JPH04265831A - カテーテル先端圧力トランスジューサの温度補償装置および方法 - Google Patents
カテーテル先端圧力トランスジューサの温度補償装置および方法Info
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- JPH04265831A JPH04265831A JP3279974A JP27997491A JPH04265831A JP H04265831 A JPH04265831 A JP H04265831A JP 3279974 A JP3279974 A JP 3279974A JP 27997491 A JP27997491 A JP 27997491A JP H04265831 A JPH04265831 A JP H04265831A
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- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
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- G01L1/2281—Arrangements for correcting or for compensating unwanted effects for temperature variations
-
- G—PHYSICS
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
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- G01L9/065—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices with temperature compensating means
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、温度を補正するセンサ
のための補償回路に関し、特にセンサの温度、固定およ
び他の特性に対する特に選択された抵抗を持つ補償回路
に関する。
のための補償回路に関し、特にセンサの温度、固定およ
び他の特性に対する特に選択された抵抗を持つ補償回路
に関する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】カテ
ーテルの遠端部に取付けられた小型センサからなる血圧
トランスジューサまたはプローブは、一般に患者におけ
る血圧を測定するために使用される。この形式の血圧の
検出の利点は、非常に強化された信号忠実度および周波
数応答を含む。センサを作る多くの方法が開発されてき
た。1つの一般的な方法はピエゾ抵抗手法を使用し、こ
れにおいては1つ以上の抵抗が圧力に感応するシリコン
隔膜上に被着されている。これらの抵抗は、通常は、他
の形態も使用されるが、ホイートストーン・ブリッジ形
態で接続される。
ーテルの遠端部に取付けられた小型センサからなる血圧
トランスジューサまたはプローブは、一般に患者におけ
る血圧を測定するために使用される。この形式の血圧の
検出の利点は、非常に強化された信号忠実度および周波
数応答を含む。センサを作る多くの方法が開発されてき
た。1つの一般的な方法はピエゾ抵抗手法を使用し、こ
れにおいては1つ以上の抵抗が圧力に感応するシリコン
隔膜上に被着されている。これらの抵抗は、通常は、他
の形態も使用されるが、ホイートストーン・ブリッジ形
態で接続される。
【0003】ピエゾ抵抗圧力センサを作る一般的な方法
は、典型的には圧力検出抵抗に極く近接した同じチップ
上に別の温度検出要素を配置することを含む。温度検出
デバイスは、ピエゾ抵抗ブリッジ・センサが上昇あるい
は低下する温度による出力の変化を呈する傾向がある故
に必要とされる。それらの機能は、センサの温度特性と
対抗するように働くか、あるいはチップ温度に比例する
信号をセンサの信号出力の温度特性を補正する外部回路
に与えることである。
は、典型的には圧力検出抵抗に極く近接した同じチップ
上に別の温度検出要素を配置することを含む。温度検出
デバイスは、ピエゾ抵抗ブリッジ・センサが上昇あるい
は低下する温度による出力の変化を呈する傾向がある故
に必要とされる。それらの機能は、センサの温度特性と
対抗するように働くか、あるいはチップ温度に比例する
信号をセンサの信号出力の温度特性を補正する外部回路
に与えることである。
【0004】上記の温度特性に加えて、センサは通常、
デバイス間で変動する大きさの望ましくない固定オフセ
ット信号をゼロ圧力において生じ、またそれらの圧力感
度における変動を生じる。オフセットおよび感度におけ
るこれらの変動は、温度特性における変動と共に、「ト
リミング」として知られるプロセスにより各デバイスに
おいて個々に調整されなければならない。この名前は、
このような調整を行う最も一般的なプロセス、即ち特定
のセンサ要素の抵抗を変化させるためレーザを使用する
こと、あるいはセンサの信号出力における所望の変化を
生じるようにセンサ周囲のネットワークに接続された他
の受動あるいは能動回路要素を使用することから由来す
る。
デバイス間で変動する大きさの望ましくない固定オフセ
ット信号をゼロ圧力において生じ、またそれらの圧力感
度における変動を生じる。オフセットおよび感度におけ
るこれらの変動は、温度特性における変動と共に、「ト
リミング」として知られるプロセスにより各デバイスに
おいて個々に調整されなければならない。この名前は、
このような調整を行う最も一般的なプロセス、即ち特定
のセンサ要素の抵抗を変化させるためレーザを使用する
こと、あるいはセンサの信号出力における所望の変化を
生じるようにセンサ周囲のネットワークに接続された他
の受動あるいは能動回路要素を使用することから由来す
る。
【0005】このトリミング法は、センサ組立体の一部
としてのディジタル・メモリー・デバイスのプログラミ
ングを含み得、このセンサ組立体はセンサと、動作に必
要な機械的および電気的な接続とを含んでいる。このデ
ィジタル・メモリー・デバイスにおける情報は、使用時
においてセンサから信号出力を受取るように設計された
ディジタル処理回路によって後で検索され、ディジタル
・メモリー・デバイスに記憶された情報に基いて信号出
力における望ましくない変動を数学的に取除く。
としてのディジタル・メモリー・デバイスのプログラミ
ングを含み得、このセンサ組立体はセンサと、動作に必
要な機械的および電気的な接続とを含んでいる。このデ
ィジタル・メモリー・デバイスにおける情報は、使用時
においてセンサから信号出力を受取るように設計された
ディジタル処理回路によって後で検索され、ディジタル
・メモリー・デバイスに記憶された情報に基いて信号出
力における望ましくない変動を数学的に取除く。
【0006】カテーテル先端部の検出のための特定用途
は、センサの大きさと、隔膜に対するワイヤ接続数とが
この用途の全体的な寸法上の制約により最小限に維持さ
れることを要求する。圧力センサに極く近接する別の回
路要素に対してはほとんど余地がなく、またセンサに対
する電気的接続数は制限される。処理手法を異にするた
め、ディジタル・メモリー要素を圧力センサと同じシリ
コン・チップ上に集積することは困難である。
は、センサの大きさと、隔膜に対するワイヤ接続数とが
この用途の全体的な寸法上の制約により最小限に維持さ
れることを要求する。圧力センサに極く近接する別の回
路要素に対してはほとんど余地がなく、またセンサに対
する電気的接続数は制限される。処理手法を異にするた
め、ディジタル・メモリー要素を圧力センサと同じシリ
コン・チップ上に集積することは困難である。
【0007】医療用トランスジューサの製造においては
、感染の危険が低くかつ診療所および病院にとって使用
上便利である使い捨てデバイスの増加傾向が存在するが
、これはデバイスの滅菌の必要がないためである。使い
捨てデバイスを実現可能にするためには、製造上安価で
なければならない。使い捨てトランスジューサの場合に
は、このことは、製品の使い捨て部分における回路要素
(センサおよびトリム回路)のコストが最小限に抑えら
れねばならないことを意味し、トリム操作を実施する処
理時間を短くしなければならない。
、感染の危険が低くかつ診療所および病院にとって使用
上便利である使い捨てデバイスの増加傾向が存在するが
、これはデバイスの滅菌の必要がないためである。使い
捨てデバイスを実現可能にするためには、製造上安価で
なければならない。使い捨てトランスジューサの場合に
は、このことは、製品の使い捨て部分における回路要素
(センサおよびトリム回路)のコストが最小限に抑えら
れねばならないことを意味し、トリム操作を実施する処
理時間を短くしなければならない。
【0008】圧力トランスジューサの温度補償法につい
ては、米国特許第3,841,150号、同第3,95
6,927号、同第3,836,796号、同第4,5
56,807号、同第3,646,815号、同第3,
841,150号、同第4,916,382号および同
第4,320,664号において記載されている。チッ
プ上の個々の温度検出デバイスが補償を達成する。圧力
信号の補償のためディジタル計算回路あるいはマイクロ
プロセッサ計算回路の使用を含む方法については、米国
特許第4,226,125号、同第4,399,515
号、同第4,446,527号、同第4,598,38
1号、同第4,765,188号および同第4,858
,615号に記載されている。これらの方法および回路
は、センサに固有の誤差条件が、容易にプログラムされ
る不揮発性ディジタル・メモリーに記憶されるため、ト
リムに要する時間を短縮する。誤差条件は各センサに固
有であるため、このことは、ディジタル・メモリー・デ
バイスがプログラムされること、および各センサ組立体
の一部であることを必要とする。これは、コスト、およ
びトランスジューサ/メモリー組立体とその受信増幅器
回路との間に必要な電気的接続数を増加させる。またこ
れらの手法は全て、圧力センサに加えて独立的な温度検
出要素あるいは基準要素を必要とする。
ては、米国特許第3,841,150号、同第3,95
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841,150号、同第4,916,382号および同
第4,320,664号において記載されている。チッ
プ上の個々の温度検出デバイスが補償を達成する。圧力
信号の補償のためディジタル計算回路あるいはマイクロ
プロセッサ計算回路の使用を含む方法については、米国
特許第4,226,125号、同第4,399,515
号、同第4,446,527号、同第4,598,38
1号、同第4,765,188号および同第4,858
,615号に記載されている。これらの方法および回路
は、センサに固有の誤差条件が、容易にプログラムされ
る不揮発性ディジタル・メモリーに記憶されるため、ト
リムに要する時間を短縮する。誤差条件は各センサに固
有であるため、このことは、ディジタル・メモリー・デ
バイスがプログラムされること、および各センサ組立体
の一部であることを必要とする。これは、コスト、およ
びトランスジューサ/メモリー組立体とその受信増幅器
回路との間に必要な電気的接続数を増加させる。またこ
れらの手法は全て、圧力センサに加えて独立的な温度検
出要素あるいは基準要素を必要とする。
【0009】米国特許第4,715,003号は、定電
流源によりブリッジを励起し、別の温度検出要素を用い
ずにブリッジ温度の直接的表示としてブリッジに対する
電力入力における電圧を使用する手法を記載している。 しかし、この手法はまた、ディジタル回路、および一義
的な補正定数によりプログラムされるディジタル・メモ
リー・デバイスの使用に依存し、上記の諸制約から免れ
ない。ピエゾ抵抗ブリッジ・センサを補償するための他
の手法は、ブリッジ・センサ抵抗の温度係数に関して無
視し得る温度係数を持つ受動的な抵抗ネットワークを使
用することである。結果として、ブリッジ・センサに接
するネットワークの配置は問題とならない。抵抗ネット
ワークは、ブリッジの信号出力に所要の結果を達成する
ように調整された特定の値で、種々の直列/分路の組合
わせにおいてブリッジと接続される。
流源によりブリッジを励起し、別の温度検出要素を用い
ずにブリッジ温度の直接的表示としてブリッジに対する
電力入力における電圧を使用する手法を記載している。 しかし、この手法はまた、ディジタル回路、および一義
的な補正定数によりプログラムされるディジタル・メモ
リー・デバイスの使用に依存し、上記の諸制約から免れ
ない。ピエゾ抵抗ブリッジ・センサを補償するための他
の手法は、ブリッジ・センサ抵抗の温度係数に関して無
視し得る温度係数を持つ受動的な抵抗ネットワークを使
用することである。結果として、ブリッジ・センサに接
するネットワークの配置は問題とならない。抵抗ネット
ワークは、ブリッジの信号出力に所要の結果を達成する
ように調整された特定の値で、種々の直列/分路の組合
わせにおいてブリッジと接続される。
【0010】ネットワークは、ブリッジにおける抵抗と
組合わされる時、オフセットおよび温度補償の所与の量
に対する適当な抵抗値を決定するために容易に解決する
ことができない複雑な回路を構成する。温度補償に対す
る調整は信号出力における固定オフセットまたは利得に
影響を及ぼし、またその反対の影響を及ぼすことがネッ
トワークの特性である。その結果、これらのデバイスの
トリミングは反復プロセスであり、これにおいては、セ
ンサの応答は、所要の補正を達成するトリミングの間1
回以上検証されなければならない。
組合わされる時、オフセットおよび温度補償の所与の量
に対する適当な抵抗値を決定するために容易に解決する
ことができない複雑な回路を構成する。温度補償に対す
る調整は信号出力における固定オフセットまたは利得に
影響を及ぼし、またその反対の影響を及ぼすことがネッ
