JP4918653B2 - 集積センサモジュール及び同等物のためのパデ近似を基にした補償 - Google Patents

集積センサモジュール及び同等物のためのパデ近似を基にした補償 Download PDF

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Description

本発明は、一般にアナログ変換器の非線形性及び/又は温度ドリフトの補償を行う電子システムに関している。
更に詳しくは、本発明は、その変換器が電子補償回路のような補償手段と共にパッケージされている集積センサモジュールに関している。
(1)本願に対する相互参照
以下の米国特許は、ここに言及することにより本願の一部とする。
(A)米国特許第6,198,296号、2001年3月6日に発行されたIvanovによる「ブリッジセンサ線形化回路及びその方法」、
(B)米国特許第5,902,925号、1999年5月11日に発行されたCrispie他による「温度によるオフセット及び感度変化に対するセンサの高精度な較正のためのシステム及び方法」、
(C)米国特許第5,848,383号、1998年12月8日に発行されたYunusによる「温度によるセンサの非線形オフセット及び感度変化に対する精密補償のためのシステム及び方法」、
(D)米国特許第5,764,067号、1998年6月9日に発行されたRastegarによる「低コストで高精度なアナログ回路を使用するセンサ信号処理のための方法及び装置」、
(E)米国特許第5,686,826号、1997年11月11日に発行されたKurtz他による「半導体変換器構造による周辺温度補償」、
(F)米国特許第5,122,756号、1992年6月16日に発行されたNelsonによる「検出ブリッジ回路出力の線形化」、
(G)米国特許第4,419,620号、1983年12月6日に発行されたKurtz他による「半導体圧力変換器のための線形化回路」、
(H)米国特許第4,362,060号、1982年12月7日に発行されたOkayama他による「変位変換器」。
(2)特許以外の相互参照
以下の刊行物は、ここに参考のために記載される。
(a)Wolfram Research Mathworld Web site: http://mathworld.wolfram.com/PadeApproximant.html、
(b)Baker, G. A. Jr. and Graves-Morris, P. Pade' Approximants. New York: Cambridge University Press, 1996、
(c)Yoshii et al, "1 Chip Integrated Software Calibrated CMOS Pressure sensor with MCU, A/D Converter, D/A Converter, Digital Communication Port, Signal Conditioning Circuit and Temperature Sensor", Proceedings 1997 International Conference on Solid-State Sensors and Actuators, Chicago, June 16-19, 1997, pg. 1485-1488、
(d)Mnif, K., "Compensation is critical in fitting analog pressure sensors to the application", ISD Magazine, July 2001、
(e)Travis, B., "Smart conditioners rub out sensor errors", EDN Magazine, February 2001、
(f)McGonigal, J., "Signal conditioning", Sensor Magazine, September 2003、
(g)Harrold, S., "Programmable analog ICs", Sensor Magazine, April 2003、
(h)Dunbar and Allen, "Performance grows with integration", EE Times, October 7, 2003。
多くの物理的パラメータ、例えば温度、圧力、力、張力、光度、位置、角度、速度、加速度及び液体流速等において、1つ以上のパラメータを正確に検出することが、しばしば求められる。技術的進歩によって、これらのパラメータの一部を、モノリシックに集積して小型化した電子機械システム(MEM)によって測定できるようにした。検出部が集積されておらず、別な構成である場合でも、それらはたいていコンパクトに格納されており、センサモジュールは、信号処理及び/又は他のセンサ支援機能を提供するためのディスクリート回路及び/又はモノリシックICを更に含んでいる。応用分野には、自動車、医薬、航空宇宙及びファクトリーオートメーションが含まれる。
例えば自動車分野において、センサのサイズ、重量、コスト及び電力消費は重要であり、その上、車両を更に機敏に動作させるために、車両構造に対して遍在的にセンサを組込むことが求められており、小型で、正確で、信頼性があり、厳しい環境下で動作可能な低コストのセンサを開発するために、相当な努力が費やされてきた。これは結果的に、異なる物理的/電気的原理に基づく様々な検出部を導出し、各々独自に特定の目的及び環境のために最適化されている。それが様々なセンサの特徴であり、問題も引起している。
多くの検出部は、何らかの形で回避又は補償しなければならない特有の要件及び制限がある。多くのセンサは、検出される物理的特性から得られるエネルギに加えて、適切な励振源又は電源を必要とする。検出される所定の物理的特性(例えば、力、変位、速度、加速度、温度或いはその他の検出及び/又は測定可能な物理的パラメータ)に応答して、センサによって生成される電気信号又は他の信号は、比較的弱く、歪んでいる、即ちセンサ出力信号を使用する電子制御システム又は他の制御システムに、直接結合させることには適していない。そのため、信号増幅及び歪み除去が多くの場合望まれている。使用される増幅器及び/又はセンサ自体は、製造工程における摂動に起因して、通常は増幅率及びオフセットエラーのばらつきがある。従って、これらの部品は、一般的に個別に較正されなければならない。多くの検出部は、検出されたパラメータに対して非理想的な応答関数を示す。非理想的な応答関数は、異なる温度範囲に渡る応答の変化及び/又は測定される物理的パラメータの線形変化に対する非線形応答に問題がある。様々な用途において、これらの非理想的な応答挙動に対して、ある程度の補正を必要とされることがある。適切な電子回路は通常「信号処理回路」と呼ばれ、これらの要求を処理するために多くの場合使用され、一般にセンサパッケージに不可欠な要素とされている。検出部及び信号処理回路は共に、1つの環境的に密閉されたセンサモジュール或いは単に集積センサとして知られている物理装置に実装されるのが一般的である。センサ信号処理についての更なる説明及び有効な解決策の実施例は、上述のMnif、Travis及びMcGonigalによる論文で明らかにされている。
電子回路による非線形性補正機能を有する信号処理回路は、現代のセンサ製造において、益々不可欠な要素となっている。処理回路は、高機能で高価な検出部を必要とすること無く、高精度かつ広範な動作範囲を可能とする。多くの様々な非線形補償技術が開発されてきたが、導入するためにコストと時間がかかることがあり、精度が不十分なことが多く、或いは他の望ましくない技術的制限を受けることがある。この産業では柔軟なアプローチが必要とされている。
センサの非線形性を処理するために開発された様々なアプローチの中で、ソース変調フィードバックを利用した一般的な技術では、増幅及び測定された信号の一部が、検出部の励振源を変調するためにフィードバックされる。この基本原理は、抵抗ブリッジセンサに使用されており、米国特許第4,362,060号、同第4,419,620号、同第5,122,756号、同第5,686,826号及び同第6,198,296号に開示されている。その技術は温度を変化させるためには有効である。しかし、これらのソースフィードバック技術は、ポテンショメータの使用又は事前に選択された値の抵抗を選択するような、手作業の試行錯誤による調整に依存している。この種のアプローチは、各センサの個別の補償及び/又は較正を必要とすることがあるので、大量生産には不向きである。また、固定された「平均」抵抗値は、全てのセンサに使用され、精度が犠牲にされる。何故なら検出部の通常生産での変動は補償されないからである。
