JPH0426983B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0426983B2 JPH0426983B2 JP59217242A JP21724284A JPH0426983B2 JP H0426983 B2 JPH0426983 B2 JP H0426983B2 JP 59217242 A JP59217242 A JP 59217242A JP 21724284 A JP21724284 A JP 21724284A JP H0426983 B2 JPH0426983 B2 JP H0426983B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- workpiece
- take
- surface plates
- sun gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59217242A JPS6195876A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 研磨機におけるキヤリア位置決め方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59217242A JPS6195876A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 研磨機におけるキヤリア位置決め方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195876A JPS6195876A (ja) | 1986-05-14 |
| JPH0426983B2 true JPH0426983B2 (enrdf_load_html_response) | 1992-05-08 |
Family
ID=16701077
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59217242A Granted JPS6195876A (ja) | 1984-10-18 | 1984-10-18 | 研磨機におけるキヤリア位置決め方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6195876A (enrdf_load_html_response) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61219568A (ja) * | 1985-03-25 | 1986-09-29 | Mitsubishi Metal Corp | 一定位置停止研磨方法及び装置 |
| JPS6328562A (ja) * | 1986-07-22 | 1988-02-06 | Otani Reiji | ラツピングキヤリヤの噛合い装填方法 |
| JPH0413566A (ja) * | 1990-05-08 | 1992-01-17 | Showa Alum Corp | 研磨装置 |
| JPH05285828A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Hitachi Zosen Corp | 研磨装置 |
| JP5379461B2 (ja) * | 2008-12-10 | 2013-12-25 | Ｈｏｙａ株式会社 | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及びマスクの製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58215031A (ja) * | 1982-06-07 | 1983-12-14 | Toshiba Corp | ウエ−ハ取り出し方法 |
| JPS59109447U (ja) * | 1983-01-06 | 1984-07-24 | ホ−ヤ株式会社 | 両面加工装置 |
-
1984
- 1984-10-18 JP JP59217242A patent/JPS6195876A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6195876A (ja) | 1986-05-14 |
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