トワークの特性である。その結果、これらのデバイスの
トリミングは反復プロセスであり、これにおいては、セ
ンサの応答は、所要の補正を達成するトリミングの間1
回以上検証されなければならない。
【0011】米国特許第3,447,362号は、前の
2つの項において述べた如き手法を開示するが、これに
おいては、トリム・プロセス中誤差ソース間のやりとり
は最小限に抑えられ、補償に必要な抵抗値は代数式によ
り決定することができる。この手法は、4つのブリッジ
・ノードの1つにおける開かれた即ち開路された接続部
を必要とし、そのため抵抗が2つのブリッジ・アーム内
に挿入される。これは、センサ上に別のワイヤ接続を必
要とし、製造コストを増し、ワイヤを終端するに必要な
センサの表面積を増大させる。補償の達成に必要な独自
の抵抗の数および調整を最小限に抑えるが、別の温度検
出要素あるいは特別なセンサ接続を必要としない簡単な
アナログ温度補償法に対する、また迅速かつ反復せずに
実施可能な方法に対する要求が存在する。
2つの項において述べた如き手法を開示するが、これに
おいては、トリム・プロセス中誤差ソース間のやりとり
は最小限に抑えられ、補償に必要な抵抗値は代数式によ
り決定することができる。この手法は、4つのブリッジ
・ノードの1つにおける開かれた即ち開路された接続部
を必要とし、そのため抵抗が2つのブリッジ・アーム内
に挿入される。これは、センサ上に別のワイヤ接続を必
要とし、製造コストを増し、ワイヤを終端するに必要な
センサの表面積を増大させる。補償の達成に必要な独自
の抵抗の数および調整を最小限に抑えるが、別の温度検
出要素あるいは特別なセンサ接続を必要としない簡単な
アナログ温度補償法に対する、また迅速かつ反復せずに
実施可能な方法に対する要求が存在する。
【0012】
【発明の概要】電力入力と、接地基準と、抵抗ブリッジ
の正の信号出力および負の信号出力とを含む信号出力を
持つ抵抗ブリッジに対する補償回路の望ましい実施例は
、この抵抗ブリッジの信号出力の両端における応答の誤
差に対する補正を行う。この補償回路は、基準オフセッ
ト電圧を生じる固定回路基準電圧を受取るオフセット基
準ジェネレータを持つことが最も望ましい。
の正の信号出力および負の信号出力とを含む信号出力を
持つ抵抗ブリッジに対する補償回路の望ましい実施例は
、この抵抗ブリッジの信号出力の両端における応答の誤
差に対する補正を行う。この補償回路は、基準オフセッ
ト電圧を生じる固定回路基準電圧を受取るオフセット基
準ジェネレータを持つことが最も望ましい。
【0013】電圧制御された電流源は、電力入力と接地
基準間に接続される。この電圧制御電流源は、固定され
た回路基準電圧に正比例するブリッジ励起出力電流を有
し得る。バッファ入力を持つバッファ増幅器は、電力入
力と接続し、このバッファ増幅器は、電力入力電圧と比
例するバッファ出力電圧を生じる電圧フォロワであるこ
とが望ましい。正および負の端子を持つ計装増幅器は、
それぞれ正および負の信号出力と接続してそれからの応
答に比例する初期出力を生じる。プログラム可能な利得
増幅器は、計装増幅器から初期出力を受取り、抵抗ブリ
ッジの圧力応答とは独立する補償された出力を生じる。 補償ネットワークの利得補正部分は、プログラム可能利
得増幅器の利得を調整して抵抗ブリッジの圧力応答にお
ける変動を補正する。
基準間に接続される。この電圧制御電流源は、固定され
た回路基準電圧に正比例するブリッジ励起出力電流を有
し得る。バッファ入力を持つバッファ増幅器は、電力入
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例するバッファ出力電圧を生じる電圧フォロワであるこ
とが望ましい。正および負の端子を持つ計装増幅器は、
それぞれ正および負の信号出力と接続してそれからの応
答に比例する初期出力を生じる。プログラム可能な利得
増幅器は、計装増幅器から初期出力を受取り、抵抗ブリ
ッジの圧力応答とは独立する補償された出力を生じる。 補償ネットワークの利得補正部分は、プログラム可能利
得増幅器の利得を調整して抵抗ブリッジの圧力応答にお
ける変動を補正する。
【0014】補償ネットワークは、バッファ出力電圧お
よび接地基準を受取るオフセット補正部分を含むことが
望ましい。この補償ネットワークは、バッファの出力電
圧に応答して初期オフセット電流を生じ、また抵抗ブリ
ッジの温度変化と比例して変化して初期オフセット電流
の温度に依存する部分を生じる。
よび接地基準を受取るオフセット補正部分を含むことが
望ましい。この補償ネットワークは、バッファの出力電
圧に応答して初期オフセット電流を生じ、また抵抗ブリ
ッジの温度変化と比例して変化して初期オフセット電流
の温度に依存する部分を生じる。
【0015】オフセット補正増幅器は、初期オフセット
電流、バッファ出力電圧および固定回路基準電圧を受取
り、補正信号を生じて信号出力におけるオフセット誤差
を打消す。バッファ出力電圧および初期オフセット電流
は、抵抗ブリッジにおける温度変化と比例して変化し、
これにより補正信号の温度依存部分を生じる。計装増幅
器の基準入力は、補正信号を受取って初期出力を修正す
る。オフセット誤差は、バッファ出力電圧、固定回路基
準電圧および初期オフセット電流の相互作用によりオフ
セット補正増幅器内部で打消される固定部分と温度依存
部分とを持つことが望ましい。補償ネットワークのオフ
セット補正部は、この固定部を調整する1つの抵抗と、
温度依存部を調整する別の1つの抵抗とを持ち、固定部
に対する調整が温度依存部の調整に影響を及ぼすことが
ないようにする。オフセット補正増幅器は、1つの抵抗
がオフセット誤差の固定部の正または負の値を調整でき
るように特定の抵抗を有する。温度依存部に対する他の
1つの抵抗は、オフセット誤差の温度依存部の正または
負の勾配を調整する。
電流、バッファ出力電圧および固定回路基準電圧を受取
り、補正信号を生じて信号出力におけるオフセット誤差
を打消す。バッファ出力電圧および初期オフセット電流
は、抵抗ブリッジにおける温度変化と比例して変化し、
これにより補正信号の温度依存部分を生じる。計装増幅
器の基準入力は、補正信号を受取って初期出力を修正す
る。オフセット誤差は、バッファ出力電圧、固定回路基
準電圧および初期オフセット電流の相互作用によりオフ
セット補正増幅器内部で打消される固定部分と温度依存
部分とを持つことが望ましい。補償ネットワークのオフ
セット補正部は、この固定部を調整する1つの抵抗と、
温度依存部を調整する別の1つの抵抗とを持ち、固定部
に対する調整が温度依存部の調整に影響を及ぼすことが
ないようにする。オフセット補正増幅器は、1つの抵抗
がオフセット誤差の固定部の正または負の値を調整でき
るように特定の抵抗を有する。温度依存部に対する他の
1つの抵抗は、オフセット誤差の温度依存部の正または
負の勾配を調整する。
【0016】抵抗ブリッジの温度依存および固定オフセ
ット誤差を補償する方法もまた、本発明の一部である。 本方法は、抵抗ブリッジを付勢し、第1の温度T1およ
びゼロ圧力における抵抗ブリッジのオフセットおよび抵
抗を測定し、単位変化の抵抗ブリッジの圧力応答を決定
するため第1の温度T1および圧力P1における抵抗ブ
リッジの応答を測定し、温度T2およびゼロ圧力におけ
る抵抗ブリッジのオフセットおよび抵抗を測定し、温度
による抵抗ブリッジの出力および抵抗における単位変化
を決定するステップを有する。次いで、先行ステップの
決定および測定を用いて3つの抵抗の値を計算し、これ
らの値を選択して、補償ネットワークに含め、抵抗ブリ
ッジの信号出力において加えられた圧力に対する抵抗ブ
リッジの応答におけるオフセット誤差および変化の固定
部および温度依存部に対する補正を行う。
ット誤差を補償する方法もまた、本発明の一部である。 本方法は、抵抗ブリッジを付勢し、第1の温度T1およ
びゼロ圧力における抵抗ブリッジのオフセットおよび抵
抗を測定し、単位変化の抵抗ブリッジの圧力応答を決定
するため第1の温度T1および圧力P1における抵抗ブ
リッジの応答を測定し、温度T2およびゼロ圧力におけ
る抵抗ブリッジのオフセットおよび抵抗を測定し、温度
による抵抗ブリッジの出力および抵抗における単位変化
を決定するステップを有する。次いで、先行ステップの
決定および測定を用いて3つの抵抗の値を計算し、これ
らの値を選択して、補償ネットワークに含め、抵抗ブリ
ッジの信号出力において加えられた圧力に対する抵抗ブ
リッジの応答におけるオフセット誤差および変化の固定
部および温度依存部に対する補正を行う。
【0017】
【実施例】本発明は多くの異なる形態における実施例に
より履行されるが、本発明の開示は本発明の原理の例示
として見做されるべきものであり本発明を例示された実
施態様に限定する意図はないという理解に基いて、図面
および本文に本発明の望ましい実施態様が示される。本
発明の範囲は、頭書の特許請求の範囲およびその相等技
術により計られよう。
より履行されるが、本発明の開示は本発明の原理の例示
として見做されるべきものであり本発明を例示された実
施態様に限定する意図はないという理解に基いて、図面
および本文に本発明の望ましい実施態様が示される。本
発明の範囲は、頭書の特許請求の範囲およびその相等技
術により計られよう。
【0018】シリコンに基くピエゾ抵抗圧力センサを補
償するための改善された技術は、独立的な温度検出要素
の必要を排除し、補償定数の体系化にディジタル・メモ
リー回路を必要としない。最小限の数の受動回路要素が
カテーテル圧力プローブの一部として要求される。4個
のホイートストーン・ブリッジ接続以上のセンサの接続
は不要であり、センサ信号に対するディジタル処理回路
は必要でない。本文に述べた方法を用いることにより、
他のアナログ手法に勝るトリミングのための製造時間の
著しい減少が達成できる。
償するための改善された技術は、独立的な温度検出要素
の必要を排除し、補償定数の体系化にディジタル・メモ
リー回路を必要としない。最小限の数の受動回路要素が
カテーテル圧力プローブの一部として要求される。4個
のホイートストーン・ブリッジ接続以上のセンサの接続
は不要であり、センサ信号に対するディジタル処理回路
は必要でない。本文に述べた方法を用いることにより、
他のアナログ手法に勝るトリミングのための製造時間の
著しい減少が達成できる。
【0019】図1において、望ましい補償回路10にお
いて使用される回路ブロックの形態が示される。1つの
ブロックは、ホイートストーン形態の抵抗ブリッジ11
であり、信号出力16により、隔膜、即ちブリッジが取
付けられる薄い可撓性の部材の両側の圧力の変化に対す
る抵抗ブリッジの応答が生じる。抵抗ブリッジ11はま
た、電力入力14と接地基準15に跨がって加えられる
電圧の大きさにおける変化に応答する。信号出力16に
おける抵抗ブリッジの応答は、補償されず、オフセット
、感度および温度依存誤差を含む。補償ネットワーク3
1は、別の回路ブロックであり、その値即ち特性が抵抗
ブリッジにおける応答のオフセット、感度および温度依
存誤差に対して補償するように選定された回路構成要素
を有する。これら構成要素の特性値は、個々の抵抗ブリ
ッジ11毎に異なり、これらの構成要素は通常抵抗ブリ
ッジをセンサとして持つ組立体の一部をなす。本文にお
いては、どのように1つの代数関係により値が決定され
た3つの個々の抵抗がこれから述べる回路を用いて抵抗
ブリッジの応答における誤差を補償できるかが示される
。図1に示される他の回路は、本文に述べる如き諸機能
を持ち、これら回路の構成要素値が特定の抵抗ブリッジ
応答の如何に拘わらず同じであるように設計されている
。
いて使用される回路ブロックの形態が示される。1つの
ブロックは、ホイートストーン形態の抵抗ブリッジ11
であり、信号出力16により、隔膜、即ちブリッジが取
付けられる薄い可撓性の部材の両側の圧力の変化に対す
る抵抗ブリッジの応答が生じる。抵抗ブリッジ11はま
た、電力入力14と接地基準15に跨がって加えられる
電圧の大きさにおける変化に応答する。信号出力16に
おける抵抗ブリッジの応答は、補償されず、オフセット
、感度および温度依存誤差を含む。補償ネットワーク3
1は、別の回路ブロックであり、その値即ち特性が抵抗
ブリッジにおける応答のオフセット、感度および温度依
存誤差に対して補償するように選定された回路構成要素
を有する。これら構成要素の特性値は、個々の抵抗ブリ
ッジ11毎に異なり、これらの構成要素は通常抵抗ブリ
ッジをセンサとして持つ組立体の一部をなす。本文にお
いては、どのように1つの代数関係により値が決定され
た3つの個々の抵抗がこれから述べる回路を用いて抵抗
ブリッジの応答における誤差を補償できるかが示される
。図1に示される他の回路は、本文に述べる如き諸機能
を持ち、これら回路の構成要素値が特定の抵抗ブリッジ
応答の如何に拘わらず同じであるように設計されている
。
【0020】図1において、抵抗ブリッジ11に対する
補償回路10が示される。抵抗ブリッジ11は、各々が
1対の抵抗を含む1対のアーム12、13を含んでいる
。図3において述べるように、各対の抵抗の一方が応力
変形と共に増加し、他方は応力変形と共に減少する。 抵抗ブリッジ11は、電力入力14と、接地基準15と
、正の信号出力17および負の信号出力18を含む信号
出力16とを有する。この信号出力の応答は、望ましい
用途においては、抵抗ブリッジ11に与えられる圧力と
、電力入力14に加えられる電気信号との関数である。
補償回路10が示される。抵抗ブリッジ11は、各々が
1対の抵抗を含む1対のアーム12、13を含んでいる
。図3において述べるように、各対の抵抗の一方が応力
変形と共に増加し、他方は応力変形と共に減少する。 抵抗ブリッジ11は、電力入力14と、接地基準15と
、正の信号出力17および負の信号出力18を含む信号
出力16とを有する。この信号出力の応答は、望ましい
用途においては、抵抗ブリッジ11に与えられる圧力と
、電力入力14に加えられる電気信号との関数である。
【0021】補償回路10はまた、固定された回路基準