場合によっては、温度変化に起因するセンサの非線形応答に対して補償することが必要である。米国特許第5,902,925号は、区分線形アプローチを開示している。米国特許第5,848,383号は、多項式補償に基づく解決策を提案している。しかしながら、これらのアプローチは、多くのセンサの検出範囲内における、温度変化に関係なく固有の非線形性について同時に扱っていない。
非線形性補償では、主にデジタル方式が開発されてきた。これらは上述のTravis及びYoshii他による論文に示されているような、参照テーブル、区分線形補償又は多項式補償技術を含んでいる。それらは柔軟で、正確な場合もあるが、その解決策の実施には通常マイクロコンピュータ又はデジタルシグナルプロセッサ(DSP)を隣接するための準備及び大容量のメモリーが必要であり、これら全てのことが、複雑さ、電力消費及びコストを増加させる。また、従来の主なデジタル方式は、通常A/Dコンバータが入力−出力信号経路に直接配置されなければならない。これはA/Dコンバータのサンプリング周期に起因する速度制限を生じやすい。これはまた、潜在的にエイリアシング問題及び量子化エラーを生じやすい。
本発明は、非線形性補償方法を提供し、その方法が高精度で、プログラム調整可能、かつ柔軟性に対応する構造を提供することによって、低コストの大量生産を可能にし、電力消費が低減されることによって、広範な用途に用いられるようにする。ここで開示される方法及び構造は、非線形性補償の不可欠な要素として実行するセンサ較正を可能にし、両方の機能が同一回路によって実行されて良い。本発明に基づく実施態様は、信号処理にデジタル処理の問題(例えば、量子化エラー及び/又はサンプリング周期の遅延)の無い、アナログ技術を主に使用するモノリシック集積回路として実行され得る。
更に詳しくは、本発明の1つの特徴である、数学のパデ近似に基づく写像関数の実行が提供される。パデ近似は所望の写像関数の展開型近似を生成するために使用されることがあり、その近似は2つのべき級数の比で表されることがあり、各べき級数は各々一連の係数を含んでいる。所定のパデ近似写像関数は、その分子及び分母係数の一方或いは両方を調整することによって規定及び/又は微調整され得る。パデ近似写像関数は、非線形の物理的挙動をモデル化するのに適しており、その挙動には極値或いは同様の特異性を含む数学的モデルが含まれている。特にパデ近似アプローチによって提供される有理関数は、一般的に実社会の現象をモデル化することについては、よく使用されるテーラー展開よりも適していると考えられている。テーラー展開は不利なことに、所望の精度及び正確さで近似を規定するためには、より多くの項数及び関連係数を必要とするからである。
比較的正確なパデ近似は、低次の有理関数及び対応する簡素で安価な実質的にアナログの非線形性補償回路を使用することによって実行できる。一実施態様においては、(a)可変ゲインアナログアンプと、(b)アンプの出力に結合したアナログオフセット加算器と、(c)オフセット加算器の出力に結合したフィードバック減衰器と、(d)可変ゲインアナログアンプのためのゲイン設定回路とが必要とされる。ゲイン設定回路は第1のゲイン係数Gで表されるゲイン信号を生成し、1からフィードバック減衰器の出力を引いた値を乗じる。
結果として生じる回路挙動は、次のように表示されて良い。
Figure 0004918653
出力電圧Voutの方程式Eq.1aを解くことによって、方程式Eq.1aは次のように再表示されて良い。
Figure 0004918653
次に、x=Vin、y=Vout、a=G、b=voff及びc=G・kvfと置換することによって、方程式Eq.1bは、一次パデ近似として、次のように再表示されて良い。
Figure 0004918653
より一般的な公式の下では、上述の方程式(Eq.1c)は、n次パデ近似として再表示されて良い。
Figure 0004918653
一次方程式Eq.1cの3つの係数、a、b及びcを適切に調整することによって、様々な写像関数が近似できることがわかる。例として、c=0と設定することによって、線形写像方程式y=ax+bが得られる。a=0と設定することによって、非線形写像方程式y=b/(cx+1)が得られる。入力変数xは、水平変換された写像関数を得るため、変換変数(x−x)に置換され得る。出力変数yは、垂直変換された写像関数を得るため、変換変数(y−y)に置換され得る。x及びyの両者は、x−yグラフ上で写像関数を180度回転するために、転極されたx’=−x又はy’=−yを追加で有することがある。
本発明に基づく非線形性補償回路は、センサモジュールのアナログ信号経路のどこに配置されても良い。補償関数は、補償器の内部非線形性及び伝達経路内の他の回路の非線形性の補償が含まれる。何故なら補償は、センサ励振信号の調整は必須ではなく(例えば、抵抗ブリッジ回路のように)、センサ励振信号は一定に保たれて良く、或いは供給電圧に比例するようにしても良い。このことは簡素なデザインを可能にし、センサ励振電圧又は電流が、各センサ及びその使用環境に固有の事情によって要求され得る最適な範囲内に、確実に入るようにすることを可能にする。追加の利点として、非線形性補償回路はセンサ較正も提供できるので、全体の複雑さ及びコストを更に低減する。大きな参照テーブル、マイクロプロセッサ及び/又は同等物が使用される、非線形性補償のための主なデジタル方式と比較すると、本発明に基づく実施態様は、より簡素で小さな回路によって実行でき、かなり低コストで作ることができる。
検出用途の説明で記載されるが、ここで記載される写像回路関数及び技術は、対象範囲が一般的であり、例えばオーディオ、ビデオ、イメージ又は非線形写像関数が電子的に提供されるような様々な状況の用途に応用できる。
本発明に基づく入力信号を対応出力信号に写像するための方法が提供される。その方法の一実施例には次のことが含まれる。(a)各分子及び分母係数を有するパデ近似の比に基づいて動作するプログラム可能な変換装置を提供し、(b)少なくとも3つの入力基準点を有する供給入力信号及びその少なくとも3つの入力基準点に1対1で対応する少なくとも3つの標準出力値を有する対応出力信号の間に、所望のパデ近似写像を提供するように各分子及び分母係数を設定するため、変換装置をプログラムによって調整する。
本発明のその他の特徴は、以下の詳細な説明によって明らかになる。
以下の説明は実施例を示すだけであり、限定をするわけではない。図11は、本発明に基づくセンサモジュール101及びセンサを含む環境100のブロック図を提供している。センサを含む環境100は、対応する第1のセンサ105によって測定される第1の物理的パラメータを供給するための第1のパラメータソース50を含んでいる。センサモジュール101及び第1のパラメータソース50は、互いに近接して提供されて良く、自動車(例えば、車の熱いエンジン近傍)又は工場(例えば、振動或いは別の応力にさらされる大量生産用の機械内部)又は医療施設(例えば、大きな電源を近づけられない患者に絶縁状態で結合する)又は同様の困難な特徴を有するその他の環境等の適用環境100内に配置されて良い。
第1のセンサ105によって測定或いは追跡される第1の物理的パラメータ51は、物理的位置或いは方向(角度を含む)、印加力、音波、ガス或いは流体圧力、スピード、速度、加速度、又は適切な適合センサ105で検出可能なその他の物理的特性であって良い。測定される第1のパラメータ51に加えて、第1のパラメータソース50或いは適用環境100は、温度変化、電気系統へのノイズ、機械的振動又は第1のセンサ105の測定機能に干渉し得るその他の物理的特性等の干渉物理パラメータ52を生成することがある。カップリング53は、モジュール101に付随する温度センサ107への任意の接続を表している。この温度センサ107は、補償電子機器内で結合されて良く(例えば、温度検出用バイポーラ接合トランジスタ(BJT)又は温度変調オシレータ)、その使用については以下に記載される。
第1のセンサ105(モジュール101に1つ以上付随する及び/又は組込まれる場合がある)は、様々な物理的パラメータ検出手段の内のいずれかであって良く、それらには、正確に検出及び測定するための光信号、磁気信号、静電信号(充電強度)、音波、モジュール101の筐体(図示なし)の加速度変化、或いは様々な種類の別の物理的パラメータを含むが、これらに限定されるわけではない。場合によって、第1のセンサ105を適切に機能させるために、例えば精密DC及び/又はAC電源のような1つ以上の励振源(バッテリ記号106で図示されている)を必要とすることがある。第1のセンサ105は、センサを適切に作動させるために、1つ以上の基準信号源(例えば、周波数基準)を必要とすることがある。一般的に利便性及び動作のために、これらセンサ支援の励振及び/又は基準提供要素(106)は、第1のセンサ105を受容している同一モジュール101内に提供される。
