb
−ta=t1、時刻tbにt1/n時間であるt2を加
えた次にデータを取る時刻tc、時刻taからtbに至
る間での出力温度yの変化率H1=(y1−y0)/t
1のそれぞれを算出して記憶する(ステップ6,7:図
3のCで示す部分での動作)。上記nは、例えば[3]
に設定され、t2はt1の1/3とされるもので、これ
は、t2が適正な変化率H2の算出のための十分な時間
となり、また、tcが後に説明する積分量UIのリセッ
トによる操作量減少動作の開始時期として遅くないタイ
ミングとなるように設定している。
【0016】そして、次にデータを取る時刻tcとなる
と、時刻tbからtcに至る間での出力温度yの変化率
H2=(y2−y1)/t2を算出する。さらに、|H
2/H1|を算出し、図3のグラフ図に示すように、|
H2/H1|>1である場合には復帰型の外乱と判定す
る(ステップ8,9,10,11:図3のDで示す部分
での動作)。
【0017】復帰型外乱の場合は外乱が一時的であるの
で制御効果が著しく、絶対値において変化率H1より変
化率H2のほうが大きくなる。これに対し、非復帰型外
乱の場合は外乱が継続するので制御効果が緩やかで、通
常、図4のグラフ図のような外乱の制御特性を示し、|
H2/H1|≦1となる。なお、|H2/H1|>1.
4となる場合は、図5のグラフ図のような外乱の制御特
性を示す電断外乱と判定でき、制御システムにおいて、
さらに、この判定内容を使用することも可能である。
【0018】そして、復帰型外乱と判定した場合は積分
器10の積分量を出力温度がy0を越えた際の積分量U
Iにリセットする(ステップ12:図3のDで示す部分
での動作)。このリセットにより積分操作量が減少され
全体の操作量Uも減少される故に変化率も緩やかになり
、その結果、図3に実線で示すように、出力温度は殆ど
オーバーシュートすることなく整定される。積分量UI
がリセットされない場合は、操作量Uが減少されないの
で点線で示すようにオーバーシュートが発生する。
【0019】この温度制御システムでは、上記のように
復帰型外乱の場合は積分操作量が減少されオーバーシュ
ートが解消されるので、外乱時の制御作用が大きくなる
ように、すなわち、非復帰型外乱の場合の制御特性が良
好なようにセットしておけばよい。
【0020】図6は積分制御量のリセット動作部分の他
の実施例を示し、リセット動作の後に偏差r−yが設定
値zより小さくなったかどうかの判定を行い、設定値z
より小さくならない場合はリセット動作を繰り返し行う
ように構成しており、これにより、より厳密にオーバー
シュートの発生を防ぐ構成としている。
【0021】図7は積分制御量のリセット動作部分のさ
らに異なる他の実施例を示し、この実施例では、リセッ
ト動作の後に変化率H3が設定値H0より小さくなった
かどうかの判定を行い、設定値H0より小さくならない
場合は図6に示す実施例と同様に、リセット動作を繰り
返し行うように構成している。
【0022】
【発明の効果】本発明は以上のように構成されたもので
あるので、外乱発生時の整定制御動作途中において外乱
状態が推定され、その推定内容に対応して整定制御動作
が修正されるようになり、その結果、常に外乱状態の実
状に即した整定制御動作が行われるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る制御システムの全体制御系統図。
【図2】制御システムの動作実施例を示すフローチャー
ト。
【図3】制御実施例に対応する外乱状態グラフ図。
【図4】ステップ外乱状態グラフ図。
【図5】電断外乱状態グラフ図。
【図6】制御システムの他の動作実施例を示す部分フロ
ーチャート。
【図7】制御システムのさらに他の動作実施例を示す部
分フローチャート。
【符号の説明】
1    制御対象 3  外乱状態推定装置 4  外乱状態適応装置

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  制御対象(1)の出力量を目標値とす
    べく制御動作を行うように構成される制御システムにお
    いて、外乱発生時の整定制御動作途中においてその外乱
    状態を推定する外乱状態推定装置(3)と、前記外乱状
    態推定装置(3)からの推定内容に対応して整定制御動
    作を修正する外乱状態適応装置(4)と、を備えてなる
    制御システム。
JP05240491A 1991-03-18 1991-03-18 制御システム Expired - Fee Related JP3275316B2 (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000183072A (ja) * 1998-10-07 2000-06-30 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置およびその温度制御方法
JPWO2021205534A1 (ja) * 2020-04-07 2021-10-14

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JP2000183072A (ja) * 1998-10-07 2000-06-30 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置およびその温度制御方法
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