電圧20を受取って接地基準15の電位および固定回路
基準電圧20間に基準オフセット電圧21を生じるオフ
セット基準ジェネレータ19を含む。基準オフセット電
圧21が固定回路基準電圧20と接地基準15間の電位
差のちょうど半分になること、および該基準オフセット
電圧21が使用においてバイポーラ電源を持つ回路の共
通即ち基準電位と等価であることが望ましい。固定回路
基準電圧20と基準オフセット電圧21間の他の関係が
可能である。固定回路基準電圧20は、ツェナー即ちバ
ンドギャップ基準により生成することができ、またこの
ような基準はこの補償回路10に適する。詳細な分析に
おいては、正確な基準値は必要でなく、線形調整器電源
回路から得られる電圧調整で充分であることが示される
。
電圧20を受取って接地基準15の電位および固定回路
基準電圧20間に基準オフセット電圧21を生じるオフ
セット基準ジェネレータ19を含む。基準オフセット電
圧21が固定回路基準電圧20と接地基準15間の電位
差のちょうど半分になること、および該基準オフセット
電圧21が使用においてバイポーラ電源を持つ回路の共
通即ち基準電位と等価であることが望ましい。固定回路
基準電圧20と基準オフセット電圧21間の他の関係が
可能である。固定回路基準電圧20は、ツェナー即ちバ
ンドギャップ基準により生成することができ、またこの
ような基準はこの補償回路10に適する。詳細な分析に
おいては、正確な基準値は必要でなく、線形調整器電源
回路から得られる電圧調整で充分であることが示される
。
【0022】電圧制御された電流源22は、電力入力1
4と接地基準15間に接続され、図1に示されるように
、抵抗ブリッジ11に対して電力を供給する。電圧制御
電流源22は、固定回路基準電圧20に正比例するブリ
ッジ励起出力電流23を有する。バッファ入力25を持
つバッファ増幅器24が電力入力14と接続し、このバ
ッファ増幅器24は電力入力14から出るようにブリッ
ジ励起出力電流23を発散することなく、電力入力14
における電圧に比例するバッファ出力電圧26を生じる
電圧フォロワとして構成される。正の端子28および負
の端子29を持つ計装増幅器27が、それぞれ正の信号
出力17と負の信号出力18に接続して、信号出力16
の応答に比例する初期出力30を生じる。
4と接地基準15間に接続され、図1に示されるように
、抵抗ブリッジ11に対して電力を供給する。電圧制御
電流源22は、固定回路基準電圧20に正比例するブリ
ッジ励起出力電流23を有する。バッファ入力25を持
つバッファ増幅器24が電力入力14と接続し、このバ
ッファ増幅器24は電力入力14から出るようにブリッ
ジ励起出力電流23を発散することなく、電力入力14
における電圧に比例するバッファ出力電圧26を生じる
電圧フォロワとして構成される。正の端子28および負
の端子29を持つ計装増幅器27が、それぞれ正の信号
出力17と負の信号出力18に接続して、信号出力16
の応答に比例する初期出力30を生じる。
【0023】補償ネットワーク31は、バッファ出力電
圧26および接地基準15を受取るオフセット補正部3
2を含む。補償ネットワーク31は、バッファ出力電圧
26に応答して初期オフセット電流33を生じ、これは
更に抵抗ブリッジ11の温度変化と比例して変化し、こ
れにより初期オフセット電流33の温度依存部分を生じ
る。
圧26および接地基準15を受取るオフセット補正部3
2を含む。補償ネットワーク31は、バッファ出力電圧
26に応答して初期オフセット電流33を生じ、これは
更に抵抗ブリッジ11の温度変化と比例して変化し、こ
れにより初期オフセット電流33の温度依存部分を生じ
る。
【0024】オフセット補正増幅器34は、初期オフセ
ット電流33、バッファ出力電圧26および固定回路基
準電圧20を受取り、補正信号35を生じて信号出力1
6の応答におけるオフセット誤差を打ち消す。バッファ
出力電圧26および初期オフセット電流33は共に、抵
抗ブリッジ11における温度変化に比例して変化し、こ
れにより補正信号35の温度依存部分を生じる。計装増
幅器27の基準入力36は、補正信号35を受取って、
この補正信号35に応答して初期出力30を修正する。 計装増幅器27における初期出力30の修正は、抵抗ブ
リッジの応答における固定オフセット誤差および温度依
存オフセット誤差からのゼロ化を含む。
ット電流33、バッファ出力電圧26および固定回路基
準電圧20を受取り、補正信号35を生じて信号出力1
6の応答におけるオフセット誤差を打ち消す。バッファ
出力電圧26および初期オフセット電流33は共に、抵
抗ブリッジ11における温度変化に比例して変化し、こ
れにより補正信号35の温度依存部分を生じる。計装増
幅器27の基準入力36は、補正信号35を受取って、
この補正信号35に応答して初期出力30を修正する。 計装増幅器27における初期出力30の修正は、抵抗ブ
リッジの応答における固定オフセット誤差および温度依
存オフセット誤差からのゼロ化を含む。
【0025】抵抗ブリッジ11のオフセット誤差は、オ
フセット補正増幅器34内のバッファ出力電圧26、固
定回路基準電圧20および初期オフセット電流33の相
互作用により打消される固定部分および温度依存部分を
有する。詳細に説明するように、補償ネットワーク31
のオフセット補正部32は、前記固定部を調整する1つ
の抵抗と、温度依存部を調整する別の1つの抵抗を持ち
、固定部に対する調整が温度依存部の調整に影響を及ぼ
さないようにする。オフセット補正増幅器34は、固定
部に対する1つの抵抗がオフセット誤差の固定部の正ま
たは負の値を調整することを許す選定され構成された抵
抗を含む。温度依存部に対する他の1つの抵抗は、オフ
セット誤差の温度依存部分の正または負の勾配を調整す
る。
フセット補正増幅器34内のバッファ出力電圧26、固
定回路基準電圧20および初期オフセット電流33の相
互作用により打消される固定部分および温度依存部分を
有する。詳細に説明するように、補償ネットワーク31
のオフセット補正部32は、前記固定部を調整する1つ
の抵抗と、温度依存部を調整する別の1つの抵抗を持ち
、固定部に対する調整が温度依存部の調整に影響を及ぼ
さないようにする。オフセット補正増幅器34は、固定
部に対する1つの抵抗がオフセット誤差の固定部の正ま
たは負の値を調整することを許す選定され構成された抵
抗を含む。温度依存部に対する他の1つの抵抗は、オフ
セット誤差の温度依存部分の正または負の勾配を調整す
る。
【0026】プログラム可能な利得増幅器37は、計装
増幅器27から初期出力30を受取り、加えられる圧力
に対する抵抗ブリッジの応答とは独立する、補償された
出力38を生じる。補償ネットワーク31の利得補正部
39は、プログラム可能利得増幅器37の利得を調整し
て、加えられる圧力に対する抵抗ブリッジの応答におけ
る変動を補償するため使用される利得抵抗を有する。こ
のプログラム可能利得増幅器37は、反転利得または非
反転利得のいずれかに対して構成された演算増幅器を持
ち、補償されない抵抗ブリッジ応答の感度の如何に拘わ
らず、補償出力38における圧力応答が、固定された逓
減係数を有することを保証する。
増幅器27から初期出力30を受取り、加えられる圧力
に対する抵抗ブリッジの応答とは独立する、補償された
出力38を生じる。補償ネットワーク31の利得補正部
39は、プログラム可能利得増幅器37の利得を調整し
て、加えられる圧力に対する抵抗ブリッジの応答におけ
る変動を補償するため使用される利得抵抗を有する。こ
のプログラム可能利得増幅器37は、反転利得または非
反転利得のいずれかに対して構成された演算増幅器を持
ち、補償されない抵抗ブリッジ応答の感度の如何に拘わ
らず、補償出力38における圧力応答が、固定された逓
減係数を有することを保証する。
【0027】望ましい実施態様においては、計装増幅器
27およびプログラム可能利得増幅器37の初期出力3
0は、接地基準15の代わりに基準オフセット電圧21
に関して測定される。これは、負になる圧力信号を許容
するため負の電源電圧に対する必要を避けるためである
。他の基準方式も可能である。
27およびプログラム可能利得増幅器37の初期出力3
0は、接地基準15の代わりに基準オフセット電圧21
に関して測定される。これは、負になる圧力信号を許容
するため負の電源電圧に対する必要を避けるためである
。他の基準方式も可能である。
【0028】図1の右側においては、固定回路基準電圧
20、基準オフセット電圧21および補償出力38が、
図示しないアナログ−ディジタル・コンバータ40に向
かう。このアナログ−ディジタル・コンバータ40は、
更なる信号の処理のために、固定回路基準電圧20に対
する補償出力38の比率についてアナログ−ディジタル
変換を行う可能性を示すために含まれている。これは、
多くの手法の1つにより達成でき、固定回路基準電圧2
0における変動を補償でき、これにより正確な固定され
た回路基準電圧の必要を排除する。前記アナログ−ディ
ジタル・コンバータは不要であるが、その値は以降の詳
細な分析において示される。
20、基準オフセット電圧21および補償出力38が、
図示しないアナログ−ディジタル・コンバータ40に向
かう。このアナログ−ディジタル・コンバータ40は、
更なる信号の処理のために、固定回路基準電圧20に対
する補償出力38の比率についてアナログ−ディジタル
変換を行う可能性を示すために含まれている。これは、
多くの手法の1つにより達成でき、固定回路基準電圧2
0における変動を補償でき、これにより正確な固定され
た回路基準電圧の必要を排除する。前記アナログ−ディ
ジタル・コンバータは不要であるが、その値は以降の詳
細な分析において示される。
【0029】補償回路10の詳細な分析については、回
路構成要素が示される図2の概略図を参照することによ
り最もよく理解されよう。温度の補償は、3つの抵抗の
適正な選定によって達成することができる。この分析に
おいては、抵抗の精度および整合公差、および増幅器の
オフセット、バイアス電流および利得誤差は、適正な構
成要素の仕様によって管理し得るレベルに保持されるも
のと仮定される。これは、実験により検証される如く妥
当な仮定である。
路構成要素が示される図2の概略図を参照することによ
り最もよく理解されよう。温度の補償は、3つの抵抗の
適正な選定によって達成することができる。この分析に
おいては、抵抗の精度および整合公差、および増幅器の
オフセット、バイアス電流および利得誤差は、適正な構
成要素の仕様によって管理し得るレベルに保持されるも
のと仮定される。これは、実験により検証される如く妥
当な仮定である。
【0030】図1におけるブロックを含む図2の回路構
成要素について説明することにする。
成要素について説明することにする。
【0031】図2は、図1の補償回路10の要素を示す
。抵抗ブリッジ11が取付けられた補償回路10の補償
出力38における所要の信号は図1に示され、下記の出
力電圧を有する。
。抵抗ブリッジ11が取付けられた補償回路10の補償
出力38における所要の信号は図1に示され、下記の出
力電圧を有する。
【0032】(1) VCO = AT・P+V
A但し、VCOは、補償回路10のmV単位の補償され
た出力38 ATは、組合わせられた抵抗ブリッジ11および補償回
路10のmv/mmHg単位の全利得係数Pは、抵抗ブ
リッジ11に加わるmmHg単位の圧力差VAは、(ユ
ニポーラ信号が負の圧力をも表わすことを許容する)ボ
ルト単位の基準オフセット電圧21補償回路10は、補
償されない利得および抵抗ブリッジ応答のオフセットの
如何に拘わらず、全有効利得係数AT、および補償出力
38における21に示される基準オフセット電圧VAが
各抵抗ブリッジ11に対して同じであることを保証する
。
A但し、VCOは、補償回路10のmV単位の補償され
た出力38 ATは、組合わせられた抵抗ブリッジ11および補償回
路10のmv/mmHg単位の全利得係数Pは、抵抗ブ
リッジ11に加わるmmHg単位の圧力差VAは、(ユ
ニポーラ信号が負の圧力をも表わすことを許容する)ボ
ルト単位の基準オフセット電圧21補償回路10は、補
償されない利得および抵抗ブリッジ応答のオフセットの
如何に拘わらず、全有効利得係数AT、および補償出力
38における21に示される基準オフセット電圧VAが
各抵抗ブリッジ11に対して同じであることを保証する
。
【0033】補償されない抵抗ブリッジの応答は、下記
の如くにモデル化される。
の如くにモデル化される。
【0034】
(2) VO2−VO1=VB[(OFFV+TCO
V(ΔT))
+SVO(1+TCSV(ΔT))・P]但し、VB
は、抵抗ブリッジ11の電力入力14および接地基準1
5間のボルト単位の励起電圧OFFVは、一定電圧によ
り励起される時、圧力ゼロ、およびμV/V単位の第1
の基準温度T1における抵抗ブリッジ11の出力オフセ
ット電圧 Tは、抵抗ブリッジ11の℃単位の温度SVは、一定電
圧により励起される時、第1の基準温度T1におけるμ
V/V/mmHg単位の圧力に対する抵抗ブリッジ11
の感度 TCOVは、一定電圧により励起される時、抵抗ブリッ
ジ11のμV/V/℃単位のオフセット温度係数(一次
の項) TCSV[(dSV/dT)/SV]は、一定電圧によ
り励起される時、通常は感度の百分率として示されるP
PM/℃または%/℃単位の抵抗ブリッジ11の温度感
度係数(一次の項) Pは、式(1)におけるPと同じ抵抗ブリッジ11の両
端の圧力差 式(2)は、式(1)より多くの項を持つ。一方は温度
に依存し一方はそうでなくかつ圧力とは独立する2つの
オフセット項があり、その両方とも個々の抵抗ブリッジ
11に対して一義的である。また、一方は温度に依存し
一方はそうでない2つの圧力に依存する項があり、両者
もまた各抵抗ブリッジ11に対して一義的である。補償
回路10の目的は、個々の抵抗ブリッジ11の実際のオ
フセットの如何に拘わらず、補償出力38が抵抗ブリッ
ジ応答から温度依存オフセット項を取除き、抵抗ブリッ