第1のセンサ105の即時出力信号は、一般的にアナログ電気信号であり、その電圧及び/又は電流は、測定される第1の物理的パラメータ51の対応する大きさ又は別の特性で表す。第1のセンサ105の即時出力信号は、本来は光であって良く、選択的或いは追加的に、磁気又はその他のエネルギの形式で表されることがあっても良い。エネルギ伝達経路109は、第1のセンサ105の即時出力信号を、ここで記載しているコア写像回路110の入力ノード111に動作可能に結合している。第1のセンサ105の即時出力信号は、形式が変換されて良く、例えば、電流信号から電圧信号に変化して、伝達経路109に沿って伝達される。コア写像回路110の入力信号xは、ここでは電圧信号Vinの形式をしている。別の形式の信号は、本発明が意図する範囲内である(例えば、xは光又は別の形式の入力信号、可変ゲインアンプ121は、そのような光又は別の形式の入力信号を入力すべく形状が決められている)。
コア写像回路110は、可変ゲイン入力アンプ121(上述)、第1の加算器122、第1の乗算器125、第2の加算器126及び第2の乗算器127を含んでおり、フィードバックループを画定するように構成されることが示されている。一実施態様において、フィードバックループの各構成要素121、122、125、126及び127は、アナログ信号処理要素であり、例えば集積回路を構成する低電力CMOS回路で実行され、電力消費を減少し、物理的サイズを縮小する。そのような全体がアナログのフィードバックループが使用される場合、デジタルフィードバックで生じる問題が避けられる。更に詳しくは、デジタルサンプリング遅延及びデジタル量子化エラーを排除し得るので、入力信号領域(x信号)から出力信号範囲(y=Vout)への比較的迅速で正確な写像を提供する。消費電力も減少させることがあるが、そのような結果はアナログ回路には期待されていないものである。コア写像回路110は、プログラムによって較正及び非線形性補償を同時に提供するように設定されて良い。何故なら一連の構成要素は、同時に両方の機能(較正及び非線形性補償)を提供するために使用されるので、両機能のために消費される電力量は同じであるが、これに対して一連の構成要素が別々である場合、電力の消費及び機能の提供が別々に行われるからである。また、一実施態様において、構成要素125及び127のいずれか一方或いは両者は、増幅乗算器ではなく、減衰乗算器である。(ここで使用されているように、乗算は増幅或いは減衰のいずれかを起こすことができる。)減衰は通常、増幅よりも低いVcc電力を消費する。何故なら、入力信号によって供給される電力よりも大きな電力によって出力信号を生成するため、追加電力が電力増幅乗算器に供給されなければならないからである(例えば、抵抗減衰器又は電圧スプリッタは、一般的に追加電力を印加するためのVcc供給を必要としない)。
可変ゲインアンプ121は、そのゲイン係数Gを規定するためのゲイン制御端子118を有している。便宜上、端子118への電圧Gの印加は、アンプ121に無単位の対応ゲイン係数Gを生成すると仮定する。つまり、端子118において1ボルト当たり1:1の変換係数が存在する。更に一般的には、端子118において与えられる電圧及びアンプ121によって実現される実際のゲインの間には、別の変換係数が存在し得る。後者のような場合、対抗係数が経路116及び117上の電圧値に印加され得る。当業者であれば、その実施方法は理解できるであろう。
更に図示された可変ゲインアンプ121は、入力信号x=Vinに対して任意に負オフセットを追加するための、負入力オフセット端子123を有している。従って、アンプ121の出力信号112は、G・(x−x)ボルトと表現されて良く、この場合Gは無単位で、xはデジタル−アナログ(D/A)コンバータ131によって供給されるアナログオフセット信号である。そのようなオフセットは任意であり、別の実施態様では、端子123はもちろんのことD/Aコンバータ131及びメモリユニット141も存在しない。一実施態様において、可変ゲインアンプ121は、高インピーダンスの入力端子111及び123(例えば、各々概ね100KΩより大きい)を有し、入力信号x及びxをそれぞれ入力する。可変ゲインアンプの出力端子112は、低インピーダンス(例えば、概ね100Ω未満)の出力で、対応する増幅された電圧出力信号を提供する。第1の加算器122はオフセット信号voffを追加するので、経路115の電圧信号VをG・(x−x)+voffに等しくさせる。第1の乗算器125は、フィードバック係数kvfによって信号Vを乗じるので、経路116の電圧をkvf・Vに等しくさせる。記載されているとおり、一実施態様において、kvfは1よりも小さい。同じ或いは別の実施態様において、kvfは十分に小さく設定され、生成物kvf・Vは、所定の最大値、例えばdボルトより下にとどまる。第2の加算器126は、別のオフセット信号dを追加し、経路116の信号を反転させるので、経路117の電圧信号d−kvf・Vを形成する。別の実施態様において、dは、それが1単位を表すような所定の基準電圧であり、D/Aコンバータ136及びメモリユニット146は存在しない。コア写像回路110の第2の増幅器127は、経路117の信号を供給ゲイン信号Gによって乗じるので、経路118の電圧信号をG・(d−kvf・V)と等しくなるようにする。先に説明されたように、アンプ121の無単位のゲイン係数を設定するため、ここでは端子118は、1ボルト当たり1対1の変換を実行するとしている。一実施態様において、乗算器127の経路117の乗算係数は、1よりも小さい。同じ又は別の実施態様において、係数は十分に小さく設定され、生成物G・(d−kvf・V)は、所定の最大電圧、例えばdボルトより下にとどまる。
アンプ121及び加算器122のフォワード信号経路に沿ってVの値を求める場合、次のように表示されて良い。
Figure 0004918653
更にVを求めると、方程式Eq.2bの比が得られることを示し得る。
Figure 0004918653
a=d・G、b=voff、c=kvf・Gと置換することによって、より標準的な一次パデ近似写像関数が得られる。
Figure 0004918653
(x−x)項がx=0と設定することによって単純化され、Vがyと表示されれば、Eq.2cは次のように単純になる。
Figure 0004918653
一般にc・(x−x)=−1の条件が回避されることは、方程式Eq.2cから明らかである。しかしながら、いくつかの用途において、飽和出力応答及び/又は発振が望ましく、{C・(x−x)=−1}の条件を発生させることがある。発振抑制手段(例えば、周波数領域フィルタ)は、望ましくない発振を抑制するのに適しているので、フィードバックループに組込まれることがある。
各々のループ制御アナログ係数:x、voff、kvf、d及びGは、各デジタル−アナログ(D/A)コンバータによって生成されて良く、それらは各々131、132、135、136及び137で示されている。各D/Aコンバータ131、132、135、136及び137は、係数が規定するデジタル入力信号を、図示された抵抗及び/又はメモリユニット141、142、145、146及び147の1つから、順番にそれぞれ入力して良い。一実施態様において、1つ以上のメモリユニットが、FLASH又はEEPROMのような不揮発性メモリユニットを含んでいる。一実施態様において、アナログ係数dは、1のような定数に設定され、D/Aコンバータ136はもちろんのこと、その対応メモリユニット146も省略される。同じ或いは別の実施態様において、アナログオフセット係数xは、0のような定数に設定されて良く、対応D/Aコンバータ131はもちろんのこと、その対応メモリユニットも取除かれて良い。一般的にコア写像回路110は、2つ或いは3つの係数(例えば、Voff、kvf及びG)だけがプログラム可能な変数で、他の係数が固定されている場合であっても、様々な写像関数を提供し得る。あるものはコストを削減し、信頼性を増加し、消費電力を低減し、及び/又はコア写像回路110及び/又はそれを包含するモジュール101内のプログラム調整可能な構成要素の数を減少することによってモジュールサイズを縮小する。同一モジュール101内にコア写像回路110と同様の複数のコア写像回路を有することは、本発明の意図する範囲内であり、各写像回路110は複数のセンサの1つによって、各々写像を提供する。
各ループ制御デジタルメモリユニット141(任意)、142、145、146(任意)及び147は、適切なビット幅のアドレス入力信号:Addr、Addr、Addr、Addr及びAddrによって、それぞれ駆動されて良く、複数の異なる係数の値によって規定されるビット幅は、各々のデジタルメモリユニットが、その係数の値を所定の時間内で保存するように規定される。例として、メモリユニット147が、8より小さいGの値を保存する場合、アドレス入力信号Addrは、3ビットあれば十分である。また、メモリユニット145が、32より小さい所定の値のkvfを保存する場合、アドレス入力信号Addrは、5ビットあれば十分である。いくつかの用途において、係数抵抗或いはメモリ出力信号は、係数精度を所望の範囲に支援するため、少なくとも8から11データビットを有する。ループ制御デジタルメモリユニット141から147の保存容量及びアドレス入力幅は、所定の用途に応じて適切に設定されて良い。
