JP2008281558A - センサ - Google Patents
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Abstract
サを提供することを目的としている。
【解決手段】検出処理回路4は、駆動電極6に駆動信号を通電し検出素子2を振動させる
駆動回路12と、検出素子2に与えられる角速度や加速度に起因して検出電極10から出
力される検出信号に基づき、角速度や加速度を検出する検出回路14と、モニタ電極8か
ら出力されるモニタ信号に基づき、検出素子2の振動状態をモニタするモニタ回路16と
を備え、この検出信号には、検出素子2の周囲温度に起因して変化する温度依存性信号成
分が含まれているので、この温度依存性信号成分を相殺するバイアス信号成分を生成する
バイアス信号生成回路22を設けた構成である。
【選択図】図1
Description
信号生成回路22を設けているので、検出素子2の周囲温度に起因して変化する温度依存性信号成分が検出信号に含まれていても、バイアス信号成分によって、この温度依存性信号成分を相殺することができ、周囲温度の変化に起因した検出感度の劣化を抑制できる。
上を図れるので、各種電子機器に適用できるものである。
4 検出処理回路
6 駆動電極
8 モニタ電極
10 検出電極
12 駆動回路
14 検出回路
16 モニタ回路
18 振動制御回路
20 同期検波回路
22 バイアス信号生成回路
24 固定抵抗
26 感温抵抗
Claims (5)
- 角速度検出部または加速度検出部を有する検出素子と、前記検出素子から出力される検出信号に基づき角速度または加速度を検出する検出回路とを備え、
前記検出信号は、前記検出素子の周囲温度に起因して変化する温度依存性信号成分を含み、バイアス信号生成回路を介して出力しており、
前記バイアス信号生成回路は、前記検出信号の前記温度依存性信号成分を相殺し、前記バイアス信号生成回路から出力される前記検出信号の信号値を基準値に調整するバイアス信号成分を生成するセンサ。 - 前記バイアス信号生成回路は、前記検出信号の信号値を減衰させて、前記検出信号の前記温度依存性信号成分を相殺し、前記バイアス信号生成回路から出力される前記検出信号の信号値を基準値に調整するバイアス信号成分を生成する請求項1記載のセンサ。
- 前記バイアス信号生成回路は、
温度依存性のない固定抵抗と、温度依存性のある感温抵抗とを組み合わせて形成するとともに半導体基板上に形成した請求項1記載のセンサ。 - 前記固定抵抗をポリシリコン抵抗とし、前記感温抵抗をNウェル抵抗とした請求項3記載のセンサ。
- 前記固定抵抗または前記感温抵抗のいずれか一つは可変型である請求項3記載のセンサ。
Priority Applications (1)
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JP2008103351A JP2008281558A (ja) | 2007-04-13 | 2008-04-11 | センサ |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009145320A1 (ja) | 2008-05-30 | 2009-12-03 | 東ソー株式会社 | ヒドロキシアルキルトリエチレンジアミン類の製造方法、及びそれを用いたポリウレタン樹脂製造用の触媒組成物 |
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-
2008
- 2008-04-11 JP JP2008103351A patent/JP2008281558A/ja active Pending
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