ジ応答の非温度依存オフセット項を各抵抗ブリッジ11
に対して同じ値にセットし、圧力に対する抵抗ブリッジ
11の感度の温度係数を取除き、固定された大きさVB
における励起を保持して、抵抗ブリッジ11の実際のS
VOに基いて調整可能な回路利得Acを生じるように、
信号出力16から受取る抵抗ブリッジ応答を操作するこ
とにあり、これにより、 (3) AT = SVO・VB・AC従って、
ATは全ての値SVOに対して1つの固定された値を維
持する。
V(ΔT))
+SVO(1+TCSV(ΔT))・P]但し、VB
は、抵抗ブリッジ11の電力入力14および接地基準1
5間のボルト単位の励起電圧OFFVは、一定電圧によ
り励起される時、圧力ゼロ、およびμV/V単位の第1
の基準温度T1における抵抗ブリッジ11の出力オフセ
ット電圧 Tは、抵抗ブリッジ11の℃単位の温度SVは、一定電
圧により励起される時、第1の基準温度T1におけるμ
V/V/mmHg単位の圧力に対する抵抗ブリッジ11
の感度 TCOVは、一定電圧により励起される時、抵抗ブリッ
ジ11のμV/V/℃単位のオフセット温度係数(一次
の項) TCSV[(dSV/dT)/SV]は、一定電圧によ
り励起される時、通常は感度の百分率として示されるP
PM/℃または%/℃単位の抵抗ブリッジ11の温度感
度係数(一次の項) Pは、式(1)におけるPと同じ抵抗ブリッジ11の両
端の圧力差 式(2)は、式(1)より多くの項を持つ。一方は温度
に依存し一方はそうでなくかつ圧力とは独立する2つの
オフセット項があり、その両方とも個々の抵抗ブリッジ
11に対して一義的である。また、一方は温度に依存し
一方はそうでない2つの圧力に依存する項があり、両者
もまた各抵抗ブリッジ11に対して一義的である。補償
回路10の目的は、個々の抵抗ブリッジ11の実際のオ
フセットの如何に拘わらず、補償出力38が抵抗ブリッ
ジ応答から温度依存オフセット項を取除き、抵抗ブリッ
ジ応答の非温度依存オフセット項を各抵抗ブリッジ11
に対して同じ値にセットし、圧力に対する抵抗ブリッジ
11の感度の温度係数を取除き、固定された大きさVB
における励起を保持して、抵抗ブリッジ11の実際のS
VOに基いて調整可能な回路利得Acを生じるように、
信号出力16から受取る抵抗ブリッジ応答を操作するこ
とにあり、これにより、 (3) AT = SVO・VB・AC従って、
ATは全ての値SVOに対して1つの固定された値を維
持する。
【0035】TCOVおよびTCSVは、線形項とされ
る。これは完全に真ではないが、カテーテル先端用途の
温度範囲(15〜40℃)に対するこの仮定の二次の効
果は最小限である。温度および圧力に依存する項の非線
形性は、この回路では完全には補償されず、残るいずれ
かの誤差項の主たる原因となり得る。
る。これは完全に真ではないが、カテーテル先端用途の
温度範囲(15〜40℃)に対するこの仮定の二次の効
果は最小限である。温度および圧力に依存する項の非線
形性は、この回路では完全には補償されず、残るいずれ
かの誤差項の主たる原因となり得る。
【0036】図1および図2に示した補償回路10は、
定電圧の代わりに定電流ブリッジ励起を用いており、こ
のことは式(2)即ち基本抵抗ブリッジ式が、定電流励
起ならびに定電圧に対して妥当であるように示されるべ
きことを意味する。これにより、定電圧に基くOFFV
、TCOV、SVおよびTCSV係数と関連する定電流
に基くパラメータが生成されることになる。
定電圧の代わりに定電流ブリッジ励起を用いており、こ
のことは式(2)即ち基本抵抗ブリッジ式が、定電流励
起ならびに定電圧に対して妥当であるように示されるべ
きことを意味する。これにより、定電圧に基くOFFV
、TCOV、SVおよびTCSV係数と関連する定電流
に基くパラメータが生成されることになる。
【0037】電圧VREFは、固定回路基準電圧20で
ある。補償回路10は、正確な固定回路基準値の必要が
なくなり、通常に調整された電源電圧が回路の基準値と
して充分であるように、VREFにおける変動の効果を
排除する。図2に示されるように、オフセット基準ジェ
ネレータ19は、増幅器U1、および抵抗R1、R2、
R3およびR4を含む。U1は、基準オフセット電圧V
A 21を生じる電圧フォロワである。抵抗R1、R
2およびR3は、 R3 = R1+R2 となるように選定され、 従って、VA = VREF/2 VAは、負の電源が必要でないように回路共通電位の代
わる基準電位として使用される。このように、また演算
増幅器の慎重な選定により、補償回路10は、小さなバ
ッテリを用いて正確な動作を生じるために充分に低い電
力補償を以て構成することができる。抵抗R4は、増幅
器U1のバイアス電流を打消して補償回路10の動作に
影響を及ぼさずに精度を向上させるように選定される。
ある。補償回路10は、正確な固定回路基準値の必要が
なくなり、通常に調整された電源電圧が回路の基準値と
して充分であるように、VREFにおける変動の効果を
排除する。図2に示されるように、オフセット基準ジェ
ネレータ19は、増幅器U1、および抵抗R1、R2、
R3およびR4を含む。U1は、基準オフセット電圧V
A 21を生じる電圧フォロワである。抵抗R1、R
2およびR3は、 R3 = R1+R2 となるように選定され、 従って、VA = VREF/2 VAは、負の電源が必要でないように回路共通電位の代
わる基準電位として使用される。このように、また演算
増幅器の慎重な選定により、補償回路10は、小さなバ
ッテリを用いて正確な動作を生じるために充分に低い電
力補償を以て構成することができる。抵抗R4は、増幅
器U1のバイアス電流を打消して補償回路10の動作に
影響を及ぼさずに精度を向上させるように選定される。
【0038】電圧制御電流源22は、抵抗R1、R2、
R3およびR5、増幅器U2およびMOSFET Q
1を含む。抵抗R1乃至R3は、回路バイアス電流を最
小限に抑えるようにオフセット基準ジェネレータ19と
共用される。出力電流は、下記の如く定義される。
R3およびR5、増幅器U2およびMOSFET Q
1を含む。抵抗R1乃至R3は、回路バイアス電流を最
小限に抑えるようにオフセット基準ジェネレータ19と
共用される。出力電流は、下記の如く定義される。
【0039】
【0040】ISは、ブリッジ励起出力電流23である
。R3はR1にR2を加えたものに等しく、もしR1が
R2と等しければ、
。R3はR1にR2を加えたものに等しく、もしR1が
R2と等しければ、
【0041】
【0042】この関係は、全ての以降の計算のため下記
に簡約される。
に簡約される。
【0043】(4) IS = gm・VREF
利得を決定する抵抗は、通常の用途において固定される
1つの相互コンダクタンス・パラメータgmに総括され
る。
利得を決定する抵抗は、通常の用途において固定される
1つの相互コンダクタンス・パラメータgmに総括され
る。
【0044】図2のバッファ増幅器24は、電圧フォロ
ワとして構成される増幅器U3からなっている。このバ
ッファ増幅器24は、電力入力14における電圧VBを
追跡して、補償ネットワーク31およびオフセット補正
増幅器34により受取られるバッファ出力電圧26であ
るVBBを生じる。ブリッジ励起出力電流IS 23
は、典型的には低出力用途の100マイクロアンペアか
ら1ミリアンペアの範囲にある。従って、U3は、電流
源誤差に対するその寄与が無視し得ることを保証するべ
く、その入力バイアス電流が充分に低くなるよう選定さ
れねばならない。
ワとして構成される増幅器U3からなっている。このバ
ッファ増幅器24は、電力入力14における電圧VBを
追跡して、補償ネットワーク31およびオフセット補正
増幅器34により受取られるバッファ出力電圧26であ
るVBBを生じる。ブリッジ励起出力電流IS 23
は、典型的には低出力用途の100マイクロアンペアか
ら1ミリアンペアの範囲にある。従って、U3は、電流
源誤差に対するその寄与が無視し得ることを保証するべ
く、その入力バイアス電流が充分に低くなるよう選定さ
れねばならない。
【0045】式(2)は、一定励起電圧VBに関する抵
抗ブリッジ応答を有する。この応答は、下記のブリッジ
励起電圧および励起電流間の関係を用いて補償回路10
において用いられる如き定電流励起に変換することがで
きる。
抗ブリッジ応答を有する。この応答は、下記のブリッジ
励起電圧および励起電流間の関係を用いて補償回路10
において用いられる如き定電流励起に変換することがで
きる。
【0046】
(5) VB = IS・RB(1+TCRB(
ΔT))但し、RBは、電力入力14および接地基準1
5の間におけるΩを単位とする抵抗。
ΔT))但し、RBは、電力入力14および接地基準1
5の間におけるΩを単位とする抵抗。
【0047】TCRB[(dRB/dT)/RB]は、
RBの百分率として与えられるブリッジ抵抗RBの一次
項のPPM/℃または%/℃を単位とする温度係数式(
5)を式(2)に代入すると、 (6) VS=[IS・RB(1+TCRB(ΔT)
)]・[OFFV+TCOV(ΔT)
+SV(1+TCSV(ΔT))・P]但
し、VSは、補償されない信号出力16の両端のV単位
の電圧差、あるいは、換言すれば VS = VO2−VO1 式(6)は、取扱いを更に容易にするため2つの部分に
分けられる。
RBの百分率として与えられるブリッジ抵抗RBの一次
項のPPM/℃または%/℃を単位とする温度係数式(
5)を式(2)に代入すると、 (6) VS=[IS・RB(1+TCRB(ΔT)
)]・[OFFV+TCOV(ΔT)
+SV(1+TCSV(ΔT))・P]但
し、VSは、補償されない信号出力16の両端のV単位
の電圧差、あるいは、換言すれば VS = VO2−VO1 式(6)は、取扱いを更に容易にするため2つの部分に
分けられる。
【0048】(7) VS = VSO+VSP
但し、 VSO=IS・RB(1+TCRB(ΔT))(O
FFV+TCOV(ΔT)) VSP=IS・RB(
1+TCRB(ΔT))・SV・P(1+TCSV(Δ
T))VSOおよびVSPは、それぞれ、式(6)の非
圧力依存(オフセット)項および圧力依存項である。
但し、 VSO=IS・RB(1+TCRB(ΔT))(O
FFV+TCOV(ΔT)) VSP=IS・RB(
1+TCRB(ΔT))・SV・P(1+TCSV(Δ
T))VSOおよびVSPは、それぞれ、式(6)の非
圧力依存(オフセット)項および圧力依存項である。
【0049】非圧力依存項は展開されて分析される。
【0050】
VSO=IS・RB(OFFV+TCOV(ΔT)
+OFFV・TCRB(ΔT) +TC
RB・TCOV(ΔT)2)TCRBおよびTCOV項
は他の項に比して小さいため、また問題となるΔTの範
囲は小さいため、項ΔT2は重要でないと見做され、無
視することができる。
+OFFV・TCRB(ΔT) +TC
RB・TCOV(ΔT)2)TCRBおよびTCOV項
は他の項に比して小さいため、また問題となるΔTの範
囲は小さいため、項ΔT2は重要でないと見做され、無
視することができる。
【0051】
VSO=IS・[RB・OFFV+RB(TCOV
+OFFV・TCRB)(ΔT)]または(8) V
SO=IS・[OFFI+TCOI(ΔT)]但し、O
FFI=RB・OFFVは、定電流により励起される時
、圧力ゼロおよび第1の基準温度T1におけるμV/m
Aを単位とする抵抗ブリッジ11の出力オフセット電圧 TCOI=RB(TCOV+OFFV・TCRB)は、
定電流により励起される時、μV/mA/℃を単位とす
る抵抗ブリッジ11のオフセット温度係数(一次の項)
OFFVおよびTCOVをOFFIおよびTCOIに変
換することは、抵抗ブリッジ11の補償されてないパラ
メータが定電流励起下で測定されるならば、重要でない
。この場合、定電流に基くパラメータは直接測定するこ
とができる。この関係は、抵抗ブリッジ11の応答が励
起の形式の如何に拘わらず同様な手段によりモデル化す
ることができることを示す。補償手法は定電流励起を用
いるため、補償ネットワーク31における抵抗に対する
値を計算するための式は定電流パラメータに基く必要が
ある。補償されてない抵抗ブリッジ11を特徴付けるよ
うに一定電圧を使用し、図示の如くOFFV、TCOV
、RBおよびTCRBを測定し、OFFIおよびTCO
Iを得るのがより便利であろう。このような変換におけ
る信頼度は、近似誤差およびセンサの非線形性に依存す
る。
+OFFV・TCRB)(ΔT)]または(8) V
SO=IS・[OFFI+TCOI(ΔT)]但し、O
FFI=RB・OFFVは、定電流により励起される時
、圧力ゼロおよび第1の基準温度T1におけるμV/m
Aを単位とする抵抗ブリッジ11の出力オフセット電圧 TCOI=RB(TCOV+OFFV・TCRB)は、
定電流により励起される時、μV/mA/℃を単位とす
る抵抗ブリッジ11のオフセット温度係数(一次の項)
OFFVおよびTCOVをOFFIおよびTCOIに変
換することは、抵抗ブリッジ11の補償されてないパラ
メータが定電流励起下で測定されるならば、重要でない
。この場合、定電流に基くパラメータは直接測定するこ
とができる。この関係は、抵抗ブリッジ11の応答が励
起の形式の如何に拘わらず同様な手段によりモデル化す
ることができることを示す。補償手法は定電流励起を用
いるため、補償ネットワーク31における抵抗に対する
値を計算するための式は定電流パラメータに基く必要が
ある。補償されてない抵抗ブリッジ11を特徴付けるよ
うに一定電圧を使用し、図示の如くOFFV、TCOV
、RBおよびTCRBを測定し、OFFIおよびTCO
Iを得るのがより便利であろう。このような変換におけ
る信頼度は、近似誤差およびセンサの非線形性に依存す
る。
【0052】式(6)の第2の半分に戻って、圧力依存
項を展開する。
項を展開する。
【0053】
VSP=IS・RB・SV・P[1+TCRB(Δ
T)+TCSV(ΔT) +TCRB・
TCSV(ΔT)2]Dは下記の如くに定義される。
T)+TCSV(ΔT) +TCRB・