アドレス入力信号Addr、Addr、Addr、Addr及びAddrは、モジュール内のアドレスバス155から得られる。係数選択論理演算装置150は、様々な条件に適切なループ係数を選択するように、アドレスバス155を駆動する。論理選択可能なループ係数は、入力信号の種類に応答して変化することがあり、その種類にはアナログ−デジタル(A/D)コンバータ153によって提供される温度変化表示信号(153はセンサ107からの信号によって駆動される)及び/又はスレショルド検出器156(デジタルコンパレータ)によって検出される入力信号境界点の交差等が含まれるが、これらに限定されるわけではない。ドット154で図示されているように、2つ以上の境界点検出器が使用されることがある。境界交差条件は、入力ノード111で検出されることが必須要件ではない。それに代わって、出力ノード115の掃引信号範囲内、或いはアンプの出力経路112上、或いはその他の適切な場所で検出されて良い。デジタル動作の選択スイッチ158は、係数切替条件を検出するために使用される信号範囲の設定に応じて適切にモジュール内の較正コントローラ160によって作動されて良い。係数切替条件は、写像関数が区分され、ある関数から別の関数へ変化する位置であり、それは図8によって説明されるとより明確になる。バス161は較正コントローラ160から係数選択論理演算装置150を結合する。コマンドバス162は、較正コントローラ160から外部較正源60を結合する。コマンドバス162は、新しい係数データ値を、較正コントローラ160及び入力バス165を介してループ制御デジタルメモリユニットの1つ1つに供給して良い。(全て示していないが、データ入力バス165は、各メモリユニット141、142、145及び146にも動作可能に結合している。)較正の間、外部較正源60は、測定されるパラメータ51の標準化された一連の少なくとも3つの異なるインスタンス51a、51b、51cを、第1のセンサ105に提供するようにモジュール101に取付けられる。ここで簡単に図5を参照されたい。いくつかの実施態様において、モジュール101の較正ピン(図示なし)が作動している間、測定されるパラメータ51の標準化された一連の51a、51b、51cは、所定の順番で供給されて良い。外部較正源60は、対応する標準化された一連の3つの各温度53a、53b、53cを、付随する温度検出器107に提供する。モジュールの出力ドライバ190の出力信号191は、較正中に測定され、ループ係数x(任意)、voff、kvf、d(任意)及びGのための適切な係数値が導かれ、メモリユニットに保存される。ループ係数を導く方法は、パデ近似と共に以下に記載される。
パデ近似は、2つのべき級数の展開比として導かれることがあり、分子及び分母係数は、所望の変換を提供するように規定される。パデ近似が極値を含む或いは極値の挙動に近い写像関数を提供するために使用される場合、しばしばテーラー展開よりも優れていることがある。
その一般形態において、パデ近似は2つの多項式のべき級数間の比である。
Figure 0004918653
ここでQM(x)は、QM(0)=1に正規化された。
従って、分子及び分母が共に一次多項式のパデ近似y(X)は、次のように表すことができる。
Figure 0004918653
上記x−y写像関数において、y(x)はセンサ非線形性補償に使用することができ、xは検出部から直接又は間接的に得られた測定表示信号として規定される。(例として、”x”は、所定の電圧、電流又は電荷であって良い。)同様に、上記方程式のy(x)は、非線形性補償後の対応する電気信号を表すことができ、a、b、c項は、非線形性を補償し、較正も提供するようなセンサ固有係数であって良い。y(x)は、測定される物理的パラメータを表す最終的な出力信号である必要はないことがある。図11のモジュール出力信号191は、そのようなパラメータ表示信号であって良い。y(x)信号は、上流側の第1のセンサ105及び下流側のフィルタ180及び出力ドライバ190のような構成要素の両者における非理想的な挙動を止める中間補償信号であって良い。
a、b及びcのようなパデ近似係数の大きさを適切に調節することによって、非線形性補償関数を含む、様々な種類の有益な写像関数を得ることができる。図1、2及び3は、いくつかの実行可能な変換関数を示している。
図1、2及び3より、各曲線の位置、方向及び傾きは、3つの係数a、b及びcによって調整できることを理解し得る。aが、bとcとを乗じた値に等しくなるような特別な場合において、出力y(x)は定数bまで減少する。この結果は、一般的に非線形性補償にとって有益ではない。(それでも、図9を参照いただきたい。)a>b・c或いはa<b・cのいずれかの条件に合致する場合、非線形性補償が実行されて良く、次の恒等式が容易に証明される。
図1の場合:
Figure 0004918653
図2の場合:
Figure 0004918653
図3の場合:
Figure 0004918653
センサ処理回路は、しばしばゲイン及びオフセット較正を必要とする。好適な低コストの解決策は、全てのゲイン/オフセット較正及び非線形性補償を同一機能ブロックに終結させることによって得られることがある。回路サイズが縮小し、電力消費が減少し、更に重要なことに全てのゲイン/オフセット較正及び非線形性補償を達成するために必要な過程の数を減少し得る。図4がこの概念を示している。所定の非較正検出部は、有益な検出範囲xからxを有していると考えられている。検出部は、非線形出力電圧信号Vinを生成すると考えられており、それは検出部から直接生成されて良く、或いは検出部の出力信号をプリアンプ及び/又はフィルタが処理した後に生成されて良い。いずれの場合においても、xの所定の入力値に対するVinの値は、製作公差及び/又は検出部の他の特性が原因で、しばしばセンサ間で変化する。その問題に対する解決策は、プログラムによって写像することであり、所定の検出範囲において、Vin対xの関数(図4の左側)をVout対xの関数(図4の右側)に写像する。ここで、Voutの関数は物理的パラメータxの線形関数であり、検出された物理的パラメータが、標準値x及びxを各々有している場合、Voutの値は、較正された値V及びVを表す(図5も参照されたい)。
この問題を解決するため、図5に示されるように、第3の中間点xが、好ましくはx及びxの中間に導入される。x、x及びxは較正点であり、較正点において生成される電圧Vinは、各々vi、vi及びviである。入力電圧Vinに一次パデ近似を適用し、較正点における値を置換することによって、3つの線形方程式及び3つの変数を有する体系を、次のように得ることができる。
Figure 0004918653
較正点における電圧が測定でき、続いて係数a、b及びcが、例えば行列式(クラメールの公式)を用いることによって決定されて良い。
Figure 0004918653
ここで、
Figure 0004918653
上記クラメールの公式による方法は、供給パラメータ点:x、x及びxにおいて、正確な非線形性補償及び較正を理論的に提供するはずである。何故なら、多くのセンサは単調な挙動をするので、センサ固有の非線形性がひどい状態ではない限り、通常は他のパラメータ点においても適合し得るからである。較正点は、説明されたとおりに選択されなければならないわけではない。様々な3点が検出範囲内で選択されて良いが、較正点に近いほど結果的に精度が高くなることに留意していただきたい。更に、写像関数の係数は、試行錯誤を重ねて決定されて良く、及び/又は与えられた環境に適切であるような別のことを根拠に決定されても良い。
図6は、本発明の一実施態様600の簡易ブロック図を示しており、電圧領域で作動することを想定している。素子632はD/Aコンバータとして示されているが、アナログ入力信号及び抵抗642からのデジタル信号によって規定されるゲイン或いは減衰を伴うアナログ出力信号を有していることを理解されたい。図において、斜線がついた信号経路は、しばしばアナログ信号よりもむしろデジタル信号を伝達する経路を表すために使用される。実行回路600は、プログラム可能なオフセットvoff及びプログラムによって設定されるゲイン係数G(無単位)を、入力電圧Vin(入力電圧は経路611上に現れる)に印加することによって実行される。また、出力電圧Voutから得られるフィードバック電圧は、プログラムによって設定される第3のパラメータkvfに従ってループゲインを減衰させる。その結果、次の変換関数が実現される。
Figure 0004918653
また、Voutを求めるための上述の式は、次のように表すこともできる。
Figure 0004918653
上述の関数を一次パデ近似と比較すると、次の置換が実行された場合、それらは同一の関数を表すことがここで明らかになる。
Figure 0004918653
従って、パラメータG、voff及びkvfは、較正点測定から計算される係数a、b、cから直接決定されて良い。図6に示されているように、これらの係数は、不揮発性メモリ(例えば、EEPROM又はFLASH)にプログラムされることがあり、専用D/Aコンバータ(632、637及び635)を介してゲイン、オフセット及びフィードバックを制御する抵抗(642、647、645)に、それらを取り込むことができて良い。この回路600内にプログラム可能に構築されたブロックは、既知の構成要素からなっていて良い(例えば、Harrold及びDunbar&Allenによる論文を参照されたい。これらはここで参照されることで本願の一部とする)。
第2の実施態様700は、図7に示されており、ゲインGはVin及びVoffの両方に印加される。実施態様700の場合、変換関数は、次のように多少異なっている。
Figure 0004918653
また、パデ近似係数との新しい対応は、次のとおりである。
Figure 0004918653
上記のことから明らかであるが、その他の多くの実行可能なパデ近似エミュレート回路は、一次パデ近似に従って写像関数を生成することによって、及び例えば入力電圧を別の出力電気信号に写像するような入力及び出力電磁信号間で写像を実行することによって形成され得る。いずれの場合においても、適切な選択は、センサの特性、及びセンサ及び回路の動作モード(例えば、電圧、電流又は電荷)によって決まる。第1の検出部は、1つの明確に規定された非線形性特性を有していると考えられていたが、このことは全てのセンサに当てはまる必要はなく、ある種のセンサは明らかに異なる特性を持った2つ以上の領域を有しており、区分補償によって効果を得ることができる。好例が図8のグラフに示されており、交流電流によって励起された時の、ある種の誘導センサによる平均或いはピーク電圧信号出力を示している。図8で示される第1のセンサの検出範囲は2つの小領域に分割でき、xからxthまでは実質的にセンサは非線形性を有しており、xthからxまではセンサは実質的に線形である。図6或いは図7の実施態様は、それぞれの回路に以下の追加をして、上述の区分分化挙動を伴うセンサを作動させるように適合することができる。
i)第1に、Vinがスレショルド入力電圧vithより下或いは上であるかを確認するために、コンパレータが追加される。
ii)第2に、Vin<vithであれば、センサは非線形領域にあり、補償を実施すべきであると判定される。
iii)第3に、Vin>vithであれば、センサは線形領域にあると判定される。フィードバック経路は開放され、即ち無視され(即ちkvfフィードバック係数がゼロにされ)るので、図6及び図7の実施態様の新しい回路変換関数は、それぞれ次の2つの内のいずれかとなる。
Figure 0004918653
これらは単純な標準ゲイン/オフセット線形較正関数である。従って、センサの区分分化挙動は、単に係数を変化させることによって補償できる。異なる組み合わせの係数G及びvoffが、非線形及び線形小領域に入り得る。この概念は、複数の非線形及び線形センサ小領域に展開することができ、各々が追加の較正過程、追加のウィンドウコンパレータ及び別の係数の組み合わせを必要とする。この概念は、図11の154で表されている。
開示された実施態様は、センサ検出範囲内でセンサが示す非線形性を補償するために適用できるだけではなく、センサが通常示す非線形性温度変化を補償することにも適用可能である。図9は温度に対する応答について、このことをグラフで示している。写像は非補償の左側から補償された右側に行われる。所定の固定パラメータ基準点xにおいて、センサは温度によって変化する信号Vinを出力すると考えられている。検出される物理的変数は、温度変化にも関わらず固定されるので、Vinは測定パラメータが定数であることを示すように補償されるべきである。この状態は図5と類似しているが、ここでは横軸は温度を表示しており、出力電圧定数Vは、全動作温度範囲に渡ってVoutであることが求められる。
全温度に渡ってVout=Vを維持するため、一次パデ近似がVin及び三元一次連立方程式に適用され、3つの変数は温度較正点T、T及びTを得る。
Figure 0004918653
Figure 0004918653
温度補償係数a、b及びcは、クラメールの公式を解くことによって求められる。
Figure 0004918653
ここで、
Figure 0004918653
この方法に基づく非線形温度補償を実行するための回路の更なる実施態様は、図6及び図7に示されている回路と類似しており、温度非線形性係数は異なるが、変換関数は位相的に同一である。
プログラム可能なアナログ集積回路によって実行されることがより好ましいが、非線形性補償をするための本発明の方法は、入力変数Vinがデジタル信号の場合、デジタルで実行する実施態様であって良い。図10はデジタルでの実施態様1000を示しており、図6のアナログでの実施態様と凡そ同等である。
図12は、本発明に基づく、また別のセンサモジュール1201の回路図である。検出される物理的パラメータP(t)は、外部環境1200からモジュール1201に結合される。結合は、磁石及び/又は静電結合等によってワイヤレスで実施される。結合された物理的パラメータP(t)の応答に対して、対応する第1のセンサ1205は、対応するセンサ出力信号x(t)を生成する。いくつかの実施態様において、励振信号e(t)が、モジュール内の励振源1265から追加的に第1のセンサ1205に結合されて良い。励振信号e(t)は、センサ1205が好適なセンサ出力信号x(t)を出力させるように用いられ得る。センサ出力信号x(t)は、P(t)の関数であることに加えて、温度及び/又は他の変数の関数であって良く、任意でe(t)の関数であって良い。一連の実施態様において、e(t)はセンサ変調電気信号であり、センサ1205は、印加された励振信号e(t)に応答する周波数領域を示すインダクタ及び/又はキャパシタのような応答型要素を含んでおり、センサ1205のインダクタンス及びキャパシタンスは、外部物理的パラメータP(t)の影響を受ける。
センサ出力信号x(t)は、ノード1217において、対応する写像出力信号を生成するアナログ写像回路1210に導入される。
Figure 0004918653
g(t)が定数mで、X=0及びY=bである場合、方程式Eq.3は、既知の線形変換式:y=mx+bに単純化されることは明らかであろう。
一実施態様において、写像回路1210の構成要素1212、1214、1216、1218、1220、1225は全て、入力インピーダンスが比較的高く(例えば、略100KΩより大きい)、出力インピーダンスが比較的低く(例えば、100Ωより小さい)、電力消費が比較的少ない。そのようなことから、低電力CMOS技術(相補型金属酸化物半導体トランジスタ)の使用を実現し得る。アンプ1214は、通常1より大きいゲインを有しており、一連の実施態様において、フィードフォワード変換回路1225及び/又はフィードバック変換回路1218は、1より小さい電力ゲインを有している。後者の配置は、コア写像回路1210の電力消費を減少できる。何故ならフィードフォワード変換回路1225及び/又はフィードバック変換回路1218のいずれかが、1より小さい電力ゲインを有している場合、フィードフォワード変換回路1225及び/又はフィードバック変換回路1218は、信号増幅のための電力(Vccに流入電流を乗じる)を必要としないことが多いからである。もちろん代替となる実施態様は可能であり、その場合には構成要素1212、1214、1216、1218、1220、1225の1つ以上がデジタルの従属要素を含んでいる。一般的な規則として、各構成要素が電力を消費するため、構成要素の数が多くなるほど、回路全体の消費電力は大きくなる。加えて、高スイッチング周波数を持つデジタル回路がモジュール1201に導入される場合、スイッチング周期毎の電力損失によって消費電力が増加する傾向にある。
図12の写像回路1210の動作は、g(t)を求めるためのパデ近似式で次のように表すことができる。
Figure 0004918653
この式からわかるように、加算回路1220が経路1224に生成する出力信号は、経路1223によって提供される信号G、それにフィードフォワード変換回路1225によって経路1222に提供されるフィードフォワード信号fFF(x)を加え、それからフィードバック変換回路1218によって経路1221に提供されるフィードバック信号fFB(y)を引いた合計値に等しい。一実施態様において、fFB(y)=m・yであり、mは定数である。同一或いは異なる実施態様において、fFF(x)=m・xであり、mは定数である。