TCSV(ΔT)2]Dは下記の如くに定義される。
【0054】(9) D = TCRB+TCS
Vあるいは TCRB = D−TCSV 但し、 K1 = IS・RB・SV・P これらの関係を代入して、 VSP=K1・[1+(D−TCSV)(ΔT)+
TCSV(ΔT) +(D−TCSV)
(TCSV)(ΔT)2] VSP=K1・[1+D
(ΔT)−TCSV(ΔT)+TCSV(ΔT)
+D・TCSV(ΔT)2−TCS2V(Δ
T)2]これらの項の2つは、加算されるとゼロとなり
、オフセット項における如く、項(ΔT)2は消去でき
、そのためこの式は短く下式になる。
Vあるいは TCRB = D−TCSV 但し、 K1 = IS・RB・SV・P これらの関係を代入して、 VSP=K1・[1+(D−TCSV)(ΔT)+
TCSV(ΔT) +(D−TCSV)
(TCSV)(ΔT)2] VSP=K1・[1+D
(ΔT)−TCSV(ΔT)+TCSV(ΔT)
+D・TCSV(ΔT)2−TCS2V(Δ
T)2]これらの項の2つは、加算されるとゼロとなり
、オフセット項における如く、項(ΔT)2は消去でき
、そのためこの式は短く下式になる。
【0055】VSP = K1・(1+D(ΔT)
)または VSP = IS・RB・SV・P(1+D(ΔT
))書き直せば (10) VSP=IS・SI(1+TCSI(ΔT
))・P但し、SI=SV・RBは、定電流により励起
される時、第1の基準温度T1におけるμV/mA/m
mHgを単位とする圧力に対する抵抗ブリッジ11の感
度TCSI=D=TCRB+TCSVは、定電流により
励起される時、PPM/℃または%/℃を単位とする抵
抗ブリッジ11の感度の温度係数(一次の項)このこと
は、もしTCRB=−TCSVであれば、定電流励起に
対してTCSI=0となる点で重要である。通常の製造
公差で差Dが500PPM/℃より小さく容易に保持で
きるようにピエゾ抵抗センサを設計することは可能であ
る。このことは、定電流で励起することにより、温度感
度係数が500PPM/℃より小さくなることを意味し
、これは充分に他の手法により補償されたこの形式のピ
エゾ抵抗センサに対する典型的な限度以内に十分収まる
。抵抗ブリッジ11のTCSはこれ以上の補償は必要で
なく、その補償は回路設計において固有のものであり、
トリミングは行われない。本例の関係は、抵抗ブリッジ
の圧力感度S1が、オフセットおよびTCオフセット・
パラメータに対して示されるものと同様な方法において
パラメータSVおよびRBから導出することができるこ
とを示す。
)または VSP = IS・RB・SV・P(1+D(ΔT
))書き直せば (10) VSP=IS・SI(1+TCSI(ΔT
))・P但し、SI=SV・RBは、定電流により励起
される時、第1の基準温度T1におけるμV/mA/m
mHgを単位とする圧力に対する抵抗ブリッジ11の感
度TCSI=D=TCRB+TCSVは、定電流により
励起される時、PPM/℃または%/℃を単位とする抵
抗ブリッジ11の感度の温度係数(一次の項)このこと
は、もしTCRB=−TCSVであれば、定電流励起に
対してTCSI=0となる点で重要である。通常の製造
公差で差Dが500PPM/℃より小さく容易に保持で
きるようにピエゾ抵抗センサを設計することは可能であ
る。このことは、定電流で励起することにより、温度感
度係数が500PPM/℃より小さくなることを意味し
、これは充分に他の手法により補償されたこの形式のピ
エゾ抵抗センサに対する典型的な限度以内に十分収まる
。抵抗ブリッジ11のTCSはこれ以上の補償は必要で
なく、その補償は回路設計において固有のものであり、
トリミングは行われない。本例の関係は、抵抗ブリッジ
の圧力感度S1が、オフセットおよびTCオフセット・
パラメータに対して示されるものと同様な方法において
パラメータSVおよびRBから導出することができるこ
とを示す。
【0056】電圧に基く励起パラメータから電流に基く
励起パラメータへの変換は、式(6)の圧力依存部分と
非圧力依存部分の組合わせによって完了する。式(7)
、(8)および(10)を組合わせると、
VS=IS・(OFFI・TCOI(ΔT))+I
S・SI(1+TCSI(ΔT))・P(11) V
S=IS[(OFFI+TCOI(ΔT))+SI(1
+TCSI(ΔT))・P]このパラメータ変換式は都
合のよいだけ繰返される。
励起パラメータへの変換は、式(6)の圧力依存部分と
非圧力依存部分の組合わせによって完了する。式(7)
、(8)および(10)を組合わせると、
VS=IS・(OFFI・TCOI(ΔT))+I
S・SI(1+TCSI(ΔT))・P(11) V
S=IS[(OFFI+TCOI(ΔT))+SI(1
+TCSI(ΔT))・P]このパラメータ変換式は都
合のよいだけ繰返される。
【0057】(12) OFFI=OFFV・RB(
13) TCOI=RB(TCOV+OFFV・TC
RB)(14) SI=SV・RB (15) TCSI=TCSV+TCRBTCSに対
する充分な補償が得られたため、この項は以降の分析に
おいて消去される。このため、式(11)は短くなり (16) VS=IS・[OFFI+TCOI(ΔT
)+SI・P]残ることは、各抵抗ブリッジ11の非圧
力依存項における変化を排除し、最後に適正な逓減係数
を提供する手段を確立することである。
13) TCOI=RB(TCOV+OFFV・TC
RB)(14) SI=SV・RB (15) TCSI=TCSV+TCRBTCSに対
する充分な補償が得られたため、この項は以降の分析に
おいて消去される。このため、式(11)は短くなり (16) VS=IS・[OFFI+TCOI(ΔT
)+SI・P]残ることは、各抵抗ブリッジ11の非圧
力依存項における変化を排除し、最後に適正な逓減係数
を提供する手段を確立することである。
【0058】定電流励起を用いることにより、抵抗ブリ
ッジの出力が別のセンサ・パラメータRBおよびTCR
Bに依存させられて、その特性における誤差および時間
的な反復性の可能性を生じるように思われるであろう。 これは考慮しなければならないが、定電流励起を用いる
ことがTCS誤差の打消しを上回る他の明瞭な利点をも
たらし、これを補償回路10が使用する。
ッジの出力が別のセンサ・パラメータRBおよびTCR
Bに依存させられて、その特性における誤差および時間
的な反復性の可能性を生じるように思われるであろう。 これは考慮しなければならないが、定電流励起を用いる
ことがTCS誤差の打消しを上回る他の明瞭な利点をも
たらし、これを補償回路10が使用する。
【0059】マイクロ加工技術により非常に小さな抵抗
ブリッジ圧力センサを作る際には、潜在的用途が必要と
する寸法制限が、隔膜から離してチップ上に配置される
別の温度検出要素に使用できるスペースの厳しい制約と
なる。通常は、別の温度検出要素は、寸法制限の故に抵
抗ブリッジに対して極く近接状態にあるべきならば、隔
膜上になくてはならない。もし温度検出要素が抵抗ブリ
ッジに対して物理的に極く近接していなければ、これら
要素は、抵抗ブリッジの温度を正確に追跡せず、充分な
温度補償を行わないことになる。
ブリッジ圧力センサを作る際には、潜在的用途が必要と
する寸法制限が、隔膜から離してチップ上に配置される
別の温度検出要素に使用できるスペースの厳しい制約と
なる。通常は、別の温度検出要素は、寸法制限の故に抵
抗ブリッジに対して極く近接状態にあるべきならば、隔
膜上になくてはならない。もし温度検出要素が抵抗ブリ
ッジに対して物理的に極く近接していなければ、これら
要素は、抵抗ブリッジの温度を正確に追跡せず、充分な
温度補償を行わないことになる。
【0060】抵抗ブリッジの抵抗は明瞭かつ測定可能な
温度特性を持ち、これがオフセット温度係数誤差の根源
となる。従って、もし可能ならば、センサ上の別の温度
検出要素なしに温度の補償を可能にする補正機構として
ブリッジ全体の抵抗の温度特性を用いることが望ましい
。これは、もし下記の関係が考えられるならば、定電流
励起を用いることにより更に容易となる。即ち、VB
= IS・RB(1+TCRB(ΔT))または VB = VBO+TCVB(ΔT)但し、VBO
=IS・RBは、第1の基準温度T1における電力入力
14のV単位の電圧 TCVB=IS・RB・TCRBは、電力入力14にお
けるmV/℃を単位とする電圧の温度係数線形TCRB
を仮定することは、電力入力14における電圧VBが、
各抵抗ブリッジ11毎に異なるが、ISが固定されるも
のとしてブリッジ抵抗RBのみに依存する切片項で温度
に正比例することを意味する。抵抗ブリッジのオフセッ
トもまた抵抗ブリッジ毎に固定され、TCOが線形とな
るものとするため、電力入力14における電圧VBは、
適当な利得を持つセンサ増幅回路に適正に加算されるな
らば、該電圧VBは、抵抗ブリッジのオフセットおよび
オフセット温度係数に対して補正するように使用するこ
とができる。この補償手法は、演算増幅回路により実現
され、オフセット量およびTCO補正は2つの抵抗調整
によって行われる。この回路を比較的簡単にすることは
、電力入力14における電圧を温度依存補正信号として
使用することを可能にする定電流励起を用いることによ
り容易となる。
温度特性を持ち、これがオフセット温度係数誤差の根源
となる。従って、もし可能ならば、センサ上の別の温度
検出要素なしに温度の補償を可能にする補正機構として
ブリッジ全体の抵抗の温度特性を用いることが望ましい
。これは、もし下記の関係が考えられるならば、定電流
励起を用いることにより更に容易となる。即ち、VB
= IS・RB(1+TCRB(ΔT))または VB = VBO+TCVB(ΔT)但し、VBO
=IS・RBは、第1の基準温度T1における電力入力
14のV単位の電圧 TCVB=IS・RB・TCRBは、電力入力14にお
けるmV/℃を単位とする電圧の温度係数線形TCRB
を仮定することは、電力入力14における電圧VBが、
各抵抗ブリッジ11毎に異なるが、ISが固定されるも
のとしてブリッジ抵抗RBのみに依存する切片項で温度
に正比例することを意味する。抵抗ブリッジのオフセッ
トもまた抵抗ブリッジ毎に固定され、TCOが線形とな
るものとするため、電力入力14における電圧VBは、
適当な利得を持つセンサ増幅回路に適正に加算されるな
らば、該電圧VBは、抵抗ブリッジのオフセットおよび
オフセット温度係数に対して補正するように使用するこ
とができる。この補償手法は、演算増幅回路により実現
され、オフセット量およびTCO補正は2つの抵抗調整
によって行われる。この回路を比較的簡単にすることは
、電力入力14における電圧を温度依存補正信号として
使用することを可能にする定電流励起を用いることによ
り容易となる。
【0061】残る問題は、このような用途における信頼
し得る温度表示器として使用されるRBの適合性である
。抵抗ブリッジ11の詳細図である図3において、RB
は4つの抵抗RB1乃至RB4の直並列組合わせであり
、更に正確には (17) RB=(RB1+RB2)||(RB3+
RB4)RB1=RB2=RB3=RB4=RBXであ
るため、RB=2RBX||2RBX または RB=RBX この関係は、全ブリッジ抵抗RBがブリッジ要素RB1
乃至RB4の公称値に等しいことを意味する。実際には
、4つの抵抗間には僅かな差があり、これらは隔膜上に
極く近接することにより厳密に整合されるが、さもなけ
れば、センサのオフセットは受入れ難く高くなろう。 個々の抵抗RB1乃至RB4のTCRもまた厳密に整合
され、さもなければ、ブリッジのTCOは受入れ難く高
くなろう。もし個々の抵抗RB1乃至RB4のTCRが
全て略々等しく、TCRXに等しければ、組合わせ全体
ではTCRB=TCRXなる関係が妥当しよう。隔膜の
両側における温度がその小さな寸法の故に一定であるた
め、TCRBは抵抗ブリッジ温度の良好な表示器である
。
し得る温度表示器として使用されるRBの適合性である
。抵抗ブリッジ11の詳細図である図3において、RB
は4つの抵抗RB1乃至RB4の直並列組合わせであり
、更に正確には (17) RB=(RB1+RB2)||(RB3+
RB4)RB1=RB2=RB3=RB4=RBXであ
るため、RB=2RBX||2RBX または RB=RBX この関係は、全ブリッジ抵抗RBがブリッジ要素RB1
乃至RB4の公称値に等しいことを意味する。実際には
、4つの抵抗間には僅かな差があり、これらは隔膜上に
極く近接することにより厳密に整合されるが、さもなけ
れば、センサのオフセットは受入れ難く高くなろう。 個々の抵抗RB1乃至RB4のTCRもまた厳密に整合
され、さもなければ、ブリッジのTCOは受入れ難く高
くなろう。もし個々の抵抗RB1乃至RB4のTCRが
全て略々等しく、TCRXに等しければ、組合わせ全体
ではTCRB=TCRXなる関係が妥当しよう。隔膜の
両側における温度がその小さな寸法の故に一定であるた
め、TCRBは抵抗ブリッジ温度の良好な表示器である
。
【0062】抵抗と温度の関係を最も容易に歪める要因
は隔膜の圧力である。図3は、圧力による各要素の抵抗
の変化の方向(増加または減少)を示す矢印がある。も
しRB2およびRB3がRB1およびRB4の減少量と
同じ量だけ増加するならば、和のRB1+RB2および
和のRB3+RB4は一定なままであり、式(17)に
より、RBは変化しないことになる。しかし、このよう
な特性における不一致が圧力によりRBをやや変化させ
ることになる。実際には、この変化は非常に小さい。こ
の効果は、二次の項TCRの効果と共に、TCOおよび
TCSに対する二次項の効果のように実際には顕著では
ない。
は隔膜の圧力である。図3は、圧力による各要素の抵抗
の変化の方向(増加または減少)を示す矢印がある。も
しRB2およびRB3がRB1およびRB4の減少量と
同じ量だけ増加するならば、和のRB1+RB2および
和のRB3+RB4は一定なままであり、式(17)に
より、RBは変化しないことになる。しかし、このよう
な特性における不一致が圧力によりRBをやや変化させ