方程式Eq.4の右辺をEq.3に置換することによって、次のEq.5が得られる。
Figure 0004918653
変数yの項を左辺に集合することによって、次のEq.6が得られる。
Figure 0004918653
最終的に、y(t)のレシオメトリックな式を形成するために割り算をすることによって、次のEq.7が得られる。
Figure 0004918653
FF(x)=0及びfFB(y)=m・yと設定することによって、方程式Eq.7は、次のEq.8に単純化できる。
Figure 0004918653
FF(x)=m・x及びfFB(y)=m・yと設定することによって、方程式Eq.7は、次のEq.9のように高次パデ近似を定義付ける。
Figure 0004918653
構成要素1225及び1218の各々のFF及びFB変換のために、fFF(x)=m・x及びfFB(y)=m・y以外の、より複雑な多項式変換を使用することは、本発明の意図の範囲内である。FF係数メモリ1255及びFB係数メモリ1258の各々によって提供される係数の数は、単にm及びmを提供する場合よりも増加する。複雑さ及び消費電力も増加し得る。しかしながら上述の通り、それらの変換回路の消費電力を減少させるため、いくつかの環境において変換回路1225(FF)及び1218(FB)の電力ゲイン係数を1より小さく維持することが望ましいことがある。
コア写像回路1210を取り囲むプログラム可能な第1のシェル1230の動作は、図12から自明である。メモリユニット又は抵抗1252は、1つ以上のデジタル値Xを記憶し、D/Aコンバータ1242を用いて、選択可能な値をアナログ加算器1212に供給する。メモリユニット又は抵抗1256は、1つ以上のデジタル値Yを記憶し、D/Aコンバータ1246を用いて、選択可能な値をアナログ加算器1216に供給する。メモリユニット又は抵抗1254は、1つ以上のデジタル値Gを記憶し、D/Aコンバータ1244を用いて、選択可能な値をアナログ加算器1220に供給する。メモリユニット又は抵抗1255は、1つ以上のフィードフォワード変換係数(例えば、m)のデジタル表現を記憶し、D/Aコンバータ1245を用いて、選択可能な値をアナログフィードフォワード変換回路1225に供給する。メモリユニット又は抵抗1258は、1つ以上のフィードバック変換係数(例えば、m)のデジタル表現を記憶し、D/Aコンバータ1248を用いて、選択可能な値をアナログフィードバック変換回路1218に供給する。コア写像回路1210の特定の数の構成要素は削減することができ、それらのアナログ対デジタルの特性を変化させられることは、本発明の別の実施態様を形成することによってわかる(例えば図14)。
プログラム可能な第1のシェル1230の出力信号は、係数選択ユニット1270から出力するアドレス信号によって、オンザフライで変化し得る。第1のシェル1230のメモリユニット及び/又は抵抗のデータ内容は、較正ユニット1260から出力するデータ書込信号によって変化し得る。
係数選択ユニット1270は、更に1つ以上のユニット、例えば、モジュール内の温度検出ユニット1275、モジュール内の区分写像ユニット1255及び/又はモジュール内のセンサ励振源1265等に応答することが可能である。センサ励振源1265は、物理的パラメータP(t)の異なる範囲に異なるセンサ励振信号を提供するため、モジュール内の区分写像ユニット1255に応答することが可能である。(再度、図11の区分スレショルド検出器156、157を参照されたい。)センサ励振源1265は、異なる温度範囲に異なるセンサ励振信号を提供するため、モジュール内の温度検出ユニット1275に応答することが可能である。係数選択ユニット1270は、モジュール内の温度検出ユニット1275、モジュール区分写像ユニット1255及び/又はモジュール内のセンサ励振源1265が、そのようなモード切替型の構造で用いられているかどうかに従って動作するようにプログラムされることがある。異なるセンサ及びセンサアプリケーションは、程度の差はあるが複雑性が要求されることがある。ユニット1270、1275、1265及び1255は、プログラム或いは配線手段のいずれかによって調整され得ることを理解されたい。
較正ユニット1260は、新しい係数データのメモリユニット1252−1258への書込み及びそのようなデータ記憶動作の任意の確認を含む較正作業の実行にふさわしい、制御及びデータ信号を受信するため、図示されているI/Oインタフェースユニット1290に動作可能に結合されることがある。一実施態様において、モジュール1201は、I/Oインタフェースユニット1290を外部システムに結合するための4つの相互接続端子を有している。4つの相互接続端子は、シリアルクロック信号を伝達するためのシリアルクロック端子、双方向のシリアルデータ信号を伝達するためのシリアルデータ端子、電圧を受容するためのVcc端子及びグランド端子(GND)から構成され得る。いくつかの用途において、1つ以上のグランド端子を使用することがあり、例えば、1つが電圧用、1つが制御信号用である。更にI/Oインタフェース1290は、製造及び検査中に使用される相互接続ノードを有して良いが、それらはモジュール内部に埋め込まれ、モジュールが環境1200の領域内に配置されると容易にアクセスすることができない。
ここまで説明されてきた模範的な実施態様は、多くの変更が可能である。図13は、写像回路のフロントエンドに、3入力アナログ乗算器を有する実施態様の回路図である。3入力乗算器は、信号Vinを入力する加算器と同様に、信号Vinに対して比較的高い入力インピーダンスを示す。図13の実施態様では、係数kvf、係数G及び係数voffを設定するために、3つのプログラム可能な抵抗が使用されているだけである。D/Aユニットの出力経路に交差した斜線は、その斜線がついた経路がアナログ信号よりもむしろデジタル信号を伝達することを示している。一実施態様において、係数kvfは1より小さい。
図14は、写像回路のフロントエンドにデジタル入力乗算器を有する実施態様の回路図である。入力インピーダンスの高いA/Dユニットは、アナログ信号Vinを対応するデジタル信号Vinに変換する。後者の信号は、デジタル入力乗算器で係数kvfを乗じる。その後D/Aコンバータは、得られた信号kvf・Vinを変換し、アナログ領域に戻す。アナログ信号Vinの主経路は、アナログ加算器及び可変ゲインアンプを通過するアナログ経路として残る。従って、その主経路は実質的にデジタル化ノイズがない。図14の一実施態様において、係数kvfは通常1より小さいので、A/Dユニットからのデジタル化ノイズは主要因子にならない。
図15は、写像回路のフロントエンドにデジタル入力乗算器(最左のD/Aコンバータ)を有し、更に出力からのフィードバックを入力するデジタル乗算器を有する実施態様1500の回路図である。
図16は、写像回路のフロントエンドに3入力乗算器を有し、可変ゲインアンプの前に3入力加算器を有する更なる実施態様1600の回路図である。
図17は、デジタル領域にて乗算を利用する更なる実施態様1700の回路図である。
図18は、更なる実施態様1800の回路図である。
図19は、信号Voutを入力するアナログ乗算器を含む更なる実施態様1900の回路図である。
図10は既に記載したとおり、主にデジタルの実施態様1000の回路図である。Vinがまだデジタル形式になっていない場合、VinはフロントエンドのA/Dコンバータによってデジタル形式に変換される。Voutは、アナログ出力形式が必要であるならば、バックエンドのD/Aコンバータによってアナログ形式に変換される。或いは、既にデジタル化された信号Voutが、シリアルデータリンクを介してモジュールから連続して出力されることがある。(再度、図12のI/Oインタフェース1290を参照されたい。)
ここで述べられた実施態様のほとんどは、非線形性補償を提供するための一次パデ近似手段を含んでいるが、本発明は、分子及び分母が異なる次数であるパデ近似を含む高次のパデ近似まで展開することができる。それらの実施態様に変更を加えることができるのは明らかであり、そのような変更は本発明の精神及び範囲内である。従って、本願明細書に記載された請求項の精神及び範囲から逸脱すること無く、上述の内容に照らして当業者が多くの変更を実施することが可能である。本発明に関連する本質的な制限はない。しかしながら、性能はセンサ入力の範囲又は小範囲の適切な選択によって最適化されて良く、その範囲内又はいずれかの小範囲内で、センサの非線形性がひどい状態ではない、或いは非単調ではないようにすることによって最適化されて良い。また、比較的多数のビットを有するDACは、より正確な係数を得る効果があり、全体の実行精度を更に高めることができる。高次パデ近似及び多数の較正点も、全体の精度を向上することができる。本発明は自動化に適合し、わずか3つの較正点でプログラム可能な、簡素で低コストの解決策を提供し、競合する方法よりも正確であり得る。本発明は埋め込みシステムにも適合している。そのアナログ形式は、フォワード信号経路に量子化エラーを導入しない。このため、本発明はあらゆるセンサの非線形性に適用できる。本発明は、単一機能ブロックで非線形性補償及びセンサ較正の両者を可能にする。いくつかのセンサブリッジ回路において必要とされるようなセンサ励振源へのフィードバックを必要としない。