ることになる。実際には、この変化は非常に小さい。こ
の効果は、二次の項TCRの効果と共に、TCOおよび
TCSに対する二次項の効果のように実際には顕著では
ない。
【0063】次のステップは、オフセットおよびTCオ
フセットの補償と関連する関係を生じることである。分
析において述べた回路ブロックおよび構成要素を確認す
るため再び図1および図2を参照しよう。図2において
、オフセット補正増幅器34は増幅器U7と抵抗R9、
R10、R11、R15およびR16を含む。補償ネッ
トワーク31のオフセット補正部32は、抵抗RTおよ
びROを有する。RTは、これも固定オフセット項に影
響を及ぼすことが判るであろうが、主としてオフセット
の温度係数に対する調整を行う。ROは、TCオフセッ
トに影響を及ぼすことなく固定オフセットに対する調整
を行う。図1に示されるオフセット電流は、U7の負の
入力端子と接続する。
フセットの補償と関連する関係を生じることである。分
析において述べた回路ブロックおよび構成要素を確認す
るため再び図1および図2を参照しよう。図2において
、オフセット補正増幅器34は増幅器U7と抵抗R9、
R10、R11、R15およびR16を含む。補償ネッ
トワーク31のオフセット補正部32は、抵抗RTおよ
びROを有する。RTは、これも固定オフセット項に影
響を及ぼすことが判るであろうが、主としてオフセット
の温度係数に対する調整を行う。ROは、TCオフセッ
トに影響を及ぼすことなく固定オフセットに対する調整
を行う。図1に示されるオフセット電流は、U7の負の
入力端子と接続する。
【0064】計装増幅器27は、増幅器U4、U5およ
びU6、および抵抗R6、R7、R8、R12、R13
およびR14を含む。計装増幅器ブロックの正の端子2
8は、増幅器U5の正の端子であり、計装増幅器の負の
端子29はU4の正の端子である。基準入力36は、補
正信号VCSを受取るU6の正の端子である。初期出力
30は、電圧VIOにより示される。R15およびR1
6は説明を簡単にするためオフセット補正増幅器34の
一部として示されるが、これらは計装増幅器27の一部
でもよく、計算におけるこのような方法で取扱われる。
びU6、および抵抗R6、R7、R8、R12、R13
およびR14を含む。計装増幅器ブロックの正の端子2
8は、増幅器U5の正の端子であり、計装増幅器の負の
端子29はU4の正の端子である。基準入力36は、補
正信号VCSを受取るU6の正の端子である。初期出力
30は、電圧VIOにより示される。R15およびR1
6は説明を簡単にするためオフセット補正増幅器34の
一部として示されるが、これらは計装増幅器27の一部
でもよく、計算におけるこのような方法で取扱われる。
【0065】計装増幅器27に対する基本式は、
【00
66】
66】
【0067】計装増幅器の第2段の利得G2は、望まし
い実施態様においては1に等しく設定され、従って除く
ことができる。
い実施態様においては1に等しく設定され、従って除く
ことができる。
【0068】VS = VO2−VO1従って、
【0069】
【0070】この式を式(16)と組合わせると、下式
を得る。即ち、
を得る。即ち、
【0071】
【0072】(U3が利得1のバッファであるため)V
BB=VBとし、式(4)および式(5)を上記のVI
Oに対する式に組込むと、下式を得る。即ち、
BB=VBとし、式(4)および式(5)を上記のVI
Oに対する式に組込むと、下式を得る。即ち、
【007
3】
3】
【0074】この利得式を簡単にするには、トリム抵抗
RTおよびROに関して示すことができるようにVC項
を展開しなければならない。式(18)は下式となる。
RTおよびROに関して示すことができるようにVC項
を展開しなければならない。式(18)は下式となる。
【0075】
【0076】これらの項を再びグループ分けすることに
より、
より、
【0077】
【0078】式(19)は複雑に見えるが、最初の行は
圧力あるいは温度のいずれにも依存しない項を含む。こ
れら項は、固定オフセットにのみ寄与する。第2の行は
、全て温度に依存するも圧力には依存しない項を含む。 これらの項は、温度によるオフセット・シフトにのみ寄
与する。第3の行は、これが隔膜圧力×定数を持ち、固
定されたオフセット項または温度依存項がないため、式
(1)と似ている。
圧力あるいは温度のいずれにも依存しない項を含む。こ
れら項は、固定オフセットにのみ寄与する。第2の行は
、全て温度に依存するも圧力には依存しない項を含む。 これらの項は、温度によるオフセット・シフトにのみ寄
与する。第3の行は、これが隔膜圧力×定数を持ち、固
定されたオフセット項または温度依存項がないため、式
(1)と似ている。
【0079】式(19)の1行目は、抵抗ブリッジ11
のオフセットに比例する固定オフセット項を含むが、他
の項は回路パラメータの積である。他項のあるものは正
であり、あるものは負である。ブリッジのオフセットに
依存しない項がオフセットの正および負両方の値に対し
て出力信号に対する抵抗ブリッジのオフセットの効果を
打消すべく加算するように回路パラメータに対する値を
選定することは可能なはずである。
のオフセットに比例する固定オフセット項を含むが、他
の項は回路パラメータの積である。他項のあるものは正
であり、あるものは負である。ブリッジのオフセットに
依存しない項がオフセットの正および負両方の値に対し
て出力信号に対する抵抗ブリッジのオフセットの効果を
打消すべく加算するように回路パラメータに対する値を
選定することは可能なはずである。
【0080】温度依存項に対する式(19)の2行目に
おいて、温度依存項の1つがオフセットの抵抗ブリッジ
温度係数に比例するが、他の項は抵抗の抵抗ブリッジ温
度係数、および種々の固定回路パラメータのみに比例す
る。式(19)の1行目のように、他の項の1つは正で
あり、別の項の1つは負である。この場合において、意
図は、正および負のTCRB項の相対的な重みが出力信
号に対するブリッジのTCオフセット項の効果を打消す
ように、回路パラメータに対する値を選定することであ
る。
おいて、温度依存項の1つがオフセットの抵抗ブリッジ
温度係数に比例するが、他の項は抵抗の抵抗ブリッジ温
度係数、および種々の固定回路パラメータのみに比例す
る。式(19)の1行目のように、他の項の1つは正で
あり、別の項の1つは負である。この場合において、意
図は、正および負のTCRB項の相対的な重みが出力信
号に対するブリッジのTCオフセット項の効果を打消す
ように、回路パラメータに対する値を選定することであ
る。
【0081】もしこれらの目標が同時に達成し得て、そ
の結果その1行目における全ての項は、1つの固定値と
なるように加えることができ、かつ2行目における全て
の項を加えてゼロとなり得るならば、図1および図2に
おいて30で示される初期値VIOは圧力に依存し、抵
抗ブリッジのオフセット項には依存しないことになる。 これらの課題を果たす際、回路パラメータの数を最小限
に調整するよう維持することが望ましい。また、特に固
定オフセットのための補正調整が温度依存補正項に影響
を及ぼさないように、相互依存要因を最小限に抑えるこ
とも望ましい。このことは、もしブリッジのオフセット
の日常的な微小同調が達成されるべきであれば必要とな
る。
の結果その1行目における全ての項は、1つの固定値と
なるように加えることができ、かつ2行目における全て
の項を加えてゼロとなり得るならば、図1および図2に
おいて30で示される初期値VIOは圧力に依存し、抵
抗ブリッジのオフセット項には依存しないことになる。 これらの課題を果たす際、回路パラメータの数を最小限
に調整するよう維持することが望ましい。また、特に固
定オフセットのための補正調整が温度依存補正項に影響
を及ぼさないように、相互依存要因を最小限に抑えるこ
とも望ましい。このことは、もしブリッジのオフセット
の日常的な微小同調が達成されるべきであれば必要とな
る。
【0082】式(19)において、温度依存項に影響を
及ぼすことなく固定オフセット項を変更するか、あるい
はその反対にするため調整が可能な多くの抵抗値がある
。従って、温度依存項に対する調整を考察しよう。
及ぼすことなく固定オフセット項を変更するか、あるい
はその反対にするため調整が可能な多くの抵抗値がある
。従って、温度依存項に対する調整を考察しよう。
【0083】温度効果を打消すためには、温度依存項は
足してゼロになければならない。
足してゼロになければならない。
【0084】
【0085】共通因数を除いて、
【0086】
【0087】この式は、下記の如くRTについて解くこ
とができる。即ち、
とができる。即ち、
【0088】
【0089】式(20)は、3つの温度依存項が抵抗R
Tの適正な選定により加えたときゼロになることを示す
。ブリッジ抵抗に対する値RB、抵抗の温度係数TCR
Bおよびオフセットの温度係数TCOIは、抵抗ブリッ
ジ11における測定から得られねばならない。値G1お
よびR9は、回路定数である。この式は、下式が成立す
る限り、TCOIの正および負の値に対して正しい。 即ち、 2・G1・TCOI+RB・TCRB>0このような場
合、RTに対する計算値はゼロより大きくなり、TCR
Bが正である限り、有意な解を生じることになる。TC
オフセットの補正は、回路の基準電圧あるいは相互コン
ダクタンスgmの値のいずれか一方に依存することがな
い。更に重要なことには、RTは抵抗R10、R11ま
たはROのいずれにも依存しない。これらの抵抗は、T
Cオフセット補償に影響を及ぼすことなく固定オフセッ
ト補償量を調整するため使用することができる。
Tの適正な選定により加えたときゼロになることを示す
。ブリッジ抵抗に対する値RB、抵抗の温度係数TCR
Bおよびオフセットの温度係数TCOIは、抵抗ブリッ
ジ11における測定から得られねばならない。値G1お
よびR9は、回路定数である。この式は、下式が成立す
る限り、TCOIの正および負の値に対して正しい。 即ち、 2・G1・TCOI+RB・TCRB>0このような場
合、RTに対する計算値はゼロより大きくなり、TCR
Bが正である限り、有意な解を生じることになる。TC
オフセットの補正は、回路の基準電圧あるいは相互コン
ダクタンスgmの値のいずれか一方に依存することがな
い。更に重要なことには、RTは抵抗R10、R11ま
たはROのいずれにも依存しない。これらの抵抗は、T
Cオフセット補償に影響を及ぼすことなく固定オフセッ
ト補償量を調整するため使用することができる。
【0090】3つの抵抗R10、R11またはROのい
ずれか1つは、TCオフセットに対する補正に影響を及
ぼすことなくオフセット・トリムのため選定することが
できる。RTの値はオフセットの補正に影響を及ぼすた
め、RTは式(20)を用いて選定され、次いでその値
はオフセット・トリムの計算において使用される。
ずれか1つは、TCオフセットに対する補正に影響を及
ぼすことなくオフセット・トリムのため選定することが
できる。RTの値はオフセットの補正に影響を及ぼすた
め、RTは式(20)を用いて選定され、次いでその値
はオフセット・トリムの計算において使用される。
【0091】補償回路10の望ましい実施態様において
は、固定オフセットをゼロではなく図1および図2に2
1として示される基準オフセット電圧VAの値に調整す
ることが望ましい。他の電圧もあり得るが、前項におい
て説明したように、基準オフセット電圧21は図1およ
び図2に20として示した固定回路基準電圧VREFの
値の半分に設定された。従って、オフセット補正抵抗の
値を求める際、式(19)の1行目における全ての項の
和はこの値に等しく設定される。この関係は、下記の式
において示される。VREFは、これが各項に共通であ
るためこの式からは除かれている。このことは、当初の
設計目的であったオフセット補正がVREFには依存し
ないことを示唆する。
は、固定オフセットをゼロではなく図1および図2に2
1として示される基準オフセット電圧VAの値に調整す
ることが望ましい。他の電圧もあり得るが、前項におい
て説明したように、基準オフセット電圧21は図1およ
び図2に20として示した固定回路基準電圧VREFの
値の半分に設定された。従って、オフセット補正抵抗の
値を求める際、式(19)の1行目における全ての項の
和はこの値に等しく設定される。この関係は、下記の式
において示される。VREFは、これが各項に共通であ
るためこの式からは除かれている。このことは、当初の
設計目的であったオフセット補正がVREFには依存し
ないことを示唆する。
【0092】
【0093】ROは、それについて解き、上記の関係を
満たすように抵抗値として選定される。ROの項におけ
る解は下記の如く得られる。
満たすように抵抗値として選定される。ROの項におけ
る解は下記の如く得られる。
【0094】
【0095】式(21)および式(22)を直前の式に
代入すると以下の如くになる。
代入すると以下の如くになる。
【0096】
【0097】補償回路10における構成要素に対する値
は、抵抗ブリッジのオフセット、オフセットの温度係数
、オフセットの温度係数、抵抗値および抵抗値の温度係
数の広範囲に対して、ROおよびRTに対する値の現実
的な範囲が選定できるように選定することができる。
は、抵抗ブリッジのオフセット、オフセットの温度係数
、オフセットの温度係数、抵抗値および抵抗値の温度係
数の広範囲に対して、ROおよびRTに対する値の現実
的な範囲が選定できるように選定することができる。
【0098】ROおよびRTが上記の関係を満たすよう
に1組の固定された回路パラメータと見合うように選択
されたとすれば、式(19)は下記のように短くなる。 即ち、 (24) VIO = G1・gm・VREF・
SI・P+VAG1、gmおよびVREFは、下記の利
得定数により表わすことができるミリアンペア単位の固
定された回路定数である。
に1組の固定された回路パラメータと見合うように選択
されたとすれば、式(19)は下記のように短くなる。 即ち、 (24) VIO = G1・gm・VREF・
SI・P+VAG1、gmおよびVREFは、下記の利
得定数により表わすことができるミリアンペア単位の固
定された回路定数である。
【0099】(25) AC1 = G1・gm
・VREF抵抗ブリッジ11の補償されてない圧力感度
S1は、抵抗ブリッジ11の定電流励起の故に、単位圧
力当たりの励起ミリアンペア当たりのμV/の単位で定
義される。 式(24)および式(25)を組合わせて、(26)
VIO = AC1・SI・P+VA図1および
図2において、プログラム可能利得増幅器37は、増幅
器U8および抵抗R17からなり、補償ネットワーク3
1の利得補正部39である抵抗RGと共に働く。これは
、トリムが可能な最終的な回路利得を生じて式(1)の
所望の出力を与える。
・VREF抵抗ブリッジ11の補償されてない圧力感度
S1は、抵抗ブリッジ11の定電流励起の故に、単位圧
力当たりの励起ミリアンペア当たりのμV/の単位で定
義される。 式(24)および式(25)を組合わせて、(26)
VIO = AC1・SI・P+VA図1および
図2において、プログラム可能利得増幅器37は、増幅
器U8および抵抗R17からなり、補償ネットワーク3
1の利得補正部39である抵抗RGと共に働く。これは
、トリムが可能な最終的な回路利得を生じて式(1)の
所望の出力を与える。
【0100】VCO = AT・P+VA増幅器U
8は、U8の入力が接地基準15の代わりに基準オフセ
ット電圧VAに照合されるため、VAを増幅することは
ない。プログラム可能利得増幅器37の利得はAC2で
ある。図1および図2に38で示される、補償される出
力VCOであるプログラム可能利得増幅器37の出力は
、 (27) VCO = AC1・AC2・SI・
P+VA式(1)に定義される如き全有効利得定数AT
は、下式に等しい。即ち、 (28) AT = AC1・AC2・SIまた
は
8は、U8の入力が接地基準15の代わりに基準オフセ
ット電圧VAに照合されるため、VAを増幅することは
ない。プログラム可能利得増幅器37の利得はAC2で
ある。図1および図2に38で示される、補償される出
力VCOであるプログラム可能利得増幅器37の出力は
、 (27) VCO = AC1・AC2・SI・
P+VA式(1)に定義される如き全有効利得定数AT
は、下式に等しい。即ち、 (28) AT = AC1・AC2・SIまた
は
【0101】
【0102】U8は、その利得が下式である簡単な非反
転増幅器である。即ち、 (30) AC2 = 1+(R17/RG)式
(29)および式(30)の右辺を相互に等しく設定す
ると、下式を得る。即ち、
転増幅器である。即ち、 (30) AC2 = 1+(R17/RG)式
(29)および式(30)の右辺を相互に等しく設定す
ると、下式を得る。即ち、
【0103】
【0104】式(25)を式(31)に代入すれば、
【
0105】
0105】
【0106】R17、G1、gmおよびVREFは回路
定数であるため、SIが既知ならば、RGの値は所要の
全利得ATについて計算することができる。補償された
出力VCO即ち38は、依然として図1および図2にお
ける20の固定回路基準電圧VREFに依存しかつこれ
に比例する。
定数であるため、SIが既知ならば、RGの値は所要の
全利得ATについて計算することができる。補償された
出力VCO即ち38は、依然として図1および図2にお
ける20の固定回路基準電圧VREFに依存しかつこれ
に比例する。
【0107】RGが有意となるためには、分母は正でな
ければならない。即ち、 AT > G1・gm・VREF・SI式(25)
および式(28)を上記の関係式に代入することにより
、利得AC2が1より大きくなければならないというこ
とができ、これは無論U8に対する非反転増幅器形態の
特性である。反転増幅器は、この段では利得の減少を可
能にするため使用することができる。これは、計装増幅
器27が、通常は以降の信号処理のため必要とされる抵
抗ブリッジ11の信号出力16の全ての増幅を提供する
ことは望ましくないため、ほとんどの状況においては問
題とならない。またもし計装増幅器27の第1段がより
多くの利得を提供するとしても、抵抗ブリッジのオフセ
ット誤差はこの利得により増幅されることになり、抵抗
ブリッジの応答の適正な補償を生じるために補正信号3
5がより広い範囲にわたり変化することを必要とする。
ければならない。即ち、 AT > G1・gm・VREF・SI式(25)
および式(28)を上記の関係式に代入することにより
、利得AC2が1より大きくなければならないというこ
とができ、これは無論U8に対する非反転増幅器形態の
特性である。反転増幅器は、この段では利得の減少を可
能にするため使用することができる。これは、計装増幅
器27が、通常は以降の信号処理のため必要とされる抵
抗ブリッジ11の信号出力16の全ての増幅を提供する
ことは望ましくないため、ほとんどの状況においては問
題とならない。またもし計装増幅器27の第1段がより
多くの利得を提供するとしても、抵抗ブリッジのオフセ
ット誤差はこの利得により増幅されることになり、抵抗
ブリッジの応答の適正な補償を生じるために補正信号3
5がより広い範囲にわたり変化することを必要とする。
【0108】実際には、計装増幅器27とプログラム可
能利得増幅器37間の回路利得の分割はトレードオフ関
係にある。計装増幅器には信号出力における共通モード
誤差を排除し、また演算増幅器により生じるオフセット
・ドリフトおよびノイズが取るに足らないように信号レ
ベルを増強するに充分な利得がなければならない。この
利得は、補正信号35の所要範囲、および補償ネットワ
ーク31のオフセット補正部32における抵抗の範囲が
レーザでトリムされる抵抗ネットワークによる有効な構
成を許容するように制限されねばならない。
能利得増幅器37間の回路利得の分割はトレードオフ関
係にある。計装増幅器には信号出力における共通モード
誤差を排除し、また演算増幅器により生じるオフセット
・ドリフトおよびノイズが取るに足らないように信号レ
ベルを増強するに充分な利得がなければならない。この
利得は、補正信号35の所要範囲、および補償ネットワ
ーク31のオフセット補正部32における抵抗の範囲が
レーザでトリムされる抵抗ネットワークによる有効な構
成を許容するように制限されねばならない。
【0109】補償回路10は、本文に示した仮定の制限
内にあり、またピエゾ抵抗形式のカテーテル先端圧力プ
ローブを補償するため3つの抵抗を選定することを可能
にする。この補償回路10は、20で示す固定回路基準
電圧VREFを必要とする。抵抗ブリッジ応答の固定項
および温度依存オフセット項の補正は、VREFに依存
しない。しかし、最終利得即ち補償される出力の圧力に
対する感度は、VREFに正比例する。
内にあり、またピエゾ抵抗形式のカテーテル先端圧力プ
ローブを補償するため3つの抵抗を選定することを可能
にする。この補償回路10は、20で示す固定回路基準
電圧VREFを必要とする。抵抗ブリッジ応答の固定項
および温度依存オフセット項の補正は、VREFに依存
しない。しかし、最終利得即ち補償される出力の圧力に
対する感度は、VREFに正比例する。
【0110】補償される出力38の固定回路基準電圧2
1に対する依存性は、補償される出力が典型的に更に別
の信号処理および表示のため接続される回路により除去
することができる。多くの形式のアナログ−ディジタル
・コンバータ40は、そのディジタル出力が固定回路基
準電圧に対する補償される出力の比率に比例するように
構成することができる。このようなコンバータ40の望
ましい実施態様は、詳細には示さないが、その出力が補
償出力38と基準オフセット電圧21の差を固定回路基
準電圧20により除した(あるいはこれに比例する)も
のに比例するようなものであろう。
1に対する依存性は、補償される出力が典型的に更に別
の信号処理および表示のため接続される回路により除去
することができる。多くの形式のアナログ−ディジタル
・コンバータ40は、そのディジタル出力が固定回路基
準電圧に対する補償される出力の比率に比例するように
構成することができる。このようなコンバータ40の望
ましい実施態様は、詳細には示さないが、その出力が補
償出力38と基準オフセット電圧21の差を固定回路基
準電圧20により除した(あるいはこれに比例する)も
のに比例するようなものであろう。
【0111】このアナログ−ディジタル・コンバータ4
0の機能は、下記の関係によって示される。即ち、
0の機能は、下記の関係によって示される。即ち、
【0
112】
112】
【0113】但し、Cは補償出力38から基準オフセッ
ト電圧21を差し引いたものの、全スケール出力(無次
元)に対する固定回路基準電圧20に対する比率PFS
は、全スケールにおけるmmHgを単位とする圧力単位
数 これは、下式の如く書き直すことができる。即ち、
ト電圧21を差し引いたものの、全スケール出力(無次
元)に対する固定回路基準電圧20に対する比率PFS
は、全スケールにおけるmmHgを単位とする圧力単位
数 これは、下式の如く書き直すことができる。即ち、
【0
114】
114】
【0115】この関係式を式(32)に代入すると下記
の如くになる。
の如くになる。
【0116】
【0117】従って、出力が図示の如く前記比にのみ依
存するアナログ−ディジタル・コンバータ40が用いら
れるならば、図2に39で示される利得補正部RGの固
定回路基準電圧20に対する依存性もまた取除くことが
できる。アナログ−ディジタル・コンバータ40の変換
率C、および圧力の全スケール単位数は既知でなければ
ならない。
存するアナログ−ディジタル・コンバータ40が用いら
れるならば、図2に39で示される利得補正部RGの固
定回路基準電圧20に対する依存性もまた取除くことが
できる。アナログ−ディジタル・コンバータ40の変換
率C、および圧力の全スケール単位数は既知でなければ
ならない。
【0118】抵抗の選択式(20)、(21)、(22
)、(23)および式(32)(あるいは、式(32)
の代わりに用いられるならば、式(33))における諸
項は、2つのグループに分けることができる。第1のグ
ループは、直接抵抗ブリッジ11の一部ではない補償回
路10の各部と関連する抵抗、利得、相互コンダクタン
スおよび電圧の値を含む。これらの値は、典型的には、
特定回路により決定される定数として与えられることに
なる。上記の各式により選定される補償値は、補償回路
10の特定の実施例にのみ妥当する。第2のグループは
、測定され計算されねばならない抵抗ブリッジ11の圧
力、温度応答および抵抗を含む。
)、(23)および式(32)(あるいは、式(32)
の代わりに用いられるならば、式(33))における諸
項は、2つのグループに分けることができる。第1のグ
ループは、直接抵抗ブリッジ11の一部ではない補償回
路10の各部と関連する抵抗、利得、相互コンダクタン
スおよび電圧の値を含む。これらの値は、典型的には、
特定回路により決定される定数として与えられることに
なる。上記の各式により選定される補償値は、補償回路
10の特定の実施例にのみ妥当する。第2のグループは
、測定され計算されねばならない抵抗ブリッジ11の圧
力、温度応答および抵抗を含む。
【0119】抵抗ブリッジ11における測定は、上記式
を解くため必要なブリッジの性能特性を与えるに必要な
最小限のものである。使用される抵抗ブリッジ11の品
質および安定性を更に完全に決定する他の測定値を用い
ることもできる。これらの測定は、典型的には、補償ネ
ットワーク31における抵抗値のトリミングを除いて、
他の全ての製造ステップを完了したセンサ組立体につい
てなされる。
を解くため必要なブリッジの性能特性を与えるに必要な
最小限のものである。使用される抵抗ブリッジ11の品
質および安定性を更に完全に決定する他の測定値を用い
ることもできる。これらの測定は、典型的には、補償ネ
ットワーク31における抵抗値のトリミングを除いて、
他の全ての製造ステップを完了したセンサ組立体につい
てなされる。
【0120】上記の式は、抵抗ブリッジ11を補償する
RT、ROおよびRGに対する抵抗値を決定する。1つ
の方法が、本文に述べた形式の抵抗ブリッジ11に対す
る適正値を計算するため必要な情報を提供する。図4の
フローチャートがこの方法を示している。
RT、ROおよびRGに対する抵抗値を決定する。1つ
の方法が、本文に述べた形式の抵抗ブリッジ11に対す
る適正値を計算するため必要な情報を提供する。図4の
フローチャートがこの方法を示している。
【0121】抵抗ブリッジ11の温度依存および固定オ
フセット誤差を補償する方法は、電力入力14および接
地基準15の両端に接続され、かつよく調整された定電
流源により抵抗ブリッジ11を付勢するステップを有す
る。次に、抵抗ブリッジ11をゼロ圧力において第1の
温度T1に置き、系が均衡することを許容した後、抵抗
ブリッジ11のオフセットおよび抵抗を測定するステッ
プが行われる。これに続いて、抵抗ブリッジ11の応答
を測定するステップが、抵抗ブリッジ11の隔膜の両側
に圧力P1を加えた後に生じて、圧力による抵抗ブリッ
ジ11の出力における単位変化を決定する。
フセット誤差を補償する方法は、電力入力14および接
地基準15の両端に接続され、かつよく調整された定電
流源により抵抗ブリッジ11を付勢するステップを有す
る。次に、抵抗ブリッジ11をゼロ圧力において第1の
温度T1に置き、系が均衡することを許容した後、抵抗
ブリッジ11のオフセットおよび抵抗を測定するステッ
プが行われる。これに続いて、抵抗ブリッジ11の応答
を測定するステップが、抵抗ブリッジ11の隔膜の両側
に圧力P1を加えた後に生じて、圧力による抵抗ブリッ
ジ11の出力における単位変化を決定する。
【0122】抵抗ブリッジ11をゼロの圧力において第
2の温度T2に置き、系が均衡することを許した後、抵
抗ブリッジ11のオフセットおよび抵抗の測定が次のス
テップとなる。本方法は、温度による抵抗ブリッジ11