本願明細書は、請求項に記載された対象の範囲、特質或いは精神を制限するものではなく、それらについて説明したものである。本願明細書を検討した後、多数の変更及び変化が当業者に明らかになるであろう。それには、ここで記載された要素と機能的及び/又は構造的に同等の代替物の使用、ここで記載された結合と機能的に同等の結合の使用、及び/又はここで記載された過程と機能的に同等の過程の使用を含んでいる。そのような実体のない変化は、ここで意図されていることの範囲内であると考えられる。更に、特定の手段或いは過程に対して複数の実施例が与えられ、その与えられた実施例相互間からの推定及び/又はそれらの範囲を越える推定が、本願明細書を見れば明らかである場合、本願明細書はそれらについて事実上開示していると見なされ、従って少なくともそのような推定はカバーしているとされる。
ここで特に明確に述べられていない限り、一般的な用語は、それらが記載されている各文脈に対応する一般的な意味であり、一般的な技術用語は、関連する技術及びここでそれらが記載されている各文脈に対応する表文的な意味である。
上述の一般概念及び特定の実施態様の開示において、保護を求める範囲は、本願明細書の特許請求の範囲に記載された請求項によって定義される。登録済みの請求項は、米国特許法第120条及び米国特許法第251条に基づく出願を含む、1つ以上の更なる出願を目的として開示済だが事実上未請求の対象について、出願人の請求権を制限するものではない。
発明の詳細な説明は、以下の添付図面を参照している。
一次パデ近似の実現可能な3つの曲線を表す第1のグラフである。 一次パデ近似の実現可能な3つの曲線を、X軸を移動して表している第2のグラフである。 一次パデ近似の実現可能な3つの曲線を、X軸を回転して表している第3のグラフである。 非線形センサ応答曲線から較正及び線形化された応答曲線への写像を示す図である。 図4と同様の図であるが、更に3つの較正入力パラメータを示し、それらから較正及び線形化された応答曲線への写像を示す図である。 一次パデ近似補償回路の回路図である。 別の一次パデ近似補償回路の回路図である。 区分線形応答領域及び区分非線形応答領域を持つセンサを表すグラフである。 温度感知センサの応答曲線から温度不変応答曲線への写像を示す図である。 デジタル的に実行される一次パデ近似補償回路の回路図である。 本発明に基づく、センサ及びセンサを含む環境のブロック図である。 本発明に基づく、センサ及びセンサを含む環境の別のブロック図である。 写像回路のフロントエンドに3入力乗算器を有する実施態様の回路図である。 写像回路のフロントエンドにデジタル入力乗算器を有する実施態様の回路図である。 写像回路のフロントエンドに出力からフィードバックを受けるデジタル入力乗算器を有する実施態様の回路図である。 写像回路のフロントエンドに3入力乗算器を有する更なる実施態様の回路図である。 更なる実施態様の回路図である。 更なる実施態様の回路図である。 更なる実施態様の回路図である。

Claims (8)

  1. システムであって、
    (a)第1の入力信号を受信するべく接続された第1の入力端子前記第1の入力信号の関数である第1の出力信号を出力するための第1の出力端子と、前記第1の入力信号に適用される可変ゲインを制御するゲイン制御端子を有する、可変ゲインアンプと、
    (b)第1のオフセット信号を前記第1の出力信号に加算するための第1の加算器であって、前記可変ゲインアンプの前記出力端子に接続され、かつ第2の出力端子を有する、該第1の加算器と、
    (c)比例型フィードバック係数信号を受信するためのフィードバック係数端子と前記比例型フィードバック係数信号が乗じられた前記第1のオフセット信号を表す、乗算されたフィードバック信号出力する第3の出力端子とを有する、前記第1の加算器の前記第2の出力端子接続された第1の乗算器と、
    (d)2のオフセット信号を前記乗算されたフィードバック信号に加算するための第2の加算器であって、前記第1の乗算器の前記第3の出力端子に接続され、かつ第4の出力端子を有する、該第2の加算器と、
    (e)ゲイン係数信号を受信するためのゲイン係数端子と前記ゲイン係数信号が乗じられた第4の出力端子の出力を表す、乗算されたゲイン信号を出力する第5の出力端子とを有する、前記第2の加算器の前記第4の出力端子接続された第2の乗算器とを含み、
    前記可変ゲインアンプの前記ゲイン制御端子は、前記第2の乗算器の前記第5の出力端子の出力に接続されていることを特徴とするシステム。
  2. 前記システムが、
    (f)前記第1の入力信号を供給するための、前記可変ゲインアンプの前記第1の入力端子に接続された第1のセンサを更に含むことを特徴とする請求項1に記載のシステム。
  3. 前記システムが、
    (g)記第1のオフセット信号、前記比例型フィードバック係数信号、前記第2のオフセット信号及び前記ゲイン係数信号のうちの1つ以上を各々規定するため記第1の加算器、前記第1の乗算器、前記第2の加算器及び前記第2の乗算器のうちの1つ以上に接続された係数決定手段を更に含むことを特徴とする請求項2に記載のシステム。
  4. 前記システムが、
    (h)前記係数決定手段に接続された温度センサであって、前記第1のオフセット信号、前記比例型フィードバック係数信号、前記第2のオフセット信号及び前記ゲイン係数信号のうちの1つ以上を、検出温度に応じて、前記係数決定手段に規定させる、該温度センサをさらに含むことを特徴とする請求項3に記載のシステム。
  5. 前記システムが、
    (h)前記係数決定手段に接続されたスレショルド検出器であって、第1の所定のスレショルドを第1の入力信号が超えたことが検出されたこと、及び/又は第2の所定のスレショルドを別の動作信号が超えたことが検出されたことに応じて、前記第1のオフセット信号、前記比例型フィードバック係数信号、前記第2のオフセット信号及び前記ゲイン係数信号のうちの1以上を、前記係数決定手段に規定させる、該スレショルド検出器をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載のシステム。
  6. 前記第1のセンサは、前記可変ゲインアンプと共にモジュール内に配置されていることを特徴とする請求項に記載のシステム。
  7. 前記システムが、
    (i)励振信号を前記第1のセンサに供給するための、前記第1のセンサに接続された励振源を更に含み、
    前記係数決定手段が、前記励振源に接続され、それに応答することを特徴とする請求項に記載のシステム。
  8. 前記システムが、
    (j)前記係数決定手段に接続された較正手段であって、前記第1のオフセット信号、前記比例型フィードバック係数信号、前記第2のオフセット信号及び前記ゲイン係数信号のうちの1つ以上を、前記第1のセンサに適用される複数の所定の物理的パラメータに従って、前記係数決定手段に規定させる、該較正手段をさらに含むことを特徴とする請求項に記載のシステム。
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7398173B2 (en) * 2005-05-04 2008-07-08 Ami Semiconductor, Inc. Providing nonlinear temperature compensation for sensing means by use of Padé approximant function emulators
US7279906B2 (en) * 2005-08-30 2007-10-09 Kay Arthur A Sensor-emulator evaluation module and method
US8081006B2 (en) * 2006-07-28 2011-12-20 Semiconductor Components Industries, Llc Non-linear sensor temperature compensation using summed temperature compensation signals