の出力および抵抗における単位変化を決定するステップ
を含む。次いで、前のステップの決定および測定を用い
て、単一抵抗、他の単一抵抗および利得抵抗に対する値
を計算する。それにより該計算された値を用いて、補償
ネットワークにおけるこの単一抵抗、他の抵抗および利
得抵抗を選定し、抵抗ブリッジの信号出力16において
与えられる圧力に対する抵抗ブリッジ11の応答におけ
るオフセット誤差および変動の固定および温度依存部分
に対する補正を行う。
2の温度T2に置き、系が均衡することを許した後、抵
抗ブリッジ11のオフセットおよび抵抗の測定が次のス
テップとなる。本方法は、温度による抵抗ブリッジ11
の出力および抵抗における単位変化を決定するステップ
を含む。次いで、前のステップの決定および測定を用い
て、単一抵抗、他の単一抵抗および利得抵抗に対する値
を計算する。それにより該計算された値を用いて、補償
ネットワークにおけるこの単一抵抗、他の抵抗および利
得抵抗を選定し、抵抗ブリッジの信号出力16において
与えられる圧力に対する抵抗ブリッジ11の応答におけ
るオフセット誤差および変動の固定および温度依存部分
に対する補正を行う。
【0123】望ましい方法は、下記のステップを有する
。即ち、電力入力14および接地基準15の両側に接続
され、かつよく調整された定電流源からのブリッジ励起
電流により抵抗ブリッジ11を付勢する。この電流の大
きさは、通常の使用におけるブリッジ励起出力電流23
の大きさに近く、かつ独立的な測定により検証可能であ
る。
。即ち、電力入力14および接地基準15の両側に接続
され、かつよく調整された定電流源からのブリッジ励起
電流により抵抗ブリッジ11を付勢する。この電流の大
きさは、通常の使用におけるブリッジ励起出力電流23
の大きさに近く、かつ独立的な測定により検証可能であ
る。
【0124】抵抗ブリッジ11の温度を第1の温度T1
に置き、均衡させる。抵抗ブリッジ11の隔膜の両側の
圧力をゼロ圧力に保持して、正確な電圧計がブリッジの
信号出力における応答を測定する。この応答は、ブリッ
ジ励起電流により分割されてブリッジ・オフセット項O
FFIを生じる。次いで、ブリッジの電力入力14およ
び接地基準15の両端の電圧を測定する高精度電圧計が
構成される。ブリッジ励起電流により分割されたこの電
圧は、ブリッジ抵抗RBを提供する。
に置き、均衡させる。抵抗ブリッジ11の隔膜の両側の
圧力をゼロ圧力に保持して、正確な電圧計がブリッジの
信号出力における応答を測定する。この応答は、ブリッ
ジ励起電流により分割されてブリッジ・オフセット項O
FFIを生じる。次いで、ブリッジの電力入力14およ
び接地基準15の両端の電圧を測定する高精度電圧計が
構成される。ブリッジ励起電流により分割されたこの電
圧は、ブリッジ抵抗RBを提供する。
【0125】抵抗ブリッジ11を第1の温度T1に保ち
、抵抗ブリッジ11の隔膜の両側に調整された圧力P1
を加える。高精度電圧計は、抵抗ブリッジ11の信号出
力16における応答を測定する。この応答は、最初にブ
リッジ励起電流により分割される。この値とOFFIの
計算値間の差は、圧力P1の大きさにより分割されて抵
抗ブリッジ感度項SIを生じる。
、抵抗ブリッジ11の隔膜の両側に調整された圧力P1
を加える。高精度電圧計は、抵抗ブリッジ11の信号出
力16における応答を測定する。この応答は、最初にブ
リッジ励起電流により分割される。この値とOFFIの
計算値間の差は、圧力P1の大きさにより分割されて抵
抗ブリッジ感度項SIを生じる。
【0126】抵抗ブリッジ11の温度を第2の温度T2
に置き、均衡させる。この第2のステップはこの温度に
おいて繰返され、この温度におけるOFFIおよびRB
に対する諸項が計算される。2つの温度間の差により除
される2つの温度におけるOFFI項間の差は、オフセ
ット項TCOIの温度係数を提供する。2つの温度間の
差により除される2つの温度におけるRB項間の差は、
抵抗項TCRBの温度係数を提供する。
に置き、均衡させる。この第2のステップはこの温度に
おいて繰返され、この温度におけるOFFIおよびRB
に対する諸項が計算される。2つの温度間の差により除
される2つの温度におけるOFFI項間の差は、オフセ
ット項TCOIの温度係数を提供する。2つの温度間の
差により除される2つの温度におけるRB項間の差は、
抵抗項TCRBの温度係数を提供する。
【0127】圧力P1が再び抵抗ブリッジ11に加えら
れる間、この抵抗ブリッジ11を第2の温度T2に維持
する。次いで、第3のステップがこの温度において繰返
され、この温度におけるSIが計算される。2つの温度
間の差により除される2つの温度におけるSI項間の差
を用いて、感度の温度係数TCSIが定電流励起源の使
用により有効に最小限に抑えられたことを検証する。
れる間、この抵抗ブリッジ11を第2の温度T2に維持
する。次いで、第3のステップがこの温度において繰返
され、この温度におけるSIが計算される。2つの温度
間の差により除される2つの温度におけるSI項間の差
を用いて、感度の温度係数TCSIが定電流励起源の使
用により有効に最小限に抑えられたことを検証する。
【0128】補償ネットワーク抵抗RT、ROおよびR
Gに対する適当な値を決定するため、抵抗の選定のため
計算された値を固定回路定数から得た値と組合わせる。 次に、これらの値は、適当な手段により選定され、図2
に示した回路図に従ってセンサ組立体に構成される。次
いで、抵抗ブリッジ11および補償ネットワーク31を
含むこのセンサ組立体は、補償された圧力検出装置とし
て使用される、図2に示された如き回路に接続されるよ
うに適当に構成される。
Gに対する適当な値を決定するため、抵抗の選定のため
計算された値を固定回路定数から得た値と組合わせる。 次に、これらの値は、適当な手段により選定され、図2
に示した回路図に従ってセンサ組立体に構成される。次
いで、抵抗ブリッジ11および補償ネットワーク31を
含むこのセンサ組立体は、補償された圧力検出装置とし
て使用される、図2に示された如き回路に接続されるよ
うに適当に構成される。
【図1】本発明の望ましい実施態様の主要回路ブロック
の機能および相互接続を示すブロック図である。
の機能および相互接続を示すブロック図である。
【図2】本発明を理解するため必要な回路要素を示す補
償回路の概略図である。
償回路の概略図である。
【図3】ブリッジの抵抗要素の相互作用を示す抵抗ブリ
ッジの詳細図である。
ッジの詳細図である。
【図4】抵抗ブリッジの補償に使用される方法の諸ステ
ップを示すフローチャートである。
ップを示すフローチャートである。
10 補償回路
11 抵抗ブリッジ
12 アーム
13 アーム
14 電力入力
15 接地基準
16 信号出力
17 正の信号出力
18 負の信号出力
19 オフセット基準ジェネレータ
20 固定回路基準電圧
21 基準オフセット電圧
22 電圧制御電流源
23 ブリッジ励起出力電流
24 バッファ増幅器
25 バッファ入力
26 バッファ出力電圧
27 計装増幅器
30 初期出力
31 補償ネットワーク
32 オフセット補正部
33 初期オフセット電流
34 オフセット補正増幅器
35 補正信号
36 基準入力
37 プログラム可能利得増幅器
38 補償出力
39 利得補正部
Claims (7)
- 【請求項1】 1対のアームであって、各アームは、
一方が応力変形により増加し他方が応力変形により減少
する1対の抵抗を含む1対のアームを有する抵抗ブリッ
ジ用の補償回路において、 a)前記抵抗ブリッジに加えられる圧力および電力入力
に与えられる電気信号の関数として、信号出力における
応答を生じる、前記抵抗ブリッジの電力入力、接地基準
、正の信号出力および負の信号出力と、b)固定回路基
準電圧を受取り基準オフセット電圧を生じるオフセット
基準ジェネレータと、 c)前記電力入力および前記接地基準の両端に接続され
た電圧制御電流源であって、前記固定回路基準電圧に正
比例するブリッジ励起出力電流を有する電圧制御電流源
と、 d)前記電力入力に接続されたバッファ入力を有するバ
ッファ増幅器であって、前記電力入力の電圧に比例する
バッファ出力電圧を生じる電圧フォロワとして構成され
るバッファ増幅器と、 e)正の端子および負の端子がそれぞれ前記正の信号出
力および前記負の信号出力と接続されて該信号出力の応
答に比例する初期出力を生じる計装増幅器と、f)前記
バッファ出力電圧および前記接地基準を受取り、初期オ
フセット電流を生じるオフセット補正部を有する補償ネ
ットワークであって、前記バッファ出力電圧が前記抵抗
ブリッジの温度変化に比例して変化する前記初期オフセ
ット電流の温度依存部分を生じる補償ネットワークと、 g)初期オフセット電流、バッファ出力電圧および固定
回路基準電圧を受取り、補正信号を発生して、前記信号
出力の応答におけるオフセット誤差を打消すオフセット
補正増幅器であって、前記バッファ出力電圧および前記
初期オフセット電流が共に前記抵抗ブリッジにおける温
度変化に比例して変化し、これにより前記補正信号の温
度依存部を提供する、オフセット補正増幅器と、h)前
記補正信号を受取り、該補正信号に応答して初期出力を
修正するように接続された計装増幅器の基準入力と を備える抵抗ブリッジ用の補償回路。 - 【請求項2】 前記オフセット誤差が固定部分と温度
依存部を有し、該部分の双方が、前記オフセット補正増
幅器内のバッファ出力電圧、固定回路基準電圧および初
期オフセット電流の相互作用により打消される請求項1
記載の補償回路。 - 【請求項3】 前記補償回路のオフセット補正部が、
前記固定部分を調整する単一抵抗と、前記温度依存部を
調整する別の単一抵抗とを有し、前記固定部分に対する
調整が前記温度依存部の調整に影響を及ぼさない請求項
2記載の補償回路。 - 【請求項4】 前記オフセット補正増幅器は、前記固
定部分に対する単一抵抗により前記オフセット誤差の固
定部分の正または負の値を調整し、前記温度依存部に対
する他の単一抵抗により前記オフセット誤差の温度依存
部の正または負の勾配を調整するように選定されかつ構
成された抵抗を含む請求項3記載の補償回路。 - 【請求項5】 プログラム可能な利得増幅器が、前記
計装増幅器から初期出力を受取り、かつ付与圧力に対す
る抵抗ブリッジ応答とは独立的である補償された出力を
提供する請求項4記載の補償回路。 - 【請求項6】 前記補償ネットワークの利得補償部が
、加えられた圧力に対する抵抗ブリッジ応答の変動を補
償するように前記プログラム可能利得増幅器の利得を調
整するため用いられる利得抵抗を有する請求項5記載の
補償回路。 - 【請求項7】 抵抗ブリッジの温度依存オフセット誤
差および固定オフセット誤差を補償する方法において、
a)電力入力および接地基準に跨がって接続され、かつ
調整された定電流源により前記抵抗ブリッジを付勢し、
b)前記抵抗ブリッジをゼロ圧力時に第1の温度T1に
置いて系を均衡させた後、該抵抗ブリッジのオフセット
および抵抗を測定し、 c)前記抵抗ブリッジの隔膜の両側に圧力P1を加えた
後、前記第1の温度T1における前記抵抗ブリッジの応
答を測定して、圧力による該抵抗ブリッジの出力におけ
る単位変化を決定し、 d)前記抵抗ブリッジをゼロ圧力時に第2の温度T2に
置いて系を均衡させた後、前記抵抗ブリッジのオフセッ
トおよび抵抗を測定し、 e)温度による前記抵抗ブリッジの出力および抵抗にお
ける単位変化を決定し、 f)ステップb)乃至e)の決定および測定を用いて、
単一抵抗、他の単一抵抗および利得抵抗に対する値を計
算し、 g)前記抵抗ブリッジの信号出力において加えられる圧
力に対する抵抗ブリッジ応答におけるオフセット誤差お
よび変動の固定部分および温度依存部分に対する補正を
行うため、前記ステップf)からの計算された値を用い
て前記単一抵抗、他の抵抗および利得抵抗を選定しかつ
含める ステップを含むことを特徴とする方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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US602571 | 1990-10-25 | ||
US07/602,571 US5146788A (en) | 1990-10-25 | 1990-10-25 | Apparatus and method for a temperature compensation of a catheter tip pressure transducer |
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JPH04265831A true JPH04265831A (ja) | 1992-09-22 |
JP2954406B2 JP2954406B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=24411893
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Country | Link |
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US (2) | US5146788A (ja) |
EP (1) | EP0482487B1 (ja) |
JP (1) | JP2954406B2 (ja) |
KR (1) | KR950005890B1 (ja) |
AT (1) | ATE139337T1 (ja) |
AU (1) | AU640050B2 (ja) |
CA (1) | CA2053793C (ja) |
DE (1) | DE69120203T2 (ja) |
ES (1) | ES2087946T3 (ja) |
MY (1) | MY107009A (ja) |
TW (1) | TW238355B (ja) |
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