US20090063081A1 (en) * 2007-09-05 2009-03-05 Accel Semiconductor (Shanghai) Limited Bridge sensor calibration
JP4849042B2 (ja) * 2007-09-14 2011-12-28 沖電気工業株式会社 非接触センサ
US7894151B2 (en) * 2008-02-15 2011-02-22 Broadcom Corporation “Flat analog” AFE coupled with an all digital architecture compensation read channel
US20100002747A1 (en) * 2008-07-03 2010-01-07 Bosch Enrique Company System and method for n'th order digital piece-wise linear compensation of the variations with temperature of the non-linearities for high accuracy digital temperature sensors in an extended temperature range
WO2011029182A1 (en) * 2009-09-08 2011-03-17 Microbridge Technologies Canada Inc. Sensor response calibration for linearization
US20110292376A1 (en) * 2010-05-26 2011-12-01 Kukushkin Igor V Apparatus and method for detecting raman and photoluminescence spectra of a substance
US9041422B2 (en) 2011-03-31 2015-05-26 Intel Mobile Communications GmbH Circuit arrangement with a plurality of on-chip monitor circuits and a control circuit and corresponding methods
KR101779623B1 (ko) * 2012-06-21 2017-09-18 엘에스산전 주식회사 입력 신호 제어 장치 및 방법
CN102801305B (zh) * 2012-08-14 2015-07-08 成都芯源系统有限公司 峰值电流信号产生电路,开关电源电路及其方法
US9810583B2 (en) * 2013-05-17 2017-11-07 Analog Devices, Inc. Encoder circuit with feedback DAC
US10551226B2 (en) * 2015-11-19 2020-02-04 Jabil Inc. System and method for scalable cloud-based sensor calibration
CN107144800B (zh) * 2017-04-21 2020-03-17 新纳传感系统有限公司 非线性补偿电路及传感装置
CN108489015B (zh) * 2018-03-05 2020-07-14 苏州科技大学 基于极点配置和帕德近似的空调系统温度控制方法
CN109990804B (zh) * 2019-04-03 2021-06-29 安徽见行科技有限公司 基于模拟乘法器的传感器电路温漂的自校正电路
CN110174125A (zh) * 2019-06-10 2019-08-27 武汉湖滨电器有限公司 一种传感器温度补偿电路

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04265831A (ja) * 1990-10-25 1992-09-22 Becton Dickinson & Co カテーテル先端圧力トランスジューサの温度補償装置および方法
JP2001527648A (ja) * 1997-05-06 2001-12-25 インティグレイテッド センサー ソリューションズ 温度変化によるセンサの非線形オフセットおよび感度変化の精度補償のためのシステムおよび方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5653404A (en) * 1979-10-08 1981-05-13 Hitachi Ltd Nonlinear correction circuit
US4419620A (en) * 1982-03-08 1983-12-06 Kulite Semiconductor Products Linearizing circuits for a semiconductor pressure transducer
US4873655A (en) * 1987-08-21 1989-10-10 Board Of Regents, The University Of Texas System Sensor conditioning method and apparatus
US5122756A (en) * 1989-11-28 1992-06-16 Honeywell Inc. Linearization of a sensing bridge circuit output
US5479096A (en) * 1994-08-08 1995-12-26 Lucas Industries, Inc. Analog sensing system with digital temperature and measurement gain and offset correction
US5764067A (en) * 1995-05-10 1998-06-09 Rastegar; Ali J. Method and apparatus for sensor signal conditioning using low-cost, high-accuracy analog circuitry
US5686826A (en) * 1996-03-15 1997-11-11 Kulite Semiconductor Products Ambient temperature compensation for semiconductor transducer structures
US5902925A (en) * 1996-07-01 1999-05-11 Integrated Sensor Solutions System and method for high accuracy calibration of a sensor for offset and sensitivity variation with temperature
WO1998020615A2 (en) * 1996-10-21 1998-05-14 Electronics Development Corporation Smart sensor module
US6198296B1 (en) * 1999-01-14 2001-03-06 Burr-Brown Corporation Bridge sensor linearization circuit and method
DE10056926A1 (de) * 2000-11-20 2002-07-18 Optolab Licensing Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Konditionierung eines periodischen Analogsignals
US7433806B2 (en) * 2001-04-20 2008-10-07 Spectral Sciences, Inc. Band model method for modeling atmospheric propagation at arbitrarily fine spectral resolution

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04265831A (ja) * 1990-10-25 1992-09-22 Becton Dickinson & Co カテーテル先端圧力トランスジューサの温度補償装置および方法
JP2001527648A (ja) * 1997-05-06 2001-12-25 インティグレイテッド センサー ソリューションズ 温度変化によるセンサの非線形オフセットおよび感度変化の精度補償のためのシステムおよび方法

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